Погребняк А.Д., Шпак А.П., Азаренков Н.А., Береснев В.М. Структура и свойства твердых и сверхтвердых нанокомпозитных покрытий, страница 12
Описание файла
PDF-файл из архива "Погребняк А.Д., Шпак А.П., Азаренков Н.А., Береснев В.М. Структура и свойства твердых и сверхтвердых нанокомпозитных покрытий", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "основы наноэлектроники и нанотехнологии" из 8 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "книги и методические указания", в предмете "основы наноэлектроники и нанотехнологий" в общих файлах.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст 12 страницы из PDF
% ÒÓËÏÇÔÇÌ ÍËÔÎÑÓÑÆ (ÔÏ.[176], Ô. 169) ÆÇÎÂÇÕ àÕÖ ÓÂÃÑÕÖ ÏÂÎÑËÐÕÇÓÇÔÐÑÌ ÆÎâÒÑÐËÏÂÐËâ ÆÂÐÐÞØ ÔËÔÕÇÏ. ±ÑÆÑÃÐÂâ ÍÓËÕËÍ ÔÒÓÂÄÇÆÎËÄÂ Ë ÆÎâ ÏÐÑÅËØ ÆÓÖÅËØ ÓÂÃÑÕ, ÅÆÇ ÐÂÐÇÔÇÐËÇ ÒÓÑÄÑÆËÎË "...ÃÇÊ ÒÓËÏÇÐÇÐËâ ÔÏÇÜÇÐËâ ËÎË ÐÂÅÓÇÄÂÐËâ ÒÑÆÎÑÉÍË Ä ÙÇÎâØ ËÊÖÚÇÐËâ ÕÑÎßÍÑ à××ÇÍÕÑÄ ÆÑÃÂÄÍËÍÓÇÏÐËâ..." [156]. ¦ÔÎË ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓ ÑÔÂÉÆÇÐËâ ÖÄÇÎËÚËÄÂÎÂÔß ÆÑ 300 C Ë ÒÓË ÑÔÂÉÆÇÐËË ÒÓËÍÎÂÆÞÄÂÎÑÔßÔÏÇÜÇÐËÇ ÿ100 £ [154], ÕÑ ÒÓÑËÔØÑÆËÎÑ ÖÄÇÎËÚÇÐËÇÕÄÈÓÆÑÔÕË. ¿ÕÑ ÖÄÇÎËÚÇÐËÇ ÐÇ âÄÎâÎÑÔß ÔÎÇÆÔÕÄËÇÏÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍË ÄÞÔÑÍÑàÐÇÓÅÇÕËÚÐÞÏË ËÑÐÂÏË ËÎË ÍÑÓÓÇÎâÙËË ÕÄÈÓÆÑÔÕË Ë ÔÉËÏÂáÜÇÅÑ ÐÂÒÓâÉÇÐËâ.10. ®ÇØÂÐËÚÇÔÍËÇ ÔÄÑÌÔÕÄÂÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑıÇÓÄÑÐÂÚÂÎßÐÑ ÒÑÐËÏÂÐËÇ àÍÔÕÓÂÑÓÆËÐÂÓÐÞØ ÏÇØÂÐËÚÇÔÍËØ ÔÄÑÌÔÕÄ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ ÑÔÐÑÄÞÄÂÎÑÔß Ð ÑÕÔÖÕÔÕÄËË ÂÍÕËÄÐÑÔÕË ÆËÔÎÑÍÂÙËÌ Ä ÏÂÎÞØÍÓËÔÕÂÎÎËÕÂØ (ÓÂÊÏÇÓÑÏ Ä ÐÇÔÍÑÎßÍÑ ÐÂÐÑÏÇÕÓÑÄ), ÑÚÇÐßÐËÊÍÑÌ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËË ÐÂÒÓâÉÇÐËÌ ÆÎâ ÏÂÎÇÐßÍËØ ÐÂÐÑÕÓÇÜËÐ ( 4 1 ÐÏ) Ë, ÍÂÍ ÔÎÇÆÔÕÄËÇ, ÐÇÑÃØÑÆËÏÑÔÕË ÃÑÎßÛÑÅÑ ÐÂÒÓâÉÇÐËâ ÆÎâ ËÐËÙËËÓÑÄÂÐËâ Ë ÓÂÔÒÓÑÔÕÓÂÐÇÐËâÕÓÇÜËÐ Ä ÕÂÍËØ ÔËÔÕÇÏÂØ, ÅÆÇ ÑÕÔÖÕÔÕÄÖÇÕ ÔÍÑÎßÉÇÐËÇ ÐÂÅÓÂÐËÙÂØ ÓÂÊÆÇΠÊÈÓÇÐ [61, 68, 69, 80, 94, 132].
¹ÇÕÍËÇÅÓÂÐËÙÞ ÓÂÊÆÇΠÏÇÉÆÖ ÐÂÐÑÍÓËÔÕÂÎÎÂÏË Ë ×ÂÊÑÌ Si3N4ÒÓËÒËÔÞÄÂÎËÔß ÕÇÓÏÑÆËÐÂÏËÚÇÔÍË ÖÒÓÂÄÎâÇÏÑÌ ×ÂÊÑÄÑÌ ÔÇÅÓÇÅÂÙËË. ¿ÕÑ ×ÖÐÆÂÏÇÐÕÂÎßÐÑ ÑÕÎËÚÂÇÕÔâ ÑÕÐÂÐÑÍÓËÔÕÂÎÎËÚÇÔÍËØ ÏÂÕÇÓËÂÎÑÄ, ÒÑÎÖÚÇÐÐÞØ ÒÖÕÈÏÍÑÐÔÑÎËÆÂÙËË, ÍÑÅÆ ÔÍÑÎßÉÇÐËÇ Ð ÅÓÂÐËÙÂØ ÊÈÓÇÐÑÅÓÂÐËÚÇÐÑ [157 ë 162]. ©ÐÂÚËÕÇÎßÐÑ ÃÑÎÇÇ ÅÎÖÃÑÍÑÇ ÒÑÐËÏÂÐËÇ ÃÞÎÑ ÆÑÔÕËÅÐÖÕÑ ÓÂÐÇÇ ÃÎÂÅÑÆÂÓâ ÄÂÉÐÑÏÖ ÄÍÎÂÆÖ¡ÓÅÑР[122, 123, 163, 164]. ¢ÞÎÑ ÒÑÍÂÊÂÐÑ, ÚÕÑ ÏÇØÂÐËÚÇÔÍËÇ ÔÄÑÌÔÕÄ ÐÂÐÑÍÓËÔÕÂÎÎËÕÑÄ ÏÑÉÐÑ ÎÇÅÍÑ ÑÃÝâÔÐËÕß Ä ÕÇÓÏËÐÂØ ÑÃÞÚÐÑÌ ÏÇØÂÐËÍË ÓÂÊÎÑÏÂ, Ô ÖÚÈÕÑÏ ËØÐÂÐÑÏÇÕÓÑÄÞØ ÓÂÊÏÇÓÑÄ Ë ÕÑÎÜËÐÞ ÂÏÑÓ×ÐÑÅÑ ÒÇÓÇØÑÆÐÑÅÑ ÍÑÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑ ÐËÕÓËÆ ÍÓÇÏÐËâ Ä ÑÆËÐ ÏÑÐÑÔÎÑÌ, ÍÑÅÆ àÕË ÏÂÕÇÓËÂÎÞ ÔÄÑÃÑÆÐÞ ÑÕ ÕÓÇÜËÐ. ±ÑÔÎÇÆÐÇÇ ÇÔÕß ÔÎÇÆÔÕÄËÇ ×ÑÓÏËÓÑÄÂÐËâ ÔÕÂÃËÎßÐÑÌ ÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓÞ ÒÑÔÓÇÆÔÕÄÑÏ ÔÂÏÑÑÓÅÂÐËÊÂÙËË ÒÓË ÔÒËÐÑÆÂÎßÐÑÌ×ÂÊÑÄÑÌ ÔÇÅÓÇÅÂÙËË.
®Þ ÑÅÓÂÐËÚËÏ ÐÂÛÖ ÆËÔÍÖÔÔËáÍÑÓÑÕÍËÏ ÑÃÑÃÜÇÐËÇÏ ÑÒÖÃÎËÍÑÄÂÐÐÞØ ÓÂÐÇÇ ÓÂÃÑÕ ÒÑàÕÑÌ ÒÓÑÃÎÇÏÇ.±ÎÂÔÕËÚÇÔÍÂâ ÆÇ×ÑÓÏÂÙËâ ÍÑÄÍËØ ÏÂÕÇÓËÂÎÑÄ, ÕÂÍËØÍÂÍ ÏÇÕÂÎÎÞ, ÒÓÑËÔØÑÆËÕ ÚÇÓÇÊ ÂÍÕËÄÐÑÔÕß ÆËÔÎÑÍÂÙËÌ56¡.¥. ±°¤²¦¢¯Á¬, ¡.±. º±¡¬, ¯.¡. ¡©¡²¦¯¬°£, £.®. ¢¦²¦³¯¦£ËÎË ÒÓÇÄÓÂÜÇÐËâ ÔÆÄËÅÂ, ÕÂÍËÇ ÍÂÍ ÆÄÑÌÐËÍË ÆÇ×ÑÓÏÂÙËË ËÎË ÏÂÓÕÇÐÔËÕÐÞÇ ÒÓÇÄÓÂÜÇÐËâ [95, 163].
£ ÔÕÇÍÎÑÒÑÆÑÃÐÞØ ÕÄÈÓÆÞØ ÄÇÜÇÔÕÄÂØ, ÐÂÒÓËÏÇÓ ÂÏÑÓ×ÐÞØÏÇÕÂÎÎÂØ, ÒÎÂÔÕËÚÇÔÍËÌ ÒÑÕÑÍ ÒÓÑËÔØÑÆËÕ ÒÓË ÄÑÊÄÓÂÜÇÐËË ÕÓÂÐÔ×ÑÓÏÂÙËË ÔÆÄËÅÂ Ä àÎÇÏÇÐÕÞ ×ÇÓÓËÕÐÑÅÑÑÃÝÈÏÂ, Ä ÍÑÕÑÓÑÏ ÕÓÂÐÔ×ÑÓÏÂÙËË ÔÆÄËÅ ËÏÇáÕ ÓÂÊÏÇÓÞ 3 ë 4 ÐÏ [164]. ªÊ ÓÂÊÓÂÃÑÕÂÐÐÑÌ ÐÇÆÂÄÐÑ ÏÑÎÇÍÖÎâÓÐÑ-ÆËÐÂÏËÚÇÔÍÑÌ ÏÑÆÇÎË Si-ÔÕÇÍΠÔÎÇÆÖÇÕ, ÚÕÑ ÎÑÍÂÎËÊÑÄÂÐÐÂâ ÒÎÂÔÕËÚÇÔÍÂâ ÆÇ×ÑÓÏÂÙËâ Ä ÍÑÄÂÎÇÐÕÐÑÔÄâÊÂÐÐÞØ ÂÏÑÓ×ÐÞØ ÕÄÈÓÆÞØ ÕÇÎÂØ ÊÂÒÖÔÍÂÇÕÔâ ÒÑÔÓÇÆÔÕÄÑÏ ÑÆÐÑÄÓÇÏÇÐÐÑÅÑ ÍÑÎÎÇÍÕËÄÐÑÅÑ ÆÄËÉÇÐËâ ÒâÕËÛÇÔÕË ÂÕÑÏÑÄ.
±ÇÓÇÓÂÔÒÓÇÆÇÎÈÐÐÞÇ ÍÎÂÔÕÇÓÞ ÒÓË ÒÎÂÔÕËÚÇÔÍÑÌ ÆÇ×ÑÓÏÂÙËË ÔÑÆÇÓÉÂÕ 100 ë 500 ÂÕÑÏÑÄ [165].±ÎÂÔÕËÚÇÔÍÂâ ÆÇ×ÑÓÏÂÙËâ ÒÑ ÎáÃÑÏÖ ËÊ àÕËØ ÏÇØÂÐËÊÏÑÄ ÕÓÇÃÖÇÕ ÍÑÐÇÚÐÑÅÑ ÑÃÝÈÏ ÂÍÕËÄÂÙËË [163, 165 ë 167].¿ÕÑ ÒÑÆÑÃÐÑ ÔËÕÖÂÙËË, ÍÑÅÆ ÔÕÓÖÍÕÖÓÐÑ-×ÂÊÑÄÞÇ ÒÓÇÄÓÂÜÇÐËâ ÒÓÑËÔØÑÆâÕ Ä ÓÇÊÖÎßÕÂÕÇ ÆÂÄÎÇÐËâ Ä ÐÂÐÑÓÂÊÏÇÓÐÞØ ÏÑÐÑÍÓËÔÕÂÎÎÂØ, ÅÆÇ ÆÂÄÎÇÐËÇ ÒÇÓÇØÑÆ ÖÄÇÎËÚËÄÂÇÕÔâ Ô ÖÏÇÐßÛÇÐËÇÏ ÓÂÊÏÇÓ ÍÓËÔÕÂÎÎÑÄ. °ÃÓÂÕÐÞÌÒÇÓÇØÑÆ ÒÑÔÎÇ ÓÂÊÅÓÖÊÍË ËÏÇÇÕ ØÂÓÂÍÕÇÓ ÅËÔÕÇÓÇÊËÔÂ,ÍÑÕÑÓÞÌ ÖÄÇÎËÚËÄÂÇÕÔâ ÒÓË ÖÏÇÐßÛÇÐËË ÓÂÊÏÇÓ ÍÓËÔÕÂÎÎËÕ [168]. ³ÑÄÇÓÛÇÐÐÑ ÐÇÄÑÊÏÑÉÐÑ ÊÂÒÖÔÍÂÕß ÒÎÂÔÕËÚÇÔÍÖá ÆÇ×ÑÓÏÂÙËá Ä ÒÓÇÆÇÎÂØ ÍÓËÔÕÂÎÎËÕÑÄ ÓÂÊÏÇÓÑÏ Ä ÐÇÔÍÑÎßÍÑ ÐÂÐÑÏÇÕÓÑÄ Ë ÑÆÐÑÅÑ ÏÑÐÑÔÎÑâ Si3N4ËÎË BN "ÍÎÇâ" Ä ÔÕÂÃËÎßÐÞØ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÂØ, ÒÓÑÚÐÑÔÕß ÍÑÕÑÓÞØ ÊÂÕÇÏ ÕÂÍÉÇ ÏÑÅΠÃÞ ÆÑÔÕËÅÐÖÕß "ËÆÇÂÎßÐÑÅÑ" ÊÐÂÚÇÐËâ.¿Õ ËÆÇÂÎßÐÂâ ÒÓÑÚÐÑÔÕß ÔÑÄÇÓÛÇÐÐÞØ ÕÄÈÓÆÞØÄÇÜÇÔÕÄ (ÍÓËÔÕÂÎÎÑÄ ËÎË ÔÕÇÍÑÎ) ØÂÓÂÍÕÇÓËÊÖÇÕÔâ ÄÇÎËÚËÐÑÌ àÐÇÓÅËË ÆÇÍÑÅÇÊËË sc E gs =a0 0;5 (E ì àÕÑ ÏÑÆÖÎßÀÐÅÂ, gs ì àÐÇÓÅËâ РÒÑÄÇÓØÐÑÔÕË, a0 ì ÆÎËÐÂÏÇÉÂÕÑÏÐÞØ ÔÄâÊÇÌ, ÔÏ.
[95], Ô. 239). ªÊ àÕÑÅÑ ÔÑÑÕÐÑÛÇÐËâ ÎÇÅÍÑ ÏÑÉÐÑ ÄÞÚËÔÎËÕß, ÚÕÑ ËÆÇÂÎßÐÂâ ÒÓÑÚÐÑÔÕßÕÄÈÓÆÞØ ÕÇÎ ÆÑÔÕËÅÂÇÕ 20 ë 50 ¤±Â, ÍÂÍ Ð ÔÂÏÑÏ ÆÇÎÇ ËÐÂÃÎáÆÂÇÕÔâ Ä ÔÄÇÉÇÒÓËÅÑÕÑÄÎÇÐÐÞØ ÔÕÇÍÎÑÄÑÎÑÍÐÂØ.¯ÂÒÓËÏÇÓ, ÓÂÔÕâÅËÄÂáÜÇÇ ÐÂÒÓâÉÇÐËÇ ÔÄÇÉÇÒÓËÅÑÕÑÄÎÇÐÐÑÅÑ ÔÕÇÍÎÑÄÑÎÑÍРSiO2 ÆÑÔÕËÅÂÇÕ 24 ¤±Â, ÚÕÑÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÖÇÕ 25 % ÑÕ ÏÑÆÖÎâ ÀÐÅ ([71], Ô.
240). ¡ÖÒÓÖÅÑÇ ÐÂÒÓâÉÇÐËÇ ÄÑÔÔÕÂÐÑÄÎÇÐËâ ËÆÇÂÎßÐÑÅÑ ÕÄÈÓÆÑÅÑ ÄÇÜÇÔÕÄ ÆÑÔÕËÅÂÇÕ 20 % (ÔÏ. [95], Ô. 239; [92, 107] ËÔÔÞÎÍË ÕÂÏ).°ÔÐÑÄÞÄÂâÔß Ð ÖÐËÄÇÓÔÂÎßÐÑÏ ÑÕÐÑÛÇÐËË àÐÇÓÅËËÔÄâÊË UBER [124, 120], ¡ÓÅÑÐ [122] ÑÙÇÐËÎ ÄÇÎËÚËÐÖËÆÇÂÎßÐÑÌ ÒÓÑÚÐÑÔÕË ÔÍÎÇËÄÂÐËâ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄnc-TiN/a-Si3N4 ÍÂÍ 46 ¤±Â Ë ÔÓÂÄÐËÎ ÇÈ Ô ÐÂÒÓâÉÇÐËÇÏÓÂÔÕâÉÇÐËâ 33 ¤±Â, ËÏÇáÜËÏÔâ РÒÇÓË×ÇÓËË ÍÑÐÕÂÍÕÂÏÇÉÆÖ ËÐÆÇÐÕÑÓÑÏ Ë ÒÑÍÓÞÕËâÏË ÒÑÔÎÇ ÏÂÍÔËÏÂÎßÐÑÒÓËÎÑÉÇÐÐÑÌ ÐÂÅÓÖÊÍË 70 ϯ. ±ÓËÏÇÐÇÐËÇ ÂÐÂÎËʤÇÓÙËÂРÆÎâ ËÊÏÇÓÇÐËâ ÐÂÒÓâÉÇÐËâ ÓÂÔÕâÉÇÐËâ ÔÕÈÍÑÎÓÂÐÇÇ ÒÓÑÆÇÏÑÐÔÕÓËÓÑÄÂÎË ¡ÓÅÑÐ Ë ÆÓ. [169].
¥ÂÐÐÂâÒÓÑÙÇÆÖÓ ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÎÂÔß ÒÓË ÑÒÓÇÆÇÎÇÐËË ÐÂÒÓâÉÇÐËâÓÂÔÕâÉÇÐËâ (ÓÂÆËÂÎßÐÑÅÑ) ÆÎâ ÔÄÑÃÑÆÐÑÅÑ ÑÕ ÕÓÇÜËÐËÐÆÇÐÕËÓÑÄÂÐËâ Ä ÓâÆÇ ÓÂÊÎËÚÐÞØ ÔÄÇÓØ- Ë ÖÎßÕÓÂÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÂØ [92]. ²ÂÆËÂÎßÐÑÇ ÓÂÔÕâÅËÄÂáÜÇÇÐÂÒÓâÉÇÐËÇ ÒÓË ÕÂÍÑÏ ËÐÆÇÐÕËÓÑÄÂÐËË, ÍÑÕÑÓÑÇ ÒÓÇÆÔÕÂÄÎâÇÕ ÔÑÃÑÌ ÐËÉÐËÌ ÒÓÇÆÇÎ ÐÂÒÓâÉÇÐËâ ÓÂÔÕâÉÇÐËâÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ, ÆÇÌÔÕÄËÕÇÎßÐÑ, ÆÑÔÕËÅÂÇÕ ËÆÇÂÎßÐÑÅÑÊÐÂÚÇÐËâ, ÓÂÔÔÚËÕÂÐÐÑÅÑ ÆÎâ àÕËØ ÏÂÕÇÓËÂÎÑÄ. ¥ÇÕÂÎßÐÞÌ ÂÐÂÎËÊ ¤ÇÓÙËÂРÓâÆ àÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÂÎßÐÞØ ÍÓËÄÞØËÐÆÇÐÕËÓÑÄÂÐËâ ÆÎâ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ Ë ÂÎÏÂÊ ÒÑÆÕÄÇÓÆËÎ ÔÂÏÑÔÑÅÎÂÔÑÄÂÐÐÑÔÕß ÓÇÊÖÎßÕÂÕÑÄ àÕËØ ËÊÏÇÓÇÐËÌ ËÄÞÔÑÍËØ ÊÐÂÚÇÐËÌ ÕÄÈÓÆÑÔÕË, ÑÃÐÂÓÖÉÇÐÐÞØ ÆÎâ àÕËØÏÂÕÇÓËÂÎÑÄ [92, 107, 108, 122].
²ÇÊÖÎßÕÂÕÞ ÚËÔÎÇÐÐÑÅÑÏÑÆÇÎËÓÑÄÂÐËâ Ô ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÐËÇÏ ÏÇÕÑÆ ÍÑÐÇÚÐÞØ[µ¶¯ 2009àÎÇÏÇÐÕÑÄ ÕÂÍÉÇ ÒÑÆÕÄÇÓÉÆÂáÕ àÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÂÎßÐÞÇ ÆÂÐÐÞÇ [92]. ¥ÓÖÅËÇ ÆÇÕÂÎË ÏÑÉÐÑ ÖÕÑÚÐËÕß Ä ÙËÕËÓÑÄÂÐÐÞØÔÕÂÕßâØ.°ÚÇÐß ÚÂÔÕÑ ÑÃÓÂÜÂáÕÔâ Í ÄÞÔÑÍÑÌ "ÄâÊÍÑÔÕË ÒÓËÓÂÔÕÓÇÔÍËÄÂÐËË" Ä ÆÂÐÐÞØ ÏÂÕÇÓËÂÎÂØ, ÕÂÍ ÍÂÍ ÒÓËÃÑÎßÛËØ ÐÂÅÓÖÊÍÂØ, ÐÂÒÓËÏÇÓ 1000 ϯ, Ä ÒÑÍÓÞÕËËÕÑÎÜËÐÑÌ 6 ë 10 ÏÍÏ Ð ÒÑÆÎÑÉÍÇ ËÊ ÏâÅÍÑÌ ÔÕÂÎË, ÅÆÇÐÂÒÓâÉÇÐËÇ ÆÑÔÕËÅÂÇÕ 20 %, ËÐÆÇÐÕËÓÑÄÂÐËÇ ÐÇ ÄÞÊÞÄÂÇÕ ÆÇ×ÇÍÕÑÑÃÓÂÊÑÄÂÐËâ (ÔÏ.
[107] ÆÎâ ÒÑÆÕÄÇÓÉÆÇÐËâÄÑÔÒÓÑËÊÄÑÆËÏÑÔÕË ÆÂÐÐÞØ ÓÇÊÖÎßÕÂÕÑÄ). £ ÔÎÖÚÂÇ ÔÃÑÎÇÇ ÕÑÐÍËÏ ÒÑÍÓÞÕËÇÏ ÄËÆÐÞ ÕÑÎßÍÑ ÍÓÖÅÑÄÞÇ, ÐÑ ÐÇÓÂÆËÂÎßÐÞÇ ÕÓÇÜËÐÞ ¤ÇÓÙËÂÐÂ, ÍÑÕÑÓÞÇ ÆÑÎÉÐÞ ÃÞÎËÃÞ ÐÂÚËÐÂÕßÔâ ËÊ ÖÅÎÑÄ ÑÃÎÂÔÕË ËÐÆÇÐÕËÓÑÄÂÐËâ. ¿ÕËÒÓËÏÇÓÞ ÒÑÍÂÊÞÄÂáÕ ÐÇÑÃØÑÆËÏÑÔÕß ÕÑÅÑ, ÚÕÑÃÞ ÆÂÐÐÞÇ ÏÂÕÇÓËÂÎÞ ÃÞÎË ÑÚÇÐß ÔÕÑÌÍËÏË Í ØÓÖÒÍÑÏÖ ÓÂÔÕÓÇÔÍËÄÂÐËá. °ÆÐÂÍÑ ÒÓË àÕÑÏ ÐÇ ÒÑÆÓÂÊÖÏÇÄÂÇÕÔâ, ÚÕÑ ÑÐËÆÑÎÉÐÞ ËÏÇÕß ÄÞÔÑÍÖá ÄâÊÍÑÔÕß ÒÓË ÓÂÔÕÓÇÔÍËÄÂÐËË,ÍÑÕÑÓÂâ ÍÑÎËÚÇÔÕÄÇÐÐÑ ÑÒËÔÞÄÂÇÕÔâ ×ÂÍÕÑÓÑÏ ËÐÕÇÐÔËÄÐÑÔÕË ÐÂÒÓâÉÇÐËâ K1 ËÎË ÔÍÑÓÑÔÕßá ÑÔÄÑÃÑÉÆÇÐËâàÐÇÓÅËË.
¥Îâ ÒÓÑÔÕÑÅÑ ÔÎÖÚÂâ ÒÎÑÔÍÑÌ ÕÓÇÜËÐÞ ÓÂÊÏÇÓÑÏ 2a ×ÂÍÕÑÓ ËÐÕÇÐÔËÄÐÑÔÕË ÐÂÒÓâÉÇÐËâ K1 s pa0;5 ,ÅÆÇ s ì àÕÑ ÐÂÒÓâÉÇÐËÇ, ÐÇÑÃØÑÆËÏÑÇ ÆÎâ ÓÂÔÒÓÑÔÕÓÂÐÇÐËâ ÕÓÇÜËÐÞ ÓÂÊÏÇÓÑÏ 2a. ©ÐÂÚÇÐËÇ K1 ÏÑÉÐÑ ËÊÏÇÓËÕßÏÇÕÑÆÑÏ ËÐÆÇÐÕËÓÑÄÂÐËâ, ÍÑÅÆ ÓÂÆËÂÎßÐÞÇ ÕÓÇÜËÐÞ×ÑÓÏËÓÖáÕÔâ РÖÅÎÂØ ËÐÆÇÐÕÂÙËË, ÒÓË ÖÔÎÑÄËË, ÚÕÑÕÑÎÜËРÑÃÓÂÊÙ ÅÑÓÂÊÆÑ ÃÑÎßÛÇ ÆÎËÐÞ ÕÓÇÜËÐ. ¥ÎâÒÑÍÓÞÕËÌ ÒÑÔÎÇÆÐÇÇ ÖÔÎÑÄËÇ ÕÓÖÆÐÑ ÄÞÒÑÎÐËÏÑ.
´ÇÏ ÐÇÏÇÐÇÇ ÑÕÔÖÕÔÕÄËÇ ÓÂÆËÂÎßÐÞØ ÕÓÇÜËÐ ÄÑ ÏÐÑÅËØ àÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÂØ ÒÑ ËÐÆÇÐÕËÓÑÄÂÐËá, Ñ ÍÑÕÑÓÞØ ÔÑÑÃÜÂÎË£ÇÒÓÇÍ Ë ÆÓ., Ä ÍÑÏÃËÐÂÙËË Ô ÄÞÔÑÍËÏ ÐÂÒÓâÉÇÐËÇÏÓÂÔÕâÉÇÐËâ ØÂÓÂÍÕÇÓÐÑ ÆÎâ ÏÂÕÇÓËÂÎÂ, Ä ÍÑÕÑÓÑÏ ÇÔÕßÒÑÓÑÅ ÆÎâ ËÐËÙËËÓÑÄÂÐËâ ÕÓÇÜËÐ [92].¬ÓÑÏÇ ÄÞÔÑÍÑÌ ÔÕÑÌÍÑÔÕË Í ØÓÖÒÍÑÏÖ ÓÂÔÕÓÇÔÍËÄÂÐËá, ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÞ ÆÇÏÑÐÔÕÓËÓÖáÕ ÄÞÔÑÍÑÇ ÄÑÔÔÕÂÐÑÄÎÇÐËÇ àÎÂÔÕËÚÐÑÔÕË (ÆÑ 94 %) ÒÑÔÎÇ ÐÂÅÓÖÊÍË 70 ϯ ìÕÂÏ, ÅÆÇ ÑÃÐÂÓÖÉÇРÐÇ ÊÂÄËÔâÜÂâ ÑÕ ÐÂÅÓÖÊÍË ÕÄÈÓÆÑÔÕßÃÑÎÇÇ 100 ¤±Â [92] Ë ÒÓÇÆÇÎ àÎÂÔÕËÚÐÑÔÕË 5 10 % ÒÑÔÎÇÐÂÅÓÖÊÍË 1000 ϯ. ¯ÂÒÓËÏÇÓ, ÍÑÅÆ ÒÑÍÓÞÕËÇ ÕÑÎÜËÐÑÌ6 ÏÍÏ ÒÓÇÔÔÖÇÕÔâ ÐÂÅÓÖÊÍÑÌ 1000 ϯ ÆÑ ÅÎÖÃËÐÞ 2 ÏÍÏ ÄÒÑÆÎÑÉÍÖ ËÊ ÏâÅÍÑÌ ÔÕÂÎË (HV 1;8 ¤±Â), ÕÑ ÐËÍÂÍËØÕÓÇÜËÐ ÐÇ ÑÃÓÂÊÖÇÕÔâ.
´ÄÈÓÆÑÔÕß ÍÑÏÒÑÊËÕ ÒÑÍÓÞÕËâ ËÒÑÆÎÑÉÍË ÄÔÈ ÇÜÈ ÑÔÕÂÈÕÔâ ÓÂÄÐÑÌ 40 ¤±Â,  ÒÑÔÎÇ ÔÐâÕËâÐÂÅÓÖÊÍË ÒÑÍÓÞÕËÇ ÄÑÔÔÕÂÐÂÄÎËÄÂÇÕÔâ ÒÑÚÕË Ð 10 %,ÐÇÔÏÑÕÓâ РÕÑ, ÚÕÑ ÑÐÑ ÒÓÂÍÕËÚÇÔÍË ÖÆÇÓÉËÄÂÇÕÔâÔÎËÛÍÑÏ ÒÎÂÔÕËÚÇÔÍË ÆÇ×ÑÓÏËÓÑÄÂÐÐÑÌ ÒÑÆÎÑÉÍÑÌ[92]. °ÕÔÖÕÔÕÄËÇ ÍÂÍËØ-ÎËÃÑ ÕÓÇÜËÐ ÆÂÉÇ ÒÑÆ ÒÑÄÇÓØÐÑÔÕßá ÒÑÍÓÞÕËÌ ÕÜÂÕÇÎßÐÑ ÒÓÑÄÇÓâÎÑÔß Ô ÒÑÏÑÜßáÂÐÂÎËÊ ¤ÇÓÙËÂÐÂ Ë ÒÑ ÐÂÃÎáÆÇÐËâÏ ÍÓËÄÞØ ÐÂÅÓÖÉÇÐËâ[107].£ÔÇ àÕË ÔÄÑÌÔÕÄÂ, ÍÂÍ ÒÑÍÂÊÂÐÑ Ä [19], ÔÑÅÎÂÔÖáÕÔâ ÔÑÔÄÑÃÑÆÐÑÌ ÑÕ ÆÇ×ÇÍÕÑÄ ÒÓËÓÑÆÑÌ ÏÂÕÇÓËÂÎÂ. ±ÓÇÆÔÕÂÄËÏ ÔÕÇÍÎÑ Ô ÔÑÄÇÓÛÇÐÐÑÌ ÔÕÓÖÍÕÖÓÑÌ ÃÇÊ ÆÇ×ÇÍÕÑÄ.ªÊÏÇÐÇÐËÇ ÄÐÖÕÓÇÐÐÇÌ àÐÇÓÅËË ËÊ-Ê ÐÂÒÓâÉÇÐËâ ÅÓÖÃÑÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÖÇÕ ËÊÏÇÐÇÐËá àÐÇÓÅËË ÏÇÉÂÕÑÏÐÞØ ÔÄâÊÇÌ,ÒÓÑËÐÕÇÅÓËÓÑÄÂÐÐÑÌ ÒÑ ÄÔÇÏÖ ÑÃÓÂÊÙÖ.
³ÕÑÌÍÑÔÕß ÍÐÂÒÓâÉÇÐËá, Õ.Ç. ÔËΠÓÇÔÕÂÄÓÂÙËË (ÄÑÔÔÕÂÐÑÄÎÇÐËâ),ÍÑÕÑÓÂâ ÆÇÌÔÕÄÖÇÕ ÆÎâ ÒÓËÄÇÆÇÐËâ àÐÇÓÅËË ÔËÔÕÇÏÞ Í ÇÈÏËÐËÏÖÏÖ (ÏÇÉÂÕÑÏÐÞÇ ÓÂÔÔÕÑâÐËâ Ë ÖÅÎÞ ÔÄâÊË ÒÓËÄÑÆâÕÔâ Í ËØ ÓÂÄÐÑÄÇÔÐÞÏ ÊÐÂÚÇÐËâÏ), ÓÂÔÔÏÑÕÓÇÐÂ Ä [19].°ÕÏÇÕËÏ, ÚÕÑ ÔËΠÄÑÔÔÕÂÐÑÄÎÇÐËâ ÇÔÕß ÒÇÓÄÂâ ÒÓÑËÊÄÑÆÐÂâ ÄÐÖÕÓÇÐÐÇÌ àÐÇÓÅËË ÒÓË ÐÂÎËÚËË ÐÂÒÓâÉÇÐËâ.±ÇÓÄÂâ ÒÓÑËÊÄÑÆÐÂâ ÔÕÑÌÍÑÔÕË Í ÓÂÔÕâÉÇÐËá ÒÓË ÐÂÒÓâÉÇÐËË Ä ÓÂÄÐÑÄÇÔËË ì àÕÑ ÏÑÆÖÎß ÀÐÅÂ, Õ.Ç.E d2 U=de2 0 (e ì ÍÑà××ËÙËÇÐÕ ÖÒÓÖÅÑÔÕË). °ÕÏÇÕËÏ,´. 179, å 1]³´²µ¬´µ²¡ ª ³£°«³´£¡ ´£§²¥½· ª ³£¦²·´£§²¥½· ¯¡¯°¬°®±°©ª´¯½· ±°¬²½´ª«ÚÕÑ ÄÇÎËÚËРÏÑÆÖÎâ ÖÒÓÖÅÑÔÕË ÄÑÊÓÂÔÕÂÇÕ ÒÑÔÎÇ ÔÉÂÕËâ(e < 0) Ë ÖÏÇÐßÛÂÇÕÔâ ÒÑÔÎÇ ÓÂÔÕâÉÇÐËâ (e > 0).
®ÂÍÔËÏÂÎßÐÂâ ÔÕÑÌÍÑÔÕß Í ÓÂÔÕâÉÇÐËá ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÖÇÕ ÔËÎÇÆÇÍÑÅÇÊËË sm , ÍÑÕÑÓÂâ ÆÑÔÕËÅÂÇÕÔâ ÒÓË ÏÂÍÔËÏÂÎßÐÑÏÐÂÒÓâÉÇÐËË ÄÑÔÔÕÂÐÑÄÎÇÐËâ (ÒÓÇÆÇÎ ÖÒÓÖÅÑÔÕË) em 15ÿ20 %, ÍÑÅÆ ÒÑÔÎÇ ÄÑÊÆÇÌÔÕÄËâ ÐÂÒÓâÉÇÐËâ ÒÓÑËÔØÑÆËÕ ÓÂÔÒÂÆ ÏÇÉÂÕÑÏÐÞØ ÍÑÄÂÎÇÐÕÐÞØ ÔÄâÊÇÌ [19]. £ÇÔßËÐÕÇÓÄÂÎ 0 < e < em ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÖÇÕ ÑÃÓÂÕËÏÑÌ ÖÒÓÖÅÑÌÆÇ×ÑÓÏÂÙËË, ÑÆÐÂÍÑ âÄÎâÇÕÔâ ÐÇÎËÐÇÌÐÞÏ ËÊ-Ê ÊÂÄËÔËÏÑÔÕË ÖÒÓÖÅËØ ÏÑÆÖÎÇÌ ÑÕ ÐÂÒÓâÉÇÐËâ.ªÊ àÕËØ ÔÑÑÃÓÂÉÇÐËÌ ÔÎÇÆÖÇÕ, ÚÕÑ àÍÔÕÓÂÑÓÆËÐÂÓÐÞÇÏÇØÂÐËÚÇÔÍËÇ ÔÄÑÌÔÕÄ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÔÕÂÃËÎßÐÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ ÏÑÉÐÑ ÒÓÑÔÕÑ ÑÃÝâÔÐËÕß Ä ÕÇÓÏËÐÂØ ÑÃÞÚÐÑÌ ×ËÊËÍË ÓÂÊÎÑÏÑÄ ÆÎâ ÔÄÑÃÑÆÐÞØ ÑÕ ÕÓÇÜËÐ ÏÂÕÇÓËÂÎÑÄ. ³ÄÇÉÇÒÓËÅÑÕÑÄÎÇÐÐÞÇ ÔËÎËÍÑÐÑÄÞÇ ÄÑÎÑÍРËwhiskers (ÐËÕÇÄËÆÐÞÇ ÏÑÐÑÍÓËÔÕÂÎÎÞ Ä ÐÇÔÍÑÎßÍÑ ÐÂÐÑÏÇÕÓÑÄ ÕÑÎÜËÐÑÌ) ÒÑÚÕË ÔÄÑÃÑÆÐÞ ÑÕ ÕÓÇÜËÐ.