Погребняк А.Д., Шпак А.П., Азаренков Н.А., Береснев В.М. Структура и свойства твердых и сверхтвердых нанокомпозитных покрытий (1040991)
Текст из файла
ÁÐÄÂÓß 2009 Å.µ³±¦·ª ¶ª©ª¹¦³¬ª· ¯¡µ¬´ÑÏ 179, å 1°¢©°²½ ¡¬´µ¡¾¯½· ±²°¢¦®³ÕÓÖÍÕÖÓÂ Ë ÔÄÑÌÔÕÄ ÕÄÈÓÆÞØË ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ¡.¥. ±ÑÅÓÇÃÐâÍ, ¡.±. ºÒÂÍ, ¯.¡. ¡ÊÂÓÇÐÍÑÄ, £.®. ¢ÇÓÇÔÐÇÄ°ÃÔÖÉÆÂáÕÔâ ÓÂÊÎËÚÐÞÇ ÒÑÆØÑÆÞ Í ×ÑÓÏËÓÑÄÂÐËá ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ Ô ÄÞÔÑÍÑÌ Ë ÔÄÇÓØÄÞÔÑÍÑÌÕÄÈÓÆÑÔÕßá Ä ÆËÂÒÂÊÑÐÇ ÑÕ 4 30 ÆÑ 100 ë 120 ¤±Â. °ÔÐÑÄÐÑÇ ÄÐËÏÂÐËÇ ÖÆÇÎâÇÕÔâ ÂÐÂÎËÊÖ ÏÇØÂÐËÊÏÑÄÖÄÇÎËÚÇÐËâ ÕÄÈÓÆÑÔÕË Ä ÕÑÐÍËØ (4 10 ÏÍÏ) ÒÑÍÓÞÕËâØ. ²ÂÔÔÏÑÕÓÇÐÑ ÐÇÔÍÑÎßÍÑ ÄÂÓËÂÐÕÑÄ ÒÑÎÖÚÇÐËâÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞØ ÏÐÑÅÑÍÑÏÒÑÐÇÐÕÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ ÏÇÕÑÆÂÏË ÏÂÅÐÇÕÓÑÐÐÑÅÑ ÓÂÔÒÞÎÇÐËâ, ËÑÐÐÑ-ÔÕËÏÖÎËÓÑÄÂÐÐÑÅÑ Ë ÄÂÍÖÖÏÐÑ-ÆÖÅÑÄÑÅÑ ÑÔÂÉÆÇÐËâ.
¥ÂÈÕÔâ ÍÎÂÔÔË×ËÍÂÙËâ ÕÄÈÓÆÞØ Ë ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ ÔÄÞÔÑÍÑÌ ÕÇÓÏËÚÇÔÍÑÌ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕßá. ±ÑÍÂÊÂÐÞ ÄÑÊÏÑÉÐÞÇ ÒÓËÏÇÐÇÐËâ ÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓËÓÑÄÂÐÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ Ë ÐÇÍÑÕÑÓÞÇ ÒÇÓÔÒÇÍÕËÄÞ ÆÂÎßÐÇÌÛÇÅÑ ÓÂÊÄËÕËâ àÕÑÅÑ ÐÂÒÓÂÄÎÇÐËâ.PACS numbers: 61.46.
± w, 62.20.Qp, 62.25. ± g³ÑÆÇÓÉÂÐËÇ1.2.3.4.5.6.7.£ÄÇÆÇÐËÇ (35).¯ÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞÇ ÒÑÍÓÞÕËâ Ô ÒÑÄÞÛÇÐÐÑÌ ÕÄÈÓÆÑÔÕßá (36).2.1. ±ÑÄÞÛÇÐÐÂâ ÕÄÈÓÆÑÔÕß. 2.2. ®ÇØÂÐËÚÇÔÍËÇ ÔÄÑÌÔÕÄ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ. 2.3. ±ÑÄÇÆÇÐËÇ ÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ ÒÓË ÄÞÔÑÍËØ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÂØ. 2.4. £âÊÍÑÔÕß ÕÑÐÍËØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ.¶ËÊËÚÇÔÍËÇ Ë ÏÇØÂÐËÚÇÔÍËÇ ÔÄÑÌÔÕÄ ÐÂÒÞÎÈÐÐÞØ ÒÎÈÐÑÍTa ë Si ë N Ô ÄÞÔÑÍËÏ ÔÑÆÇÓÉÂÐËÇÏ (>40 ÂÕ.%) Si (40).3.1. ³ÍÑÓÑÔÕß ÑÔÂÉÆÇÐËâ ÏÇÕÑÆÑÏ ÏÂÅÐÇÕÓÑÐÐÑÅÑ ÓÂÔÒÞÎÇÐËâ.3.2. ®ÇØÂÐËÚÇÔÍËÇ ÔÄÑÌÔÕÄÂ Ë ÏÂÍÓÑÐÂÒÓâÉÇÐËâ. 3.3. ³ÕÑÌÍÑÔÕß ÍÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá.³ÄâÊß ÖÒÓÖÅÑÐÂÒÓâÉÈÐÐÑÅÑ ÔÑÔÕÑâÐËâ Ô ÆÇ×ÇÍÕÐÑÌ ÔÕÓÖÍÕÖÓÑÌÕÄÈÓÆÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ ÕËÒ nc-TiN ë Cu Ë nc-AlN ë Cu (41).³ÄÇÓØÕÄÈÓÆÞÇ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÞ (44).³ÓÂÄÐÇÐËÇ ÒÑÍÓÞÕËÌ, ÖÒÓÑÚÐÈÐÐÞØ ËÑÐÐÑÌ ÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍÑÌ, ÔÑÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞÏË, ÕÇÓÏËÚÇÔÍË ÔÕÂÃËÎßÐÞÏË ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÂÏË(45).µÔÎÑÄËâ, ÐÇÑÃØÑÆËÏÞÇ ÆÎâ ÒÑÎÖÚÇÐËâ ÒÑÎÐÑÌ ×ÂÊÑÄÑÌ ÔÇÅÓÇÅÂÙËËÒÓË ÐÂÐÇÔÇÐËË ÒÑÍÓÞÕËÌ (46).7.1.
³ÑÒÑÔÕÂÄÎÇÐËÇ ÓÇÊÖÎßÕÂÕÑÄ. 7.2. µÔÎÑÄËâ, ÐÇÑÃØÑÆËÏÞÇ ÆÎâÓÇÂÍÕËÄÐÑÅÑ ÓÂÔÒÞÎÇÐËâ.¡.¥. ±ÑÅÓÇÃÐâÍ, ¡.±. ºÒÂÍ. ªÐÔÕËÕÖÕ ÏÇÕÂÎÎÑ×ËÊËÍËËÏ. ¤.£. ¬ÖÓÆáÏÑÄ ¯¡¯ µÍÓÂËÐÞ,¢ÖÎßÄÂÓ ÂÍ. £ÇÓÐÂÆÔÍÑÅÑ 36, 252680 ¬ËÇÄ, µÍÓÂËÐÂ,´ÇÎ. +38(054) 278-39-86, +38(068) 160-69-89,E-mail: apogrebnjak@simp.sumy.ua, alexp@i.ua¯.¡. ¡ÊÂÓÇÐÍÑÄ, £.®.
¢ÇÓÇÔÐÇÄ. ·ÂÓßÍÑÄÔÍËÌ ÐÂÙËÑÐÂÎßÐÞÌÖÐËÄÇÓÔËÕÇÕ ËÏ. £.¯. ¬ÂÓÂÊËÐÂ,ÒÎ. ³ÄÑÃÑÆÞ 4, 61077 ·ÂÓßÍÑÄ, µÍÓÂËдÇÎ. +38(057) 720-32-52, +38(050) 641-60-35, +38(057) 706-33-35E-mail: scpt@bi.com.ua; azarenkov@univer.kharkov.ua³ÕÂÕßâ ÒÑÔÕÖÒËΠ14 ×ÇÄÓÂÎâ 2008 Å.,ÒÑÔÎÇ ÆÑÓÂÃÑÕÍË 3 ËáÎâ 2008 Å.3*DOI: 10.3367/UFNr.0179.200901b.00358.9.³ÄÇÓØÕÄÈÓÆÞÇ ÒÑÍÓÞÕËâ Ô ÕÄÈÓÆÑÔÕßá 80 ë 100 ¤±Â (49).³ÄÑÌÔÕÄ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ (50).9.1. ¥ÑÎÅÑÄÓÇÏÇÐÐÂâ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕß Ð ÄÑÊÆÖØÇ ÒÓË ÍÑÏÐÂÕÐÑÌÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ.
9.2. ´ÇÓÏËÚÇÔÍÂâ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕß Ë "ÔÂÏÑÖÒÓÑÚÐÇÐËÇ" ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ. 9.3. ³ÕÑÌÍÑÔÕß Í ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá.9.4. ®ÑÓ×ÑÎÑÅËâ Ë ÏËÍÓÑÔÕÓÖÍÕÖÓÂ.10. ®ÇØÂÐËÚÇÔÍËÇ ÔÄÑÌÔÕÄ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ (55).11. ¡ÆÅÇÊËÑÐÐÂâ ÒÓÑÚÐÑÔÕß Ë ÓÂÊÓÖÛÇÐËÇ ÏÐÑÅÑÍÑÏÒÑÐÇÐÕÐÞØ ÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ ÒÓË ÙÂÓÂÒÂÐËË (59).12. ±ÇÓÔÒÇÍÕËÄÞ ÒÓËÏÇÐÇÐËâ (60).13. ©ÂÍÎáÚÇÐËÇ (61).³ÒËÔÑÍ ÎËÕÇÓÂÕÖÓÞ (61).1. £ÄÇÆÇÐËÇ°ÆÐËÏ ËÊ ÒÓËÑÓËÕÇÕÐÞØ ÐÂÒÓÂÄÎÇÐËÌ ÔÑÄÓÇÏÇÐÐÑÌÐÂÖÍË Ë ÕÇØÐËÍË âÄÎâÇÕÔâ ÓÂÊÓÂÃÑÕÍ ÐÑÄÞØ ÏÂÕÇÓËÂÎÑÄ, Ä ÚÂÔÕÐÑÔÕË, ÔÑÊÆÂÐËÇ ÏÐÑÅÑÍÑÏÒÑÐÇÐÕÐÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ Ô ØÂÓÂÍÕÇÓÐÞÏ ÓÂÊÏÇÓÑÏ ÊÇÓÐÂÏÇÐÇÇ 100 ÐÏ. °ÉËÆÂÇÕÔâ, ÚÕÑ ÑÔÐÑÄÐÑÌ ÆÄËÉÖÜÇÌ ÔËÎÑÌÐÂÖÚÐÑ-ÕÇØÐËÚÇÔÍÑÅÑ ÓÂÊÄËÕËâ Í ÔÇÓÇÆËÐÇ XXI ÄÇÍÂÔÕÂÐÇÕ ÐÂÐÑÕÇØÐÑÎÑÅËâ. ³ÖÜÐÑÔÕß ÐÂÐÑÕÇØÐÑÎÑÅËÌÔÑÔÕÑËÕ Ä ËØ ÔÒÑÔÑÃÐÑÔÕË ÓÂÃÑÕÂÕß Ð ÂÕÑÏÐÑÏ, ÏÑÎÇÍÖÎâÓÐÑÏ Ë ÐÂÆÏÑÎÇÍÖÎâÓÐÑÏ ÖÓÑÄÐâØ, Ä ËÐÕÇÓÄÂÎÇ ÓÂÊÏÇÓÑÄ ÑÕ 1 ÆÑ 50 ÐÏ, ÆÎâ ÕÑÅÑ ÚÕÑÃÞ ÔÑÊÆÂÄÂÕß, ÑÃÓÂÃÂÕÞÄÂÕß Ë ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÕß ÏÂÕÇÓËÂÎÞ, ÖÔÕÓÑÌÔÕÄ ËÔËÔÕÇÏÞ, ÑÃÎÂÆÂáÜËÇ ÐÑÄÞÏË ÔÄÑÌÔÕÄÂÏË Ë ×ÖÐÍÙËÑÐÂÎßÐÞÏË ÄÑÊÏÑÉÐÑÔÕâÏË ÃÎÂÅÑÆÂÓâ ÏÂÎÑÏÖ ÓÂÊÏÇÓÖàÎÇÏÇÐÕÑÄ ËØ ÔÕÓÖÍÕÖÓÞ [1 ë 5].
³ ×ËÊËÚÇÔÍÑÌ ÕÑÚÍËÊÓÇÐËâ ÒÇÓÇØÑÆ Í ÐÂÐÑÔÑÔÕÑâÐËá ÔÄâÊÂÐ Ô ÒÑâÄÎÇÐËÇÏÓÂÊÏÇÓÐÞØ à××ÇÍÕÑÄ, ÒÑÆ ÍÑÕÑÓÞÏË ÔÎÇÆÖÇÕ ÒÑÐËÏÂÕßÍÑÏÒÎÇÍÔ âÄÎÇÐËÌ, ÑÃÖÔÎÑÄÎÇÐÐÞØ ËÊÏÇÐÇÐËÇÏ ÔÄÑÌÔÕÄÄÇÜÇÔÕÄ ÄÔÎÇÆÔÕÄËÇ ÔÑÄÒÂÆÇÐËâ ÓÂÊÏÇÓ ÃÎÑÍ ÏËÍÓÑÔÕÓÖÍÕÖÓÞ Ë ÐÇÍÑÕÑÓÑÌ ÍÓËÕËÚÇÔÍÑÌ ÆÎËÐÞ, ØÂÓÂÍÕÇÓËÊÖáÜÇÌ ÆÂÐÐÑÇ âÄÎÇÐËÇ (ÆÎËРÔÄÑÃÑÆÐÑÅÑ ÒÓÑÃÇÅÂàÎÇÍÕÓÑÐÑÄ Ë ×ÑÕÑÐÑÄ, ÕÑÎÜËРÔÕÇÐÍË ÆÑÏÇÐÑÄ, ÍÓËÕËÚÇÔÍËÌ ÓÂÆËÖÔ ÆËÔÎÑÍÂÙËÑÐÐÑÌ ÒÇÕÎË Ë ÆÓ.).# ¡.¥.
±ÑÅÓÇÃÐâÍ, ¡.±. ºÒÂÍ, ¯.¡. ¡ÊÂÓÇÐÍÑÄ, £.®. ¢ÇÓÇÔÐÇÄ 200936¡.¥. ±°¤²¦¢¯Á¬, ¡.±. º±¡¬, ¯.¡. ¡©¡²¦¯¬°£, £.®. ¢¦²¦³¯¦£²ÂÊÏÇÓÐÞÇ à××ÇÍÕÞ ÒÓÑâÄÎâáÕÔâ, ÍÑÅÆ ÔÓÇÆÐËÌÓÂÊÏÇÓ ÍÓËÔÕÂÎÎËÚÇÔÍËØ ÊÈÓÇÐ ÔÑÔÕÂÄÎâÇÕ ÏÇÐÇÇ 50 ÐÏ, ËÐÂËÃÑÎÇÇ ÑÕÚÇÕÎËÄÑ ÐÂÃÎáÆÂáÕÔâ, ÍÑÅÆ ÓÂÊÏÇÓ ÊÈÓÇÐÒÓËÃÎËÉÂÇÕÔâ Í ÄÇÎËÚËÐÇ ÏÇÐÇÇ 10 ÐÏ. £ ÕÂÃÎËÙÇ 1ÒÓÇÆÔÕÂÄÎÇÐÞ ÐÇÍÑÕÑÓÞÇ ÓÂÊÏÇÓÐÑ-ÊÂÄËÔËÏÞÇ ÔÄÑÌÔÕÄÂÏÂÕÇÓËÂÎÑÄ [6 ë 10].
£ àÕÑÌ ÔÄâÊË ÐÂÐÑÏÂÕÇÓËÂÎÞ ÏÑÉÐÑÍÎÂÔÔË×ËÙËÓÑÄÂÕß ÒÑ ÅÇÑÏÇÕÓËÚÇÔÍÑÌ ×ÑÓÏÇ Ë ÓÂÊÏÇÓÖÔÕÓÖÍÕÖÓÐÞØ àÎÇÏÇÐÕÑÄ, ËÊ ÍÑÕÑÓÞØ ÑÐË ÔÑÔÕÑâÕ. °ÔÐÑÄÐÞÏË ÕËÒÂÏË ÐÂÐÑÏÂÕÇÓËÂÎÑÄ ÒÑ ÓÂÊÏÇÓÖ ÊÈÓÇÐ âÄÎâáÕÔâ ÍÎÂÔÕÇÓÐÞÇ ÏÂÕÇÓËÂÎÞ, ÄÑÎÑÍÑÐÐÞÇ ÏÂÕÇÓËÂÎÞ,ÒÎÈÐÍË Ë ÒÑÍÓÞÕËâ, ÏÐÑÅÑÔÎÑÌÐÞÇ (ÏÐÑÅÑÍÑÏÒÑÐÇÐÕÐÞÇ) ÔÕÓÖÍÕÖÓÞ,  ÕÂÍÉÇ ÑÃÝÈÏÐÞÇ ÐÂÐÑÍÓËÔÕÂÎÎËÚÇÔÍËÇÏÂÕÇÓËÂÎÞ, ÊÇÓРÍÑÕÑÓÞØ ËÏÇáÕ ÐÂÐÑÏÇÕÓÑÄÞÇ ÓÂÊÏÇÓÞ ÄÑ ÄÔÇØ ÕÓÈØ ÐÂÒÓÂÄÎÇÐËâØ [1 ë 19].±ÑÔÍÑÎßÍÖ Ä ÆÂÐÐÑÏ ÑÃÊÑÓÇ ÏÞ ÑÔÕÂÐÂÄÎËÄÂÇÏÔâ ÐÂÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËâØ Ô ÄÞÔÑÍÑÌ ÕÄÈÓÆÑÔÕßá, ÕÑÒÓÇÉÆÇ ÄÔÇÅÑ ÐÇÑÃØÑÆËÏÑ ÑÕÏÇÕËÕß ÖÐËÍÂÎßÐÑÔÕß àÕËØÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓËÓÑÄÂÐÐÞØ Ë ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ,ÍÑÕÑÓÂâ ÊÂÍÎáÚÂÇÕÔâ Ä ÄÞÔÑÍÑÌ ÑÃÝÈÏÐÑÌ ÆÑÎÇ ÅÓÂÐËÙÓÂÊÆÇΠ×ÂÊ Ë ËØ ÒÓÑÚÐÑÔÕË, Ä ÑÕÔÖÕÔÕÄËË ÆËÔÎÑÍÂÙËÌÄÐÖÕÓË ÍÓËÔÕÂÎÎËÕÑÄ Ë ÄÑÊÏÑÉÐÑÔÕË ËÊÏÇÐÇÐËâ ÔÑÑÕÐÑÛÇÐËâ ÑÃÝÈÏÐÞØ ÆÑÎÇÌ ÍÓËÔÕÂÎÎËÚÇÔÍÑÌ Ë ÂÏÑÓ×ÐÑÌ×ÂÊ,  ÕÂÍÉÇ ÄÊÂËÏÐÑÌ ÓÂÔÕÄÑÓËÏÑÔÕË ÏÇÕÂÎÎËÚÇÔÍËØ ËÐÇÏÇÕÂÎÎËÚÇÔÍËØ ÍÑÏÒÑÐÇÐÕÑÄ [7 ë 12].
´ÂÍ, ÐÂÒÓËÏÇÓ,ÐÂÎËÚËÇ ÃÑÎßÛÑÌ ÒÎÑÜÂÆË ÓÂÊÆÇΠ×ÂÊ (ÑÃÝÈÏÐÂâ ÆÑÎâÍÑÕÑÓÞØ ÏÑÉÇÕ ÆÑÔÕËÅÂÕß 4 50 %) Ä ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞØÒÑÍÓÞÕËâØ Ë ÒÎÈÐÍÂØ ÒÑÊÄÑÎâÇÕ ÔÖÜÇÔÕÄÇÐÐÑ ËÊÏÇÐâÕß ËØÔÄÑÌÔÕÄ ÍÂÍ ÒÖÕÇÏ ÏÑÆË×ËÍÂÙËË ÔÕÓÖÍÕÖÓÞ Ë àÎÇÍÕÓÑÐÐÑÅÑ ÔÕÓÑÇÐËâ, ÕÂÍ Ë Ê ÔÚÇÕ ÎÇÅËÓÑÄÂÐËâ ÓÂÊÎËÚÐÞÏËàÎÇÏÇÐÕÂÏË [1 ë 4, 7, 19]. ±ÓÑÚÐÑÔÕß ÅÓÂÐËÙ ÓÂÊÆÇÎÂÔÒÑÔÑÃÔÕÄÖÇÕ ÖÄÇÎËÚÇÐËá ÔÕÑÌÍÑÔÕË ÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓËÓÑÄÂÐÐÞØ (ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞØ) ÒÑÍÓÞÕËÌ Í ÆÇ×ÑÓÏÂÙËË.°ÕÔÖÕÔÕÄËÇ ÆËÔÎÑÍÂÙËÌ ÄÐÖÕÓË ÍÓËÔÕÂÎÎËÕÑÄ ÖÄÇÎËÚËÄÂÇÕ ÖÒÓÖÅÑÔÕß ÒÑÍÓÞÕËÌ. °ÕÏÇÚÇÐÐÞÇ ÔÄÑÌÔÕÄ ÒÑÊÄÑÎâáÕ ÒÑÎÖÚÂÕß Ð ÑÔÐÑÄÇ ÆÂÐÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞÇ ÏÂÕÇÓËÂÎÞ Ô ÖÎÖÚÛÇÐÐÞÏË ×ËÊËÍÑ-ØËÏËÚÇÔÍËÏËË ×ËÊËÍÑ-ÏÇØÂÐËÚÇÔÍËÏË ÔÄÑÌÔÕÄÂÏË, ÕÂÍËÏË ÍÂÍ ÄÞÔÑÍÂâ ÕÄÈÓÆÑÔÕß (H > 40 ¤±Â), ÖÒÓÖÅÑÇ ÄÑÔÔÕÂÐÑÄÎÇÐËÇ(We > 70 %), ÒÓÑÚÐÑÔÕß, ÉÂÓÑ- Ë ÍÑÓÓÑÊËÑÐÐÂâ ÔÕÑÌÍÑÔÕß [7, 12, 13 ë 17].
°ÚÇÐß ÄÂÉÐÑÌ ÑÔÑÃÇÐÐÑÔÕßá ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ âÄÎâÇÕÔâ ÕÑ, ÚÕÑÏÂÕÇÓËÂÎÞ Ô ÑÆËÐÂÍÑÄÑÌ ÕÄÈÓÆÑÔÕßá ÏÑÅÖÕ ÓÂÊÎËÚÂÕßÔâÒÑ ÄÇÎËÚËÐÇ ÏÑÆÖÎâ ÖÒÓÖÅÑÔÕË (E ),  ÕÂÍÉÇ ÒÑ ÔÕÑÌÍÑÔÕËÍ ÖÒÓÖÅÑÌ ÆÇ×ÑÓÏÂÙËË ÓÂÊÓÖÛÇÐËâ (H=E ) Ë ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËá ÒÎÂÔÕËÚÇÔÍÑÌ ÆÇ×ÑÓÏÂÙËË (H 3 =E 2 ) (ÔÏ., ÐÂÒÓËÏÇÓ,ÓÂÃÑÕÞ [5 ë 12, 18]).´ÂÃÎËÙ 1. ²ÂÊÏÇÓÐÂâ ÊÂÄËÔËÏÑÔÕß ×ËÊËÚÇÔÍËØ ÔÄÑÌÔÕÄ ÏÂÕÇÓËÂÎÑijÄÑÌÔÕÄ°ÕÍÎËÍ ÏÂÕÇÓËÂΠРÖÏÇÐßÛÇÐËÇ ÓÂÊÏÇÓ ÊÇÓдÇÓÏËÚÇÔÍËDZÑÐËÉÇÐËÇ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÞ ×ÂÊÑÄÞØ ÒÇÓÇØÑÆÑÄ, ÄÕÑÏ ÚËÔÎÇ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÞ ÒÎÂÄÎÇÐËâ¬ËÐÇÕËÚÇÔÍËÇ¡ÐÑÏÂÎßÐÑ ÄÞÔÑÍËÇ ÊÐÂÚÇÐËâ ÍÑà××ËÙËÇÐÕÑÄÆË××ÖÊËË, ÔÐËÉÇÐËÇ ÕÇÒÎÑÒÓÑÄÑÆÐÑÔÕË¿ÎÇÍÕÓËÚÇÔÍËÇ¢ÑÎÇÇ ÄÞÔÑÍÂâ àÎÇÍÕÓÑÒÓÑÄÑÆÐÑÔÕß ÍÇÓÂÏËÍË,ÃÑÎÇÇ ÄÞÔÑÍÑÇ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËÇ ÏÇÕÂÎÎÑÄ®ÂÅÐËÕÐÞÇ£ÑÊÓÂÔÕÂÐËÇ ÍÑàÓÙËÕËÄÐÑÌ ÔËÎÞ®ÇØÂÐËÚÇÔÍËdzÐËÉÇÐËÇ ÏÑÆÖÎÇÌ ÖÒÓÖÅÑÔÕË; ÒÑÄÞÛÇÐËÇ ÒÓÇÆÇΠÕÇÍÖÚÇÔÕË, ÕÄÈÓÆÑÔÕË, ÄâÊÍÑÔÕË ÒÓË ÓÂÊÓÖÛÇÐËË, ËÊÐÑÔÑÔÕÑÌÍÑÔÕË; ÒÓÑâÄÎÇÐËÇ ÔÄÇÓØÒÎÂÔÕËÚÐÑÔÕË ÒÓË ÄÞÔÑÍËØ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÂØ[µ¶¯ 2009nc-TiSi2ÃÂnc-TiN1ÿ2 ÐÏ3ÿ10 ÐÏ21a-Si3N4²ËÔ.
1. (Â) ªÆÇÂÎËÊËÓÑÄÂÐÐÑÇ ÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓËÓÑÄÂÐÐÑÇ ÒÑÍÓÞÕËÇ [7]ÔÑÅÎÂÔÐÑ ÕÇÑÓËË £ÇÒÓÇÍÂ Ë ÆÓ. Ë (Ã) ÔØÇÏÂÕËÚÇÔÍÑÇ ËÊÑÃÓÂÉÇÐËÇÔÕÓÑÇÐËâ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ nc-TiN/a-Si3N4/nc-TiSi2 [127].£ÇÒÓÇÍ Ô ÔÑÕÓÖÆÐËÍÂÏË [19] ÒÓÇÆÎÑÉËÎË ÍÑÐÙÇÒÙËáÔÑÊÆÂÐËâ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÓËÔÕÂÎÎËÚÇÔÍËØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ, ÔÑÅÎÂÔÐÑ ÍÑÕÑÓÑÌ ÕÂÍËÇ ÒÑÍÓÞÕËâÆÑÎÉÐÞ ÔÑÔÕÑâÕß ËÊ ÔÄÑÃÑÆÐÞØ ÑÕ ÆËÔÎÑÍÂÙËÌ ÐÂÐÑÍÓËÔÕÂÎÎËÕÑÄ (ÕÄÈÓÆÞØ ×ÂÊ) ÓÂÊÏÇÓÑÏ 3 ë 10 ÐÏ, ÓÂÊÆÇÎÇÐÐÞØÒÓÑÔÎÑÌÍÑÌ ÂÏÑÓ×ÐÑÌ ×ÂÊÞ ÓÂÊÏÇÓÑÏ 1 ë 3 ÐÏ. ªÆÇÂÎËÊËÓÑÄÂÐÐÂâ ÏÑÆÇÎß ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÑÅÑ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÑÅÑÒÑÍÓÞÕËâ ÒÑÍÂÊÂРРÓËÔ.
1 [7]; РÓËÔ. 1à ÒÓÇÆÔÕÂÄÎÇÐÑÔØÇÏÂÕËÚÇÔÍÑÇ ËÊÑÃÓÂÉÇÐËÇ ÑÆÐÑÅÑ ËÊ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄÔËÔÕÇÏÞ Ti ë Si ë N (ÔÏ. ÔÔÞÎÍÖ Ä ÓÂÃÑÕÇ [9]).¯ÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕ ÔÑÔÕÑËÕ ËÊ ÏÂÕÓËÙÞ ÂÏÑÓ×ÐÑÅÑ ÐËÕÓËÆ ÍÓÇÏÐËâ Si3N4 [19] Ô ÄÍÎáÚÇÐËâÏË ÐÂÐÑÍÓËÔÕÂÎÎËÕÑÄ TiN Ë ÄÞÆÇÎÇÐËâÏË TiSi2 РÕÓÑÌÐÞØ ÔÕÞÍÂØ ÊÈÓÇÐÐËÕÓËÆ ÕËÕÂÐÂ, ÒÓË àÕÑÏ ÆÂÐÐÞÇ ÄÞÆÇÎÇÐËâ ÏÑÅÖÕ ÃÞÕßÍÂÍ ÐÂÐÑÍÓËÔÕÂÎÎËÚÇÔÍËÏË, ÕÂÍ Ë ÂÏÑÓ×ÐÞÏË [4, 7, 18,19]. ¯ÇÑÃØÑÆËÏÑ ÑÕÏÇÕËÕß, ÚÕÑ Í ÐÂÐÑÏÂÕÇÓËÂÎÂÏ ÐÇÔÎÇÆÖÇÕ ÑÕÐÑÔËÕß ÕÓÂÆËÙËÑÐÐÞÇ ÆËÔÒÇÓÔÐÑ-ÖÒÓÑÚÐÈÐÐÞÇ ÔÒÎÂÄÞ, Ä ÔÕÓÖÍÕÖÓÇ ÍÑÕÑÓÞØ ËÏÇáÕÔâ ÏÇÎÍËÇÚÂÔÕËÙÞ ÐÂÐÑÏÇÕÓÑÄÞØ ÓÂÊÏÇÓÑÄ, ÑÃÝÈÏÐÂâ ÆÑÎâ ÍÑÕÑÓÞØ ÔÑÔÕÂÄÎâÇÕ ÄÔÇÅÑ ÎËÛß 5 ë 20 % [15 ë 18].´ÂÍËÏ ÑÃÓÂÊÑÏ, ÙÇÎßá ÆÂÐÐÑÅÑ ÑÃÊÑÓ âÄÎâÇÕÔâÆÇÏÑÐÔÕÓÂÙËâ ÓÂÊÎËÚÐÞØ ÒÑÆØÑÆÑÄ Í ÑÃÓÂÊÑÄÂÐËá ÕÄÈÓÆÞØ Ë ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ, ËØ ÂÐÂÎËÊ Ô ÕÑÚÍË ÊÓÇÐËâÑÃÜËØ ÊÂÍÑÐÑÏÇÓÐÑÔÕÇÌ ÒÑÎÖÚÇÐËâ, ËÊÖÚÇÐËâ ×ËÊËÍÑØËÏËÚÇÔÍËØ Ë ×ËÊËÍÑ-ÏÇØÂÐËÚÇÔÍËØ ÔÄÑÌÔÕÄ,  ÕÂÍÉÇÄÑÊÏÑÉÐÑÌ ÒÇÓÔÒÇÍÕËÄÞ ËØ ÒÓËÏÇÐÇÐËâ.2.
¯ÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞÇ ÒÑÍÓÞÕËâÔ ÒÑÄÞÛÇÐÐÑÌ ÕÄÈÓÆÑÔÕßá¯ÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞÇ ÒÑÍÓÞÕËâ ÒÓÇÆÔÕÂÄÎâáÕ ÔÑÃÑÌ ÐÑÄÖáÅÇÐÇÓÂÙËá ÏÂÕÇÓËÂÎÑÄ. °ÐË ÔÑÔÕÑâÕ, ÍÂÍ ÏËÐËÏÖÏ, ËÊÆÄÖØ ×ÂÊ Ô ÐÂÐÑÍÓËÔÕÂÎÎËÚÇÔÍÑÌ Ë/ËÎË ÂÏÑÓ×ÐÑÌ ÔÕÓÖÍÕÖÓÑÌ. ¯ÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞÇ ÏÂÕÇÓËÂÎÞ ÄÔÎÇÆÔÕÄËÇ ÏÂÎÑÅÑ( 4 10 ÐÏ) ÓÂÊÏÇÓ ÊÈÓÇÐ, ËÊ ÍÑÕÑÓÞØ ÑÐË ÔÑÔÕÑâÕ, ËÃÑÎÇÇ ÊÐÂÚËÏÑÌ ÓÑÎË ÅÓÂÐËÚÐÞØ ÊÑÐ, ÑÍÓÖÉÂáÜËØÑÕÆÇÎßÐÞÇ ÊÇÓÐÂ, ÄÇÆÖÕ ÔÇÃâ ÒÑ-ÓÂÊÐÑÏÖ ÒÑ ÔÓÂÄÐÇÐËá ÔÑÃÞÚÐÞÏË ÏÂÕÇÓËÂÎÂÏË Ô ÓÂÊÏÇÓÂÏË ÊÈÓÇÐ ÃÑÎÇÇ 100 ÐÏË ÆÇÏÑÐÔÕÓËÓÖáÕ ÔÑÄÇÓÛÇÐÐÑ ËÐÞÇ ÔÄÑÌÔÕÄÂ. ¯ÑÄÞÇÖÐËÍÂÎßÐÞÇ ×ËÊËÚÇÔÍËÇ Ë ×ÖÐÍÙËÑÐÂÎßÐÞÇ ÔÄÑÌÔÕÄÂÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ âÄÎâáÕÔâ ÆÄËÉÖÜÇÌ ÔËÎÑÌ ÃÖÓÐÑÅÑÓÂÊÄËÕËâ àÕËØ ÏÂÕÇÓËÂÎÑÄ [20 ë 30]. £ ÐÂÔÕÑâÜÇÇ ÄÓÇÏâÒÓËÐâÕÑ ÔÚËÕÂÕß ÕÄÈÓÆÞÏË Ë ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞÏË ÒÎÈÐÍË ÔÕÄÈÓÆÑÔÕßá H 4 40 ¤±Â Ë H 5 40 ¤±Â ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÇÐÐÑ.ªÊÄÇÔÕÐÑ, ÚÕÑ ÔÖÜÇÔÕÄÖáÕ ÆÄÇ ÅÓÖÒÒÞ ÕÄÈÓÆÞØ ËÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ: nc-MeH/ÕÄÈÓÆÂâ ×ÂÊ Ënc-MeH/ÏâÅÍÂâ ×ÂÊÂ.
¬ÓÑÏÇ ÕÑÅÑ, Ä ÐÂÐÑÍÓËÔÕÂÎÎËÚÇÔÍËØ Ë/ËÎË ÂÏÑÓ×ÐÞØ ×ÂÊÂØ ÏÑÉÐÑ ÄÞÆÇÎËÕß ÆÄÖØÍÓËÔÕÂÎÎÑ×ÂÊÐÞÇ Ë/ËÎË ×ÂÊÞ Ô ÆÄÖÏâ ÍÓËÔÕÂÎÎÑÅÓÂ×ËÚÇÔ-´. 179, å 1]ÍËÏË ÑÓËÇÐÕÂÙËâÏË ÊÈÓÇÐ ÑÆÐÑÅÑ Ë ÕÑÅÑ ÉÇ ÏÂÕÇÓËÂÎÂ.ªÏÇÇÕÔâ ÑÅÓÑÏÐÂâ ÓÂÊÐËÙÂ Ä ÏËÍÓÑÔÕÓÖÍÕÖÓÇ ÑÆÐÑ- ËÆÄÖØ×ÂÊÐÞØ ÒÎÈÐÑÍ. ³ ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÐËÇÏ àÕËØ ÔÄÇÆÇÐËÌÃÞΠÓÂÊÓÂÃÑÕÂРÍÑÐÙÇÒÙËâ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ Ô ÒÑÄÞÛÇÐÐÑÌ ÕÄÈÓÆÑÔÕßá. °ÔÕÂÐÑÄËÏÔâ РÍÑÐÙÇÒÙËË, ÍÑÕÑÓÑÌ ÒÓËÆÇÓÉËÄÂáÕÔâ ®ÖÔËÎ Ô ÔÑÂÄÕÑÓÂÏË [28 ë 38]. ¿ÕÂÍÑÐÙÇÒÙËâ ÑÔÐÑÄÂРРÖÚÇÕÇ ÄÎËâÐËâ ÅÇÑÏÇÕÓËË ÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓÐÞØ ÑÔÑÃÇÐÐÑÔÕÇÌ, Õ.Ç. ÓÂÊÏÇÓ ÊÈÓÇÐ Ë ×ÑÓÏÞÍÓËÔÕÂÎÎËÕÑÄ.2.1. ±ÑÄÞÛÇÐÐÂâ ÕÄÈÓÆÑÔÕß2.1.1. ®ÇØÂÐËÊÏÞ ÒÑÄÞÛÇÐËâ ÕÄÈÓÆÑÔÕË.
°ÔÐÑÄÐÞÇ ×ÂÍÕÑÓÞ, ÑÒÓÇÆÇÎâáÜËÇ ÒÑÄÞÛÇÐÐÖá ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓ H, ì àÕÑ ÒÎÂÔÕËÚÇÔÍÂâ ÆÇ×ÑÓÏÂÙËâ Ô ÆÑÏËÐËÓÖáÜÇÌÓÑÎßá ÆËÔÎÑÍÂÙËÌ, ÔËÎÞ ÔÙÇÒÎÇÐËâ ÏÇÉÆÖ ÂÕÑÏÂÏË,ÔÉËÏÂáÜËÇ ÏÂÍÓÑÐÂÒÓâÉÇÐËâ s, ÅÇÐÇÓËÓÖÇÏÞÇ Ä ÒÎÈÐÍÂØ Ä ÒÓÑÙÇÔÔÇ ËØ ×ÑÓÏËÓÑÄÂÐËâ. £ÑÊÐËÍÐÑÄÇÐËÇ ÏÂÍÓÑÐÂÒÓâÉÇÐËÌ ÐÇÉÇÎÂÕÇÎßÐÑ Ë ÏÑÉÇÕ ÃÞÕß ËÔÍÎáÚÇÐÑÒÖÕÇÏ ÕÜÂÕÇÎßÐÑÅÑ ÍÑÐÕÓÑÎâ ÒÂÓÂÏÇÕÓÑÄ ÐÂÐÇÔÇÐËâÒÑÍÓÞÕËÌ.
Характеристики
Тип файла PDF
PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.
Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
