Погребняк А.Д., Шпак А.П., Азаренков Н.А., Береснев В.М. Структура и свойства твердых и сверхтвердых нанокомпозитных покрытий, страница 9

PDF-файл Погребняк А.Д., Шпак А.П., Азаренков Н.А., Береснев В.М. Структура и свойства твердых и сверхтвердых нанокомпозитных покрытий, страница 9 Основы наноэлектроники и нанотехнологии (15154): Книга - 8 семестрПогребняк А.Д., Шпак А.П., Азаренков Н.А., Береснев В.М. Структура и свойства твердых и сверхтвердых нанокомпозитных покрытий: Основы наноэлектроники2017-12-262017-12-26zzyxelСтудИзба

Погребняк А.Д., Шпак А.П., Азаренков Н.А., Береснев В.М. Структура и свойства твердых и сверхтвердых нанокомпозитных покрытий466

Описание файла

PDF-файл из архива "Погребняк А.Д., Шпак А.П., Азаренков Н.А., Береснев В.М. Структура и свойства твердых и сверхтвердых нанокомпозитных покрытий", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "основы наноэлектроники и нанотехнологии" из 8 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "книги и методические указания", в предмете "основы наноэлектроники и нанотехнологий" в общих файлах.

Просмотр PDF-файла онлайн

Текст 9 страницы из PDF

³ÒÓÂÍÕËÚÇÔÍÑÌ ÕÑÚÍË ÊÓÇÐËâ ÒÑÍÓÞÕËâ, ÔÑÆÇÓÉÂÜËÇ ×ÂÊÖTiSi2, ÔÕÓÂÆÂáÕ ÑÕ ÐÇÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕË àÕÑÌ ×ÂÊÞ ÒÑÔÎÇÆÑÎÅÑÔÓÑÚÐÑÌ àÍÔÒÑÊËÙËË ÐÂ ÄÑÊÆÖØÇ (ÔÏ. ÓÂÊÆÇÎ 7.1).µÏÇÐßÛÇÐËÇ ÕÄÈÓÆÑÔÕË, ÐÂÃÎáÆÂÇÏÑÇ Ä ÒÑÍÓÞÕËâØ Ë ËÆÓ. [78] ÒÑÔÎÇ ÐÇÔÍÑÎßÍËØ ÏÇÔâÙÇÄ àÍÔÒÑÊËÙËË, ÒÇÓÄÑÐÂÚÂÎßÐÑ ÒÓËÒËÔÞÄÂÎË ÑÕÐÑÔËÕÇÎßÐÑ ÄÞÔÑÍÑÏÖ ÔÑÆÇÓÉÂÐËá ØÎÑÓÂ. °ÆÐÂÍÑ Ä àÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÂØ ÂÄÕÑÓÑÄ [19] ÒÑÆÑÃÐÑÇ ÖÏÇÐßÛÇÐËÇ ÕÄÈÓÆÑÔÕË Ä ÖÎßÕÓÂÕÄÈÓÆÞØ ÒÑÍÓÞÕËâØnc-TiN/a-Si3N4/a-(nc-)TiSi2 ÒÑÔÎÇ 6 ë 8-ÏÇÔâÚÐÑÅÑ ÒÇÓËÑÆÂÖÍÂÊÞÄÂÇÕ ÐÂ ÕÑ, ÚÕÑ ÔÑÆÇÓÉÂÐËÇ Ä ÐËØ ØÎÑÓÂ ÃÞÎÑÐËÊÍËÏ (ÕËÒËÚÐÑ < 0;5 ÂÕ. %).

±ÑàÕÑÏÖ àÕÖ ÐÇÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕß ÒÓËÒËÔÂÎË ÐÇÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕË ÕËÕÂÐÂÕÂ ÍÓÇÏÐËâ,ÍÑÕÑÓÞÌ ×ÑÓÏËÓÖÇÕ ÐÇÔÍÑÎßÍÑ ×ÂÊ Ô ÓÂÊÎËÚÐÑÌ ÔÕÇØËÑÏÇÕÓËÇÌ: Ti5Si3, TiSi Ë TiSi2, ËÊ ÍÑÕÑÓÞØ ÒÑÔÎÇÆÐââÆÑÎÉÐÂ ÃÞÕß ÐÂËÃÑÎÇÇ ÔÕÂÃËÎßÐÑÌ [125, 126]. °ÆÐÂÍÑÒÑÎÖÚÇÐËÇ ÒÓË ÑÕÐÑÔËÕÇÎßÐÑ ÐËÊÍËØ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÂØ 500 ë600 C ÒÓËÄÑÆËÕ Í ×ÑÓÏËÓÑÄÂÐËá ÏÇÕÂÔÕÂÃËÎßÐÞØ ×ÂÊTiSi2 [82], ÍÑÕÑÓÞÇ ÒÑÕÑÏ ÕÓÂÐÔ×ÑÓÏËÓÖáÕÔâ Ä ÔÕÂÃËÎßÐÞÇ [87] ÕÑÎßÍÑ ÒÓË ÄÞÔÑÍËØ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÂØ.

±ÑÔÍÑÎßÍÖÆÂÐÐÞÌ ×ÂÊÑÄÞÌ ÒÇÓÇØÑÆ ÍËÐÇÕËÚÇÔÍË ÔÒÓâÕÂÐ Ä ÏÂÎÞÌÑÃÝÈÏ, ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞÇ ÒÑÍÓÞÕËâ TiSi2 ÄÑÔÒÓËËÏÚËÄÞ50¡.¥. ±°¤²¦¢¯Á¬, ¡.±. º±¡¬, ¯.¡. ¡©¡²¦¯¬°£, £.®. ¢¦²¦³¯¦£Í ØËÏËÚÇÔÍÑÌ ÂÕÂÍÇ ÒÑÎâÓÐÞØ ÏÑÎÇÍÖÎ ÄÑÆÞ [125, 126].³ËÕÖÂÙËâ ÒÑÆÑÃÐÂ ÔËÕÖÂÙËË Ô ÄÑÎÑÍÐÂÏË ÍÓÇÏÐËâ,ÍÑÕÑÓÞÇ ÔÓÂÊÖ ÒÑÔÎÇ ÒÓËÅÑÕÑÄÎÇÐËâ ÏÑÅÖÕ ÆÑÔÕËÅÂÕßËÆÇÂÎßÐÑÅÑ ÐÂÒÓâÉÇÐËâ ÓÂÔÕâÉÇÐËâ 24 ¤±Â. °ÆÐÂÍÑ ÒÓËàÍÔÒÑÊËÙËË ÄÑ ÄÎÂÉÐÑÏ ÄÑÊÆÖØÇ ËØ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÃÞÔÕÓÑÖÏÇÐßÛÂÇÕÔâ, ÒÑÔÍÑÎßÍÖ ×ÑÓÏËÓÖáÕÔâ ÒÑÄÇÓØÐÑÔÕÐÞÇÏËÍÓÑÕÓÇÜËÐÞ (ÔÏ. [84], Ô. 172), Ë ÒÑÔÎÇ 24 Ú ÇÆÄÂÆÑÔÕËÅÂÇÕ 0,3 ¤±Â.9. ³ÄÑÌÔÕÄÂ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ9.1. ¥ÑÎÅÑÄÓÇÏÇÐÐÂâ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕß ÐÂ ÄÑÊÆÖØÇÒÓË ÍÑÏÐÂÕÐÑÌ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ¬ÂÍ ÑÕÏÇÚÂÎÑÔß Ä ÒÓÇÆÞÆÖÜÇÏ ÓÂÊÆÇÎÇ, ÖÎßÕÓÂÕÄÈÓÆÞÇÕÓÑÌÐÞÇ Ë ÚÇÕÄÇÓÐÞÇ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÞ ÔÕÓÂÆÂáÕ ÑÕÆÇÅÓÂÆÂÙËË ÒÑÔÎÇ ÆÑÎÅÑÄÓÇÏÇÐÐÑÌ àÍÔÒÑÊËÙËË ÐÂÄÑÊÆÖØÇ.

°ÆÐÂÍÑ ÃËÐÂÓÐÞÇ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞÇ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÞ, ÕÂÍËÇ ÍÂÍ nc-TiN/a-Si3N4 Ë nc-TiN/a-BN (Â ÕÂÍÉÇnc-TiN/a-BN/a-TiB2) ÔÑØÓÂÐâáÕ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕß ÒÑÔÎÇ àÍÔÒÑÊËÙËË ÐÂ ÄÑÊÆÖØÇ Ä ÕÇÚÇÐËÇ ÐÇÔÍÑÎßÍËØ ÎÇÕ, ÍÂÍÒÑÍÂÊÂÐÑ ÐÂ ÓËÔ. 13. ³ÎÇÆÖÇÕ ÑÕÏÇÕËÕß, ÚÕÑ ÆÎâ ÍÂÉÆÑÌÔËÔÕÇÏÞ Ä ÕÇÚÇÐËÇ ÆÑÎÅÑÅÑ ÒÇÓËÑÆÂ ËÔÔÎÇÆÑÄÂÎÂÔß ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕß ÐÇÔÍÑÎßÍËØ ÒÑÍÓÞÕËÌ, ÐÑ ÏÞ ËÏÇÇÏ ÕÑÎßÍÑÑÆËÐ ÒÓËÏÇÓ, ÒÑÍÂÊÂÐÐÞÌ ÐÂ ÓËÔ. 13. °ÆÐÂÍÑ, ÍÂÍ ÖÉÇÑÕÏÇÚÂÎÑÔß Ä ÒÓÇÆÞÆÖÜÇÏ ÓÂÊÆÇÎÇ, ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÖÎßÕÓÂÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ nc-TiN/a-Si 3 N 4 /a-(nc-)TiSi 2ÆÇÅÓÂÆËÓÖÇÕ ÒÑÔÎÇ ÐÇÔÍÑÎßÍËØ ÏÇÔâÙÇÄ àÍÔÒÑÊËÙËË ÐÂÄÑÊÆÖØÇ (ÓËÔ.

13Â).120nc-TiN/a-Si3N4/a-(nc-)TiSi214,4 ÂÕ.% Si´ÄÇÓÆÑÔÕß, ¤±Â100Â806040nc-TiN/a-Si3N4200200400600800 1000 1200£ÓÇÏâ ÒÑÔÎÇ ÑÔÂÉÆÇÐËâ, ÔÖÕ601400Ã´ÄÇÓÆÑÔÕß, ¤±Â50403020nc-TiN/a-BNnc-TiN/a-BN/a-TiB2100200400600800£ÓÇÏâ ÒÑÔÎÇ ÑÔÂÉÆÇÐËâ, ÔÖÕ1000²ËÔ. 13. ¥ÑÎÅÑÄÓÇÏÇÐÐÂâ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕß nc-TiN/a-Si3N4 Ë ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ nc-TiN/a-Si3N4/a-(nc-)TiSi2 (a) Ë nc-TiN/a-BN/a-TiB2 (Ã) ÒÑÔÎÇàÍÔÒÑÊËÙËË Ä ÎÂÃÑÓÂÕÑÓÐÞØ ÖÔÎÑÄËâØ ÒÓË ÍÑÏÐÂÕÐÑÌ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ.£ÎÂÉÐÑÔÕß ÄÑÊÆÖØÂ ÐÇ ÍÑÐÕÓÑÎËÓÑÄÂÎÂÔß.[µ¶¯ 2009³ÖÊÖÍË Ë ÆÓ. [127] ÔÑÑÃÜÂÎË Ñ ÓÂÊÎÑÉÇÐËË ÒÑÍÓÞÕËÌ ÔÅÓÂÐÇÙÇÐÕÓËÓÑÄÂÐÐÑÌ ÍÖÃËÚÇÔÍÑÌ ÓÇÛÇÕÍÑÌ (¤¸¬)(Ti0,33Al0,67)N, ÍÑÕÑÓÞÇ âÄÎâáÕÔâ ÃÎËÊÍËÏË Í ÒÓÇÆÇÎÖÏÇÕÂÔÕÂÃËÎßÐÑÌ ÓÂÔÕÄÑÓËÏÑÔÕË, Ä ¤¸¬-TiN Ë ÅÇÍÔÂÅÑÐÂÎßÐÖá ÔÕÓÖÍÕÖÓÖ h-AlN ÒÑÔÎÇ ÅÑÆÂ ØÓÂÐÇÐËâ ÐÂÄÑÊÆÖØÇ. ±ÑÍÓÞÕËâ ÐÂÐÑÔËÎË ÏÇÕÑÆÑÏ IBAD. ±ÑÔÍÑÎßÍÖ àÕË ÒÑÍÓÞÕËâ ËÏÇáÕ ÒÓÑÏÞÛÎÇÐÐÑÇ ÒÓËÏÇÐÇÐËÇ, £ÇÒÓÇÍ Ë ÆÓ. (cÏ.

ÔÔÞÎÍÖ Ä [19]) ËÔÔÎÇÆÑÄÂÎË ÔÇÓËáÕÂÍËØ ÒÑÍÓÞÕËÌ Ô ÕËÒËÚÐÞÏ ÔÑÔÕÂÄÑÏ (Ti0,40Al0,60)N,ÍÑÕÑÓÞÌ ËÔÒÑÎßÊÖÇÕÔâ ÆÎâ ËÊÅÑÕÑÄÎÇÐËâ ÓÇÉÖÜÇÅÑËÐÔÕÓÖÏÇÐÕÂ. ¿ÕË ÒÑÍÓÞÕËâ ÒÑÎÖÚÂÎË Ô ÒÑÏÑÜßáÄÂÍÖÖÏÐÑ-ÆÖÅÑÄÑÅÑ ËÔÒÂÓÇÐËâ ÐÂ ÒÓÑÏÞÛÎÇÐÐÑÌ ÖÔÕÂÐÑÄÍÇ ÔÑÄÏÇÔÕÐÑÅÑ ÒÓÑËÊÄÑÆÔÕÄÂ ÍÑÏÒÂÐËË PLATIT(ºÄÇÙËâ) Ë SHM (¹ÇÛÔÍÂâ ²ÇÔÒÖÃÎËÍÂ). ´ÂÍ ÍÂÍ ÂÄÕÑÓÞ[19] ÐÇ ÑÃÐÂÓÖÉËÎË ÍÂÍÑÅÑ-ÎËÃÑ ÓÂÊÎÑÉÇÐËâ Ë ÓÂÊÏâÅÚÇÐËâ ÒÑÔÎÇ àÍÔÒÑÊËÙËË ÐÂ ÄÑÊÆÖØÇ, ÑÐË ÒÓÑÄÇÎË ÔÇÓËá"ÖÔÍÑÓÇÐÐÞØ" ÕÇÔÕÑÄ, ÍÑÅÆÂ ÑÆÐÂ ÚÂÔÕß ÒÑÍÓÞÕËÌ ØÓÂÐËÎÂÔß ÒÓË 300 C Ä ÔÓÇÆÇ ÂÊÑÕÂ, Â ÆÓÖÅÂâ ì ÒÓË 70 ë 80 C ÐÂÄÑÊÆÖØÇ ÔÑ 100 %-ÐÑÌ ÄÎÂÉÐÑÔÕßá.

¥ÂÉÇ Ä àÕËØ ÖÔÎÑÄËâØÍÂÍËØ-ÎËÃÑ ÒÓËÊÐÂÍÑÄ ÓÂÊÎÑÉÇÐËâ ËÎË ÓÂÊÏâÅÚÇÐËâÒÑÔÎÇ ÆÇÄâÕËÚÂÔÑÄÑÌ ÄÞÆÇÓÉÍË ÑÃÐÂÓÖÉÇÐÑ ÐÇ ÃÞÎÑ.¿ÕÑ ÆÇÌÔÕÄËÕÇÎßÐÑ ÄÂÉÐÞÌ ÓÇÊÖÎßÕÂÕ, ÐÑ ÑÔÕÂÈÕÔâÄÑÒÓÑÔ, ÒÑÚÇÏÖ ÒÑÍÓÞÕËâ ³ÖÊÖÍË Ë ÆÓ. ÒÓÇÕÇÓÒÇÎËÓÂÊÎÑÉÇÐËÇ? °ÆÐËÏ ËÊ ÄÂÓËÂÐÕÑÄ ÃÞÎÑ ÑÕÐÑÔËÕÇÎßÐÑÄÞÔÑÍÑÇ ÔÑÆÇÓÉÂÐËÇ ÍËÔÎÑÓÑÆÂ ì ÑÍÑÎÑ 10 ÂÕ. %, ÑÍÑÕÑÓÑÏ ÔÑÑÃÜÂÎË àÕË ÂÄÕÑÓÞ, ËÎË ÔÎËÛÍÑÏ ÄÞÔÑÍÑÇÔÑÆÇÓÉÂÐËÇ Al, ÃÎËÊÍÑÇ Í ÒÓÇÆÇÎÖ ÏÇÕÂÔÕÂÃËÎßÐÑÌ ÓÂÔÕÄÑÓËÏÑÔÕË [127].¢ÖÎÎ Ë ÆÓ. [128] ÔÑÑÃÜÂáÕ, ÚÕÑ Ä ÒÑÍÓÞÕËâØ ËÊ ÂÎÏÂÊÑÒÑÆÑÃÐÑÅÑ ÖÅÎÇÓÑÆÂ (DLC), ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØ Ô ÒÑÏÑÜßáÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍË ÄÞÔÑÍÑàÐÇÓÅÇÕËÚÐÞÏË ËÑÐÂÏË, ÒÑÔÎÇÆÑÎÅÑÔÓÑÚÐÑÅÑ ØÓÂÐÇÐËâ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÖÏÇÐßÛÂÇÕÔâ, Ë ÒÓËÒËÔÞÄÂáÕ àÕÑ ÓÇÎÂÍÔÂÙËË ÄÞÔÑÍËØ ÃËÂÍÔËÂÎßÐÞØ ÔÉËÏÂáÜËØ ÐÂÒÓâÉÇÐËÌ, ÍÑÕÑÓÞÇ ÒÓËÔÖÕÔÕÄÑÄÂÎË Ä ÆÂÐÐÞØÒÑÍÓÞÕËâØ.

·ÂÖ Ë ´ÇÓÓÂ [129] ÔÑÑÃÜÂáÕ Ñ ÕÄÈÓÆÑÔÕË80 ¤±Â ÆÎâ ÒÑÍÓÞÕËÌ Ti ë B ë N, ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØ ÔÑÄÏÇÔÕÐÞÏÏÂÅÐÇÕÓÑÐÐÞÏ ÓÂÔÒÞÎÇÐËÇÏ Ô ÏËÛÇÐÇÌ Ti Ë TiB2; ÔÑÔÕÂÄàÕËØ ÒÑÍÓÞÕËÌ: 13 ÂÕ. % B, 37 ÂÕ. % Ti Ë 50 ÂÕ. % N. ±ÑÔÎÇÐÇÔÍÑÎßÍËØ ÆÐÇÌ ØÓÂÐÇÐËâ ÐÂ ÄÑÊÆÖØÇ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÖÏÇÐßÛÂÇÕÔâ ÆÑ 46 ¤±Â. £ ÒÑÍÓÞÕËâØ ZrN/Ni, ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÑÔÕßÍÑÕÑÓÞØ ÒÑâÄÎâÎÂÔß ÃÎÂÅÑÆÂÓâ ËÑÐÐÑÌ ÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍÇ,ÕÂÍÉÇ ÐÂÃÎáÆÂÎÑÔß ÔÐËÉÇÐËÇ ÕÄÈÓÆÑÔÕË ÒÑÔÎÇ ÅÑÆÑÄÑÅÑØÓÂÐÇÐËâ ÒÓË ÍÑÏÐÂÕÐÑÌ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ. µÏÇÐßÛÇÐËÇÕÄÈÓÆÑÔÕË ÒÑÄÕÑÓâÎÑÔß ÄÑ ÄÔÇØ ËÔÔÎÇÆÑÄÂÐÐÞØ ÔÇÏËÒÑÍÓÞÕËâØ ZrN/Ni, ÒÓË àÕÑÏ ÔÑÆÇÓÉÂÐËÇ Ni ÄÂÓßËÓÑÄÂÎÑÔß ÏÇÉÆÖ 0,46 Ë 4,1 ÂÕ.

%. ¿ÕÂ ÑÅÓÂÐËÚÇÐÐÂâ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕß ÒÓË ÍÑÏÐÂÕÐÑÌ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ ÆÑÎÉÐÂ ÒÓËÐËÏÂÕßÔâÄ ÓÂÔÚÇÕ ÒÓË ÓÂÔÔÏÑÕÓÇÐËË ÄÑÊÏÑÉÐÞØ ÑÃÎÂÔÕÇÌ ÒÓËÏÇÐÇÐËâ ÒÑÍÓÞÕËÌ, ÖÒÓÑÚÐÈÐÐÞØ ÒÖÕÈÏ ÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍËÄÞÔÑÍÑàÐÇÓÅÇÕËÚÐÞÏË ËÑÐÂÏË.9.2. ´ÇÓÏËÚÇÔÍÂâ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕßË "ÔÂÏÑÖÒÓÑÚÐÇÐËÇ" ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ´ÇÓÏËÚÇÔÍÂâ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕß ÕÑÐÍËØ ÐËÕÓËÆÐÞØ ÒÎÈÐÑÍ (ÄÑÔÐÑÄÐÑÏ ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØ ÏÇÕÑÆÑÏ PVD) ÐÇÆÂÄÐÑ ÑÃÔÖÉÆÂÎÂÔß Ä ËÐÕÇÓÇÔÐÑÏ ÑÃÊÑÓÇ ·ÂÎÕÏÂÐÂ [91]. ©ÆÇÔß ÉÇ ÏÞÔ×ÑÍÖÔËÓÖÇÏÔâ ÐÂ ÕÇÓÏËÚÇÔÍÑÌ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕË Ë ÔÂÏÑÖÒÓÑÚÐÇÐËË ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ, ÕÂÍ ÍÂÍ ÒÑÎËÍÓËÔÕÂÎÎÞ ÔÕÑÐÍÑÊÇÓÐËÔÕÑÌ ÔÕÓÖÍÕÖÓÑÌ ÓÇÍÓËÔÕÂÎÎËÊÖáÕÔâ ÒÓË ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ ÑÕÉËÅÂ 5 0;4Tm (Tm ì ÕÑÚÍÂ ÒÎÂÄÎÇÐËâ, ¬; àÕÂÓÇÍÓËÔÕÂÎÎËÊÂÙËâ ÐÂÊÞÄÂÇÕÔâ "ÔÑÊÓÇÄÂÐËÇÏ °ÔÄÂÎßÆÂ"[130, 131]). ±ÑàÕÑÏÖ ÔÕÑÎß ÄÞÔÑÍÂâ ÕÇÓÏËÚÇÔÍÂâ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕß, ÍÂÍ ÒÑÍÂÊÂÐÑ ÆÎâ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ nc-TiN/a-Si3N4ÐÂ ÓËÔ. 10Â, ÖÆËÄÎâÇÕ, ÕÂÍ ÍÂÍ ÔÑÊÓÇÄÂÐËÇ °ÔÄÂÎßÆÂ´.

179, å 1]³´²µ¬´µ²¡ ª ³£°«³´£¡ ´£§²¥½· ª ³£¦²·´£§²¥½· ¯¡¯°¬°®±°©ª´¯½· ±°¬²½´ª«ÕÇÓÏÑÆËÐÂÏËÚÇÔÍË ÑÃÇÔÒÇÚËÄÂÇÕÔâ ËÊÃÞÕÑÚÐÞÏ (ÆÇÔÕÂÃËÎËÊËÓÖáÜËÏ) ÄÍÎÂÆÑÏ àÐÇÓÅËË ÒÑÄÇÓØÐÑÔÕË (ËÎË ÅÓÂÐËÙÞ ÊÈÓÇÐ) Ä ÑÃÜÖá ÔÄÑÃÑÆÐÖá àÐÇÓÅËá ¤ËÃÃÔÂ, Õ.Ç.ÃÑÎÇÇ ÍÓÖÒÐÞÇ ÍÓËÔÕÂÎÎËÕÞ ÄÞÓÂÔÕÂáÕ ÊÂ ÔÚÈÕ ÃÑÎÇÇÏÇÎÍËØ.

£ÞÔÑÍÂâ ÕÇÓÏËÚÇÔÍÂâ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕß Ë ÔÕÑÌÍÑÔÕßÍ ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá ÃÞÎË ÑÕÏÇÚÇÐÞ ÖÉÇ Ä ÓÂÃÑÕÇ [68], ÂÒÑÊÉÇ ËÔÔÎÇÆÑÄÂÎËÔß ÃÑÎÇÇ ÆÇÕÂÎßÐÑ [88, 94].¯Â ÓËÔÖÐÍÇ 14 ÄÞÃÑÓÑÚÐÑ ÆÂÐÞ ÒÓËÏÇÓÞ ÕÇÓÏËÚÇÔÍÑÌÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕË ÓÂÊÎËÚÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ. ²ËÔÖÐÑÍ 14Â ÒÑÍÂÊÞÄÂÇÕ ÑÆÐÑ ËÊ ÏÐÑÅËØ ÒÑÍÓÞÕËÌ nc-TiN/a-Si3N4, ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØ ÏÇÕÑÆÑÏ PCVD Ä ËÐÕÇÐÔËÄÐÑÏ ÓÂÊÓâÆÇ ÒÓË ÆÂÄÎÇÐËËÂÊÑÕÂ 5 0;3 ÏÃÂÓ Ë ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ 550 C [68, 88, 132].°ÕÏÇÕËÏ, ÚÕÑ àÕÑ ÒÑÍÓÞÕËÇ ÑÕÉËÅÂÎË ÒÓË ÆÂÄÎÇÐËË"ÑÔÐÑÄÐÑÅÑ ÅÂÊÂ" 10 ÏÃÂÓ (90 % N2+10 % H2), ÕÑÅÆÂ ÍÂÍÒÑÍÓÞÕËâ, ÒÑÍÂÊÂÐÐÞÇ ÐÂ ÓËÔ. 14Ã, Ä, ÑÕÉËÅÂÎË ÒÓË ÆÂÄ-152010105500 600 700 800 900 1000 1100 1200´ÇÏÒÇÓÂÕÖÓÂ ÑÕÉËÅÂ, C (30 ÏËÐ)´ÄÇÓÆÑÔÕß, ¤±Â50Ã40632106055504540353025201510507420005301500600700 800 900 1000 1100 1200´ÇÏÒÇÓÂÕÖÓÂ ÑÕÉËÅÂ, CÄ03025201510TiNiBN2; [B]=4,1%500600 700 800 900 1000 1100´ÇÏÒÇÓÂÕÖÓÂ ÑÕÉËÅÂ, C²ÂÊÏÇÓ ÍÓËÔÕÂÎÎËÕÂ, ÐÏ2030²ÂÊÏÇÓ ÍÓËÔÕÂÎÎËÕÂ, ÐÏ´ÄÇÓÆÑÔÕß, ¤±Â25400´ÄÇÓÆÑÔÕß, ¤±Â305²ÂÊÏÇÓ ÍÓËÔÕÂÎÎËÕÂ, ÐÏÂ500²ËÔ.

14. ´ÇÓÏËÚÇÔÍÂâ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕß (ËÊÑØÓÑÐÐÞÌ ÑÕÉËÅ Ä ÚËÔÕÑÏN2 ËÎË ÑÔÐÑÄÐÑÏ ÅÂÊÇ Ä ÕÇÚÇÐËÇ 30 ÏËÐ ÒÓË ÍÂÉÆÑÌ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ)(Â) ÆÎâ nc-TiN/a-Si3N4, ÐÂÐÇÔÈÐÐÑÅÑ ÏÇÕÑÆÑÏ PCVD ÐÂ ÒÑÆÎÑÉÍÖSi Ô ÕÑÎÔÕÞÏ ÔÎÑÇÏ TiN ÐÂ ÅÓÂÐËÙÇ ÓÂÊÆÇÎÂ [68, 88, 132], (Ã) ÆÎânc-TiN/a-Si3N4, ÐÂÐÇÔÈÐÐÑÅÑ ÐÂ ÏÑÎËÃÆÇÐÑÄÖá ÒÑÆÎÑÉÍÖ ÏÂÅÐÇÕÓÑÐÐÞÏ ÓÂÔÒÞÎÇÐËÇÏ Ä ÖÔÎÑÄËâØ, ÃÎËÊÍËØ Í ÑÒÕËÏÂÎßÐÞÏ [99] Ë (Ä) ÆÎânc-TiN/a-BN, ÐÂÐÇÔÈÐÐÑÅÑ ÏÇÕÑÆÑÏ PCVD ÐÂ ÍÓÇÏÐËÇÄÖá ÒÑÆÎÑÉÍÖ[142, 151].4*51ÎÇÐËË N2 1 ÂÕÏ.

¯Â ÓËÔÖÐÍÇ 14Ã ÒÓÇÆÔÕÂÄÎÇÐÞ ÓÇÊÖÎßÕÂÕÞÆÎâ ÒÑÍÓÞÕËâ nc-TiN/a-Si3N4, ÐÂÐÇÔÈÐÐÑÅÑ ÓÇÂÍÕËÄÐÞÏÏÂÅÐÇÕÓÑÐÐÞÏ ÓÂÔÒÞÎÇÐËÇÏ Ä ÖÔÎÑÄËâØ, ÒÓËÃÎËÉÂáÜËØÔâ Í ÑÒÕËÏÂÎßÐÞÏ (PN2 =PAr 1, Pt 2 10ÿ3 ÏÃÂÓ,Ts 550 C, ÔÍÑÓÑÔÕß ÐÂÐÇÔÇÐËâ 1,8 ÐÏ Ôÿ1 ) [99]. °ÕÏÇÕËÏ,ÚÕÑ ÒÓË ÑÒÕËÏÂÎßÐÞØ ÖÔÎÑÄËâØ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÒÑÍÓÞÕËÌ ËÊÓÂÃÑÕ [132 ë 135], ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØ PVD, ÒÓÇÄÞÛÂÎÂ 50 ¤±Â.²ËÔÖÐÑÍ 14Ä ÒÑÍÂÊÞÄÂÇÕ ÓÇÊÖÎßÕÂÕÞ ÆÎâ nc-TiN/a-BN,ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØ PCVD Ä ÒÑØÑÉËØ ÖÔÎÑÄËâØ, ÚÕÑ Ë nc-TiN/aSi3N4 ÐÂ ÓËÔ.

14Â, ÅÆÇ ÄÏÇÔÕÑ SiH4 ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÎË BCl3[136]. ±ÑÍÓÞÕËâ, ÒÑÍÂÊÂÐÐÞÇ ÐÂ ÓËÔ. 14Â, Ä, ÐÂÐÑÔËÎË ÐÂÒÑÆÎÑÉÍË ÍÓÇÏÐËâ (100), ÚÕÑÃÞ ËÊÃÇÉÂÕß ÆË××ÖÊËËÏÇÕÂÎÎÑÄ ËÊ ÔÕÂÎË, Mo Ë ÆÓÖÅËØ ÏÇÕÂÎÎËÚÇÔÍËØ ÒÑÆÎÑÉÇÍ. ¿ÕÂ ÆË××ÖÊËâ, ÍÑÕÑÓÂâ ÐÂÚËÐÂÇÕÔâ ÒÓË ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇÄÞÛÇ 900 C, ÖÔËÎËÄÂÇÕ ÓÇÍÓËÔÕÂÎÎËÊÂÙËá Ë ÒÑàÕÑÏÖÖÏÇÐßÛÂÇÕ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÒÑÍÓÞÕËÌ [133 ë 135].®ÑÉÐÑ ÄËÆÇÕß, ÚÕÑ Ë ÓÂÊÏÇÓ ÍÓËÔÕÂÎÎËÕÑÄ, Ë ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÔÕÂÃËÎßÐÞ ÆÑ 1100 C ÆÎâ ÒÑÍÓÞÕËÌ nc-TiN/a-Si3N4Ë ÆÑ 1000 C ÆÎâ nÔ-TiN/a-BN. ¯ÇÏÐÑÅÑ ÃÑÎÇÇ ÐËÊÍÂâÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕß ÒÑÍÓÞÕËÌ nc-TiN/a-BN âÄÎâÇÕÔâ ÔÎÇÆÔÕÄËÇÏ ÒÂÓÙËÂÎßÐÑÅÑ ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËâ BN ÑÔÕÂÕÑÚÐÞÏÍËÔÎÑÓÑÆÑÏ Ä ÔÓÇÆÇ N2 (ÚËÔÕÑÕÂ 99,999 %) Ë ÒÑÕÇÓË ÃÑÓÂÒÓË ÔÖÃÎËÏÂÙËË BOx , ÍÂÍ ÒÑÍÂÊÂÐÑ ÓÂÐÇÇ Ä [134, 137]. £ÔÎÖÚÂÇ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ nc-TiN/a-BN ÐÂËÄÞÔÛÂâ ÕÇÓÏËÚÇÔÍÂâ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕß ÆÑÔÕËÅÂÇÕÔâ ÒÓË ÑÒÕËÏÂÎßÐÑÏÔÑÔÕÂÄÇ, Õ.Ç.

ÍÑÅÆÂ ÒÑÍÓÞÕËÇ ÐÂÐÑÍÓËÔÕÂÎÎÑÄ TiN ÔÎÑÇÏBN ÔÑÔÕÂÄÎâÇÕ ÑÍÑÎÑ ÑÆÐÑÅÑ ÏÑÐÑÔÎÑâ [136, 137]. ¿ÕÑÑÕÎËÚÂÇÕÔâ ÑÕ ÔËÔÕÇÏÞ nc-TiN/a-Si3N4, Ä ÍÑÕÑÓÑÌ ÕÇÓÏËÚÇÔÍÂâ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕß ÑÔÕÂÈÕÔâ ÄÞÔÑÍÑÌ, ÒÓË ÕÑÏ, ÚÕÑÔÑÆÇÓÉÂÐËÇ Si3N4 ÒÓÇÄÞÛÂÇÕ ÑÒÕËÏÂÎßÐÑÇ. ²ÂÊÐËÙÂ ÄÒÑÄÇÆÇÐËË àÕËØ ÆÄÖØ ÔËÔÕÇÏ ÔÄâÊÂÐÂ Ô ÃÑÎÇÇ ÄÞÔÑÍÑÌÔÕÑÌÍÑÔÕßá Í ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá Ö Si3N4 ÒÑ ÔÓÂÄÐÇÐËá ÔBN. ®Þ ÓÂÔÔÏÂÕÓËÄÂÇÏ ÍÂÍ ÒÓÇÆÇÎ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕË ÆÎâÒÑÍÓÞÕËÌ nc-TiN/a-Si3N4 ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÖ 1100 C (ÒÓÇÆÇÎßÐÂâ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÂ, ÒÓË ÍÑÕÑÓÑÌ ÆÂÄÎÇÐËÇ ÐÂÔÞÜÇÐËâ ÂÊÑÕÂ ÆÑÔÕËÅÂÇÕ 1 ÂÕÏ [138]); àÕÂ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÂÊÐÂÚËÕÇÎßÐÑ ÄÞÛÇ, ÚÇÏ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÂ ÄÃÎËÊË 0;4Tm ,ÍÑÅÆÂ ÒÓÑËÔØÑÆËÕ ÔÑÊÓÇÄÂÐËÇ °ÔÄÂÎßÆÂ.

Поделитесь ссылкой:

Ставлю 10/10
Все нравится, очень удобный сайт, помогает в учебе. Кроме этого, можно заработать самому, выставляя готовые учебные материалы на продажу здесь. Рейтинги и отзывы на преподавателей очень помогают сориентироваться в начале нового семестра. Спасибо за такую функцию. Ставлю максимальную оценку.

Лучшая платформа для успешной сдачи сессии
Познакомился со СтудИзбой благодаря своему другу, очень нравится интерфейс, количество доступных файлов, цена, в общем, все прекрасно. Даже сам продаю какие-то свои работы.

Студизба ван лав ❤
Очень офигенный сайт для студентов. Много полезных учебных материалов. Пользуюсь студизбой с октября 2021 года. Серьёзных нареканий нет. Хотелось бы, что бы ввели подписочную модель и сделали материалы дешевле 300 рублей в рамках подписки бесплатными.

Отличный сайт
Лично меня всё устраивает - и покупка, и продажа; и цены, и возможность предпросмотра куска файла, и обилие бесплатных файлов (в подборках по авторам, читай, ВУЗам и факультетам). Есть определённые баги, но всё решаемо, да и администраторы реагируют в течение суток.

Маленький отзыв о большом помощнике!
Студизба спасает в те моменты, когда сроки горят, а работ накопилось достаточно. Довольно удобный сайт с простой навигацией и огромным количеством материалов.

Студ. Изба как крупнейший сборник работ для студентов
Тут дофига бывает всего полезного. Печально, что бывают предметы по которым даже одного бесплатного решения нет, но это скорее вопрос к студентам. В остальном всё здорово.

Спасательный островок
Если уже не успеваешь разобраться или застрял на каком-то задание поможет тебе быстро и недорого решить твою проблему.

Всё и так отлично
Всё очень удобно. Особенно круто, что есть система бонусов и можно выводить остатки денег. Очень много качественных бесплатных файлов.

Отзыв о системе "Студизба"
Отличная платформа для распространения работ, востребованных студентами. Хорошо налаженная и качественная работа сайта, огромная база заданий и аудитория.

Отличный помощник
Отличный сайт с кучей полезных файлов, позволяющий найти много методичек / учебников / отзывов о вузах и преподователях.

Отлично помогает студентам в любой момент для решения трудных и незамедлительных задач
Хотелось бы больше конкретной информации о преподавателях. А так в принципе хороший сайт, всегда им пользуюсь и ни разу не было желания прекратить. Хороший сайт для помощи студентам, удобный и приятный интерфейс. Из недостатков можно выделить только отсутствия небольшого количества файлов.

Спасибо за шикарный сайт
Великолепный сайт на котором студент за не большие деньги может найти помощь с дз, проектами курсовыми, лабораторными, а также узнать отзывы на преподавателей и бесплатно скачать пособия.