Погребняк А.Д., Шпак А.П., Азаренков Н.А., Береснев В.М. Структура и свойства твердых и сверхтвердых нанокомпозитных покрытий, страница 11

[145] ÔÑÑÃÜÂÎË ÑÄÓÇÏÇÐÐÑÏ ÔÂÏÑÖÒÓÑÚÐÇÐËË ÒÑÔÎÇ ÐÂÚÂÎßÐÑÌ ÔÕÂÆËËÓÂÊÎÑÉÇÐËâ …Ti1ÿx Alx †N, ÍÑÕÑÓÑÇ ÒÓÑËÔØÑÆËÕ ÚÇÓÇÊ ×ÑÓÏËÓÑÄÂÐËÇ ÒÓÑÏÇÉÖÕÑÚÐÑÌ ÏÇÕÂÔÕÂÃËÎßÐÑÌ ÍÖÃËÚÇÔÍÑÌ×ÂÊÞ c-AlN ÒÓË ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ ÑÍÑÎÑ 800 ë 900 C. ¶ÂÊ cAlN ×ÑÓÏËÓÖÇÕÔâ ÔÒËÐÑÆÂÎßÐÞÏ ÓÂÊÎÑÉÇÐËÇÏ ÒÇÓÇÐÂÔÞÜÇÐÐÑÅÑ ÕÄÈÓÆÑÅÑ ÓÂÔÕÄÑÓ …Ti1ÿx Alx †N РÒÑÄÇÓØÐÑÔÕË ÍÓËÔÕÂÎÎÑÄ ¤¸¬-TiN. ±ÑÔÎÇ ÆÂÎßÐÇÌÛÇÅÑ ÑÕÉËÅ ÆÑ> 900 C ÓÂÔÕÄÑÓ ÓÂÊÓÖÛÂÇÕÔâ ÆÑ h-AlN Ë ÒÑÍÓÞÕËÇÓÂÊÏâÅÚÂÇÕÔâ.¬ÂÍ ÔÎÇÆÖÇÕ ËÊ ÓÇÊÖÎßÕÂÕÑÄ ÓÂÃÑÕÞ [111], ÔÎÑÌ Si3N4ÓÂÔÕÈÕ Ð ÒÑÄÇÓØÐÑÔÕË TiN ÒÑÚÕË ÅÇÕÇÓÑàÒËÕÂÍÔËÂÎßÐÑ.´ÂÍËÏ ÑÃÓÂÊÑÏ, ÑÉËÆÂÇÕÔâ, ÚÕÑ ÕÂÍÂâ ÍÑÐ×ËÅÖÓÂÙËâ ÃÖÆÇÕ ÑÃÎÂÆÂÕß ÄÞÔÑÍÑÌ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕßá [145]; àÕÑ âÄÎâÇÕÔâÐÂËÃÑÎÇÇ ÄÇÓÑâÕÐÑÌ ÒÓËÚËÐÑÌ ÚÓÇÊÏÇÓÐÑ ÄÞÔÑÍÑÌ ÕÇÓÏËÚÇÔÍÑÌ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕË ÒÑÍÓÞÕËÌ nc-(Al1ÿx Tix )N/a-Si3N4,ÒÑÎÖÚÇÐÐÞØ Ä ÓÂÃÑÕÇ [139]. ±ÓË ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ 1200 CÓÇÍÓËÔÕÂÎÎËÊÂÙËâ Ë ÓÂÊÏâÅÚÇÐËÇ ÊÂÍÂÐÚËÄÂáÕÔâ Ë ÑÃÐÂÓÖÉËÄÂÇÕÔâ ÔËÎßÐÂâ ÆË××ÖÊËâ ÍÑÃÂÎßÕ ËÊ ÒÑÆÎÑÉÍËÙÇÏÇÐÕËÓÑÄÂÐÐÑÅÑ ÍÂÓÃËÆ ÒÑÔÎÇ ÑÕÉËÅ [139].

´ÂÍËÏÑÃÓÂÊÑÏ, ÕÇÓÏËÚÇÔÍÂâ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕß ËÊÆÇÎËÌ Ô ÒÑÍÓÞÕËâÏË ËÊ …Al1ÿx Tix †N ÑÅÓÂÐËÚÇРÕÇÓÏËÚÇÔÍÑÌ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕßá ÙÇÏÇÐÕËÓÑÄÂÐÐÑÅÑ ÍÂÓÃËÆÂ.6ÂTiND. Munz 1986D. Munz et al. 2001TiAlN4200,6µÄÇÎËÚÇÐËÇ ÄÇÔÂ, Å ÔÏÿ2´. 179, å 1]0,50,40,3nc-TiN/a-Si3N4Veprek, Reiprich 1995nc-TiN/a-Si3N4200TiAlCrYN400600800´ÇÏÒÇÓÂÕÖÓÂ, CPVD TiN [Si] = 0 ÂÕ.%PVD TiSiN [Si] = 5,3 ÂÕ.%PVD TiSiN [Si] = 10,5 ÂÕ.%PCVD TiN [B] = 0 ÂÕ.%PCVD TiBN [B] = 2,5 ÂÕ.%PCVD TiBN [B] = 4 ÂÕ.%PCVD TiSiN [Si] = 9 ÂÕ.%1000ÃTiNnc-TiN/a-BNnc-TiN/a-Si3N40,20,10200400600800´ÇÏÒÇÓÂÕÖÓÂ, C1000²ËÔ.

16. (Â) ³ÕÑÌÍÑÔÕß Í ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ nc-TiN/aSi3N4, ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØ ÏÇÕÑÆÑÏ PCVD [8], Ä ÔÓÂÄÐÇÐËË Ô ÆÓÖÅËÏËÒÓÑÏÞÛÎÇÐÐÞÏË ÕÄÈÓÆÞÏË ÒÑÍÓÞÕËâÏË (ËÊ ÓÂÃÑÕ [19, 94]). ³ÕÑÌÍÑÔÕß Í ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá ÒÑÍÓÞÕËÌ WC, TiN Ë …Ti1ÿx Alx †N ÄÊâÕ ËÊ[146], ÆÎâ TiAlCrYN ì ËÊ [147, 148]. (Ã) ³ÕÑÌÍÑÔÕß Í ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËáÆÎâ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ nc-TiN/a-BN, ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØ PCVD[134, 137], Ë nc-TiN/a-Si3N4, ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØ ÏÂÅÐÇÕÓÑÐÐÞÏ ÓÂÔÒÞÎÇÐËÇÏÄ ÖÔÎÑÄËâØ, ÍÑÕÑÓÞÇ ÑÃÇÔÒÇÚËÎË ×ÑÓÏËÓÑÄÂÐËÇ ÔÕÂÃËÎßÐÑÌ ÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓÞ [99, 133].ÒÑÍÂÊÂÐÑ Ä ÓÂÃÑÕÂØ [136, 137], ÅÆÇ ÒÑÔÎÇ ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËâÃÑÓ ÃÞÎ ÒÑÕÇÓâÐ Ä ÓÇÊÖÎßÕÂÕÇ ÓÇÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËâ Ë ÔÖÃÎËÏÂÙËË ÔÖÃÑÍÔËÆÑÄ BOx .¢ÑÎÇÇ ÐËÊÍÂâ ÔÕÑÌÍÑÔÕß Í ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá Ö TiNËÊÄÇÔÕРËÊ ÓÂÃÑÕ ®áÐÙ [146 ë 148],  ÃÑÎÇÇ ÄÞÔÑÍÂâÔÕÑÌÍÑÔÕß Í ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá Ö Si3N4 ØÑÓÑÛÑ ËÊÄÇÔÕРËÊÖÚÇÃÐËÍÑÄ.

¬ÂÍ Ë Ä ÔÎÖÚÂÇ SiC, ÒÑÔÎÇ ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËâ Si3N4×ÑÓÏËÓÖÇÕÔâ ÒÎÑÕÐÞÌ ÔÎÑÌ SiO2, ÍÑÕÑÓÞÌ ÒÓÇÒâÕÔÕÄÖÇÕÆË××ÖÊËË ÍËÔÎÑÓÑÆ ÄÒÎÑÕß ÆÑ ÄÞÔÑÍËØ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓ,ÃÎËÊÍËØ Í 1600 C. ³ ÆÓÖÅÑÌ ÔÕÑÓÑÐÞ, ËÊ-Ê ÐËÊÍÑÌ ÕÑÚÍËÒÎÂÄÎÇÐËâ B2O3, ÓÂÄÐÑÌ 450 C [138], ÔÕÑÌÍÑÔÕß Í ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá ×ÂÊÞ BN ÐËÉÇ. ±ÑàÕÑÏÖ ÔÕÑÌÍÑÔÕß Í ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá ÒÑÍÓÞÕËÌ nc-TiN/a-Si3N4 ÒÓË ÖÄÇÎËÚÇÐËË ÔÑÆÇÓÉÂÐËâ Si3N4 ÄÑÊÓÂÔÕÂÇÕ (ÐÑ ÊÂÏÇÕËÏ, ÚÕÑ ÄÞÛÇ 20 ÑÃ. %Si3N4 ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÖÏÇÐßÛÂÇÕÔâ [68, 94]), ÕÑÅÆ ÍÂÍ Ä ÔÎÖÚÂÇnc-TiN/a-BN ÐÇ ÔÖÜÇÔÕÄÖÇÕ âÄÐÑÌ ÊÂÄËÔËÏÑÔÕË ÔÕÑÌÍÑÔÕËÍ ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá ÑÕ ÔÑÆÇÓÉÂÐËâ BN (ÆÇÕÂÎßÐÑ ÔÏ.

[136]).°Ã ÖÎÖÚÛÇÐËË ÔÕÑÌÍÑÔÕË Í ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá Ö ÒÑÍÓÞÕËÌ Ti ë Si ë N ÒÑ ÔÓÂÄÐÇÐËá Ô TiN ÒÑÊÆÐÇÇ ÔÑÑÃÜÂÎËÐÇÔÍÑÎßÍÑ ÅÓÖÒÒ ËÔÔÎÇÆÑÄÂÕÇÎÇÌ (ÐÂÒÓËÏÇÓ, Ä ÓÂÃÑÕÇ[141] Ë Ä ÑÃÊÑÓÇ ±ÂÕÛÂÌÆÇÓ [102]), ÑÆÐÂÍÑ ÃÇÊ ÍÂÍËØÎËÃÑ ÐÑÄÞØ, ÃÑÎÇÇ ËÐÕÇÓÇÔÐÞØ ÓÇÊÖÎßÕÂÕÑÄ Ë/ËÎËÔÓÂÄÐÇÐËâ Ô ÃÑÎÇÇ ÓÂÐÐËÏË ÓÇÊÖÎßÕÂÕÂÏË, ÔÑÃÓÂÐÐÞÏËÄ ÐÂÔÕÑâÜÇÏ ÑÃÊÑÓÇ. ¶ÑÓÏËÓÑÄÂÐËÇ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄnc-(Al1ÿx Tix )N/a-Si3N4 ÕÂÍÉÇ ÖÎÖÚÛÂÇÕ ËØ ÔÕÑÌÍÑÔÕß ÍÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá ÒÑ ÔÓÂÄÐÇÐËá Ô …Al1ÿx Tix †N. ª àÕÑ ÐÇ54¡.¥.

±°¤²¦¢¯Á¬, ¡.±. º±¡¬, ¯.¡. ¡©¡²¦¯¬°£, £.®. ¢¦²¦³¯¦£ÖÆËÄËÕÇÎßÐÑ, ÒÑÔÍÑÎßÍÖ ÍÑÅÆ ×ÂÊ Si3N4 ÔÕÂÃËÎËÊËÓÖÇՅAl1ÿx Tix †N ÒÓÑÕËÄ ÓÂÊÎÑÉÇÐËâ Ë ÓÂÊÏâÅÚÇÐËâ, ×ÂÊÂSi3N4 Ë ÅÓÂÐËÙÞ ÓÂÊÆÇΠÄÔÈ ÇÜÈ ÑÔÕÂáÕÔâ ÔÕÂÃËÎßÐÞÏËË ÒÎÑÕÐÞÏË. ªÐÕÇÓÇÔÇÐ ÓÇÊÖÎßÕÂÕ ´ÂÐÂÍÂ Ë ÆÓ. [149],ÍÑÕÑÓÞÇ ÔÑÑÃÜÂÎË Ñ ÊÐÂÚËÕÇÎßÐÑÏ ÖÎÖÚÛÇÐËË ÔÕÑÌÍÑÔÕË Í ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá Ö ÒÑÍÓÞÕËÌ (TiAlSi)N ÒÑ ÔÓÂÄÐÇÐËáÔ (AlTi)N, ØÑÕâ, ÔÑÅÎÂÔÐÑ ËØ ÂÐÂÎËÊÖ, àÕË ÒÑÍÓÞÕËâ ÃÞÎËÐÇ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÂÏË,  ÕÄÈÓÆÞÏË ÓÂÔÕÄÑÓÂÏË Si Ä ×ÂÊÇ(AlTi)N (ÆÇÕÂÎßÐÑ ÔÏ. [149]).

¬ÂÍ ÖÒÑÏËÐÂÎÑÔß ÄÞÛÇ,ÒÑÍÓÞÕËâ ÕÂÍÉÇ ËÏÇáÕ ÃÑÎÇÇ ÐËÊÍÖá ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÒÑÔÓÂÄÐÇÐËá ÔÑ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞÏË ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÂÏË, ÐÇÔÏÑÕÓâ РÕÑ, ÚÕÑ ËØ ÔÕÑÌÍÑÔÕß Í ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá ËÓÂÃÑÚËÇ ØÂÓÂÍÕÇÓËÔÕËÍË ÓÇÊÂÐËâ ÃÞÎË ÊÐÂÚËÕÇÎßÐÑ ÖÎÖÚÛÇÐÞ ÒÑ ÔÓÂÄÐÇÐËá ÕÑÎßÍÑ Ô …Al1ÿx Tix †N [149].9.4. ®ÑÓ×ÑÎÑÅËâ Ë ÏËÍÓÑÔÕÓÖÍÕÖÓ±ÑÍÓÞÕËâ, ÐÂÐÇÔÈÐÐÞÇ ÏÇÕÑÆÂÏË PCVD Ë PVD ÒÓËÑÕÐÑÔËÕÇÎßÐÑ ÐËÊÍÑÌ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ (300 ë 600 C) ËÏÇáÕÍÑÎÖÏÐÂÓÐÖá ÏÑÓ×ÑÎÑÅËá, ÓÂÊÄËÕËÇ ÍÑÕÑÓÑÌ ÑÒËÔÞÄÂÇÕÔâ ÔÕÓÖÍÕÖÓÐÑ-ÊÑÐÐÑÌ ÆËÂÅÓÂÏÏÑÌ ´ÑÓÐÕÑР(ÔÏ.[150], Ô.

712). ¥ÂÐÐÂâ ÆËÂÅÓÂÏÏ âÄÎâÇÕÔâ ÓÂÔÛËÓÇÐÐÑÌÔÕÓÖÍÕÖÓÐÑ-ÊÑÐÐÑÌ ÆËÂÅÓÂÏÏÑÌ ®ÑÄÚÂÐÂ Ë ¥ÇÏÚËÔËÐÂÆÎâ ÒÎÈÐÑÍ, ÒÑÎÖÚÇÐÐÞØ ÅÂÊÑ×ÂÊÐÑÌ àÒËÕÂÍÔËÇÌ (ÔÏ.[150], Ô. 711). ±ÓË ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÖáÜÇÌ ÍÑÏÃËÐÂÙËËÅÑÏÑÎÑÅËÚÇÔÍÑÌ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÞ Th ˆ T=Tm (T ì ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓ ÐÂÐÇÔÇÐËâ, Tm ì ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓ ÒÎÂÄÎÇÐËâ ÆÂÐÐÑÅÑÏÂÕÇÓËÂÎÂ, ¬) Ë àÐÇÓÅËË, ÒÇÓÇÆÂÐÐÑÌ ÒÑÄÇÓØÐÑÔÕË ÓÂÔÕÖÜÇÌ ÒÎÈÐÍË ËÑÐÂÏË Ä ÓÂÔÚÈÕÇ Ð ÐÂÐÇÔÈÐÐÞÌ ÂÕÑÏ,ÏÑÉÐÑ ÒÑÎÖÚËÕß ÒÑÍÓÞÕËâ Ä ÒÓÇÆÇÎÂØ ÕÂÍ ÐÂÊÞÄÂÇÏÑÌ"T-ÊÑÐÞ", ÍÑÕÑÓÂâ ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÖÇÕ ÍÑÎÖÏÐÂÓÐÑÌ, ÐÑ ÆÑÄÑÎßÐÑ ÒÎÑÕÐÑÌ ÔÕÓÖÍÕÖÓÇ.±ÓË ×ÑÓÏËÓÑÄÂÐËË ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ ÔÑÒÕËÏÂÎßÐÞÏ ÔÑÔÕÂÄÑÏ ÍÑÎÖÏÐÂÓÐÂâ ÔÕÓÖÍÕÖÓ ÒÓÂÍÕËÚÇÔÍË ËÔÚÇÊÂÇÕ.

µÉÇ Ä 1992 Å. àÕÑ ÃÞÎÑ ÒÑÍÂÊÂÐÑ ­Ë Ë ÆÓ.[78] ÆÎâ ÒÎÈÐÑÍ Ti ë Si ë N, ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØ PCVD; ÒÑÊÉÇ àÕÑÒÑÆÕÄÇÓÆËÎÑÔß Ä ÓÂÃÑÕÂØ £ÇÒÓÇÍÂ Ô ÔÑÕÓÖÆÐËÍÂÏË ÆÎâÆÓÖÅËØ ÃËÐÂÓÐÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ nc-MeN/a-Si3N4(Me ˆ Ti, W, V), ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØ Ä ËÐÕÇÐÔËÄÐÑÏ ÓÂÊÓâÆÇPCVD [69]. ¯Â ÓËÔÖÐÍÇ 17 ÒÓÇÆÔÕÂÄÎÇÐ ÒÓËÏÇÓ ÓÂÊÄËÕËâÏÑÓ×ÑÎÑÅËË ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ nc-TiN/a-Si3N4 ÒÑÔÎÇÂÃÄŲËÔ. 17. (Â) ³ÇÚÇÐËÇ ÒÑÍÓÞÕËÌ TiN Ô ÍÑÎÖÏÐÂÓÐÑÌ ÔÕÓÖÍÕÖÓÑÌ,ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØ PCVD ËÊ TiCl4, SiH4 Ä ÖÔÎÑÄËâØ ËÊÃÞÕÍ N2 Ë H2 ÒÓË550 C; (Ã) ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÞ nc-TiN/a-Si3N4 Ô ÔÑÆÇÓÉÂÐËÇÏ Si 5 ÂÕ. %Ë ÕÄÈÓÆÑÔÕßá ÑÍÑÎÑ 35 ¤±Â (ÓËÔ. 7Â); (Ä) ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÞ nc-TiN/a-Si3N4 Ô ÑÒÕËÏÂÎßÐÞÏ ÔÑÆÇÓÉÂÐËÇÏ Si 7 ë 8 ÂÕ.

% Ë ÔÕÂÃËÎßÐÑÌÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓÑÌ Ô ÕÄÈÓÆÑÔÕßá ÑÍÑÎÑ 50 ¤±Â; (Å) ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÞnc-TiN/a-Si3N4 ÔÑ ÔÎËÛÍÑÏ ÄÞÔÑÍËÏ ÔÑÆÇÓÉÂÐËÇÏ Si (ÑÍÑÎÑ 9 ÂÕ. %)Ë ÕÄÈÓÆÑÔÕßá ÑÍÑÎÑ 30 ¤±Â (ËÊ [9]).0 ÂÕ.% Si, H 25 ¤±Â[µ¶¯ 20092,9 ÂÕ.% Si, H 37 ¤±ÂÂÃ15,9 ÂÕ.% Si, H 38 ¤±Â7,9 ÂÕ.% Si, H 45 ¤±ÂÄÅ1 ÏÍϲËÔ. 18.

²ÂÊÄËÕËÇ ÏÑÓ×ÑÎÑÅËË ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ nc-TiN/a-Si3N4,ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØ ÏÂÅÐÇÕÓÑÐÐÞÏ ÓÂÔÒÞÎÇÐËÇÏ ÒÓË ÄÑÊÓÂÔÕÂáÜÇÏ ÔÑÆÇÓÉÂÐËË Si.ÆÑÃÂÄÎÇÐËâ Si (ÑÕÏÇÕËÏ, ÚÕÑ ÄÑ ÄÔÇØ àÕËØ ÒÑÍÓÞÕËâØÍÓÇÏÐËÌ ÒÓËÔÖÕÔÕÄÖÇÕ Ä ÄËÆÇ Si3N4 ÃÇÊ ÄÍÎÂÆ ×ÂÊÞTiSi2 [68]). ±ÓË ÖÄÇÎËÚÇÐËË ÔÑÆÇÓÉÂÐËâ Si3N4 ÍÑÎÖÏÐÂÓÐÂâ ÔÕÓÖÍÕÖÓ TiN (ÓËÔ. 17Â) Ë ÏÑÓ×ÑÎÑÅËâ ÒÑÄÇÓØÐÑÔÕËËÊÑÕÓÑÒÐÞ Ë ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÖáÕ ÑÒÕËÏÂÎßÐÑÏÖ ÔÑÔÕÂÄÖ ËÏÂÍÔËÏÂÎßÐÑÌ ÕÄÈÓÆÑÔÕË (ÓËÔ. 17Ä); ÊÂÏÇÕËÏ, ÚÕÑ ÒÑÍÓÞÕËâ, ÐÂÐÇÔÈÐÐÞÇ Ð ÒÑÆÎÑÉÍË Si ÒÑ ÏÇÕÑÆËÍÇ [100],ÓÂÔÕÓÇÔÍÂÎËÔß Ë ÏËÍÓÑÆËÂÅÓÂÏÏÞ ÔÐËÏÂÎËÔß ÃÇÊ ÍÂÍÑÌÎËÃÑ ÒÑÎËÓÑÄÍË ÒÑÄÇÓØÐÑÔÕË). ±ÑÔÎÇ ÆÂÎßÐÇÌÛÇÅÑ ÖÄÇÎËÚÇÐËâ ÔÑÆÇÓÉÂÐËâ Si3N4 ØÂÓÂÍÕÇÓ ÏÑÓ×ÑÎÑÅËË ÔÑØÓÂÐâÇÕÔâ, ÐÑ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÄÐÑÄß ÖÏÇÐßÛÂÇÕÔâ (ÓËÔ. 17Å).

°ÕÂÍÑÏ ÉÇ ÒÑÄÇÆÇÐËË ÔÑÑÃÜÂÎÑÔß Ä [69] ÆÎâ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ nc-W2N/a-Si3N4 Ë ÏÐÑÅËØ ÆÓÖÅËØ (nc-VN/a-Si3N4,nc-TiN/a-Si3N4/a-(nc-)TiSi2, nc-(Al1ÿx Tix )N/a-Si3N4), ÍÑÕÑÓÞÇ ÃÞÎË ËÔÔÎÇÆÑÄÂÐÞ, ÐÑ ÓÇÊÖÎßÕÂÕÞ ÐÇ ÑÒÖÃÎËÍÑÄÂÐÞ ËÊ-Ê ÑÕÔÖÕÔÕÄËâ ÐÑÄËÊÐÞ (ÒÑ ÆÂÐÐÞÏ £ÇÒÓÇÍ ËÆÓ.). ²ËÔÖÐÑÍ 18 ÒÑÍÂÊÞÄÂÇÕ ÑÚÇÐß ÒÑØÑÉÇÇ ÓÂÊÄËÕËÇÏÑÓ×ÑÎÑÅËË ÆÎâ nc-TiN/a-Si3N4, ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØ ÏÂÅÐÇÕÓÑÐÐÞÏ ÓÂÔÒÞÎÇÐËÇÏ (ÔÏ. ÓËÔ. 12Â Ë ÆËÔÍÖÔÔËá ÄÞÛÇ). ·ÑÕâÏÑÓ×ÑÎÑÅËâ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ Ô ÔÂÏÑÌ ÄÞÔÑÍÑÌ ÕÄÈÓÆÑÔÕßá, ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØ ÏÂÅÐÇÕÓÑÐÐÞÏ ÓÂÔÒÞÎÇÐËÇÏ, ËÊÑÕÓÑÒÐÂ, ÃÑÎÇÇ ÆÇÕÂÎßÐÑÇ ËÔÔÎÇÆÑÄÂÐËÇ Ô ÒÑÏÑÜßá ±¿®ÖÍÂÊÞÄÂÇÕ Ð ÚÂÔÕËÚÐÑ ÍÑÎÖÏÐÂÓÐÖá, ÐÑ ÄÔÈ ÉÇ ÒÎÑÕÐÖáÏÑÓ×ÑÎÑÅËá [151]. ¿ÕÑ, ÄÇÓÑâÕÐÑ, âÄÎâÇÕÔâ ÔÎÇÆÔÕÄËÇÏÑÕÐÑÔËÕÇÎßÐÑ ÐËÊÍÑÅÑ ÆÂÄÎÇÐËâ ÂÊÑÕÂ, ÍÑÕÑÓÞÌ ÐÇ ÒÑÊÄÑÎâÇÕ ÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓÇ ÒÑÎÐÑÔÕßá Ô×ÑÓÏËÓÑÄÂÕßÔâ; ÆÎâÎÖÚÛÇÅÑ ÒÑÐËÏÂÐËâ àÕÑÌ ÒÓÑÃÎÇÏÞ ÐÇÑÃØÑÆËÏÞ ÃÑÎÇÇ×ÖÐÆÂÏÇÐÕÂÎßÐÞÇ ËÔÔÎÇÆÑÄÂÐËâ.²ÂÊÄËÕËÇ ËÊÑÕÓÑÒÐÑÌ Ë ÒÎÑÕÐÑÌ ÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓÞ ÒÑÔÎÇ×ÑÓÏËÓÑÄÂÐËâ ÔÕÂÃËÎßÐÞØ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ ÆÂÉÇ Ä ÒÓÇÆÇÎÂØ ÒÎÑÕÐÑÌ ´-ÊÑÐÞ ÐÇ "ËÆÇÂÎßÐÑ" ÒÑÏÇØÂÐËÚÇÔÍËÏ ÔÄÑÌÔÕÄÂÏ ËÊ-Ê ÃÑÎÇÇ ÔÎÂÃÞØ ÔÄâÊÇÌÏÇÉÆÖ ÍÑÎÑÐÐÂÏË.

±ÑàÕÑÏÖ ÒÑÎÐÑÇ ËÔÚÇÊÐÑÄÇÐËÇ ÍÑÎÖÏÐÂÓÐÑÌ ÏÑÓ×ÑÎÑÅËË Ä ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÂØ, ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØÏÇÕÑÆÑÏ PCVD, ÄÂÉÐÑ ÆÎâ ÒÑÎÖÚÇÐËâ ÒÓÇÄÑÔØÑÆÐÞØÏÇØÂÐËÚÇÔÍËØ ÔÄÑÌÔÕÄ àÕËØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ. ¹ÕÑÃÞÒÑÆÚÇÓÍÐÖÕß ÖÐËÄÇÓÔÂÎßÐÑÔÕß ÕÂÍÑÌ ÊÂÄËÔËÏÑÔÕË ÏÑÓ×ÑÎÑÅËË ÑÕ ×ÑÓÏËÓÑÄÂÐËâ ÔÕÂÃËÎßÐÞØ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ, ÄÔÒÑÏÐËÏ, ÚÕÑ Ñ ÕÂÍÑÌ ÉÇ ËÊÑÕÓÑÒÐÑÌÔÕÓÖÍÕÖÓÇ ÔÑÑÃÜÂÎË Ë Ä ÔÎÖÚÂÇ ÒÑÍÓÞÕËÌ nc-TiN/a-BN Ënc-TiN/a-BN/a-TiB2 [136].

¯ÇÍÑÕÑÓÞÇ ÅÓÖÒÒÞ ËÔÔÎÇÆÑÄÂ-´. 179, å 1]³´²µ¬´µ²¡ ª ³£°«³´£¡ ´£§²¥½· ª ³£¦²·´£§²¥½· ¯¡¯°¬°®±°©ª´¯½· ±°¬²½´ª«ÕÇÎÇÌ ÒÑÄÕÑÓËÎË àÕË ÓÇÊÖÎßÕÂÕÞ Ë ÆÑ ÍÂÍÑÌ-ÕÑ ÔÕÇÒÇÐËÒÑÆÕÄÇÓÆËÎË ËØ (ÐÂÒÓËÏÇÓ, [152, 153]). °ÆÐÂÍÑ, ÍÂÍ ÄËÆÐÑËÊ ÓÇÊÖÎßÕÂÕÑÄ ËÔÔÎÇÆÑÄÂÐËÌ ÏÇÕÑÆÑÏ ÔÍÂÐËÓÖáÜÇÌàÎÇÍÕÓÑÐÐÑÌ ÏËÍÓÑÔÍÑÒËË (³¿®), ÑÒÖÃÎËÍÑÄÂÐÐÞØ ÄàÕËØ ÓÂÃÑÕÂØ, ÏÑÓ×ÑÎÑÅËâ ÒÑÍÓÞÕËÌ ÒÑÔÎÇ ÆÑÃÂÄÎÇÐËâSi ÄÔÈ ÇÜÈ ÑÔÕÂÈÕÔâ âÄÐÑ ÍÑÎÖÏÐÂÓÐÑÌ (ÐÂÒÓËÏÇÓ, [102,153, 154, 115]), ØÑÕâ Ë ÏÇÐÇÇ ÄÞÓÂÉÇÐÐÑÌ, ÚÇÏ Ä ÚËÔÕÑÏÐËÕÓËÆÐÑÏ ÒÑÍÓÞÕËË. ¿ÕÑ ÒÓÑËÔØÑÆËÕ, ÄÇÓÑâÕÐÑ, ÃÎÂÅÑÆÂÓâ ÕÑÏÖ ×ÂÍÕÖ, ÚÕÑ ÄÑ ÄÔÇØ ÖÍÂÊÂÐÐÞØ ÔÕÂÕßâØ ÒÂÓÙËÂÎßÐÑÇ ÆÂÄÎÇÐËÇ ÂÊÑÕ ÃÞÎÑ ÐËÉÇ, ÚÇÏ Ä ÓÂÃÑÕÇ ±ÓÑØÂÊÍËË ÆÓ. [99] .£ ÓÂÃÑÕÂØ [115, 155] ÕÂÍÉÇ ÒÓËÄÑÆËÕÔâ ÆËÔÍÖÔÔËâ ÑÏÇØÂÐËÊÏÇ, ÖÒÓÂÄÎâáÜÇÏ ÓÂÔÔÏÑÕÓÇÐÐÞÏË ËÊÏÇÐÇÐËâÏË Ä ÏÑÓ×ÑÎÑÅËË ÒÓË ÒÑÎÐÑÏ ËÅÐÑÓËÓÑÄÂÐËË ÍÑÐÙÇÒÙËË ×ÂÊÑÄÑÌ ÔÇÅÓÇÅÂÙËË, Ô×ÑÓÏÖÎËÓÑÄÂÐÐÑÌ ÐÇÔÍÑÎßÍÑ ÎÇÕ ÐÂÊÂÆ [68, 69].

¯ÂÒÓËÏÇÓ, Ä ÔÄÑÈÏ ÑÃÊÑÓÇ[143] ±ÂÕÛÂÌÆÇÓ ÒÓÇÆÎÂÅÂÇÕ ÐÇÍËÌ ÕËÒ ÐÇÔÒÇÙË×ËÚÇÔÍÑÅÑ"ÒÇÓÇÊÂÓÑÉÆÇÐËâ" ÊÈÓÇÐ TiN ÄÔÎÇÆÔÕÄËÇ "ÒÂÓÙËÂÎßÐÑÅÑÐÂÐÇÔÇÐËâ Si3N4 РTiN". ³ÖÕß ÕÇÓÏÑÆËÐÂÏËÍË Ë ÍËÐÇÕËÍË, ÍÂÍ ÑÃÔÖÉÆÂÇÕÔâ Ä [68, 69], Ä ÔÕÂÕßÇ [143] ÐÇÖÒÑÏËÐÂÇÕÔâ, Ë ÐËÍÂÍËØ ÆÇÕÂÎÇÌ ÑÕÐÑÔËÕÇÎßÐÑ ÏÇØÂÐËÊÏ ÕÂÍÑÅÑ ÒÇÓÇÊÂÓÑÉÆÇÐËâ, ÍÑÕÑÓÞÌ ÓÖÍÑÄÑÆËÕÓÂÊÄËÕËÇÏ ÏÑÓ×ÑÎÑÅËË, ÐÇ ÖÍÂÊÂÐÑ. ®ËÍÓÑÅÓÂÏÏÞ³¿®, ÒÓÇÆÔÕÂÄÎÇÐÐÞÇ Ä ÓÂÃÑÕÂØ [68, 69], ÒÑÍÂÊÞÄÂáÕ,ÑÆÐÂÍÑ, ÚÕÑ ËØ ÒÑÍÓÞÕËâ (12 ÂÕ. % Si), ÏÂÍÔËÏÂÎßÐÂâÕÄÈÓÆÑÔÕß ÍÑÕÑÓÞØ ÆÑÔÕËÅÂΠÑÍÑÎÑ 40 ¤±Â [73, 102,141 ë 143], ÇÜÈ ËÏÇÎË âÄÐÑ ÄÞÓÂÉÇÐÐÖá ÍÑÎÖÏÐÂÓÐÖáÏÑÓ×ÑÎÑÅËá [142].·Ö Ë ÆÓ. [115] ÕÂÍÉÇ ÑÃÐÂÓÖÉËÎË ÒÑÆÑÃÐÖá ÕÇÐÆÇÐÙËá, ÍÑÅÆ ÔÑÆÇÓÉÂÐËÇ Si ÖÄÇÎËÚËÄÂÎÑÔß ÑÕ 0 (ÚËÔÕÞÌTiN) ÆÑ 5 ÂÕ.

%, Ä ÕÑ ÄÓÇÏâ ÍÂÍ ÏÑÓ×ÑÎÑÅËâ ÑÔÕÂÄÂÎÂÔßÍÑÎÖÏÐÂÓÐÑÌ; ÂÄÕÑÓÞ ÒÓÇÆÒÑÎÑÉËÎË, ÚÕÑ ÔÒÇÍÖÎâÕËÄÐÑÇÑÃÝâÔÐÇÐËÇ [115] ÒÑÎÐÑÔÕßá ËÅÐÑÓËÓÖÇÕ ÕÇÓÏÑÆËÐÂÏËÍÖË ÍËÐÇÕËÍÖ, ÑÃÝâÔÐÈÐÐÞÇ ÇÜÈ ÃÑÎÇÇ 10 ÎÇÕ ÐÂÊÂÆ Ä [68, 69].¯ÂØÑÆÍË ·Ö Ë ÆÓ. ÏÑÉÐÑ ÎÇÅÍÑ ÒÑÐâÕß, ÓÂÔÔÏÂÕÓËÄÂâÒÓËÄÇÆÈÐÐÞÇ ËÏË Ä [115] ÊÐÂÚÇÐËâ ÕÄÈÓÆÑÔÕË. ®ÂÍÔËÏÂÎßÐÂâ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÑÍÑÎÑ 36 ¤±Â ÒÑÎÖÚÇРÆÎâ ÔÑÆÇÓÉÂÐËâ Si 4 ÂÕ. %, ÕÑÎßÍÑ ÆÎâ ÒÑÍÓÞÕËÌ, ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØ ÒÓËÍÑÏÐÂÕÐÑÌ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ, ÕÑÅÆ ÍÂÍ ÒÓË ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇÐÂÐÇÔÇÐËâ 400 C ÏÂÍÔËÏÂÎßÐÂâ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÖÏÇÐßÛÂÎÂÔßÆÑ 28 ¤±Â.

ªÊ àÕËØ ÓÇÊÖÎßÕÂÕÑÄ âÔÐÑ, ÚÕÑ ÖÄÇÎËÚÇÐËÇÕÄÈÓÆÑÔÕË Ä ÒÑÍÓÞÕËË, ÐÂÐÇÔÈÐÐÑÏ ÒÓË ÍÑÏÐÂÕÐÑÌÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ, ÇÔÕß Ä ÃÑÎßÛÑÌ ÔÕÇÒÇÐË ÔÎÇÆÔÕÄËÇ ÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍË ÄÞÔÑÍÑàÐÇÓÅÇÕËÚÐÞÏË ÚÂÔÕËÙÂÏË, ÍÑÕÑÓÞÇ ÄÔÇÅÆ ÒÓËÔÖÕÔÕÄÖáÕ ÒÓË ÏÂÅÐÇÕÓÑÐÐÑÏ ÓÂÔÒÞÎÇÐËË ÒÓËÐËÊÍÑÏ ÆÂÄÎÇÐËË ÅÂÊ ËÊ-Ê ÑÕÓÂÉÇÐËâ ÒÇÓÄËÚÐÞØ ËÑÐÑÄÑÕ ÏËÛÇÐË. ¢ÂÊÑÄÑÇ ÆÂÄÎÇÐËÇ Ä ÔËÔÕÇÏÇ, ËÔÒÑÎßÊÖÇÏÑÌ·Ö Ë ÆÓ., ÔÑÔÕÂÄÎâÎÑ 10ÿ6 ÏÃÂÓ,  ÒÂÓÙËÂÎßÐÑÇ ÆÂÄÎÇÐËÇÂÊÑÕ 2 10ÿ4 ÏÃÂÓ. ±ÑàÕÑÏÖ, ÒÑ ÖÕÄÇÓÉÆÇÐËâÏ àÕËØÂÄÕÑÓÑÄ, ÍÓÇÏÐËÌ ÒÓËÔÖÕÔÕÄÑÄÂÎ ÐÇ ÕÑÎßÍÑ Ä ÄËÆÇ Si3N4,ÐÑ Ë ÍÂÍ Si (ÑÆÐÂÍÑ ÍÓËÕËÚÇÔÍË ÐÂÔÕÓÑÇÐÐÞÌ ÚËÕÂÕÇÎßÊÂÏÇÕËÕ, ÚÕÑ ÔËÅÐÂÎ Si 2Ó XPS, ÒÓËÒËÔÞÄÂÇÏÞÌ àÕËÏËËÔÔÎÇÆÑÄÂÕÇÎâÏË àÎÇÏÇÐÕÖ Si, ÕÂÍÉÇ ÏÑÅ ÃÞÕß Ë ÑÕ TiSi2).ªÊ àÕËØ ÓÇÊÖÎßÕÂÕÑÄ ÑÚÇÄËÆÐÑ ÔÎÇÆÖÇÕ, ÚÕÑ ÒÑÍÓÞÕËâ ·ÖË ÆÓ. Ë ±ÂÕÛÂÌÆÇÓÂ Ë ÆÓ.

ÐÂÐÑÔËÎËÔß Ä ÐÇÒÑÆØÑÆâÜËØÖÔÎÑÄËâØ, ÍÑÕÑÓÞÇ ÐÇ ÒÑÊÄÑÎËÎË Ô×ÑÓÏËÓÑÄÂÕßÔâ ÔÕÂÃËÎßÐÑÌ, ÒÑÎÐÑÔÕßá ÔÇÅÓÇÅËÓÑÄÂÐÐÑÌ ÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓÇ ÄÑÄÓÇÏâ ÓÑÔÕ ÒÎÈÐÍË, Ë ÒÑàÕÑÏÖ ÒÓÇÑÃÎÂÆÂΠÍÑÎÖÏÐÂÓÐÂâ ÏÑÓ×ÑÎÑÅËâ, ØÑÕâ Ë ÏÇÐÇÇ ÄÞÓÂÉÇÐÐÂâ.³ÖÜÇÔÕÄÖÇÕ ÃÑÎßÛÑÇ ÚËÔÎÑ ÓÂÃÑÕ, ÅÆÇ ËÔÔÎÇÆÑÄÂÕÇÎËÔÑÑÃÜÂáÕ Ñ ÆÓÖÅÑÏ ØÂÓÂÍÕÇÓÇ ÒÑÄÇÆÇÐËâ ÕÄÈÓÆÑÔÕË,ÏÑÓ×ÑÎÑÅËË Ë Õ.Æ. Ë ÒÓÇÆÎÂÅÂáÕ ËÐÖá ËÐÕÇÓÒÓÇÕÂÙËá.´ÓÖÆÐÑÔÕß ÂÐÂÎËÊ àÕËØ ÓÂÃÑÕ ÔÄâÊÂÐÂ Ô ÑÕÔÖÕÔÕÄËÇÏÒÑÎÐÑÌ ØÂÓÂÍÕÇÓËÔÕËÍË ÖÔÎÑÄËÌ ÐÂÐÇÔÇÐËâ Ë/ËÎË ÑÃÓÂÊ-55ÙÑÄ ÆÎâ ËÔÔÎÇÆÑÄÂÐËÌ,  ÕÂÍÉÇ Ô ÐÇÑÃØÑÆËÏÑÔÕßá ËÔÍÎáÚÇÐËâ ÄÓÇÆÐÑÅÑ ÄÎËâÐËâ ÒÓËÏÇÔÇÌ. ¯ÂÒÓËÏÇÓ, ¥ÉÂÐÅ ËÆÓ. [176] ÐÂÐÑÔËÎË ÔÇÓËá ÒÑÍÓÞÕËÌ Ti ë Si ë N ÒÓË ÍÑÏÐÂÕÐÑÌ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ, ËÔÒÑÎßÊÖâ ÐÇÔÃÂÎÂÐÔËÓÑÄÂÐÐÑÇÓÇÂÍÕËÄÐÑÇ ÏÂÅÐÇÕÓÑÐÐÑÇ ÓÂÔÒÞÎÇÐËÇ ÒÓË ÑÃÜÇÏ ÆÂÄÎÇÐËË (Ar+N2), ÓÂÄÐÑÏ 2;6 10ÿ3 ÏÃÂÓ, ÐÑ ÒÓË ÐÇÑÒÓÇÆÇÎÈÐÐÑÏ ÒÂÓÙËÂÎßÐÑÏ ÆÂÄÎÇÐËË ÂÊÑÕÂ. ´ÂÍËÏ ÑÃÓÂÊÑÏ, ÐÇÖÆËÄËÕÇÎßÐÑ, ÚÕÑ ÒÓË ÃÑÎÇÇ ÄÞÔÑÍÑÏ ÔÑÆÇÓÉÂÐËË SiÕÑÎßÍÑ ÚÂÔÕß ÍÓÇÏÐËâ, ÊÂÍÎáÚÈÐÐÑÅÑ Ä ÒÑÍÓÞÕËË, ÖÚÂÔÕÄÖÇÕ Ä ÔÑÊÆÂÐËË ÔÄâÊË ÕËÒ Si3N4,  ÑÔÕÂÎßÐÑÌ SiÑÍÂÊÂÎÔâ "ÄÐÇ ÓÇÂÍÙËË", ÕÑÅÆ ÍÂÍ ÏÑÓ×ÑÎÑÅËâ ÑÔÕÂÎÂÔßÍÑÎÖÏÐÂÓÐÑÌ (ÔÏ.

[176]). ªÊ-Ê ÏÂÎÑÌ ÕÑÎÜËÐÞ ÒÑÍÓÞÕËÌ(Ä ÒÓÇÆÇÎÂØ 1 ÏÍÏ) [176] ËÊÏÇÓÇÐËâ ÕÄÈÓÆÑÔÕË ÒÓÑÄÑÆËÎËÔß ÒÓË ÐËÊÍÑÏ ÆÂÄÎÇÐËË Ë ÏÂÍÔËÏÂÎßÐÑÌ ÅÎÖÃËÐÇËÐÆÇÐÕËÓÑÄÂÐËâ 4 80 ÐÏ; ÓÇÊÖÎßÕÂÕÞ ÕÂÍËØ ËÊÏÇÓÇÐËÌÔÎÇÆÖÇÕ ÕÜÂÕÇÎßÐÑ ÒÓÑÄÇÓâÕß ÄÄËÆÖ ÄÑÊÏÑÉÐÑÅÑ ÄÎËâÐËâ ÓÂÊÏÇÓ ËÐÆÇÐÕËÓÑÄÂÐËâ (ISE), ÍÑÕÑÓÑÇ ÏÑÉÇÕ ËØÔ×ÂÎßÔË×ËÙËÓÑÄÂÕß. ¡ÄÕÑÓÞ [176] ÔÑÑÃÜÂáÕ Ñà ÖÄÇÎËÚÇÐËË ÕÄÈÓÆÑÔÕË ÆÑ 35 ¤±Â ÆÎâ ÔÑÆÇÓÉÂÐËâ Si 8 ë 10 ÂÕ. %.°ÆÐÂÍÑ ÒÓËÔÖÕÔÕÄËÇ 5 ë 8 ÂÕ.