Погребняк А.Д., Шпак А.П., Азаренков Н.А., Береснев В.М. Структура и свойства твердых и сверхтвердых нанокомпозитных покрытий, страница 7

³ËÔÕÇÏ TiN1ÿx Cx , ÒÑÍÂÊÂÐÐÂâ РÓËÔ. 10Ã, ÆÇÏÑÐÔÕÓËÓÖÇÕ ÓÂÔÕÄÑÓËÏÑÔÕß ÒÑ ÄÔÇÏÖ ÔÒÇÍÕÓÖ ÔÑÔÕÂÄÑÄ ËÒÑàÕÑÏÖ ÆÎâ ÕÄÈÓÆÑÔÕË ÄÞÒÑÎÐâÇÕÔâ ÒÓÂÄËÎÑ ÔÏÇÔË([95], Ô. 391): ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÏÑÐÑÕÑÐÐÑ ÄÑÊÓÂÔÕÂÇÕ ÒÓËÖÄÇÎËÚÇÐËË ÔÑÆÇÓÉÂÐËâ ÖÅÎÇÓÑÆ ÑÕ ÊÐÂÚÇÐËÌ ÆÎâÚËÔÕÑÅÑ TiN ÆÑ ÊÐÂÚÇÐËÌ, ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÖáÜËØ TiC [94].±ÑÍÓÞÕËâ Me(trans)N/Me(2), ÔÑÔÕÑâÜËÇ ËÊ ÕÄÈÓÆÑÅÑÔÎÑâ ÐËÕÓËÆ ÒÇÓÇØÑÆÐÑÅÑ ÏÇÕÂÎÎÂ Ë ÍÑÄÍÑÅÑ ÏÇÕÂÎÎÂ[66], ÆÑÔÕËÅÂáÕ ÔÂÏÑÅÑ ÄÞÔÑÍÑÅÑ ÖÄÇÎËÚÇÐËâ ÕÄÈÓÆÑÔÕË(ÄÞÊÄÂÐÐÑÅÑ ÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍÑÌ ÄÞÔÑÍÑàÐÇÓÅÇÕËÚÐÞÏËËÑÐÂÏË ÒÓË ÐÂÐÇÔÇÐËË ÒÑÍÓÞÕËÌ) ÒÓË ÑÚÇÐß ÐËÊÍÑÏÔÑÆÇÓÉÂÐËË ÍÑÄÍÑÅÑ ÏÇÕÂÎÎÂ, ÍÂÍ ÄËÆÐÑ Ð ÓËÔ.

10Ã.´ÂÍÑÇ ÒÑÄÇÆÇÐËÇ ÐÂÃÎáÆÂÎÑÔß Ë ÄÑ ÏÐÑÅËØ ÔËÔÕÇÏÂØMe(trans)N/Me(2) [93]. ¿ÕÑ ÐÂÒÑÏËÐÂÇÕ ÒÑÄÇÆÇÐËÇ ÙÇÏÇÐÕËÓÑÄÂÐÐÑÅÑ ÍÂÓÃËÆÂ, Ä ÍÑÕÑÓÑÏ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÕÂÍÉÇ ÖÏÇÐßÛÂÇÕÔâ ÒÓË ÖÄÇÎËÚÇÐËË ÔÑÆÇÓÉÂÐËâ ÍÑÃÂÎßÕ [2]. °ÆÐÂÍÑÄ ÑÕÎËÚËÇ ÑÕ ÍÑÃÂÎßÕ ÐÇ ÆÑÍÂÊÂÐÑ, ÚÕÑ Ä ÙÇÏÇÐÕËÓÑÄÂÐÐÑÏ ÍÂÓÃËÆÇ ÍÑÄÍËÇ ÏÇÕÂÎÎÞ (³u, Ni Ë ÆÓ.) Ä ÒÑÍÓÞÕËâØMe(trans)N/Me(2) ÖÎÖÚÛÂáÕ ÄâÊÍÑÔÕß ËÊÎÑÏÂ.´ÂÍÂâ ÍÑÓÓÇÎâÙËâ ÏÇÉÆÖ ÃËÂÍÔËÂÎßÐÞÏË ÔÉËÏÂáÜËÏË ÐÂÒÓâÉÇÐËâÏË Ë ÕÄÈÓÆÑÔÕßá ÇÜÈ ÐÇ âÄÎâÇÕÔâÑÆÐÑÊÐÂÚÐÞÏ ÆÑÍÂÊÂÕÇÎßÔÕÄÑÏ ÕÑÅÑ, ÚÕÑ ÖÄÇÎËÚÇÐËÇÕÄÈÓÆÑÔÕË ÒÓÑËÔØÑÆËÕ ÄÔÎÇÆÔÕÄËÇ ÕÑÎßÍÑ (ËÎË ÒÓÇËÏÖÜÇÔÕÄÇÐÐÑ) ËÑÐÐÑÌ ÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍË.

¯ÂÒÓËÏÇÓ £ÑÊ [97] Ë®ÖÔËÎ [56] ÑÃÐÂÓÖÉËÎË ÒÑÆÑÃÐÖá ÍÑÓÓÇÎâÙËá ÏÇÉÆÖÕÄÈÓÆÑÔÕßá Ë ÔÉËÏÂáÜËÏ ÐÂÒÓâÉÇÐËÇÏ ÆÎâ ÒÑÍÓÞÕËÌTi ë Si ë N Ë TiNx . ±ÑàÕÑÏÖ ÏÑÉÐÑ ÊÂÆÂÕß ÄÑÒÓÑÔ ì ÆÑÍÂÍÑÌ ÔÕÇÒÇÐË ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÒÑÍÓÞÕËÌ £ÑÊ ÇÔÕß ÔÎÇÆÔÕÄËÇÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍË ÄÞÔÑÍÑàÐÇÓÅÇÕËÚÐÞÏË ËÑÐÂÏË Ë/ËÎË×ÑÓÏËÓÑÄÂÐËâ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÑÌ ÔÕÓÖÍÕÖÓÞ. °ÕÄÇÕÔÐÑÄ ÆÂÇÕ àÍÔÒÇÓËÏÇÐÕ ÒÑ ÑÕÉËÅÖ: ÒÑ ÏÇÓÇ ÕÑÅÑ, ÍÂÍÕÄÈÓÆÑÔÕß ÒÑÍÓÞÕËâ TiN ÖÏÇÐßÛÂÇÕÔâ ÒÑÔÎÇ ÑÕÉËÅÂ,ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÒÑÍÓÞÕËÌ Ti ë Si ë N (ÒÑ £ÑÊÖ) ÑÔÕÂÇÕÔâ ÒÑÚÕËÐÇËÊÏÇÐÐÑÌ [96, 98, 99]. ¯ÇÍÑÕÑÓÞÇ ÒÑÍÓÞÕËâ Ti ë Si ë N,ÐÂÐÇÔÈÐÐÞÇ ÏÂÅÐÇÕÓÑÐÐÞÏ ÏÇÕÑÆÑÏ, ÏÑÅÖÕ ÆÇÏÑÐÔÕÓËÓÑÄÂÕß "ÔÂÏÑÖÒÓÑÚÐÇÐËÇ" ÒÑÔÎÇ ÑÕÉËÅÂ. ¯ÇÍÑÕÑÓÑÇÄÓÇÏâ ÐÂÊÂÆ Ñà àÕÑÏ ÖÉÇ ÔÑÑÃÜÂÎÑÔß Ä ÓÂÃÑÕÇ ·ÑÎÖÃÂÓÂË ÆÓ. [100] Ë ÃÑÎÇÇ ÆÇÕÂÎßÐÑ Ä [88, 101] ÆÎâ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ nc-(Ti1ÿx Alx )N/Si3N4, ÐÂÐÇÔÇÐÐÞØ ÄÂÍÖÖÏÐÑ-ÆÖÅÑÄÞÏËÔÒÂÓÇÐËÇÏ.

³ÂÏÑÖÒÓÑÚÐÇÐËÇ ÇÔÕß âÔÐÑÇ ÔÄËÆÇÕÇÎßÔÕÄÑÕÑÅÑ, ÚÕÑ ÕÂÍËÇ ÒÑÍÓÞÕËâ ÐÂÐÑÔËÎË Ä ÐÇÒÑÆØÑÆâÜËØÖÔÎÑÄËâØ, ÍÑÕÑÓÞÇ ÐÇ ÑÃÇÔÒÇÚËÄÂÎË ×ÑÓÏËÓÑÄÂÐËÇ ÕÇÓÏËÚÇÔÍË ÔÕÂÃËÎßÐÞØ ÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓ. °Ã ÑÆÐÑÏ ËÊ ÒÓËÏÇÓÑÄ ÕÂÍÑÅÑ ÒÑÄÇÆÇÐËâ ÔÑÑÃÜÂÎ ±ÂÕÛÂÌÆÇÓ Ä ÑÃÊÑÓÇ [102],ÅÆÇ ÑÐ, Í ÔÑÉÂÎÇÐËá, ÐÇ ÖÒÑÏâÐÖÎ ÃÑÎÇÇ ÓÂÐÐáá ÓÂÃÑÕÖРàÕÖ ÕÇÏÖ. ªÐÕÇÓÇÔÐÑ, ÚÕÑ ÕÑÎßÍÑ Ä ÑÆÐÑÏ ÒÑÍÓÞÕËË, Ñ[µ¶¯ 2009ÍÑÕÑÓÑÏ ÔÑÑÃÜÂÎÑÔß Ä [102], ÐÂÃÎáÆÂÎÑÔß ÐÇÍÑÕÑÓÑÇÔÂÏÑÖÒÓÑÚÐÇÐËÇ, ÕÑÅÆ ÍÂÍ ÆÓÖÅËÇ ÒÑÔÎÇ ÑÕÉËÅ ÆÑ5 500 C ÓÂÊÏâÅÚÂÎËÔß. ±ÑÔÍÑÎßÍÖ ÂÄÕÑÓÞ [102, 141] ÄÔÄÑËØ ÓÂÃÑÕÂØ ÐÇ ÄËÆÇÎË ÕÂÍÑÌ ÐËÊÍÑÌ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕËÒÑÍÓÞÕËÌ Ti ë Si ë N, ÕÑ ÄÑÊÐËÍÂÇÕ ÄÑÒÓÑÔ ÑÕÐÑÔËÕÇÎßÐÑÏÇØÂÐËÊÏ ÖÄÇÎËÚÇÐËâ ÕÄÈÓÆÑÔÕË Ä ÒÑÍÓÞÕËâØ ±ÂÕÛÂÌÆÇÓÂ Ë ÆÓ.

¡ÐÂÎÑÅËÚÐÞÇ ÄÑÒÓÑÔÞ ÃÖÆÖÕ ÑÃÔÖÉÆÂÕßÔâÆÂÎÇÇ Ä ÔÕÂÕßÇ Ä ÍÑÐÕÇÍÔÕÇ ÄÑÔÒÓÑËÊÄÑÆËÏÑÔÕË ÒÑÎÖÚÇÐËâ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ. ±ÓÇÉÆÇ ÚÇÏ ÒÓÑÆÑÎÉËÕß ÆËÔÍÖÔÔËá ÒÑ ÆÂÐÐÑÏÖ ÄÑÒÓÑÔÖ, ÏÞ ÆÑÎÉÐÞËÊÎÑÉËÕß ÍÑÐÙÇÒÙËá, ÒÑÊÄÑÎâáÜÖá ÂÐÂÎËÊËÓÑÄÂÕßÔÄÑÌÔÕÄ ÕÇÓÏËÚÇÔÍË ÄÞÔÑÍÑÔÕÂÃËÎßÐÞØ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ.7. µÔÎÑÄËâ, ÐÇÑÃØÑÆËÏÞÇ ÆÎâ ÒÑÎÖÚÇÐËâÒÑÎÐÑÌ ×ÂÊÑÄÑÌ ÔÇÅÓÇÅÂÙËËÒÓË ÐÂÐÇÔÇÐËË ÒÑÍÓÞÕËÌ7.1. ³ÑÒÑÔÕÂÄÎÇÐËÇ ÓÇÊÖÎßÕÂÕÑIJÇÛÂáÜËÏ ×ÂÍÕÑÓÑÏ, ÍÑÕÑÓÞÌ ÐÇÑÃØÑÆËÏÑ ÖÚËÕÞÄÂÕßÆÂÉÇ Ä ÃËÐÂÓÐÑÌ ÔËÔÕÇÏÇ, âÄÎâÇÕÔâ ÕÑ, ÚÕÑ ×ÑÓÏËÓÑÄÂÐËÇÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓÞ Ô ÄÞÔÑÍÑÌ ÕÇÓÏËÚÇÔÍÑÌ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕßáÕÓÇÃÖÇÕ ÆÑÔÕÂÕÑÚÐÑ ÄÞÔÑÍÑÌ ØËÏËÚÇÔÍÑÌ ÂÍÕËÄÐÑÔÕËàÕÑÌ ÔËÔÕÇÏÞ ÆÎâ ÑÃÇÔÒÇÚÇÐËâ ÕÇÓÏÑÆËÐÂÏËÚÇÔÍÑÌ ÆÄËÉÖÜÇÌ ÔËÎÞ, ÔÒÑÔÑÃÔÕÄÖáÜÇÌ ×ÂÊÑÄÑÌ ÔÇÅÓÇÅÂÙËË.¬ÓÑÏÇ ÕÑÅÑ, ÕÓÇÃÖÇÕÔâ ÆÑÔÕÂÕÑÚÐÑ ÄÞÔÑÍÂâ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÂ(500 ë 600 C) ÆÎâ ÖÔÍÑÓÇÐËâ ÆË××ÖÊËË, ÐÇÑÃØÑÆËÏÑÌ ÆÎâÊÂÄÇÓÛÇÐËâ ÔÇÅÓÇÅÂÙËË ÄÑ ÄÓÇÏâ ÓÑÔÕÂ.

¦ÔÎË àÕË ÖÔÎÑÄËâÐÇ ÔÑÃÎáÆÂáÕÔâ, ÕÑ Ä ÃËÐÂÓÐÞØ ÔËÔÕÇÏÂØ ÄÞÔÑÍÂâÕÄÈÓÆÑÔÕß (50 ë 60 ¤±Â) ÕÓÖÆÐÑ ÆÑÔÕËÉËÏÂ, ÏÑÓ×ÑÎÑÅËâÑÔÕÂÈÕÔâ ÍÑÎÖÏÐÂÓÐÑÌ, Ä ÒÑÍÓÞÕËË ÏÑÉÇÕ ÒÓÑâÄÎâÕßÔâÔÂÏÑÖÒÓÑÚÐÇÐËÇ ÒÑÔÎÇ ÑÕÉËÅÂ. £ ÔÕÂÕßâØ ÓÂÊÎËÚÐÞØÅÓÖÒÒ ÂÄÕÑÓÑÄ ÒÑâÄÎâáÕÔâ ÔÑÑÃÜÇÐËâ Ñ ÏÂÍÔËÏÂÎßÐÑÌÕÄÈÓÆÑÔÕË ÒÓË ÓÂÊÐÑÏ ÑÃÜÇÏ ÔÑÆÇÓÉÂÐËË ÍÓÇÏÐËâ ËÊ-ÊÂÓÂÊÎËÚÐÞØ ÓÂÊÏÇÓÑÄ Ë ×ÑÓÏ ÍÓËÔÕÂÎÎËÕÑÄ.¬ ÔÑÉÂÎÇÐËá, Ä ÃÑÎßÛËÐÔÕÄÇ ÔÕÂÕÇÌ ÒÑ Ti ë Si ë N ËÒÑÆÑÃÐÞÏ ÒÑÍÓÞÕËâÏ ÐÇ ÔÑÑÃÜÂÇÕÔâ Ñà ÑÔÐÑÄÐÞØ ÖÔÎÑÄËâØ ÐÂÐÇÔÇÐËâ Ë ÔÄÑÌÔÕÄÂØ ÒÑÍÓÞÕËÌ.

±ÑàÕÑÏÖ ÕÓÖÆÐÑÄÞâÄËÕß ÒÓËÚËÐÞ ÑÕÔÖÕÔÕÄËâ ÄÑÔÒÓÑËÊÄÑÆËÏÑÔÕË ÆÂÐÐÞØ Ä àÕËØ ÓÂÃÑÕÂØ [111]. ¹ÕÑÃÞ ÔÑÓËÇÐÕËÓÑÄÂÕß ÚËÕÂÕÇÎâ, ÒÑ ÍÓÂÌÐÇÌ ÏÇÓÇ, Ä ÐÇÍÑÕÑÓÞØ ÐÂÒÓÂÄÎÇÐËâØ ËÔÔÎÇÆÑÄÂÐËÌ Ë ÒÑÐâÕß, Ä ÚÈÏ ÉÇ ÊÂÍÎáÚÂáÕÔâ ÑÔÐÑÄÐÞÇÒÓËÚËÐÞ ÒÎÑØÑÌ ÄÑÔÒÓÑËÊÄÑÆËÏÑÔÕË ÓÇÊÖÎßÕÂÕÑÄ, ÑÅÓÂÐËÚËÏ ÐÂÛÖ ÆËÔÍÖÔÔËá ÐÇÔÍÑÎßÍËÏË ÕËÒËÚÐÞÏË ÒÓËÏÇÓÂÏË.¯Â ÓËÔÖÐÍÇ 11 ÒÑÍÂÊÂРÊÂÄËÔËÏÑÔÕß ÕÄÈÓÆÑÔÕË ÑÕÔÑÆÇÓÉÂÐËâ Si ÆÎâ ÒÑÍÓÞÕËÌ Ti ë Si ë N, ÐÂÐÇÔÇÐÐÞØÏÇÕÑÆÑÏ PCVD (ÓËÔ. 11Â) Ë ÓÇÂÍÕËÄÐÞÏ ÓÂÔÒÞÎÇÐËÇÏ(ÓËÔ. 11Ã) (ÒÑ ÆÂÐÐÞÏ [111]).

¬ÂÍ ÃÞÎÑ ÒÑÍÂÊÂÐÑ Ä ÃÑÎÇÇÒÑÊÆÐÇÌ ÓÂÃÑÕÇ [50], ÒÑÍÓÞÕËâ, ÒÑÎÖÚÇÐÐÞÇ ­Ë Ô ÔÑÂÄÕÑÓÂÏË [78], âÄÎâÎËÔß ÕÓÑÌÐÞÏË ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÂÏËnc-TiN/a-Si3N4/a-TiSi2, Ä ÍÑÕÑÓÞØ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÔÑÔÕÂÄÎâÎÂÑÕ 80 ÆÑ 5 100 ¤±Â [81, 82]. ¬ÂÍ ÄËÆÐÑ ËÊ ÓËÔ. 11, ÊÂËÔÍÎáÚÇÐËÇÏ ÓÇÊÖÎßÕÂÕÑÄ £ÑÊÂ Ë ÆÓ. [97], ÕÄÈÓÆÑÔÕßÆÓÖÅËØ ÒÑÍÓÞÕËÌ ÆÑÔÕËÅÂΠÒÑÚÕË 40 ¤±Â,  ÏÂÍÔËÏÖÏÞÕÄÈÓÆÑÔÕË ÒÑâÄÎâÎËÔß ÒÓË ÓÂÊÎËÚÐÑÏ ÔÑÆÇÓÉÂÐËË Si.®ÇÐÅ Ë ÆÓ. [103] ÄÑÑÃÜÇ ÐÇ ÑÃÐÂÓÖÉËÎË Ä ÒÑÍÓÞÕËâØÖÄÇÎËÚÇÐËâ ÕÄÈÓÆÑÔÕË. ¢ÑÎÇÇ ÕÑÅÑ, ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÒÑÍÓÞÕËÌÖÏÇÐßÛÂÎÂÔß ÑÕ 32 ¤±Â ÆÎâ ÚËÔÕÑÅÑ TiN (ÍÑÓÓÇÍÕÐÑÇÊÐÂÚÇÐËÇ ÆÎâ TiN ÑÍÑÎÑ 21 ¤±Â [112]) ÆÑ 21 ¤±Â ÆÎâSi3N4 (ÍÑÓÓÇÍÕÐÑÇ ÊÐÂÚÇÐËÇ ÑÍÑÎÑ 17 ¤±Â [112]). ³ ÆÓÖÅÑÌÔÕÑÓÑÐÞ, ÄÑÔÒÓÑËÊÄÑÆËÏÑÔÕß ÆÂÐÐÞØ ÆÎâ ÒÑÍÓÞÕËÌnc-MeN/a-Si3N4 (Me ˆ Ti, W, V) ÑÚÇÐß ØÑÓÑÛÂâ (ÓËÔ. 11Â).´.

179, å 1]³´²µ¬´µ²¡ ª ³£°«³´£¡ ´£§²¥½· ª ³£¦²·´£§²¥½· ¯¡¯°¬°®±°©ª´¯½· ±°¬²½´ª«70Li et al. 1992ÂLee et al. 2002Veprek et al.nc-Mex N/a-Si3N4; Me = Ti, W, V´ÄÇÓÆÑÔÕß, ¤±Â605040302010Si3N40102030³ÑÆÇÓÉÂÐËÇ Si, ÂÕ. %4070Diserens 1999,Patschaider 2003Kim 2002Meng 2002Vaz 2002´ÄÇÓÆÑÔÕß, ¤±Â60504050Ã3020101002030³ÑÆÇÓÉÂÐËÇ Si, ÂÕ. %405060Ä´ÄÇÓÆÑÔÕß, ¤±Â504030¯ËÊÍÑÇ ÆÂÄÎÇÐËdzÕÂÐÆÂÓÕÐÑÇ ÆÂÄÎÇÐËÇ2010024681012³ÑÆÇÓÉÂÐËÇ Si, ÂÕ. %141618²ËÔ.

11. ´ÄÈÓÆÑÔÕß (Â) ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ nc-TiN/a-Si3N4, ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØÏÇÕÑÆÑÏ PCVD [19, 78, 105], Ë (Ã) ÒÑÍÓÞÕËÌ Ti ë Si ë N, ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØÓÇÂÍÕËÄÐÞÏ ÓÂÔÒÞÎÇÐËÇÏ [102, 103, 106, 141], Ä ÊÂÄËÔËÏÑÔÕË ÑÕÔÑÆÇÓÉÂÐËâ ÍÓÇÏÐËâ (ÔÏ. ÕÂÍÉÇ ÕÂÃÎ. 2). (Ä) ±ÑÔÎÇ ÖÎÖÚÛÇÐÐÑÌÒÓÇÆÄÂÓËÕÇÎßÐÑÌ ÑÚËÔÕÍË ÂÒÒÂÓÂÕ ÆÎâ ÐÂÐÇÔÇÐËâ (ÑÃÑÊÐÂÚÇÐÑ ÍÓÇÔÕËÍÂÏË).·ÑÕÇÎÑÔß ÃÞ ÑÕÏÇÕËÕß, ÚÕÑ àÕË ÒÑÍÓÞÕËâ, ÒÓËÅÑÕÑÄÎÇÐÐÞÇ ÏÇÕÑÆÑÏ PCVD, ÃÞÎË ÐÂÐÇÔÇÐÞ Ä ËÐÕÇÐÔËÄÐÑÏÕÎÇáÜÇÏ ÓÂÊÓâÆÇ ÒÓË ÆÑÔÕÂÕÑÚÐÑ ÄÞÔÑÍÑÏ ÆÂÄÎÇÐËËÂÊÑÕ ( 5 0;5 ÏÃÂÓ) Ë ÄÞÔÑÍÑÌ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ (550 C) ìËÏÇÐÐÑ àÕË ÖÔÎÑÄËâ, ÍÂÍ ÑÃÝâÔÐâáÕ ÂÄÕÑÓÞ [68], ÕÓÇÃÖáÕÔâ ÆÎâ ÆÑÔÕËÉÇÐËâ ÒÑÄÕÑÓâÇÏÑÔÕË ÒÂÓÂÏÇÕÓÑÄÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÒÎÈÐÑÍ Ë ÔÕÂÃËÎßÐÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ.±ÑÍÓÞÕËâ, Ñ ÍÑÕÑÓÞØ ÔÑÑÃÜÂÎË ­Ë Ë ÆÓ. [105], ÃÞÎËÐÂÐÇÔÇÐÞ Ð ÖÔÕÂÐÑÄÍÂØ, ÒÑÆÑÃÐÞØ ÑÒËÔÂÐÐÞÏ Ä ÆÓÖÅËØÓÂÃÑÕÂØ, ÐÑ ÒÓË ÃÑÎÇÇ ÐËÊÍÑÌ ÒÎÑÕÐÑÔÕË ÕÑÍ ÓÂÊÓâÆÂ,ÚÕÑ ÑÃÝâÔÐâÇÕ ÒÑâÄÎÇÐËÇ ÐÇÃÑÎßÛÑÌ ×ÓÂÍÙËË ×ÂÊÞ TiSi2.¡ÄÕÑÓÞ [105] ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÎË ËÐÆÖÍÕËÄÐÑ-ÔÒÂÓÇÐÐÞÌÓÂÊÓâÆ, ÚÕÑ ÔÑÅÎÂÔÐÑ ÓÇÊÖÎßÕÂÕÂÏ ËØ ÓÂÃÑÕÞ Ë àÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÂÏ [19] Ô ÕÎÇáÜËÏË ÓÂÊÓâÆÂÏË, ÑÃÇÔÒÇÚËÄÂÎÑ ÔÂÏÖá47ÔÎÂÃÖá ÒÎÂÊÏÖ ËÊ ÕÇØ, ÚÕÑ ÒÑÍÂÊÂÐÞ Ð ÓËÔ.

11Â.±ÑÔÍÑÎßÍÖ ÒÓË ÆÑÔÕËÉÇÐËË ÏÂÍÔËÏÂÎßÐÑÌ ÕÄÈÓÆÑÔÕËÐÇÑÃØÑÆËÏÑ, ÚÕÑÃÞ ÐÂÐÑÍÓËÔÕÂÎÎÞ TiN ÃÞÎË ÒÑÍÓÞÕÞØÑÕâ ÃÞ ÑÆÐËÏ ÏÑÐÑÔÎÑÇÏ Si3N4, ÏÂÍÔËÏÖÏ ÕÄÈÓÆÑÔÕËÒÑâÄÎâÇÕÔâ ÒÓË ÒÑÄÞÛÇÐÐÑÏ ÑÃÜÇÏ ÔÑÆÇÓÉÂÐËË Si,ÍÑÅÆÂ, ÍÂÍ ÑÒËÔÂÐÑ Ä [105, 152], Ä ÆÑÒÑÎÐÇÐËÇ Í Si3N4 ÄÒÑÍÓÞÕËË ÒÓËÔÖÕÔÕÄÖÇÕ ÕÂÍÉÇ TiSi2.±ÎÑØÂâ ÄÑÔÒÓÑËÊÄÑÆËÏÑÔÕß ÆÂÐÐÞØ Ä ÓÂÃÑÕÂØÓÂÊÎËÚÐÞØ ÂÄÕÑÓÑÄ, ÍÑÕÑÓÞÇ ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÎË ÎËÃÑ ÓÇÂÍÕËÄÐÑÇ ÓÂÔÒÞÎÇÐËÇ, ÎËÃÑ ÄÂÍÖÖÏÐÑ-ÆÖÅÑÄÑÇ ËÔÒÂÓÇÐËÇ,ÎËÃÑ ËØ ÍÑÏÃËÐÂÙËá (РÓËÔ. 11Ä ÒÑÍÂÊÂÐÑ ÕÑÎßÍÑÐÇÔÍÑÎßÍÑ ÒÓËÏÇÓÑÄ), ÃÞΠÓÇÊÖÎßÕÂÕÑÏ ÔÎËÛÍÑÏ ÐËÊÍÑÅÑ ÆÂÄÎÇÐËâ ÂÊÑÕÂ, ÔÎËÛÍÑÏ ÐËÊÍÑÌ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÞ,ÒÓËÔÖÕÔÕÄËâ ÒÓËÏÇÔÇÌ ËÎË ÍÑÏÃËÐÂÙËË àÕËØ à××ÇÍÕÑÄ.¯ÂÒÓËÏÇÓ ®ÇÐÅ Ë ÆÓ. [103] ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÎË ÑÚÇÐß ÐËÊÍÑÇÒÂÓÙËÂÎßÐÑÇ ÆÂÄÎÇÐËÇ ÂÊÑÕ (0,00015 ÏÃÂÓ) Ë ÐËÊÍÖáÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÖ ÐÂÐÇÔÇÐËâ (4 250 C). ±ÑÔÎÇ ÕÑÅÑ, ÍÂÍ£ÇÒÓÇÍ Ë ÆÓ. [108] ÒÓÇÆÎÑÉËÎË ÒÑÄÞÔËÕß ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÖ ËÆÂÄÎÇÐËÇ, ÅÓÖÒÒÇ ®ÇÐÅ ÖÆÂÎÑÔß ÖÎÖÚÛËÕß ÐÂÐÑÕÄÈÓÆÑÔÕß ÇÅÑ ÒÑÍÓÞÕËÌ ÆÑ 38 ¤±Â [104].

°ÔÐÑÄÐÞÏË ÓÇÊÖÎßÕÂÕÂÏË ÔÕÂÕßË [104] âÄÎâÇÕÔâ ÕÑ, ÚÕÑ "... ÖÄÇÎËÚÇÐËÇÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÞ ÐÂÐÇÔÇÐËâ ÑÕ 250 ÆÑ 700 C ÖÏÇÐßÛËÎÑÓÂÔÕÄÑÓËÏÑÔÕß Ti Ä ÏÂÕÓËÙÇ a-SiN". ´ÂÍËÏ ÑÃÓÂÊÑÏ, àÕËËÔÔÎÇÆÑÄÂÕÇÎË ÒÑÆÕÄÇÓÆËÎË ÕÑ, ÚÕÑ ÔÑÑÃÜÂÎÑÔß Ä [68] ËÒÑÊÆÐÇÇ Ä ÆÓÖÅËØ ÔÕÂÕßâØ.

´ÇÏ ÐÇ ÏÇÐÇÇ Ä ÓÂÃÑÕÇ [103] ÄÔÈÇÜÈ ÑÔÕÂÈÕÔâ ÏÐÑÅÑ ÑÕÍÓÞÕÞØ ÄÑÒÓÑÔÑÄ. ¬ÂÍ ËÊÏÇÐâÇÕÔâÕÄÈÓÆÑÔÕß ÒÓË ËÊÏÇÐÇÐËË ÔÑÆÇÓÉÂÐËâ Si Ä ÒÓÇÆÇÎÂØ ÑÕ0 ÆÑ 10 ÂÕ. %, Ñ ÚÈÏ ÔÑÑÃÜÂÎÑÔß Ä [20]? ±ÑÚÇÏÖ Ð ÔÂÏÑÏÆÇÎÇ àÕËÏ ËÔÔÎÇÆÑÄÂÕÇÎâÏ ÕÂÍ ÐÇÑÃØÑÆËÏ ÄÞÔÑÍÂâÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓ ÒÑÓâÆÍ 700 C, ÕÑÅÆ ÍÂÍ ÆÓÖÅËÇ [105, 106]ÐÂÛÎË ÑÒÕËÏÂÎßÐÖá ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÖ Ä ÒÓÇÆÇÎÂØ 500 ë600 C? ¯ÂÔÍÑÎßÍÑ ÐÂÆÈÉÐÞ ËÊÏÇÓÇÐËâ ÕÄÈÓÆÑÔÕË, ÍÑÅÆÂÏÂÍÔËÏÂÎßÐÂâ ÅÎÖÃËРËÐÆÇÐÕËÓÑÄÂÐËâ ÔÑÔÕÂÄÎâÇÕ4 65 ÐÏ, Õ.Ç. ÐÂØÑÆËÕÔâ Ä ÒÓÇÆÇÎÂØ ËÐÕÇÓÄÂÎÂ, Ä ÍÑÕÑÓÑÏ ÑÉËÆÂáÕÔâ ÔÇÓßÈÊÐÞÇ à××ÇÍÕÞ, ÔÄâÊÂÐÐÞÇ Ô ÓÂÊÏÇÓÂÏË ËÐÆÇÐÕËÓÑÄÂÐËâ [107 ë 114]? ±ÑÚÇÏÖ ÕÑÎÜËÐÂÒÑÍÓÞÕËÌ ÎÇÉËÕ "... Ä ÒÓÇÆÇÎÂØ 160 ë 410 ÐÏ"? ¯ÂÔÍÑÎßÍÑÐËÊÍÑÌ ÃÞΠÔÍÑÓÑÔÕß ÐÂÐÇÔÇÐËâ Ë ÐÂÔÍÑÎßÍÑ ÄÞÔÑÍËÏÃÞÎÑ ÔÑÆÇÓÉÂÐËÇ ÒÓËÏÇÔÇÌ, Ä ÑÔÐÑÄÐÑÏ ÍËÔÎÑÓÑÆÂ?°ÚÇÐß ÏÂÎÇÐßÍÂâ ÕÑÎÜËР(4 0;41 ÏÍÏ), ÒÑÎÖÚÇÐÐÂâ Ä[104], âÄÎâÇÕÔâ ÄÇÔÑÏÞÏ ÔÄËÆÇÕÇÎßÔÕÄÑÏ ÑÚÇÐß ÐËÊÍÑÌÔÍÑÓÑÔÕË ÐÂÐÇÔÇÐËâ, ÍÑÕÑÓÂâ Ô ÖÚÈÕÑÏ ÑÙÇÐÑÍ ÄÓÂÊÆÇÎÇ 3.1 ÒÑÍÂÊÞÄÂÇÕ ÄÑÊÏÑÉÐÑÔÕß ÑÜÖÕËÏÑÅÑ ÖÓÑÄÐâÒÓËÔÖÕÔÕÄËâ ÒÓËÏÇÔÇÌ.±ÑÆÑÃÐÞÇ ÄÑÒÓÑÔÞ ÏÑÉÐÑ ÒÑÆÐËÏÂÕß Ë ÑÕÐÑÔËÕÇÎßÐÑ ÔÕÂÕßË ·Ö Ë ÆÓ.