Погребняк А.Д., Шпак А.П., Азаренков Н.А., Береснев В.М. Структура и свойства твердых и сверхтвердых нанокомпозитных покрытий, страница 3

°ÆÐÂÍÑ ÏÑÉÐÑ ÆÑÔÕËÚß ÐÇÍÑÕÑÓÑÅÑ ÖÎÖÚÛÇÐËâ Ê ÔÚÈÕ ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÐËâ ËÐÕÇÓÅÓÂÐÖÎâÓÐÑÌ ÔÕÇÍÎÑÄËÆÐÑÌ ×ÂÊÞ.ªÊÄÇÔÕÇÐ ÎËÛß ÑÆËÐ à××ÇÍÕËÄÐÞÌ ÔÒÑÔÑà ÖÄÇÎËÚÇÐËâÔÕÑÌÍÑÔÕË Í ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá Ö ÕÄÈÓÆÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ ì àÕÑÒÓÇÓÞÄÂÐËÇ ÐÇÒÓÇÓÞÄÐÑÅÑ ÒÖÕË ÄÆÑÎß ÅÓÂÐËÙ ÊÈÓÇÐ ÑÕÒÑÄÇÓØÐÑÔÕË ÒÑÍÓÞÕËâ ÚÇÓÇÊ ÄÔá ÇÅÑ ÕÑÎÜËÐÖ ÆÑ ÒÑÆÎÑÉÍË. ¿ÕÑÅÑ ÏÑÉÐÑ ÆÑÔÕËÚß Ä ÕÑÏ ÔÎÖÚÂÇ, ÇÔÎË ÕÄÈÓÆÂâÒÎÈÐÍ ÃÖÆÇÕ ÂÏÑÓ×ÐÑÌ, ÚÕÑ ÎÇÅÍÑ ÑÔÖÜÇÔÕÄËÕß, ÇÔÎË ÒÑÎÖÚËÕß ÐÑÄÑÇ ÔÇÏÇÌÔÕÄÑ ÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ a-Si3 N4 =MeNx Ô ÄÞÔÑÍËÏ ÔÑÆÇÓÉÂÐËÇÏ ÂÏÑÓ×ÐÑÌ ×ÂÊÞ a-Si3 N4 (> 50 ÑÃ. %)[35 ë 38].

¥ÂÐÐÑÇ ÖÕÄÇÓÉÆÇÐËÇ ËÎÎáÔÕÓËÓÖÇÕÔâ, ÐÂÒÓËÏÇÓ,ËÊÑÃÓÂÉÇÐËÇÏ ÛÎË× ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞØ ÒÎÈÐÑÍ Ta ë Si ëN Ë Mo ë Si ë N, ÒÓËÄÇÆÇÐÐÞÏ Ð ÓËÔ. 5Ã, Ä. ±ÑÔÎÇ ÑÕÉËÅÂÆÑ 1300 C Ö ÒÎÈÐÍË Ta ë Si ë N ÒÑÚÕË ÐËÍÂÍÑÅÑ ÖÄÇÎËÚÇÐËâÏÂÔÔÞ Dm ÐÇ ÐÂÃÎáÆÂÇÕÔâ (ÓËÔ. 5Â).2.3.3. ¡ÏÑÓ×ÐÞÇ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÞ ÔÑ ÔÕÑÌÍÑÔÕßá Í ÄÞÔÑÍÑÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÐÑÏÖ ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá. ¯ÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÞ ÔÔÑÆÇÓÉÂÐËÇÏ ×ÂÊÞ ÐËÕÓËÆ ÍÓÇÏÐËâ > 50 ÑÃ. %âÄÎâáÕÔâ ÂÏÑÓ×ÐÞÏË (ÓËÔ. 5Ã, Ä).

£ËÆÐÑ, ÚÕÑ ÑÃÝÈÏÒÎÈÐÍË Ta ë Si ë N âÄÎâÇÕÔâ ÂÏÑÓ×ÐÞÏ Ë ÕÑÎßÍÑ ÒÑÄÇÓØÐÑÔÕß àÕÑÌ ÒÎÈÐÍË ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐÂ; Ô×ÑÓÏËÓÑÄÂÎÑÔß ÑÍÑÎÑ400 ÐÏ ÑÍÔËÆÐÑÅÑ ÒÑÄÇÓØÐÑÔÕÐÑÅÑ ÔÎÑâ ´Â 2 O 5 . ¿ÕÂÒÎÈÐÍ ÑÕÎËÚÂÇÕÔâ ÔÂÏÑÌ ÄÞÔÑÍÑÌ ÔÕÑÌÍÑÔÕßá Í ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá (ÓËÔ. 5Â); ÇÇ ÕÄÈÓÆÑÔÕß H ËÊÏÇÐâÇÕÔâ ÑÕ 20 ÆÑ40 ¤±a. ´ÂÍËÇ ØÂÓÂÍÕÇÓËÔÕËÍË ÒÎÈÐÍË Ta ë Si ë N ÑÃÇÔÒÇÚËÄÂáÕ ÇÇ ÛËÓÑÍÑÇ ÒÓËÏÇÐÇÐËÇ, ÐÂÒÓËÏÇÓ, Ä ÄËÆÇÊÂÜËÕÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ ÆÎâ ÓÇÉÖÜÇÅÑ ËÐÔÕÓÖÏÇÐÕÂ.£ÞÔÑÍÑÇ ÔÑÆÇÓÉÂÐËÇ ×ÂÊÞ ÐËÕÓËÆ ÍÓÇÏÐËâ, ÑÆÐÂÍÑ,ÐÇ âÄÎâÇÕÔâ ÆÑÔÕÂÕÑÚÐÞÏ ÖÔÎÑÄËÇÏ ÆÎâ ÆÑÔÕËÉÇÐËâÔÕÑÌÍÑÔÕË Í ÄÞÔÑÍÑÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÐÑÏÖ ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá.¯ÇÍÑÕÑÓÞÇ àÎÇÏÇÐÕÞ ì ÕÂÍËÇ, ÍÂÍ Mo, W Ë ÆÓ., ì×ÑÓÏËÓÖáÕ ÎÇÕÖÚËÇ ÑÍÔËÆÞ, ÍÑÕÑÓÞÇ ÄÞÔÄÑÃÑÉÆÂáÕÔâËÊ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕ ÒÓË ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËË.

¿ÕÑ ÒÓËÄÑÆËÕ ÐÇÕÑÎßÍÑ Í ÑÃÓÂÊÑÄÂÐËá ÒÑÓËÔÕÑÌ ÒÑÄÇÓØÐÑÔÕË ÑÍÔËÆÐÑÅÑÔÎÑâ (ÓËÔ. 5Ã, Ä), ÐÑ ÕÂÍÉÇ Ë Í ÖÏÇÐßÛÇÐËá ÔÕÑÌÍÑÔÕË ÍÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá. ±ÑÓÞ ÄÑÊÐËÍÂáÕ ÄÔÎÇÆÔÕÄËÇ ×ÑÓÏËÓÑÄÂÐËâ ÎÇÕÖÚËØ ÑÍÔËÆÑÄ MoOx , ÍÑÕÑÓÞÇ ÆË××ÖÐÆËÓÖáÕÄÑÄÐÇ ËÊ ÒÑÄÇÓØÐÑÔÕÐÑÅÑ ÔÎÑâ ÒÓË T ˆ 800ÿ1000 C.°ÔÐÑÄÐÑÌ ÒÓËÚËÐÑÌ ÔÐËÉÇÐËâ ÔÕÑÌÍÑÔÕË Í ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá âÄÎâÇÕÔâ, ÕÇÏ ÐÇ ÏÇÐÇÇ, ÓÂÊÎÑÉÇÐËÇ ×ÂÊÞ ÐËÕÓËÆÂÏÇÕÂÎΠMeNx Ä ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÇ. ±ÑàÕÑÏÖ ÄÞÃÑÓ àÎÇÏÇÐÕÐÑÅÑ ÔÑÔÕÂÄ ÒÎÈÐÍË ËÏÇÇÕ ÑÚÇÐß ÄÂÉÐÑÇ ÊÐÂÚÇÐËÇ.¹ÕÑÃÞ ÆÑÔÕËÚß ÔÕÑÌÍÑÔÕË Í ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá ÒÓËÏÂÍÔËÏÂÎßÐÞØ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÂØ ÑÕÉËÅÂ, ÐÇÑÃØÑÆËÏÑ ÑÃÇÔÒÇÚËÕß ÐÂËÎÖÚÛÖá ÕÇÓÏËÚÇÔÍÖá ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕß ÑÃÇËØ ×ÂÊÆÂÐÐÑÅÑ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÂ: ÂÏÑÓ×ÐÑÅÑ ÐËÕÓËÆ ÍÓÇÏÐËâ ìÒÓÑÕËÄ ÍÓËÔÕÂÎÎËÊÂÙËË,  ÏÇÕÂÎÎÑÐËÕÓËÆ ì ÒÓÑÕËÄÓÂÊÎÑÉÇÐËâ (MeNx ! Me ‡ N2 ). ³ àÕÑÌ ÕÑÚÍË ÊÓÇÐËâÄÇÔßÏ ÒÇÓÔÒÇÍÕËÄÐÞÏË ÒÓÇÆÔÕÂÄÎâáÕÔâ, ÐÂÒÓËÏÇÓ,ÕÂÍËÇ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÞ, ÍÂÍ Zr ë Si ë N [35], Ta ë Si ë N [34]¡.¥. ±°¤²¦¢¯Á¬, ¡.±.

º±¡¬, ¯.¡. ¡©¡²¦¯¬°£, £.®. ¢¦²¦³¯¦£Ë Ti ë Si ë N Ô ÄÞÔÑÍËÏ ÔÑÆÇÓÉÂÐËÇÏ (> 50 ÑÃ. %) ×ÂÊÞÐËÕÓËÆ ÍÓÇÏÐËâ,  ÕÂÍÉÇ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÞ, ÑÔÐÑÄÂÐÐÞÇРÑÍÔËÆÂØ Ë ÑÍÔËÐËÕÓËÆÂØ ÍÓÇÏÐËâ.3. ¶ËÊËÚÇÔÍËÇ Ë ÏÇØÂÐËÚÇÔÍËÇ ÔÄÑÌÔÕÄÂÐÂÒÞÎÈÐÐÞØ ÒÎÈÐÑÍ Ta ë Si ë NÔ ÄÞÔÑÍËÏ ÔÑÆÇÓÉÂÐËÇÏ (>40 ÂÕ. %) Si±ÎÈÐÍË Ta ë Si ë N ËÔÒÑÎßÊÖáÕÔâ ÍÂÍ ÃÂÓßÇÓÞ ÒÓË ÆË××ÖÊËË ÏÇÉÆÖ ³u Ë Si Ä ÕÇØÐÑÎÑÅËË ËÐÕÇÅÓÂÎßÐÞØ ÔØÇÏ, ÕÂÍÍÂÍ ÑÐË ÂÏÑÓ×ÐÞ Ë ËÏÇáÕ ØÑÓÑÛÖá ÕÇÓÏÑÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕß[39, 40]. ¢ÎÂÅÑÆÂÓâ ÔÄÑËÏ ØÑÓÑÛËÏ ÏÇØÂÐËÚÇÔÍËÏ ÔÄÑÌÔÕÄÂÏ Ë ÄÞÔÑÍÑÌ ÔÕÑÌÍÑÔÕË Í ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá ÒÎÈÐÍËTa ë Si ë N ËÔÒÑÎßÊÖáÕ ÕÂÍÉÇ Ä ÍÂÚÇÔÕÄÇ ÊÂÜËÕÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ. Si ÔÕÂÃËÎËÊËÓÖÇÕ ÂÏÑÓ×ÐÖá ÔÕÓÖÍÕÖÓÖ ÒÎÈÐÍË,ÖÎÖÚÛÂÇÕ ÇÇ ÏÇØÂÐËÚÇÔÍËÇ ÔÄÑÌÔÕÄÂ, ÕÂÍËÇ ÍÂÍ ÕÄÈÓÆÑÔÕßË ÔËÎÖ ÂÆÅÇÊËË [41].

£ ÐÂÐÇÔÇÐÐÞØ ÒÎÈÐÍÂØ ×ÑÓÏËÓÖÇÕÔâÔÑÇÆËÐÇÐËÇ Si3N4 Ë ÚÂÔÕËÚÐÑ (´Â, Si)N [42]. ±ÎÈÐÍË Ta ëSi ë N Ô ÐËÊÍËÏ ÔÑÆÇÓÉÂÐËÇÏ (7 ÂÕ. %) Si ÕÇÓÏÑÔÕÂÃËÎßÐÞÆÑ 900 C, ÍÑÅÆ ÐÂÚËÐÂÇÕÔâ ÍÓËÔÕÂÎÎËÊÂÙËâ. ²ÇÍÓËÔÕÂÎÎËÊÂÙËâ ÒÓËÄÑÆËÕ Í ×ÑÓÏËÓÑÄÂÐËá ËÐÕÇÓÏÇÕÂÎÎËÚÇÔÍËØ×ÂÊ ´Â2N, Ta5Si Ë Ta5Si3 [43].3.1. ³ÍÑÓÑÔÕß ÑÔÂÉÆÇÐËâ ÏÇÕÑÆÑÏÏÂÅÐÇÕÓÑÐÐÑÅÑ ÓÂÔÒÞÎÇÐËâ©ÂÄËÔËÏÑÔÕß ÔÍÑÓÑÔÕË ÑÔÂÉÆÇÐËâ ÒÎÈÐÑÍ ad ÑÕ ÒÂÓÙËÂÎßÐÑÅÑ ÆÂÄÎÇÐËâ ÂÊÑÕ pN2 ÒÓË ÓÂÊÎËÚÐÞØ ÊÐÂÚÇÐËâØÂ0,9pt =0,5 ±Â, Id =2 ¡, Pd =1340 £Õ, Us =50 £, is =1 Ï¡ ÔÏÿ2pt =0,5 ±Â, Id =1 ¡, Pd =580 £Õ, Us =50 £, is =0,5 Ï¡ ÔÏÿ20,8pt =0,5 ±Â, Id =1 ¡, Pd =800 £Õ, Us =50 £, is =1 Ï¡ ÔÏÿ2pt =0,7 ±Â, Id =1 ¡, Pd =510 £Õ, Us =50 £, is =1 Ï¡ ÔÏÿ2pt =0,7 ±Â, Id =2 ¡, Pd =1180 £Õ, Us =50 £, is =1 Ï¡ ÔÏÿ2ad , ÏÍÏ ÏËÐÿ10,70,60,50,40,30,20,100,10,20,30,40,50,640H200,8pN2 , ±Â0ÿ0,5ÿ1,0s1003000,7Ã30H, ¤±Â2.4.

£âÊÍÑÔÕß ÕÑÐÍËØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ´ÄÈÓÆÑÔÕß âÄÎâÇÕÔâ ÑÆÐËÏ ËÊ ÐÂËÃÑÎÇÇ ÄÂÉÐÞØ ÏÇØÂÐËÚÇÔÍËØ ÔÄÑÌÔÕÄ, ÑÆÐÂÍÑ ÐÇ ÆÑÔÕÂÕÑÚÐÞÏ ÆÎâ ÄÞÃÑÓ ÕÑÅÑËÎË ËÐÑÅÑ ÏÂÕÇÓËÂΠÆÎâ ÍÑÐÍÓÇÕÐÑÅÑ ÒÓËÏÇÐÇÐËâ. ¥ÎâÏÐÑÅËØ ÒÓËÏÇÐÇÐËÌ ÄâÊÍÑÔÕß ÒÎÈÐÍË âÄÎâÇÕÔâ ÃÑÎÇÇÄÂÉÐÞÏ ×ÂÍÕÑÓÑÏ, ÚÇÏ ÕÄÈÓÆÑÔÕß, ÒÑàÕÑÏÖ ÐÇÑÃØÑÆËÏÑÔÑÄÇÓÛÇÐÔÕÄÑÄÂÕß ×ÑÓÏËÓÑÄÂÐËÇ ÒÎÈÐÑÍ, Ä ÍÑÕÑÓÞØÕÄÈÓÆÑÔÕß ÔÑÚÇÕÂÇÕÔâ Ô ÄâÊÍÑÔÕßá (ÓËÔ. 5Å).£âÊÍÑÔÕß ÏÂÕÇÓËÂΠì àÕÑ ÇÅÑ ÔÒÑÔÑÃÐÑÔÕß ÒÑÅÎÑÜÂÕß àÐÇÓÅËá Ä ÒÓÑÙÇÔÔÇ ÆÇ×ÑÓÏÂÙËË ÆÑ ÒÑÎÐÑÅÑÓÂÊÓÖÛÇÐËâ. ³ÎÇÆÑÄÂÕÇÎßÐÑ, ÄâÊÍÑÔÕß ÏÑÉÐÑ ÖÄÇÎËÚËÕß, ÇÔÎË ÖÆÂÔÕÔâ ÊÂÕÑÓÏÑÊËÕß ËÎË ÖÏÇÐßÛËÕß ËÐËÙËËÓÑÄÂÐËÇ ËÎË ÓÂÔÒÓÑÔÕÓÂÐÇÐËÇ ÕÓÇÜËÐ. ¦ÔÕß ÐÇÔÍÑÎßÍÑÔÒÑÔÑÃÑÄ ÆÑÔÕËÉÇÐËâ àÕÑÌ ÙÇÎË: (1) ÔÆÇÎÂÕß ÖÆÂÓÐÖáÄâÊÍÑÔÕß ×ÂÊ ÒÎÂÔÕËÚÐÑÌ, Õ.Ç.

ÆÑÃÂÄËÕß ÐÇÍÑÕÑÓÞÇ ÒÎÂÔÕËÚÐÞÇ ×ÂÊÞ (ÏÇÕÂÎÎÞ) Ä ÍÇÓÂÏËÚÇÔÍËÇ ÏÂÕÓËÙÞ; (2)ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÕß ÖÆÂÓÐÖá ÒÎÂÔÕËÚÐÑÔÕß ÐÂÐÑ×ÂÊ, ÑÔÐÑÄÂÐÐÖá РÒÓÇÎÑÏÎÇÐËË ÕÓÇÜËÐ ËÎË ËØ ÓÂÊÄÇÕÄÎÇÐËË, ËÎËÔÍÑÎßÉÇÐËË ÄÆÑÎß ÅÓÂÐËÙ ÊÈÓÇÐ; (3) ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÕß ÖÆÂÓÐÖá ÒÎÂÔÕËÚÐÑÔÕß ÏÐÑÅÑÔÎÑÌÐÞØ ÔÕÓÖÍÕÖÓ, ÑÔÐÑÄÂÐÐÖáРÚÇÓÇÆÑÄÂÐËË ÏÐÑÅÑÚËÔÎÇÐÐÞØ ØÓÖÒÍËØ Ë ÄâÊÍËØ ÕÑÐÍËØ ÔÎÑÇÄ; (4) ÔÑÊÆÂÕß ÖÔÎÑÄËâ ÆÎâ ÓÂÊÄËÕËâ ÄÑÎÑÍÐËÔÕÑÌËÎË ÐÂÐÑÕÓÖÃÚÂÕÑÌ ÖÆÂÓÐÑÌ ÄâÊÍÑÔÕË, ÑÔÐÑÄÂÐÐÑÌ ÐÂÏÑÔÕËÍÑÄÑÌ ÔÄâÊË ËÎË ÓÂÔ×ÑÍÖÔËÓÑÄÍÇ ÕÓÇÜËÐ; (5) ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÕß ÖÆÂÓÐÖá ÄâÊÍÑÔÕß, ÒÓË ÍÑÕÑÓÑÌ ÚÂÔÕß ÒÑÅÎÑÜÇÐÐÑÌ àÐÇÓÅËË ÊÂÕÓÂÚËÄÂÇÕÔâ Р×ÂÊÑÄÞÇ ÒÓÇÄÓÂÜÇÐËâ,Ë (6) ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÕß ÖÆÂÓÐÖá ÄâÊÍÑÔÕß ÒÓË ÔÉËÏÂáÜËØÐÂÒÓâÉÇÐËâØ, ÚÕÑ ÒÓÇÒâÕÔÕÄÖÇÕ ÐÂÚÂÎÖ ÑÃÓÂÊÑÄÂÐËâ ÕÓÇÜËÐ ÒÖÕÇÏ ËØ ÊÂÎÇÚËÄÂÐËâ.£ ÐÂÔÕÑâÜÇÇ ÄÓÇÏâ ÑÔÐÑÄÐÑÌ ÒÓÑÃÎÇÏÑÌ âÄÎâÇÕÔâÑÒÓÇÆÇÎÇÐËÇ ÖÆÂÓÐÑÌ ÄâÊÍÑÔÕË ÕÑÐÍËØ ÒÎÈÐÑÍ.

¯ÇÆÂÄÐÑÃÞÎÑ ÒÑÍÂÊÂÐÑ, ÚÕÑ ÖÆÂÓÐÖá ÄâÊÍÑÔÕß ÕÑÐÍËØ ÒÎÈÐÑÍÏÑÉÐÑ ÑÙÇÐËÕß ÃÇÊ ÓÂÊÓÖÛÇÐËâ, ÒÖÕÇÏ ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÐËâÏËÍÓÑËÐÆÇÐÕËÓÑÄÂÐËâ. ´ÂÍËÇ ÑÙÇÐÍË ÖÍÂÊÞÄÂáÕ Ð ÕÑ,ÚÕÑ ÄÇÎËÚËРÑÕÐÑÛÇÐËâ H 3 =E 2 ËÅÓÂÇÕ ÄÂÉÐÖá ÓÑÎß.¢ÑÎÇÇ ÆÇÕÂÎßÐÑ àÕÑ ÑÒËÔÂÐÑ Ä ÓÂÃÑÕÂØ [29, 33].[µ¶¯ 2009s, ¤±Â40ÿ1,5400500600700ÿ2,0800T; C²ËÔ. 6. ©ÂÄËÔËÏÑÔÕß ÔÍÑÓÑÔÕË ÐÂÐÇÔÇÐËâ ad ÑÕ pN2 ÆÎâ ÒÎÈÐÑÍ Ta ëSi ë N, ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØ ÒÓË Ts ˆ 500 C Ë ÓÂÊÎËÚÐÞØ ÍÑÏÃËÐÂÙËâØ Id , Us , isË pt . (Â) ®ËÍÓÑÕÄÈÓÆÑÔÕß H Ë ÏÂÍÓÑÐÂÒÓâÉÇÐËÇ s ÒÎÈÐÑÍ ÕÑÎÜËÐÑÌ3 ÏÍÏ, ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØ ÒÓË Id ˆ 1 ¡, Us ˆ ÿ50 £, is ˆ 1 Ï¡ ÔÏÿ2 ,pN2 ˆ 0;2 ±a, pt ˆ 0;5 ±a, ÍÂÍ ×ÖÐÍÙËË ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÞ ÒÑÆÎÑÉÍË Ts .(Ã) ´ÄÈÓÆÑÔÕß ËÊÏÇÓâÎË ÒÓË ÐÂÅÓÖÊÍÇ Ð ÂÎÏÂÊÐÞÌ ËÐÆÇÐÕÑÓ, ÓÂÄÐÑÌ50 ϯ.ÐÂÒÓâÉÇÐËâ ÔÏÇÜÇÐËâ РÒÑÆÎÑÉÍÇ Us , ÕÑÍ ËÑÐÑÄ ÐÂÒÑÆÎÑÉÍÇ is Ë ÕÑÍ ÓÂÊÓâÆ Id ÒÓÇÆÔÕÂÄÎÇРРÓËÔ.

6Â.£ËÆÐÑ, ÚÕÑ ÆÎâ ÄÔÇØ ÒÎÈÐÑÍ ÄÇÎËÚËРad ÐÇ ÊÂÄËÔËÕ ÑÕÆÂÄÎÇÐËâ ÒÓË pN2 < 0;25 ±Â,  ÒÓË pN2 > 0;25 ±Â ÔÍÑÓÑÔÕßÖÏÇÐßÛÂÇÕÔâ ÄÔÎÇÆÔÕÄËÇ ÕÓÂÄÎÇÐËâ ÏËÛÇÐË. £ÇÎËÚËРadÄÑÊÓÂÔÕÂÇÕ Ô ÖÄÇÎËÚÇÐËÇÏ Id ; Ö ÒÎÈÐÑÍ, ÒÑÎÖÚÇÐÐÞØ ÒÓËÏÑÜÐÑÔÕË ÓÂÊÓâÆ Pd ˆ 800 £Õ, is ˆ 1 Ï¡ ÔÏÿ2 Ë Us ˆˆ ÿ100 £, ÔÍÑÓÑÔÕß ÑÔÂÉÆÇÐËâ ÄÞÛÇ, ÚÇÏ Ö ÒÎÈÐÑÍ, ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØ ÒÓË Pd ˆ 560 £Õ, is ˆ 0;5 Ï¡ ÔÏÿ2 Ë Us ˆ ÿ50 £ÄÔÎÇÆÔÕÄËÇ ÃÑÎÇÇ ÄÞÔÑÍÑÌ ÒÎÑÕÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÞ Ä ÒÇÓÄÑÏÔÎÖÚÂÇ.3.2. ®ÇØÂÐËÚÇÔÍËÇ ÔÄÑÌÔÕÄÂ Ë ÏÂÍÓÑÐÂÒÓâÉÇÐËâ©ÂÄËÔËÏÑÔÕË ÕÄÈÓÆÑÔÕË H ÒÎÈÐÑÍ Ta ë Si ë N Ë ÏÂÍÓÑÐÂÒÓâÉÇÐËâ s, ÅÇÐÇÓËÓÑÄÂÐÐÑÅÑ Ä ÒÎÈÐÍÂØ ÄÑ ÄÓÇÏâ ÓÑÔÕÂÒÓË ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ ÒÑÆÎÑÉÍË Ts , ÒÓÇÆÔÕÂÄÎÇÐÞ Ð ÓËÔ. 6Ã.£ÔÇ ÒÎÈÐÍË ËÏÇÎË ÑÆËÐÂÍÑÄÖá ÕÑÎÜËÐÖ h 3 ÏÍÏ.

ªÊÓËÔÖÐÍ 6à âÔÐÑ ÄËÆÐÑ, ÚÕÑ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÒÓÂÍÕËÚÇÔÍË ÐÇÊÂÄËÔËÕ ÑÕ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÞ ÒÑÆÎÑÉÍË Ä ÛËÓÑÍÑÏ ËÐÕÇÓÄÂÎÇTs ÑÕ 300 ÆÑ 750 C Ë ËÏÇÇÕ ÆÑÄÑÎßÐÑ ÄÞÔÑÍÑÇ ÊÐÂÚÇÐËÇ:H 27 ¤±Â. ¿××ÇÍÕËÄÐÞÌ ÏÑÆÖÎß ÀÐÅÂ Ë ÖÒÓÖÅÑÇÄÑÔÔÕÂÐÑÄÎÇÐËÇ ÕÂÍÉÇ ÒÑÔÕÑâÐÐÞ: E 250 ¤±Â,We 65 % ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÇÐÐÑ. ®ÂÍÓÑÐÂÒÓâÉÇÐËÇ s ì ÔÉËÏÂáÜÇÇ, ËÏÇÇÕ ÐÇÃÑÎßÛÖá ÄÇÎËÚËÐÖ ÒÑÓâÆÍ ÿ1 ¤±Â ËÕÑÉÇ ÐÇ ÊÂÄËÔËÕ ÑÕ Ts .

¿ÕÑ ÖÍÂÊÞÄÂÇÕ Ð ÔÒÇÙË×ËÚÇÔÍÖá´. 179, å 1]41³´²µ¬´µ²¡ ª ³£°«³´£¡ ´£§²¥½· ª ³£¦²·´£§²¥½· ¯¡¯°¬°®±°©ª´¯½· ±°¬²½´ª«(ÂÏÑÓ×ÐÖá) ÔÕÓÖÍÕÖÓÖ ÒÎÈÐÑÍ Ta ë Si ë N Ô ÄÞÔÑÍËÏÔÑÆÇÓÉÂÐËÇÏ Si, ÚÕÑ ÒÑÆÕÄÇÓÉÆÂÇÕÔâ ÆÂÐÐÞÏË ËÊÏÇÓÇÐËÌ ÏÇÕÑÆÑÏ ÓÇÐÕÅÇÐÑÄÔÍÑÌ ÆË×ÓÂÍÙËË (²¥). ®Þ ÒÑÎÂÅÂÇÏ, ÚÕÑ ÂÏÑÓ×ÐÂâ ÔÕÓÖÍÕÖÓ ÒÎÈÐÑÍ Ta ë Si ë N ÑÕÄÇÕÔÕÄÇÐРʠËØ ØÑÓÑÛÖá ÕÇÓÏÑÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕß.3.3. ³ÕÑÌÍÑÔÕß Í ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá¯Â ÔÕÑÌÍÑÔÕß Í ÄÞÔÑÍÑÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÐÑÏÖ ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËáÕÇÔÕËÓÑÄÂÎËÔß ÒÎÈÐÍË Ta ë Si ë N ÕÑÎÜËÐÑÌ 4 ÏÍÏ, ÐÂÐÇÔÇÐÐÞÇ Ð ÒÑÆÎÑÉÍÖ Ä ÓÇÉËÏÇ Id ˆ 1 ¡, Us ˆ 50 £,is ˆ 1 Ï¡ ÔÏÿ2 , Ts ˆ 500 C, pN2 ˆ 0;43 ±Â, pt ˆ 0;7 ±Â(pt ì ÑÃÜÇÇ ÆÂÄÎÇÐËÇ) (ÔÏ., ÐÂÒÓËÏÇÓ, ÓËÔ.

6Â). ²ÇÊÖÎßÕÂÕÞ ÒÑÍÂÊÞÄÂáÕ ÑÕÎËÚÐÖá ÔÕÑÌÍÑÔÕß ÒÎÈÐÑÍ Í ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá. ±ÓË ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ ÑÕÉËÅ T 700 ³ ÒÓÑËÔØÑÆËÕ ÒÓÇÐÇÃÓÇÉËÏÑ ÏÂÎÑÇ ÒÓËÓÂÜÇÐËÇ ÄÇÔÂ. ³ÍÑÓÑÔÕßÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËâ ÐÂÚËÐÂÇÕ ÐÂÓÂÔÕÂÕß Ä ÕÑÕ ÏÑÏÇÐÕ, ÍÑÅÆÂÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓ ÒÓÇÄÞÛÂÇÕ 850 C Ë ÔÑÔÕÂÄÎâÇÕ ÒÓËÃÎËÊËÕÇÎßÐÑ 0,125 ÏÍÅ ÔÏ ÿ2 C ÿ1 . ­ÈÅÍÑÇ ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËÇÒÎÈÐÍË Ta ë Si ë N ÒÓÇÍÓÂÜÂÇÕÔâ ÒÓË T 1100 C Ë ÆÎâT > 1100 C ÑÔÕÂÇÕÔâ ÒÑÔÕÑâÐÐÞÏ ÄÒÎÑÕß ÆÑ 1350 C (àÕÑÏÂÍÔËÏÂÎßÐÂâ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÂ, ÍÑÕÑÓÂâ ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÎÂÔß ÄàÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÇ [30]).ªÏÇáÕÔâ ÆÄ ÄÑÊÏÑÉÐÞØ ÑÃÝâÔÐÇÐËâ ÕÂÍÑÌ ÑÔÕÂÐÑÄÍË Ä ÓÑÔÕÇ ÄÇÔÂ: (1) РÒÑÄÇÓØÐÑÔÕË ÒÎÈÐÍË Ta ë Si ë N×ÑÓÏËÓÖÇÕÔâ ÔÕÂÃËÎßÐÞÌ ÒÂÔÔËÄÐÞÌ ÑÍÔËÆÐÞÌ ÔÎÑÌËÎË (2) ÑÍÔËÆËÓÖÇÕÔâ ÄÇÔß ÑÃÝÈÏ ÒÎÈÐÍË.

±ÑÔÍÑÎßÍÖÑÕÐÑÔËÕÇÎßÐÑÇ ËÊÏÇÐÇÐËÇ ÏÂÔÔÞ ÔÑÔÕÂÄÎâÇÕ ÄÔÇÅÑ 1,6 %,ÕÑ ÒÇÓÄÑÇ ÑÃÝâÔÐÇÐËÇ ÍÂÉÇÕÔâ ÒÓÂÄËÎßÐÞÏ. ¿ÕÑÕ ÄÞÄÑÆÒÑÆÕÄÇÓÉÆÂÇÕ ÕÑÕ ×ÂÍÕ, ÚÕÑ Ð ÒÑÄÇÓØÐÑÔÕË ÒÎÈÐÍËTa ë Si ë N ×ÑÓÏËÓÖÇÕÔâ ÕÑÐÍËÌ ÅÎÂÆÍËÌ ÑÍÔËÆÐÞÌ ËÐÕÇÓ×ÇÓÇÐÙËÑÐÐÞÌ ÔÎÑÌ. £ÔÎÇÆÔÕÄËÇ ËÐÕÇÓ×ÇÓÇÐÙËË ÒÑÄÇÓØÐÑÔÕß ÒÎÈÐÍË Ta ë Si ë N ÏÇÐâÇÕ ÙÄÇÕ oÕ ÅÑÎÖÃÑÅÑ ÆÑÊÇÎÈÐÑÅÑ ÒÓË ÖÄÇÎËÚÇÐËË ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÞ ÑÕÉËÅ ÑÕ 850 ÆÑ1100 C; ÒÓË ÆÂÎßÐÇÌÛÇÏ ÖÄÇÎËÚÇÐËË ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÞ ÑÕ1100 ÆÑ 1350 C ÐËÍÂÍËØ ËÊÏÇÐÇÐËÌ Ä ÙÄÇÕÇ ÐÇ ÒÓÑËÔØÑÆËÕ.