Погребняк А.Д., Шпак А.П., Азаренков Н.А., Береснев В.М. Структура и свойства твердых и сверхтвердых нанокомпозитных покрытий, страница 6
Описание файла
PDF-файл из архива "Погребняк А.Д., Шпак А.П., Азаренков Н.А., Береснев В.М. Структура и свойства твердых и сверхтвердых нанокомпозитных покрытий", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "основы наноэлектроники и нанотехнологии" из 8 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "книги и методические указания", в предмете "основы наноэлектроники и нанотехнологий" в общих файлах.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст 6 страницы из PDF
ì ÔÑÑÃÜÂÎË Ñ ÐÂÐÇÔÇÐËË ËÔÄÑÌÔÕÄÂØ ÒÑÍÓÞÕËÌ Ti ë B ë N (ÔÏ. ÑÃÊÑÓ ÓÂÃÑÕ Ä [18]). £ÑÃÊÑÓÇ [19] ÃÞÎÑ ÑÕÏÇÚÇÐÑ, ÚÕÑ ÐÇÓÂÔÕÄÑÓËÏÑÔÕß ÔÕÇØËÑÏÇÕÓËÚÇÔÍËØ ×ÂÊ TiN Ë TiB2 Ë ØÂÓÂÍÕÇÓ ÓÂÊÄËÕËâ ÏÑÓ×ÑÎÑÅËË ÒÑÍÓÞÕËÌ ÍÂÍ ×ÖÐÍÙËË ËØ ÔÑÔÕÂÄÂ Ë ÕÄÈÓÆÑÔÕËÖÍÂÊÞÄÂáÕ Ð ÕÑ, ÚÕÑ àÕÑ ÕÂÍÉÇ ÃÞÎË ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÞ. °ÔÄâÊË ÏÑÓ×ÑÎÑÅËË ÒÑÍÓÞÕËÌ Ti ë B ë N Ô ËØ ÔÑÔÕÂÄÑÏ ËÕÄÈÓÆÑÔÕßá ÔÑÑÃÜÂÎ ¡ÐÆÓËÇÄÔÍËÌ (ÔÏ. ÓËÔ.
1) Ä ÑÃÊÑÓÐÑÌÔÕÂÕßÇ [85]. ¬ÑÎÖÏÐÂÓÐÂâ ÔÕÓÖÍÕÖÓ ÒÑÍÓÞÕËÌ, ÐÂÐÇÔÇÐÐÞØ ÓÇÂÍÕËÄÐÞÏ ÏÂÅÐÇÕÓÑÐÐÞÏ ÓÂÔÒÞÎÇÐËÇÏ, ÒÓÂÍÕËÚÇÔÍË ÒÑÎÐÑÔÕßá ËÔÚÇÊÂÎÂ Ä ÔÎÖÚÂÇ ÔÑÔÕÂÄÂ, ÒÓË ÍÑÕÑÓÑÏÏÂÍÔËÏÂÎßÐÂâ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÔÑÔÕÂÄËΠ5 50 ¤±Â.£ ÃÑÎßÛËÐÔÕÄÇ ÒÑÍÓÞÕËÌ, ÐÂÐÇÔÇÐÐÞØ ÏÇÕÑÆÑÏ PVDÒÓË ÐËÊÍËØ ÆÂÄÎÇÐËâØ (ÏÇÐÇÇ 10ÿ3 ÏÃÂÓ) Ë ÑÕÓËÙÂÕÇÎßÐÑÏ ÒÑÕÇÐÙËÂÎÇ ÒÑÆÎÑÉÍË, ÔÖÜÇÔÕÄÖáÕ ÃÑÎßÛËÇ ÃËÂÍÔËÂÎßÐÞÇ ÔÉËÏÂáÜËÇ ÐÂÒÓâÉÇÐËâ (ÒÑÓâÆÍ 5 ë 8 ¤±Â)ÍÂÍ ÔÎÇÆÔÕÄËÇ ÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍË ÄÞÔÑÍÑàÐÇÓÅÇÕËÚÐÞÏËËÑÐÂÏË ÒÓË ÐÂÐÇÔÇÐËË ÒÑÍÓÞÕËÌ.
±ÑàÕÑÏÖ ÐÖÉÐÑ ÕÜÂÕÇÎßÐÑ ÒÓÑÄÇÓâÕß, ÐÇ ÄÞÊÄÂÐÑ ÎË ËÊÏÇÓÇÐÐÑÇ ÖÄÇÎËÚÇÐËÇÕÄÈÓÆÑÔÕË ËÑÐÐÑÌ ÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍÑÌ. ¯ÂÒÓËÏÇÓ, ÆÂÐÐÞÇ·ÂÏÏÇÓÂ Ë ÆÓ. [86] Ë ÒÑÔÎÇÆÐËÇ ÓÇÊÖÎßÕÂÕÞ ®ËÕÕÇÓÇÓ ËÆÓ. [87] ÖÍÂÊÞÄÂáÕ Ð ÓÂÊÎËÚËÇ ÏÇÉÆÖ ÖÄÇÎËÚÇÐËÇÏÕÄÈÓÆÑÔÕË Ê ÔÚÇÕ ËÑÐÐÑÌ ÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍË Ë ×ÑÓÏËÓÑÄÂÐËÇÏ ÔÕÂÃËÎßÐÑÌ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÑÌ ÔÕÓÖÍÕÖÓÞ ÄÔÎÇÆÔÕÄËÇ ÔÂÏÑÑÓÅÂÐËÊÂÙËË ÒÑÔÎÇ ÔÒËÐÑÆÂÎßÐÑÌ ×ÂÊÑÄÑÌÔÇÅÓÇÅÂÙËË. ¬ÑÅÆ ÒÑÍÓÞÕËâ, ÐÂÐÇÔÇÐÐÞÇ ·ÂÏÏÇÓÑÏ ËÆÓ. ÒÓË ÍÑÏÐÂÕÐÑÌ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ, ÑÕÉËÅÂÎËÔß ÒÓË 600 ë800 C, ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÄÑÊÓÂÔÕÂΠÒÓËÏÇÓÐÑ ÆÑ 40 ¤±Â Ë ÑÕËÔØÑÆÐÑ ÂÏÑÓ×ÐÞØ ÒÎÈÐÑÍ ÒÑÎÖÚÂÎË ÆË×ÓÂÍÙËÑÐÐÞÇÍÂÓÕËÐÞ, ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÖáÜËÇ ÐÂÐÑÍÓËÔÕÂÎÎÂÏ. ´ÂÍËÏÑÃÓÂÊÑÏ, ØÑÕâ ÒÑÍÓÞÕËâ TiB2 Ë TiN, ÒÑÎÖÚÇÐÐÞÇ ®ËÕÕÇÓÇÓÑÏ Ë ÆÓ., ËÏÇáÕ ÄÞÔÑÍÖá ÕÄÈÓÆÑÔÕß, ÍÑÕÑÓÂâ ÒÑÄÞÔËÎÂÔß Ê ÔÚÈÕ ËÑÐÐÑÌ ÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍË Ä ÒÓÑÙÇÔÔÇ ÐÂÐÇÔÇÐËâ, ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÒÑÍÓÞÕËÌ Ti ë B ë Ni ÑÕ ÓÂÔÔÕÑâÐËâ, ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÖáÜÇÅÑ ÒÑÎÑÄËÐÇ ÒÓÑÇÍÕËÄÐÑÅÑ ÒÓÑÃÇÅ ËÑÐÑÄÂÊÑÕÂ, ÑÒÓÇÆÇÎâÇÕÔâ ÒÓÇËÏÖÜÇÔÕÄÇÐÐÑ ×ÑÓÏËÓÑÄÂÐËÇÏÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÑÌ ÔÕÓÖÍÕÖÓÞ, ÚÕÑ ÔÕÂÐÑÄËÕÔâ ÑÚÇÄËÆÐÞÏËÊ ÔÓÂÄÐÇÐËâ ÒÓËÄÇÆÇÐÐÞØ Ä ÓÂÃÑÕÂØ [102, 142, 144]ÓÇÊÖÎßÕÂÕÑÄ.
®ÂÍÔËÏÖÏ ÕÄÈÓÆÑÔÕË Ð ÖÓÑÄÐÇ ÔÑÆÇÓÉÂÐËâ ÂÊÑÕ ÒÓËÏÇÓÐÑ 27 % ÏÇÐÇÇ ÄÞÓÂÉÇÐ ÒÑ ÔÓÂÄÐÇÐËá ÔÕÇÏ, ÚÕÑ ÑÃÞÚÐÑ ÑÃÐÂÓÖÉËÄÂáÕ Ä ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÂØ,ÐÂÐÇÔÇÐÐÞØ ÒÎÂÊÏÇÐÐÞÏ CVD ÏÇÕÑÆÑÏ. £ÇÓÑâÕÐÑ, àÕÑÒÓÑËÔØÑÆËÕ ÄÔÎÇÆÔÕÄËÇ ÍÂÍÑÅÑ-ÕÑ ÆÑÒÑÎÐËÕÇÎßÐÑÅÑ ÖÄÇÎËÚÇÐËâ ÕÄÈÓÆÑÔÕË, ÐÂÒÓËÏÇÓ, Ä ÓÇÊÖÎßÕÂÕÇ ÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍË ÄÞÔÑÍÑàÐÇÓÅÇÕËÚÐÞÏË ËÑÐÂÏË. ±ÑÊÉÇ ÏÞ ÖÄËÆËÏ,ÚÕÑ ÔÑÅÎÂÔÐÑ ÑÃÜËÏ ÒÓËÐÙËÒÂÏ ÆËÊÂÌР[68, 69] àÕÑÒÑÄÇÆÇÐËÇ âÄÎâÇÕÔâ ÕËÒËÚÐÞÏ ÆÎâ ÔËÔÕÇÏ, Ä ÍÑÕÑÓÞØ×ÑÓÏËÓÖáÕÔâ ÔÕÂÃËÎßÐÞÇ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÞ. ®ÂÌÓØÑ×ÇÓË ÆÓ. [66, 67] ÐÇÆÂÄÐÑ ÒÓÇÆÔÕÂÄËÎË ÆÇÕÂÎßÐÑÇ ÖÃÇÆËÕÇÎßÐÑÇ ÔÄËÆÇÕÇÎßÔÕÄÑ ÒÓËÓÑÆÞ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÂ Ô ÕÂÍËÏË45³´²µ¬´µ²¡ ª ³£°«³´£¡ ´£§²¥½· ª ³£¦²·´£§²¥½· ¯¡¯°¬°®±°©ª´¯½· ±°¬²½´ª«6.
³ÓÂÄÐÇÐËÇ ÒÑÍÓÞÕËÌ, ÖÒÓÑÚÐÈÐÐÞØ ËÑÐÐÑÌÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍÑÌ, ÔÑ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞÏË,ÕÇÓÏËÚÇÔÍË ÔÕÂÃËÎßÐÞÏË ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÂÏË£ ÐÂÔÕÑâÜÇÏ ÓÂÊÆÇÎÇ ÏÞ ÔÓÂÄÐËÏ ÕÇÓÏËÚÇÔÍË ÔÕÂÃËÎßÐÞÇ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞÇ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÞ Ô ÑÃÞÚÐÞÏË ÒÑÍÓÞÕËâÏË Ë ÍÑÏÒÑÊËÕÞ, ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÍÑÕÑÓÞØ ÖÄÇÎËÚÇРÔÒÑÏÑÜßá ÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍË ÄÞÔÑÍÑàÐÇÓÅÇÕËÚÐÞÏËËÑÐÂÏË Ä ÒÓÑÙÇÔÔÇ ÐÂÐÇÔÇÐËâ. ¬ÂÍ ÄÒÇÓÄÞÇ ÑÕÏÇÕËήÖÔËÎ [77], ÆÂÐÐÞÌ ÒÑÆØÑÆ, ÄÑÊÏÑÉÐÑ, ÇÔÕß ÔÂÏÞÌÎÇÅÍËÌ ÒÖÕß ÒÑÎÖÚÇÐËâ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ ÆÎâ ÓâÆÂÕÄÈÓÆÞØ ÐËÕÓËÆÑÄ, ÃÑÓËÆÑÄ Ë ÆÓÖÅËØ ÑÃÞÚÐÞØ ÕÄÈÓÆÞØÔËÔÕÇÏ, ÄÍÎáÚÂâ ÕÂÍ ÐÂÊÞÄÂÇÏÞÇ Me(trans)N/Me(2) ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÞ, ÔÑÔÕÑâÜËÇ ËÊ ÕÄÈÓÆÑÅÑ ÒÇÓÇØÑÆÐÑÅÑ ÐËÕÓËÆÂÏÇÕÂÎΠMe(trans)N Ë ÏâÅÍÑÅÑ ÏÇÕÂÎΠMe(2), ÍÑÕÑÓÞÌÐÇ ×ÑÓÏËÓÖÇÕ ÔÕÂÃËÎßÐÞÌ ÐËÕÓËÆ (ÐÂÒÓËÏÇÓ, ZrN/Ni,ZrN/Cu, Cr2N/Ni Ë ÆÓ.).
±ÑÔÍÑÎßÍÖ Ä ÃÑÎÇÇ ÒÑÊÆÐËØÓÂÃÑÕÂØ ÔÑÑÃÜÂÇÕÔâ Ñà ÑÕÍÂÊÂØ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ, ÒÓËÅÑÕÑÄÎÇÐÐÞØ ÒÑ ÑÃÜÇÏÖ ÒÓËÐÙËÒÖ [68, 69],ÕÑ Ä àÕÑÏ ÓÂÊÆÇÎÇ ÏÞ ÓÂÔÔÏÑÕÓËÏ, ÍÂÍ Ä ÖÔÎÑÄËâØàÍÔÒÇÓËÏÇÐÕ ÓÂÊÎËÚÂÕß ÆÄ ÔÒÑÔÑàÖÄÇÎËÚÇÐËâ ÕÄÈÓÆÑÔÕË. °ÆРÄÑÊÏÑÉÐÑÔÕß ì àÕÑ ËÊÖÚÇÐËÇ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕËÕÄÈÓÆÑÔÕË (ËÊÏÇÓÇÐÐÑÌ ÒÓË ÍÑÏÐÂÕÐÑÌ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇÒÑÔÎÇ ÍÂÉÆÑÅÑ àÕÂÒ ÑÕÉËÅÂ) ÒÑÔÎÇ ËÊÑØÓÑÐÐÑÅÑ ÑÕÉËÅÂÆÑ ÄÞÔÑÍËØ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓ.
´ÄÈÓÆÑÔÕß, ÖÄÇÎËÚÇÐÐÂâ ÒÓËËÑÐÐÑÌ ÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍÇ, ÔËÎßÐÑ ÖÏÇÐßÛÂÎÂÔß ÆÑ ÑÃÝÈÏÐÑÅÑ ÊÐÂÚÇÐËâ ÒÑÔÎÇ ÑÕÉËÅ ÆÑ 400 ë 600 C, ÕÑÅÆ ÍÂÍÕÄÈÓÆÑÔÕß ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ ÑÔÕÂÄÂÎÂÔß ÐÇËÊÏÇÐÐÑÌ ÒÑÔÎÇ ÑÕÉËÅ ÆÑ 1100 C (ÓËÔ. 10Â); Ä ÍÂÚÇÔÕÄÇÆÑÒÑÎÐËÕÇÎßÐÑÅÑ ÒÓËÏÇÓ ÔÏ. [88 ë 90]. ¿ÕÑ ÓÂÊÏâÅÚÇÐËÇÒÑÔÎÇ ÑÕÉËÅ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÑÅÑ ÒÑÍÓÞÕËâ, ÖÒÓÑÚÐÈÐÐÑÅÑÒÖÕÇÏ ËÑÐÐÑÌ ÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍË, âÄÎâÇÕÔâ ÑÔÐÑÄÐÑÌ ÒÓÑÃÎÇÏÑÌ, ÔÄâÊÂÐÐÑÌ Ô ÓÇÎÂÍÔÂÙËÇÌ ËÑÐÐÑ-ËÐÆÖÙËÓÑÄÂÐÐÞØÆÇ×ÇÍÕÑÄ Ä ÒÎÈÐÍÂØ, ÚÕÑ ÄÞÊÞÄÂÇÕ ÖÄÇÎËÚÇÐËÇ ÕÄÈÓÆÑÔÕËÒÓË ÐÂÐÇÔÇÐËË ÒÑÍÓÞÕËÌ [91]. ¬ÂÍ ÒÑÍÂÊÂÐÑ Ä [93],ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÒÑÍÓÞÕËÌ Me(trans)N/Me(2) ÖÏÇÐßÛÂÇÕÔâ ÒÓËÖÄÇÎËÚÇÐËË ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÞ ÐÂÐÇÔÇÐËâ ÕÑÚÐÑ ÕÂÍËÏ ÉÇÑÃÓÂÊÑÏ.
±ÓËÚËРàÕÑÅÑ ì ÕÇÓÏËÚÇÔÍÂâ ÓÇÎÂÍÔÂÙËâËÑÐÐÑ-ËÐÆÖÙËÓÑÄÂÐÐÞØ ÆÇ×ÇÍÕÑÄ Ä ÒÓÇÆÇÎÂØ ÓÂÔÕÖÜÇÌÒÎÈÐÍË Ð ÅÎÖÃËÐÂØ, ÒÓÇÄÞÛÂáÜËØ ÒÓÑÇÍÕËÄÐÞÌ ÒÓÑÃÇÅ8070´ÄÇÓÆÑÔÕß, ¤±ÂÒÑÍÓÞÕËâÏË, ÒÓËÄÇÆÇÐÐÑÇ ÕÂÍÉÇ Ä ÑÃÊÑÓÇ [19], ÍÑÕÑÓÑÇÏÞ ÑÃÔÖÉÆÂÇÏ Ä ÐÂÔÕÑâÜÇÏ ÑÃÊÑÓÇ.¬ÐÑÕÇÍ [70, 71] ÃÞÎ ÒÇÓÄÞÏ ÂÄÕÑÓÑÏ, ÍÑÕÑÓÞÌ ÔÑÑÃÜÂÎ Ñà ÖÄÇÎËÚÇÐËË ÕÄÈÓÆÑÔÕË Ä "ÔÖÒÇÓÔÕÇØËÑÏÇÕÓËÚÇÔÍËØ" ÔÑÇÆËÐÇÐËâØ TiC1ÿx ËÎË TiC/a-C [58, 59], ÒÑÆÑÃÐÑÕÑÏÖ, ÚÕÑ ÃÞÎÑ ÑÃÐÂÓÖÉÇÐÑ Ä ÒÎÈÐÍÂØ nc-TiN/a-Si3N4,ÍÑÅÆ ËÊÃÞÕÑÍ ÔÑÆÇÓÉÂÐËâ ÖÅÎÇÓÑÆ ÆÑÔÕËÅÂÎ ÑÍÑÎÑ20 %. ¿ÕË Ë ÒÑÆÑÃÐÞÇ ÔËÔÕÇÏÞ ËÔÔÎÇÆÑÄÂÎËÔß ÒÑÊÉÇÏÐÑÅËÏË ÆÓÖÅËÏË ÂÄÕÑÓÂÏË (ÐÂÒÓËÏÇÓ, [72, 73]).
£ÆÂÎßÐÇÌÛÇÏ ÔËÔÕÇÏÞ, ËÏÇáÜËÇ ÐÇÍÑÕÑÓÞÇ ÂÐÂÎÑÅËË ÔTiC/a-C, ÑÒËÔÞÄÂÎË ÂÄÕÑÓÞ [72, 73], ÍÑÕÑÓÞÇ ÐÂÐÑÔËÎËÏÖÎßÕËÔÎÑË, ÔÑÔÕÑâÜËÇ ËÊ TiN Ë CNx [74 ë 76] ËÎË ZrN ËCNx [65] ÒÓË ÑÕÐÑÔËÕÇÎßÐÑ ÐËÊÍÑÌ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ( 4 200 C). ¬ÑÅÆ ÕÑÎÜËРÆÄÑÌÐÞØ ÔÎÑÇÄ (ÒÇÓËÑÆ)ÖÏÇÐßÛÂÎÂÔß ÒÓËÏÇÓÐÑ ÆÑ 4 ÐÏ, ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÖÄÇÎËÚËÄÂÎÂÔß ÆÑ 40 ¤±Â. °ÆÐÂÍÑ, ÍÑÅÆÂ Ä ÆÂÎßÐÇÌÛÇÏ ÒÇÓËÑÆÖÏÇÐßÛÂÎÔâ ÒÓËÏÇÓÐÑ ÆÑ 2 ÐÏ, ÔÕÓÖÍÕÖÓ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕ ×ÑÓÏËÓÑÄÂÎÂÔß ÔÒÑÐÕÂÐÐÑ,  ÔÎÑËÔÕÂâ ÔÕÓÖÍÕÖÓÂÒÓÂÍÕËÚÇÔÍË ËÔÚÇÊÂÎÂ, ÍÂÍ ÒÑÍÂÊÞÄÂáÕ ÓÇÊÖÎßÕÂÕÞ ËÔÔÎÇÆÑÄÂÐËÌ ÏÇÕÑÆÂÏË ²¥ Ë ±¿® ÄÞÔÑÍÑÅÑ ÓÂÊÓÇÛÇÐËâ.±Ñ ÔÓÂÄÐÇÐËá ÔÑ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞÏË ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÂÏË ÐÂÑÔÐÑÄÇ ÐËÕÓËÆÑÄ, ÒÑÍÓÞÕËâ nc-TiC/a-C ËÏÇáÕ ÏÇÐßÛÖáÔÕÑÌÍÑÔÕß Í ÒÑÄÞÛÇÐËá ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÞ Ë ÑÍËÔÎÇÐËá, ÚÕÑÑÅÓÂÐËÚËÄÂÇÕ ËØ ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÐËÇ ÆÎâ ÓÇÉÖÜÇÅÑ ËÐÔÕÓÖÏÇÐÕ ÒÓË ÔÖØÑÌ Ë ÃÞÔÕÓÑÌ ÓÇÊÍÇ. °ÆÐÂÍÑ ÐËÊÍËÌ ÍÑà××ËÙËÇÐÕ ÕÓÇÐËâ ÆÇÎÂÇÕ ËØ ÑÚÇÐß ÒÑÎÇÊÐÞÏË Ä ÍÂÚÇÔÕÄÇÕÓËÃÑÎÑÅËÚÇÔÍËØ ÒÑÍÓÞÕËÌ ÆÎâ ÒÑÆÛËÒÐËÍÑÄ Ë ÆÓÖÅËØÔÍÑÎßÊâÜËØ ÚÂÔÕÇÌ.
£ÑÇÄÑÆËÐ Ë ÆÓ. [72] ÓÂÊÓÂÃÑÕÂÎËÍÑÏÃËÐÂÙËá ÒÑÍÓÞÕËÌ TiC/C Ë MoS2 ÆÎâ ÒÓËÏÇÐÇÐËâ ÄÔËÔÕÇÏÂØ Ô ÏÂÎÞÏ ÕÓÇÐËÇÏ Ä ÏÇÐâáÜÇÌÔâ ÔÓÇÆÇ (ÔÖØÂâÔÓÇÆÂ/ÄÎÂÉÐÂâ ÔÓÇÆÂ), ÐÂÒÓËÏÇÓ, Ä ÎÇÕÂÕÇÎßÐÞØ ÂÒÒÂÓÂÕÂØ Ë ÏÐÑÅÑÓÂÊÑÄÞØ ÍÑÔÏËÚÇÔÍËØ ÂÒÒÂÓÂÕÂØ. ¿ÕÑ ÕÑÎßÍÑÐÇÔÍÑÎßÍÑ ÒÑÔÎÇÆÐËØ ÒÓËÏÇÓÑÄ Ä ÎËÕÇÓÂÕÖÓÇ, ÑÕÐÑÔâÜËØÔâ Í Ti ë B ë N, TiC1ÿx Ë ÒÑÆÑÃÐÞÏ ÔËÔÕÇÏÂÏ. £ÐÂÔÕÑâÜÇÏ ÓÂÊÆÇÎÇ ÏÞ ÔÍÑÐÙÇÐÕÓËÓÑÄÂÎËÔß, Ä ÑÔÐÑÄÐÑÏ,РTi ë Si ë N Ë ÔÄâÊÂÐÐÞØ Ô ÐËÏË ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÂØ, ÍÑÕÑÓÞÇ ÔÑÔÕÑâÕ ËÊ ÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÓËÔÕÂÎÎËÚÇÔÍËØ ÐËÕÓËÆÑÄ ÒÇÓÇØÑÆÐÞØ ÏÇÕÂÎÎÑÄ Ë ÂÏÑÓ×ÐÞØ ÍÑÄÂÎÇÐÕÐÞØ ÐËÕÓËÆÑÄ, ÕÂÍËØ ÍÂÍ Si3N4 ËÎË BN.
´ÂÍËÇÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÞ ÄÞÊÞÄÂáÕ ÃÑÎßÛÑÌ ËÐÕÇÓÇÔ Ë ËÏÇáÕÛËÓÑÍËÇ ÒÇÓÔÒÇÍÕËÄÞ ÒÓÑÏÞÛÎÇÐÐÑÅÑ ÒÓËÏÇÐÇÐËâ.60ÂHFB2ZrN/Cu(Td )nc-TiN/a-Si3N4504030Cr2N/NiZrN/Ni2010060200TiN400600800´ÇÏÒÇÓÂÕÖÓ ÑÕÉËÅÂ, C10001200TiN1 ÿ xCxTiCnc-VN/a-Si3N4Ãnc-W2N/a-Si3N4nc-TiN/a-Si3N450´ÄÇÓÆÑÔÕß, ¤±Â´. 179, å 1]TiCTiN1 ÿ xCx4030ZrN/Cu20Si3N4100ZrN-ÑÃÝÇÏÐÞÌ5101520253035³ÑÆÇÓÉÂÐËÇ Cu Ë Si, ÂÕ. %4045²ËÔ. 10. (Â) ©ÂÄËÔËÏÑÔÕß ÕÄÈÓÆÑÔÕË ÒÑÍÓÞÕËÌ HFB2 [33], Cr2N/Ni ËZrN/Ni [89], ÖÒÓÑÚÐÈÐÐÞØ ÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍÑÌ ÄÞÔÑÍÑàÐÇÓÅÇÕËÚÐÞÏËËÑÐÂÏË, Ë ÔÕÂÃËÎßÐÞØ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ nc-TiN/a-Si3N4ÑÕ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÞ ËÊÑØÓÑÐÐÑÅÑ ÑÕÉËÅÂ Ä ÚËÔÕÑÏ ÂÊÑÕÇ [1, 12]. ´ÄÈÓÆÑÔÕß ËÊÏÇÓâÎÂÔß ÒÓË ÍÑÏÐÂÕÐÑÌ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ ÒÑÔÎÇ ÍÂÉÆÑÅÑ ÛÂÅÂÑÕÉËÅÂ.
¬ÓÇÔÕËÍÂÏË ÒÑÍÂÊÂРÊÂÄËÔËÏÑÔÕß ÕÄÈÓÆÑÔÕË ÒÑÍÓÞÕËÌZrN/Cu ÑÕ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÞ ÐÂÐÇÔÇÐËâ, ÐÑ ÔÑÆÇÓÉÂÐËÇ Cu ÕÂÏ ÄÔÈ ÉÇÔÎÇÅÍ ÏÇÐâÎÑÔß [93]. (Ã) ©ÂÄËÔËÏÑÔÕß ÕÄÈÓÆÑÔÕË ÓÂÊÎËÚÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ ÑÕ ËØ ÔÑÔÕÂÄÂ. £ ÕÄÈÓÆÑÏ ÓÂÔÕÄÑÓÇ TiN1ÿx Cx ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÔÎÇÆÖÇÕÒÓÂÄËÎÖ ÔÏÇÔÇÌ [94]. ¦ÔÎË ÕÂÍ ÐÂÊÞÄÂÇÏÞÇ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÞ ÔÑÔÕÑâÕ ËÊÕÄÈÓÆÑÅÑ ÐËÕÓËÆ ÒÇÓÇØÑÆÐÑÅÑ ÏÇÕÂÎÎÂ Ë ÍÑÄÍÑÅÑ ÏÇÕÂÎÎÂ, ÏÂÍÔËÏÂÎßÐÂâ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÆÑÔÕËÅÂÇÕÔâ ÒÓË ÐÂÎËÚËË ÚËÔÕÑÅÑ ÐËÕÓËÆ ÃÇÊÕÂÍÑÅÑ ÏÇÕÂÎΠ[93]. ³ÄÇÓØÕÄÈÓÆÞÇ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÞ, ÒÓËÅÑÕÑÄÎÇÐÐÞÇÒÑ "ÒÓËÐÙËÒÖ ÆËÊÂÌÐÂ" £ÇÒÓÇÍÂ Ë ÆÓ., ÑÃÎÂÆÂáÕ ÏÂÍÔËÏÂÎßÐÑÌÕÄÈÓÆÑÔÕßá РÒÑÓÑÅÇ ÒÇÓÍÑÎâÙËË [68, 69, 80].46¡.¥. ±°¤²¦¢¯Á¬, ¡.±.
º±¡¬, ¯.¡. ¡©¡²¦¯¬°£, £.®. ¢¦²¦³¯¦£ËÑÐÑÄ. £ ÒÓÑÕËÄÑÒÑÎÑÉÐÑÔÕß àÕÑÏÖ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ ÒÑ ÆÂÐÐÞÏ £ÇÒÓÇÍÂ Ë ÆÓ. ÖÄÇÎËÚËÄÂÇÕÔâ ÒÓËÖÏÇÐßÛÇÐËË ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÞ ÐÂÐÇÔÇÐËâ ÆÑ 500 ë 600 C [68].¦ÜÇ ÑÆРÄÑÊÏÑÉÐÑÔÕß ÓÂÊÎËÚÂÕß ÔÕÂÃËÎßÐÞÇ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞÇ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÞ Ë ÑÃÞÚÐÞÇ ÒÑÍÓÞÕËâ ì àÕÑ ËÔÔÎÇÆÑÄÂÕß ÊÂÄËÔËÏÑÔÕß ÕÄÈÓÆÑÔÕË ÑÕ ËØ ÔÑÔÕÂÄÂ. £ÂÉÐÑÑÕÏÇÕËÕß, ÚÕÑ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞÇ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÞ, ÒÓËÅÑÕÑÄÎÇÐÐÞÇ ÔÑÅÎÂÔÐÑ ÒÓËÐÙËÒÖ Ë ÒÑÆØÑÆÖ £ÇÒÓÇÍÂ Ä ÖÔÎÑÄËâØ ÆÑÔÕÂÕÑÚÐÑ ÄÞÔÑÍÑÅÑ ÆÂÄÎÇÐËâ ÂÊÑÕÂ Ë ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÞÐÂÐÇÔÇÐËâ [61, 68, 69, 92], ËÏÇáÕ ÏÂÍÔËÏÂÎßÐÖá ÕÄÇÓÆÑÔÕß, ÇÔÎË ÔÑÔÕÂÄ ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÖÇÕ ÒÑÓÑÅÖ ÒÓÑÕÇÍÂÐËâ,ÍÑÅÆ ÒÑÄÇÓØÐÑÔÕß ÐËÕÓËÆ ÕËÕÂРÒÑÍÓÞÕ ØÑÕâ ÃÞÑÆÐËÏ ÏÑÐÑÔÎÑÇÏ Si3N4 [80] ËÎË BN [89].²ËÔÖÐÑÍ 10 ËÎÎáÔÕÓËÓÖÇÕ ÑÕÎËÚÐÖá ÄÑÔÒÓÑËÊÄÑÆËÏÑÔÕß ÒÓÑÙÇÔÔ ÒÑÄÞÛÇÐËâ ÕÄÈÓÆÑÔÕË ÒÓË ÐÂÐÇÔÇÐËËÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ Ä ÖÔÎÑÄËâØ ÄÞÔÑÍÑÌÂÍÕËÄÐÑÔÕË (ÒÂÓÙËÂÎßÐÑÅÑ ÆÂÄÎÇÐËâ) ÂÊÑÕÂ Ë ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÞ 5 500 C, ÍÂÍ ÑÃÝâÔÐâÎÑÔß Ä ÓÂÃÑÕÂØ [61, 68, 69, 92,94].