Погребняк А.Д., Шпак А.П., Азаренков Н.А., Береснев В.М. Структура и свойства твердых и сверхтвердых нанокомпозитных покрытий, страница 10

PDF-файл Погребняк А.Д., Шпак А.П., Азаренков Н.А., Береснев В.М. Структура и свойства твердых и сверхтвердых нанокомпозитных покрытий, страница 10 Основы наноэлектроники и нанотехнологии (15154): Книга - 8 семестрПогребняк А.Д., Шпак А.П., Азаренков Н.А., Береснев В.М. Структура и свойства твердых и сверхтвердых нанокомпозитных покрытий: Основы наноэлектроники2017-12-262017-12-26zzyxelСтудИзба

Погребняк А.Д., Шпак А.П., Азаренков Н.А., Береснев В.М. Структура и свойства твердых и сверхтвердых нанокомпозитных покрытий466

Описание файла

PDF-файл из архива "Погребняк А.Д., Шпак А.П., Азаренков Н.А., Береснев В.М. Структура и свойства твердых и сверхтвердых нанокомпозитных покрытий", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "основы наноэлектроники и нанотехнологии" из 8 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "книги и методические указания", в предмете "основы наноэлектроники и нанотехнологий" в общих файлах.

Просмотр PDF-файла онлайн

Текст 10 страницы из PDF

°ÕÔÖÕÔÕÄËÇÔÑÊÓÇÄÂÐËâ °ÔÄÂÎßÆÂ ÏÑÉÇÕ ÃÞÕß ÔÎÇÆÔÕÄËÇÏ ÎËÃÑÏÇÆÎÇÐÐÑÌ ÆË××ÖÊËË ÒÓË ÐËÊÍÑÌ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ, ÎËÃÑÑÕÔÖÕÔÕÄËâ ÓÇÂÍÙËË ÐÂ ÅÓÂÐËÙÇ ÓÂÊÆÇÎÂ, Õ.Ç. ÐÇÓÂÔÕÄÑÓËÏÑÔÕË ÆÄÖØ ×ÂÊ ÒÓË ÄÞÔÑÍÑÌ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ [83]. £ÃÑÎÇÇ ÓÂÐÐËØ ÔÕÂÕßâØ ÐËÊÍËÌ ÒÓÇÆÇÎ ÍÑà××ËÙËÇÐÕÂÆË××ÖÊËË (ÍÑÕÑÓÞÌ ÐÇÑÃØÑÆËÏ, ÍÑÅÆÂ ÑÕÔÖÕÔÕÄËÇ ÔÑÊÓÇÄÂÐËâ °ÔÄÂÎßÆÂ, ÐÂÃÎáÆÂÇÏÑÇ ÒÓË 1000 C, ÃÞÎÑ ÔÎÇÆÔÕÄËÇÏ ÔÎËÛÍÑÏ ÐËÊÍÑÌ ÔÍÑÓÑÔÕË ÆË××ÖÊËË) ÑÒÓÇÆÇÎÈÐÍÂÍ D 4 10ÿ20 ÔÏ2 Ôÿ1 (ÔÏ.

[132], Ô. 145). £ ÓÂÃÑÕÇ [132]ÕÂÍÉÇ ÒÑÍÂÊÂÐÑ, ÚÕÑ àÕÑ ÊÐÂÚÇÐËÇ ÐÂ ÒÑÓâÆÑÍ ÄÇÎËÚËÐÞÐËÉÇ, ÚÇÏ ÍÂÍÂâ-ÕÑ ÓÂÊÖÏÐÂâ ÑÉËÆÂÇÏÂâ ÄÇÎËÚËÐÂ (ÔÏ.ÆÎâ ÔÓÂÄÐÇÐËâ [91]). ±ÑàÕÑÏÖ ÄÞÔÑÍÂâ ÕÇÓÏËÚÇÔÍÂâÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕß àÕËØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ ÐÇ ÏÑÅÎÂ âÄÎâÕßÔâÔÎÇÆÔÕÄËÇÏ ÏÇÆÎÇÐÐÑÌ ÆË××ÖÊËË. °ÚÇÄËÆÐÑ, ÑÐÂ ÑÃÖÔÎÑÄÎÇÐÂ ÑÕÔÖÕÔÕÄËÇÏ ÓÇÂÍÙËË ÐÂ ÅÓÂÐËÙÇ ÓÂÊÆÇÎÂ [130],Õ.Ç. ÔËÎßÐÑÌ ÐÇÓÂÔÕÄÑÓËÏÑÔÕßá ÔÕÇØËÑÏÇÕÓËÚÇÔÍËØ ×ÂÊTiN Ë Si3N4. ³ËÎßÐÂâ ÐÇÓÂÔÕÄÑÓËÏÑÔÕß ÔÑÄÏÇÔÕËÏÂ ÔÑÔÒËÐÑÆÂÎßÐÑÌ ÒÓËÓÑÆÑÌ ×ÂÊÑÄÑÌ ÔÇÅÓÇÅÂÙËË.³ÂÏÑÖÒÓÑÚÐÇÐËÇ, Õ.Ç. ÖÄÇÎËÚÇÐËÇ ÕÄÈÓÆÑÔÕË ÒÑÔÎÇÑÕÉËÅÂ, ÑÒËÔÞÄÂÎË ·ÑÎÖÃÂÓ Ë ÆÓ.

[100] ÆÎâ ÒÑÍÓÞÕËÌnc-(Al1ÿx Tix N/a-Si3N4, ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØ ÐÂ ÒÓÑÏÞÛÎÇÐÐÞÌÑÃÓÂÊÇÙ ÄÂÍÖÖÏÐÑ-ÆÖÅÑÄÞÏ ËÔÒÂÓÇÐËÇÏ ÒÓË ÆÂÄÎÇÐËËÂÊÑÕÂ 2 10ÿ3 ÏÃÂÓ Ë ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ 550 C. ²ËÔÖÐÑÍ 15ÃÒÑÍÂÊÞÄÂÇÕ ÒÓËÏÇÓ ÕÂÍÑÅÑ ÒÑÄÇÆÇÐËâ ÒÑ ÆÂÐÐÞÏ £ÇÒÓÇÍÂÄ ÔÑÄÏÇÔÕÐÑÌ ÓÂÃÑÕÇ Ô ÅÓÖÒÒÑÌ ·ÑÎÖÃÂÓÂ ÆÎâ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ nc-(Al1ÿx Tix )N/a-Si3N4, ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØ ÒÓË ÓÂÊÎËÚ-52¡.¥. ±°¤²¦¢¯Á¬, ¡.±. º±¡¬, ¯.¡. ¡©¡²¦¯¬°£, £.®. ¢¦²¦³¯¦£109876543210²ÂÊÏÇÓ ÍÓËÔÕÂÎÎËÕÂ, ÐÏÂ´ÄÇÓÆÑÔÕß, ¤±Â5040302010200400 600 800 1000 1200 1400´ÇÏÒÇÓÂÕÖÓÂ ÑÕÉËÅÂ, C´ÄÇÓÆÑÔÕß, ¤±Â60Ã5040302010´ÄÇÓÆÑÔÕß, ¤±Â044424038363432302826200400600800 1000´ÇÏÒÇÓÂÕÖÓÂ ÑÕÉËÅÂ, C12001098765432101400²ÂÊÏÇÓ ÍÓËÔÕÂÎÎËÕÂ, ÐÏ0Äd 7 ÐÏd 7 ÐÏ20 ÂÕ.

% Si3N4ÿ8ÿ6ÿ4d 12 ÐÏ7 ÂÕ. % Si3N4ÿ2d 25 ÐÏ0200600800400´ÇÏÒÇÓÂÕÖÓÂ ÑÕÉËÅÂ, C100001200°ÔÕÂÕÑÚÐÑÇ ÐÂÒÓâÉÇÐËÇ, ¤±Â60²ËÔ. 15. ³ÂÏÑÖÒÓÑÚÐÇÐËÇ Ë ÔÑÒÖÕÔÕÄÖáÜÇÇ ÇÏÖ ËÊÏÇÐÇÐËÇ ÓÂÊÏÇÓÑÄ ÍÓËÔÕÂÎÎËÕÑÄ ÆÑ 3 ë 4 ÐÏ ÒÑÔÎÇ ÑÕÉËÅÂ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄnc-(Al1ÿx Tix )N/a-Si3N4, ÍÑÕÑÓÞÇ ÐÂÐÑÔËÎË Ä ÖÔÎÑÄËâØ, ÆÂÎÈÍËØ ÑÕÑÒÕËÏÂÎßÐÞØ (ÔÄÇÕÎÞÇ ÍÓÖÉÍË), ÚÕÑ ÒÓËÄÇÎÑ Í ÒÑÎÖÚÇÐËá ÍÓËÔÕÂÎÎËÕÑÄ (Â) ÔÑ ÔÎËÛÍÑÏ ÃÑÎßÛËÏË ÓÂÊÏÇÓÂÏË (ÄÞÔÑÍÂâ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÂ,ÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍÂ ËÑÐÂÏË ÐËÊÍËØ àÐÇÓÅËÌ) ËÎË (Ã) ÔÑ ÔÎËÛÍÑÏ ÏÂÎÞÏËÓÂÊÏÇÓÂÏË (ÐËÊÍÂâ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÂ Ë ÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍÂ ËÑÐÂÏË ÏÂÎÞØàÐÇÓÅËÌ [101, 139]); ÕÇÏÐÞÇ ÍÓÖÉÑÚÍË ÐÂ ÓËÔ. 15Â, Ã ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÖáÕÑÒÕËÏÂÎßÐÞÏ ÖÔÎÑÄËâÏ ÐÂÐÇÔÇÐËâ.

(Ä) ±ÑÄÇÆÇÐËÇ ÒÓË ÑÕÉËÅÇ ÒÑÍÓÞÕËÌ Ti ë Si ë N, ÒÑÎÖÚÇÐÐÞØ ±ÂÕÛÂÌÆÇÓÑÏ Ë ÆÓ. [102] ÏÇÕÑÆÑÏÓÇÂÍÕËÄÐÑÅÑ ÓÂÔÒÞÎÇÐËâ. ´ÇÓÏËÐÑÎÑÅËâ "ÂÕ. % Si3N4" ÄÊâÕÂ ËÊÑÃÊÑÓÂ [102]; ÄÇÓÑâÕÐÑ, ÔÎÇÆÖÇÕ ÚËÕÂÕß "ÏÑÎ. %".ÐÞØ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÂØ Ë ÐÂÒÓâÉÇÐËâØ ÔÏÇÜÇÐËâ ÐÂ ÒÑÆÎÑÉÍÇ[101, 139].

°ÕÏÇÕËÏ, ÚÕÑ ÐÇÊÂÄËÔËÏÑ ÑÕ ÒÇÓÄËÚÐÑÅÑÓÂÊÏÇÓÂ ÍÓËÔÕÂÎÎËÕÂ ÒÑÔÎÇ ÐÂÐÇÔÇÐËâ, ÒÑÍÓÞÕËÇ ÆÑÔÕËÅÂÇÕ "ÑÒÕËÏÂÎßÐÑÌ" ÕÑÎÜËÐÞ Ä ÒÓÇÆÇÎÂØ 3 ë 4 ÐÏ; àÕÑÃÞÎÑ ÑÃÐÂÓÖÉÇÐÑ ÆÎâ ÄÔÇØ ÒÑÍÓÞÕËÌ nc-MeN/a-Si3N4,ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØ ÏÇÕÑÆÑÏ PCVD Ä ËÐÕÇÐÔËÄÐÑÏ ÓÂÊÓâÆÇ ÄÖÔÎÑÄËâØ, ÑÃÇÔÒÇÚËÄÂáÜËØ ÊÂÄÇÓÛÇÐËÇ ×ÑÓÏËÓÑÄÂÐËâÔÕÂÃËÎßÐÑÌ ÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓÞ Ä ÒÓÑÙÇÔÔÇ ÐÂÐÇÔÇÐËâ.±ÑàÕÑÏÖ ÔÂÏÑÖÒÓÑÚÐÇÐËÇ ÕËÒËÚÐÑ ÆÎâ ÐÇÒÑÎÐÑÌ ×ÂÊÑÄÑÌ ÔÇÅÓÇÅÂÙËË ÒÑÔÎÇ ÐÂÐÇÔÇÐËâ, Ë, ÍÂÍ ÒÑÆÚÈÓÍËÄÂÎ ¬ÂÐ[140], ÑÐÑ âÄÎâÇÕÔâ ÓÇÊÖÎßÕÂÕÑÏ ÊÂÄÇÓÛÇÐËâ ÔÒËÐÑÆÂÎßÐÑÌ ×ÂÊÑÄÑÌ ÔÇÅÓÇÅÂÙËË ÒÑÔÎÇ ÑÕÉËÅÂ.

¯ÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÞ[µ¶¯ 2009ÑÃÎÂÆÂáÕ ÕÂÍÑÌ ÕÇÓÏËÚÇÔÍÑÌ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕßá ÄÔÎÇÆÔÕÄËÇÕÑÅÑ, ÚÕÑ ÍÑÐÇÚÐÂâ, ÒÑÎÐÑÔÕßá ÔÇÅÓÇÅËÓÑÄÂÐÐÂâ ÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓÂ nc-TiN/a-Si3N4 ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÖÇÕ ×ËÐÂÎßÐÑÌ ÔÕÂÆËË ÔÒËÐÑÆÂÎßÐÑÌ ÔÇÅÓÇÅÂÙËË ÔÕÇØËÑÏÇÕÓËÚÇÔÍËØ ×ÂÊ.±ÓÑÔÕÑÌ ÕÇÓÏÑÆËÐÂÏËÚÇÔÍËÌ ÒÑÆØÑÆ (ÔÏ. [69, 63, 135])ÒÑÍÂÊÞÄÂÇÕ, ÚÕÑ àÕÑ ÉÇ ÊÂÍÎáÚÇÐËÇ ÔÒÓÂÄÇÆÎËÄÑ ÆÎâÓâÆÂ nc-MeN/a-Si3N4, nc-MeN/a-BN Ë ÆÓÖÅËØ ÔËÔÕÇÏ.±ÑàÕÑÏÖ ÍÑÐÙÇÒÙËâ ÆËÊÂÌÐÂ [68] ÔÑÅÎÂÔÐÑ àÕÑÏÖ ÒÑÆØÑÆÖ ËÏÇÇÕ ÑÔÐÑÄÐÑÇ ÊÐÂÚÇÐËÇ.²ÇÊÖÎßÕÂÕÞ ËÔÔÎÇÆÑÄÂÐËâ ÕÇÓÏËÚÇÔÍÑÌ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕËÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ ÃÞÎË ÑÒÖÃÎËÍÑÄÂÐÞ ÒÑÊÆÐÇÇ ÐÇÔÍÑÎßÍËÏË ÅÓÖÒÒÂÏË ÂÄÕÑÓÑÄ.

£ ÑÕÐÑÛÇÐËË ÔËÔÕÇÏÞ Ti ë B ë NÂÄÕÑÓÞ ÔÔÞÎÂáÕÔâ ÐÂ ÓËÔ. 14Ä Ë ÒÑÔÎÇÆÐËÇ ÓÂÃÑÕÞ®ÇÌÓØÑ×ÇÓÂ Ë ÆÓ. [66, 67] Ë ÔÔÞÎÍË Ä ÐËØ. £ ÍÂÚÇÔÕÄÇÕËÒËÚÐÑÅÑ ÒÓËÏÇÓÂ ÆÎâ ÒÑÍÓÞÕËÌ Ti ë B ë N, ÍÑÕÑÓÞÇÐÂÐÑÔËÎË Ä ÐÇÐÂÆÎÇÉÂÜËØ ÖÔÎÑÄËâØ, ÒÓËÄÑÆËÕÔâ ÓËÔ. 15ÄËÊ ÓÇÊÖÎßÕÂÕÑÄ ±ÂÕÛÂÌÆÇÓÂ Ë ÆÓ., ÔÏ. ÑÃÊÑÓ [102]. ¬ÂÍÄËÆÐÑ, ÒÑÍÓÞÕËâ Ô ÔÑÆÇÓÉÂÐËÇÏ Si3N4 7 ÂÕ. % (ÄÇÓÑâÕÐÑ,ÔÎÇÆÖÇÕ ÚËÕÂÕß "ÏÑÎ % Si3N4" ËÎË "ÂÕ. % Si") ÒÑÍÂÊÞÄÂáÕ ÔËÎßÐÑÇ ÖÄÇÎËÚÇÐËÇ ÕÄÈÓÆÑÔÕË Ë ÔÉËÏÂáÜÇÇ ÐÂÒÓâÉÇÐËÇ ÒÑÔÎÇ ÑÕÉËÅÂ ÆÑ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓ 5 500 C.

°ÆÐÑÄÓÇÏÇÐÐÑÇ ÖÏÇÐßÛÇÐËÇ ÕÄÈÓÆÑÔÕË Ë ÔÉËÏÂáÜÇÅÑ ÐÂÒÓâÉÇÐËâ (ÑÕ 5 ÿ 7 ÆÑ ÿ2 ¤±Â) Ë ÔÓÂÄÐÇÐËÇ Ô ÒÑÄÇÆÇÐËÇÏÒÑÍÓÞÕËÌ, ÖÒÓÑÚÐÈÐÐÞØ ËÑÐÐÑÌ ÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍÑÌ(ÓËÔ. 13Â), ÒÓÇÆÒÑÎÂÅÂÇÕ, ÚÕÑ ÒÑÍÂÊÂÐÐÑÇ ÐÂ ÓËÔ. 15ÄÔÓÇÆÐÇÇ ÖÄÇÎËÚÇÐËÇ ÕÄÈÓÆÑÔÕË 34 ¤±Â, ÄÇÓÑâÕÐÑ,âÄÎâÇÕÔâ ÔÎÇÆÔÕÄËÇÏ ÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍË ÄÞÔÑÍÑàÐÇÓÅÇÕËÚÐÞÏË ËÑÐÂÏË. °ÕÏÇÕËÏ, ÚÕÑ ÒÑ ÔÎÑÄÂÏ ÂÄÕÑÓÑÄ [19]ÑÐË ÐË ÓÂÊÖ ÐÇ ÐÂÃÎáÆÂÎË ÕÂÍÖá ÐËÊÍÖá ÕÇÓÏÑÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕß ÐË Ä ÑÆÐÑÏ ËÊ ÒÑÎÖÚÇÐÐÞØ ËÏË ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ nc-TiN/a-Si3N4, ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØ Ä ÖÔÎÑÄËâØ, ÑÃÇÔÒÇÚËÄÂáÜËØ ×ÑÓÏËÓÑÄÂÐËÇ ÔÕÂÃËÎßÐÑÌ ÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓÞ.µÔÎÑÄËâ ÐÂÐÇÔÇÐËâ ÒÑÍÓÞÕËÌ Ti ë Si ë N Ä [141, 142] ÐÇÑÒÓÇÆÇÎÇÐÞ, Â ÆËÔÔÇÓÕÂÙËâ M.

¥ËÔÇÓÇÐÔ, ÐÂ ÍÑÕÑÓÖáÔÔÞÎÂáÕÔâ Ä ÑÃÊÑÓÇ [102] (ÔÏ. [30] Ä [102]), ÃÞÎÂ ÐÇÆÑÔÕÖÒÐÂ ÐÂ ÏÑÏÇÐÕ ÐÂÒËÔÂÐËâ ÐÂÔÕÑâÜÇÅÑ ÑÃÊÑÓÂ. ´ÂÍËÏÑÃÓÂÊÑÏ, ÏÑÉÐÑ ÕÑÎßÍÑ ÆÑÒÖÔÕËÕß, ÚÕÑ ÖÔÎÑÄËâ ÃÞÎËÒÑÆÑÃÐÞ ÕÇÏ, ÍÑÕÑÓÞÇ ÑÒÓÇÆÇÎÇÐÞ Ä ÃÑÎÇÇ ÓÂÐÐÇÌ ÔÕÂÕßÇàÕËØ ÂÄÕÑÓÑÄ, Õ.Ç. ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÂ "ÐËÍÑÅÆÂ ÐÇ ÒÓÇÄÞÛÂÎÂ350 C", ÔÏÇÜÇÐËÇ ÒÑÄÇÓØÐÑÔÕË ÍÑÎÇÃÂÎÑÔß ÏÇÉÆÖ ÿ100 Ëÿ125 £, Â "ÄÂÓËÂÙËË ÔÑÆÇÓÉÂÐËâ ÍÓÇÏÐËâ (Ä ÒÑÍÓÞÕËË)ÆÑÔÕËÅÂÎËÔß ÒÓË ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÐËË ÓÂÊÎËÚÐÑÅÑ ÒÂÓÙËÂÎßÐÑÅÑ ÆÂÄÎÇÐËâ ÂÊÑÕÂ Ë ÍÑÎÇÃÂÎËÔß ÏÇÉÆÖ 8 10ÿ2 Ë1;2 10ÿ1 ±Â" (0,0008 ë 0,0012 ÏÃÂÓ) ÒÓË "ÑÔÐÑÄÐÑÏÆÂÄÎÇÐËË Ä ÓÇÂÍÕÑÓÇ ÐËÉÇ 2 10ÿ4 ±Â" (2 10ÿ6 ÏÃÂÓ,ÔÏ. [141]). ´ÂÍÖá ÉÇ ËÐ×ÑÓÏÂÙËá ÒÑ ÒÑÄÑÆÖ ÖÔÎÑÄËÌÐÂÐÇÔÇÐËâ ÏÑÉÐÑ ÐÂÌÕË Ë Ä ÆÓÖÅËØ ÓÂÃÑÕÂØ àÕÑÌ ÅÓÖÒÒÞ[73, 142 ë 144]. ³ÓÂÄÐËÄÂâ ÖÔÎÑÄËâ ÐÂÐÇÔÇÐËâ ËÊ ÏÐÑÅËØÓÂÃÑÕ, Ä ÍÑÕÑÓÞØ ÒÑÎÖÚÇÐÐÂâ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÒÑÍÓÞÕËÌ ÖÄÇÎËÚËÄÂÎÂÔß Ä ÓÇÊÖÎßÕÂÕÇ ËÑÐÐÑÌ ÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍË, ÏÑÉÐÑÄËÆÇÕß, ÚÕÑ ÖÔÎÑÄËâ, ÍÑÕÑÓÞÇ ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÎË ±ÂÕÛÂÌÆÇÓ ËÆÓ., ÃÞÎË ÕËÒËÚÐÞÏË ÆÎâ ÖÒÓÑÚÐÇÐËâ ÊÂ ÔÚÈÕ ËÑÐÐÑÌÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍË.

´ÂÍËÏ ÑÃÓÂÊÑÏ, ÔÕÂÐÑÄËÕÔâ ÒÑÐâÕÐÞÏ,ÒÑÚÇÏÖ ÒÑÍÓÞÕËâ Ti ë Si ë N Ö àÕËØ ËÔÔÎÇÆÑÄÂÕÇÎÇÌ ÄÇÎËÔÇÃâ ÒÑÚÕË ÑÆËÐÂÍÑÄÑ, Ä ÑÕÎËÚËÇ ÑÕ ÆÂÐÐÞØ £ÇÒÓÇÍÂ Ë ÆÓ.[69] ÆÎâ ÒÑÍÓÞÕËÌ Ô ÂÐÂÎÑÅËÚÐÞÏ ÔÑÆÇÓÉÂÐËÇÏ Si.¯ÇÃÑÎßÛÑÇ ÔÂÏÑÖÒÓÑÚÐÇÐËÇ, ÐÂÃÎáÆÂÇÏÑÇ Ä ÒÑÍÓÞÕËâØ Ô ÄÞÔÑÍËÏ ÔÑÆÇÓÉÂÐËÇÏ Si3N4 (ÒÑÓâÆÍÂ 20 ÂÕ. % (ÔÏ.ÓËÔ. 15)), ÄÑÊÏÑÉÐÑ, ÔÄâÊÂÐÑ Ô ÓÂÔÔÏÑÕÓÇÐÐÑÌ ÄÞÛÇÔÇÅÓÇÅÂÙËÇÌ ×ÂÊ. £Ñ ÄÔÇØ ÒÑÍÓÞÕËâØ nc-MeN/a-Si3N4, ÄÍÑÕÑÓÞØ ÃÞÎÂ ÑÃÐÂÓÖÉÇÐÂ ÏÂÍÔËÏÂÎßÐÂâ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ËÍÑÕÑÓÞÇ ÑÔÕÂÎËÔß ÔÕÂÃËÎßÐÞÏË ÒÑÔÎÇ ÑÕÉËÅÂ ÆÑ 1100 C(ÓËÔ. 14Â, Ã), ÔÑÆÇÓÉÂÐËÇ Si3N4 ÃÞÎÑ ÃÎËÊÍÑ Í 20 ÂÕ.

%.¿ÕÑ ÔÓÂÄÐÇÐËÇ ÄÐÑÄß ÒÑÍÂÊÞÄÂÇÕ, ÚÕÑ ÖÔÎÑÄËâ ÐÂÐÇÔÇÐËâ53³´²µ¬´µ²¡ ª ³£°«³´£¡ ´£§²¥½· ª ³£¦²·´£§²¥½· ¯¡¯°¬°®±°©ª´¯½· ±°¬²½´ª«9.3. ³ÕÑÌÍÑÔÕß Í ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá£ÞÔÑÍÂâ ÔÕÑÌÍÑÔÕß Í ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ nc-TiN/a-Si3N4 ÒÓË ÑÒÕËÏÂÎßÐÑÏ ÔÑÔÕÂÄÇ ËÕÄÈÓÆÑÔÕË 5 50 ¤±Â ÓÂÔÔÏÂÕÓËÄÂÎÂÔß Ä ÒÇÓÄÑÌ ÓÂÃÑÕÇ£ÇÒÓÇÍÂ Ë ÆÓ. [68].

¯Â ÓËÔÖÐÍÇ 16Â ËÊ ÓÂÃÑÕÞ [94]ÔÓÂÄÐËÄÂÇÕÔâ ÕÇÓÏËÚÇÔÍÂâ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕß ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ nc-TiN/a-Si3N4, ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØ ÏÇÕÑÆÑÏ PCVD [68], ÔÑÏÐÑÅËÏË ÒÓÑÏÞÛÎÇÐÐÞÏË ÒÑÍÓÞÕËâÏË, ÍÂÍ ÔÑÑÃÜÂÎ®áÐÙ Ä 1986 Å. [146]. ´ÇÓÏËÚÇÔÍÂâ ÔÕÂÃËÎËÊÂÙËâ ÒÓËÏÇÐâÎÂÔß Ä ÒÑÍÓÞÕËâØ (TiAl)N, ÎÇÅËÓÑÄÂÐÐÞØ ËÕÕÓËÇÏ [147,148]. ¯Â ÓËÔÖÐÍÇ 16Ã ÒÑÍÂÊÂÐÂ ÔÕÑÌÍÑÔÕß Í ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá ÆÎâ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ nc-TiN/a-BN,ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØ ÏÇÕÑÆÑÏ PCVD, Ë ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ nc-TiN/a-Si3N4, ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØ ÏÂÅÐÇÕÓÑÐÐÞÏ ÓÂÔÒÞÎÇÐËÇÏ Ä ÖÔÎÑÄËâØ, ÍÑÕÑÓÞÇ ÑÃÇÔÒÇÚËÄÂÎË ×ÑÓÏËÓÑÄÂÐËÇÔÕÂÃËÎßÐÑÌ ÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓÞ [99, 133].³ÕÑÌÍÑÔÕß Í ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá ÔÕÂÃËÎßÐÞØ Ë ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ nc-TiN/a-Si3N4 Ô ÏÂÍÔËÏÂÎßÐÑÌÕÄÈÓÆÑÔÕßá Ä 50 ¤±Â [68] ÔÓÂÄÐËÄÂÇÕÔâ Ô ÕÄÈÓÆÑÔÕßáÎÇÅËÓÑÄÂÐÐÑÅÑ ËÕÕÓËÇÏ Al1ÿxÿy Tix Yy N.

³ÕÂÃËÎßÐÑÔÕßÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ nc-TiN/a-BN ÐÇÏÐÑÅÑÄÞÛÇ, ÚÇÏ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕß TiN, ÐÑ ÐÇ ÐÂÏÐÑÅÑ ÎÖÚÛÇ, ÚÇÏÖ nc-TiN/a-Si3N4. £ÞÔÑÍÂâ ÔÕÑÌÍÑÔÕß Í ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá ÖÒÑÔÎÇÆÐËØ ÇÔÕß ÔÎÇÆÔÕÄËÇ ÔËÎßÐÑÌ Ë ÒÎÑÕÐÑÌ ÅÓÂÐËÙÞÓÂÊÆÇÎÂ Si3N4, ÍÑÕÑÓÂâ ÒÓÇÒâÕÔÕÄÖÇÕ ÆË××ÖÊËË ÍËÔÎÑÓÑÆÂ ÄÆÑÎß ÅÓÂÐËÙ ÊÈÓÇÐ (ÑÕÏÇÕËÏ, ÚÕÑ ËÕÕÓËÌ ÄAl1ÿxÿy Tix Yy N ÕÂÍÉÇ ÒÓÇÒâÕÔÕÄÖÇÕ ÆË××ÖÊËË ÍËÔÎÑÓÑÆÂ ÄÆÑÎß ÅÓÂÐËÙ ÊÈÓÇÐ). ¢ÑÎÇÇ ÐËÊÍÂâ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕßÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ nc-TiN/a-BN ÇÔÕß ÔÎÇÆÔÕÄËÇ ÃÑÎÇÇ ÐËÊÍÑÌ ÔÕÑÌÍÑÔÕË Í ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá ×ÂÊÞ BN.

¿ÕÑ ÃÞÎÑ¸ÇÏÇÐÕËÓÑÄÂÐÐÞÌÍÂÓÃËÆ WC8µÄÇÎËÚÇÐËÇ ÄÇÔÂ, Å ÔÏÿ2ÒÑÍÓÞÕËÌ Ë ÓÇÊÖÎßÕËÓÖáÜÂâ ÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓÂ ÒÑÍÓÞÕËÌTi ë Si ë N, Ñ ÍÑÕÑÓÑÌ ÔÑÑÃÜÂÎË ËÔÔÎÇÆÑÄÂÕÇÎË [19], ÃÞÎËÆÂÎÇÍË ÑÕ ÑÒÕËÏÂÎßÐÑÌ. ¬ ÔÑÉÂÎÇÐËá, ÐÂÏ ÕÓÖÆÐÑÑÃÔÖÉÆÂÕß ÄÑÊÏÑÉÐÞÇ ÒÓËÚËÐÞ ÃÑÎÇÇ ÆÇÕÂÎßÐÑ, ÕÂÍ ÍÂÍÏÞ ÐÇ ÓÂÔÒÑÎÂÅÂÇÏ ÒÑÎÐÞÏË ÆÂÐÐÞÏË ÑÕÐÑÔËÕÇÎßÐÑÔÑÔÕÂÄÂ (20 ÂÕ. % Si ËÎË ÏÑÎ % Si3N4?), ÖÔÎÑÄËÌ ÐÂÐÇÔÇÐËâ, ÔÑÆÇÓÉÂÐËâ ÒÓËÏÇÔÇÌ Ë ÆÓ. ÒÂÓÂÏÇÕÓÑÄ ËÊ ÔÕÂÕÇÌ±ÂÕÛÂÌÆÇÓÂ, ÍÑÕÑÓÞÌ Ä ÔÄÑËØ ÑÃÊÑÓÂØ [73, 102] ÆÂÉÇ ÐÇÔÔÞÎÂÇÕÔâ ÐÂ ÒÑØÑÉËÇ ËÎË ÃÑÎÇÇ ÕÑÚÐÞÇ ÓÂÐÐËÇ ËÔÔÎÇÆÑÄÂÐËâ ÆÓÖÅËØ ÂÄÕÑÓÑÄ.£ ÒÑÔÎÇÆÐÇÇ ÄÓÇÏâ ®ÇÌÓØÑ×ÇÓ Ë ÆÓ.

Поделитесь ссылкой:

Ставлю 10/10
Все нравится, очень удобный сайт, помогает в учебе. Кроме этого, можно заработать самому, выставляя готовые учебные материалы на продажу здесь. Рейтинги и отзывы на преподавателей очень помогают сориентироваться в начале нового семестра. Спасибо за такую функцию. Ставлю максимальную оценку.

Лучшая платформа для успешной сдачи сессии
Познакомился со СтудИзбой благодаря своему другу, очень нравится интерфейс, количество доступных файлов, цена, в общем, все прекрасно. Даже сам продаю какие-то свои работы.

Студизба ван лав ❤
Очень офигенный сайт для студентов. Много полезных учебных материалов. Пользуюсь студизбой с октября 2021 года. Серьёзных нареканий нет. Хотелось бы, что бы ввели подписочную модель и сделали материалы дешевле 300 рублей в рамках подписки бесплатными.

Отличный сайт
Лично меня всё устраивает - и покупка, и продажа; и цены, и возможность предпросмотра куска файла, и обилие бесплатных файлов (в подборках по авторам, читай, ВУЗам и факультетам). Есть определённые баги, но всё решаемо, да и администраторы реагируют в течение суток.

Маленький отзыв о большом помощнике!
Студизба спасает в те моменты, когда сроки горят, а работ накопилось достаточно. Довольно удобный сайт с простой навигацией и огромным количеством материалов.

Студ. Изба как крупнейший сборник работ для студентов
Тут дофига бывает всего полезного. Печально, что бывают предметы по которым даже одного бесплатного решения нет, но это скорее вопрос к студентам. В остальном всё здорово.

Спасательный островок
Если уже не успеваешь разобраться или застрял на каком-то задание поможет тебе быстро и недорого решить твою проблему.

Всё и так отлично
Всё очень удобно. Особенно круто, что есть система бонусов и можно выводить остатки денег. Очень много качественных бесплатных файлов.

Отзыв о системе "Студизба"
Отличная платформа для распространения работ, востребованных студентами. Хорошо налаженная и качественная работа сайта, огромная база заданий и аудитория.

Отличный помощник
Отличный сайт с кучей полезных файлов, позволяющий найти много методичек / учебников / отзывов о вузах и преподователях.

Отлично помогает студентам в любой момент для решения трудных и незамедлительных задач
Хотелось бы больше конкретной информации о преподавателях. А так в принципе хороший сайт, всегда им пользуюсь и ни разу не было желания прекратить. Хороший сайт для помощи студентам, удобный и приятный интерфейс. Из недостатков можно выделить только отсутствия небольшого количества файлов.

Спасибо за шикарный сайт
Великолепный сайт на котором студент за не большие деньги может найти помощь с дз, проектами курсовыми, лабораторными, а также узнать отзывы на преподавателей и бесплатно скачать пособия.