Выращивание кристаллов (987305), страница 9
Текст из файла (страница 9)
Питание газоразрядной лампы легко осуществляется либо от обычных мотор-генераторов, либо от системы трансформатор-выпрямитель при регулировке посредством магнитных усилителей. Развитие метода потребовало как увеличения размеров выращиваемых кристаллов, так и получения монокристаллов соединений, имеющих более высокие температуры плавления. Некоторый интерес представляет схема системы, представленная на рис. 11.1.24 в. В схеме сделана попытка увеличить поток лучистой энергии путем применения двух газоразрядных ламп. Оптическая система состоит из двух параболических зеркал 21 и 22, одного эллиптического 20 и двух сферических 23 и 24. Эллиптический отражатель 20 расположен так, чтобы его дальний фокус совпадал с фокусом параболического отражателя 21. Эллиптическое зеркало 20 может перемещаться в вертикальной плоскости. Все это дает возможность как увеличивать мощность светового потока в зоне кристаллизации, так и создавать желаемые температурные поля в зоне предварительного отжига выросшего кристалла.
Большой проблемой при выращивании тугоплавких материалов является нагревательный элемент печи отжига. Так, например, для проведения ряда важных процессов требуется печь, в которой достигалась бы температура порядка 2800 К в окислительной атмосфере. Если в качестве нагревательного элемента применить оксидные материалы, например, окись циркония, гафния, обладающие достаточной проводимостью (см. рис. 11.1.22} в указанном интервале температур, то для начала индукционного разогрева печи отжига необходим ее предварительный подогрев. Этот подогрев достигается с помощью перемещения по вертикали зеркала (рис. 11.1.24 в). Различные варианты трехзеркальных оптических систем с использованием двух ламп приведены на рис. 11.1.24 г. Сочетание моноэллиптической и биэллиптической бипараболической систем увеличивает плотность мощности в фокусе основной системы при сохранении радиальной симметрии фокуса, что особенно важно при выращивании кристаллов. На рис. 11.1.25 а, б приведены характеристики установки для выращивания по методу оптической зонной плавки. При токах 150 А через каждую лампу мощность в фокусе составляет 1200 Вт. Мощность, идущая на нагрев единицы поверхности зоны, линейно уменьшается с увеличением диаметра зоны (при сохранении высоты зоны постоянной).
Р
ис. 11.1.25. Распределение мощности а рабочем фокусе оптической системы: а – аксиальное; б - радиальное (кружками отмечены данные для бипараболической системы, квадратами для моноэллиптической, треугольниками - для трехзеркальной); в - зависимость максимального диаметра зоны от температуры плавления материала: 1 - двухзеркальная система; 2 - трехзеркальная система.
Это изменение можно аппроксимировать приближенной зависимостью
P=P0-k΄α (11.1.19)
где k' - коэффициент, зависящий от режима работы печи. Для оптимального режима работы печи, обеспечивающего стабильный и длительный процесс вырашивания монокристаллов в нашем случае, величина коэффициента k' 100 Вт/см3. Для поддержания зоны в расплавленном состоянии необходимо, чтобы мощность Р, идущая на нагрев, по меньшей мере равнялась мощности излучаемой единицей площади поверхности зоны. При этом мы, пренебрегаем всеми другими видами потерь энергии, кроме потерь на излучение. Таким образом, необходимо (но недостаточно) выполнение следующего равенства:
P0-k΄α= ασТпл4 (11.1.20)
где σ - постоянная Стефана-Больцмана; α- коэффициент черноты поверхности; Тпл - температура плавления, материала. Из (11.1.20) можно оценить максимальный диаметр зоны для данного материала
(11.1.21)
Если α=0,4, то (11.1.21) примет вид
d=d0-2,5*10-4 Тпл4 (11.1.22)
где d0 параметр, характеризующий установку и режим работы (d0=2). Отсюда прослеживается интересная зависимость, характеризующая работу печи оптического нагрева. На этих печах можно плавить материалы с различными температурами плавления, только при этом будет меняться максимальный диаметр зоны, которую мы сможем получить. При увеличении температуры плавления материала уменьшается максимально достижимый диаметр зоны. На рис. 11.1.25 в приведена зависимость максимального диаметра зоны при оптимальном режиме работы печи от температуры плавления материала. Таким образом, на оптических печах можно выращивать кристаллы, имеющие довольно высокие температуры плавления. Однако верхний температурный предел выращиваемых кристаллов определяется температурными градиентами, имеющимися в зоне роста. Если осевые градиенты температуры при малой скорости выращивания не являются критичными, то радиальные градиенты температуры на поверхности роста монокристалла при остаточной величине могут создать термоупругие напряжения, приводящие к растрескиванию монокристалла.
С помощью вышеизложенного метода были получены монокристаллы гранатов РЗЭ, алюминатов РЗЭ, скандатов РЗЭ, легированные редкоземельными ионами и некоторыми ионами переходной группы железа, а также получены монокристаллы окиси иттрия, окиси эрбия и окиси гадолиния, легированные ионами неодима, тулия и гольмия. Диаметр выращенных кристаллов порядка 6 мм, длина 80 мм. При выращивании кристаллов методом зонной плавки необходимо учитывать зависимость распределения примеси от геометрического места в выращенном кристалле. Концентрация примеси может быть рассчитана по формулам:
(k<1) (11.1.23)
(k>1) (11.1.24)
где l - длина зоны; х - длина пройденного зоной участка; С0-начальная концентрация примеси в веществе; Cs- концентрация примеси в пройденном зоной участке кристалла.
Использование вышеприведенных формул полностью справедливо, если в полученном кристалле отсутствуют объемные изменения и параметры зоны не изменяются в течение всего процесса. Контроль распределения примесей легко осуществляется оптическими или радиографическими методами.
За последние годы получил развитие лазерный нагрев, который в сочетании с бестигельными методами кристаллизации позволяет создать особо чистые условия в зоне кристаллизации. Этот вид нагрева обладает рядом существенных преимуществ, среди которых особое значение имеет то, что энергия в зону расплава передается высококогерентным излучением, позволяющим вывести источник нагрева за пределы реакционной камеры. Лазерный нагрев, однако, вносит и определенную специфику, связанную с характером поглощения стимулированного излучения. Эта особенность определяется свойствами исходного вещества, расплава и кристалла, а именно; величинами коэффициента поглощения, удельной теплотой плавления, теплопроводностью, температурой плавления, геометрической конфигурацией кристаллизуемой системы. В этой связи возникают требования как к длине волны и энергии излучения, так и к характеристикам работы лазера.
Большинством исследователей были использованы газовые и твердотельные лазеры, работающие в непрерывном режиме и обладающие большой энергией излучения при относительно высоком КПД. Так как длина волны газовых лазеров на углекислом газе порядка 10,6 мкм, в области которой большинство веществ непрозрачно, то теряется различие в поглощении лазерного излучения кристаллом и расплавом. Для управления температурным полем и создания градиентов температуры вблизи фронта кристаллизации, однако, необходимо такое отличие. Оно может быть достигнуто при использовании более коротковолнового лазера, использующего в качестве активного вещества, например, иттрий-алюминиевый гранат, активированный ионами неодима. На рис. 11.1.26 приведены схемы выращивания тугоплавких монокристаллов с использованием лазерного нагрева, основанные на методах Вернейля (рис. 11.1.26 а) и дифференциального вытягивания (метод Чохральского рис. 11.1.26 б).
Р
ис. 11.1.26 а. Схемы кристаллизационных аппаратов с лазерным нагревом по методу Вернейля: 1 — лазер; 2 - кристалл; 3 - расплав; 4 - шихта; 5 -двигатель; 6 – механизм опускания.
Л
азерный нагрев позволяет также создать метод кристаллизации, основанный на разнице показателя поглощения между кристаллом и расплавом. Сущность метода заключается в том, что в исходное вещество вводится легколетучая примесь, вызывающая интенсивное поглощение лазерного излучения. По мере испарения примеси происходит кристаллизация этого вещества. Подбором вида примеси и температуры плавления можно добиться необходимых скоростей выращивания. Этот способ не требует каких-либо механических перемещений кристалла и особенно перспективен при кристаллизации в экстремальных условиях.
Рис. 11.1.26 б. Схемы кристаллизационных аппаратов с лазерным нагревом по методу Чохральского: 1 - лазер; 2 - луч; 3 - фокусирующая линза;4 -растущий кристалл; 5 - верхний механизм перемещения; 6 механизм перемещения; 7 - цанговый держатель; 8 –штабик
Лазерный нагрев был успешно использован для получения кристаллов гранатов РЗЭ, кроме того, таким способом были получены кристаллы оксидов иттрия, эрбия и лютеция
11.1.2 Выращивание диэлектрических кристаллов из высокотемпературных растворов
Известно, что монокристаллы одного и того же вещества можно получить различными методами кристаллизации. В тех случаях, когда выращивать монокристаллы из собственных расплавов не целесообразно, например, по ниже перечисленным причинам, процесс выращивания желательно вести при температуре ниже температуры плавления выращиваемого материала. Это обычно обусловлено следующими обстоятельствами:
1) выращиваемое вещество неустойчиво при высоких температуpax и характеризуется полиморфными превращениями вблизи температуры плавления, большой величиной давления пара при температуре выращивания или инконгруэнтной точкой плавления;
2) в случаях, когда необходимо получать кристаллы с пониженной концентрацией вакансий или предотвратить появление больших термических напряжений в кристалле;
3) для достижения нужного распределения ряда примесей при некоторых условиях, например, когда примесь характеризуется повышенной летучестью при температуре плавления материала.
Под кристаллизацией из растворов обычно подразумевается рост кристалла соединения, химический состав которого заметно отличается от химического состава исходной жидкой фазы. В зависимости от условий протекания процесса и химической природы растворителя исторически различают процессы выращивания в гелях (как правило, при температурах не выше 350-360 К), из перегретых водных растворов (гидротермальный метод, температура до 1073 К) и из солевых расплавов (метод кристаллизации из раствора в расплаве), температуры процесса в этом случае обычно не превышают 1500-1573 К но иногда бывают и выше.
Методы выращивания кристаллов из растворов в расплавах (РРМ) характеризуются рядом методических особенностей, позволяющих при их рассмотрении объединить эти методы в отдельный раздел. Как уже говорилось, для РРМ характерны промежуточные температуры процесса между расплавленными методами и методами выращивания из водных растворов. РРМ позволяют выращивать в любой атмосфере кристаллы высокотемпературных соединений, характеризующиеся полиморфными переходами в температурной области ниже точки плавления, обладающих повышенной летучестью кристаллизуемого вещества или лавирующей примеси вблизи температуры плавления. С помощью РРМ могут быть выращены кристаллы практически любых соединений поскольку метод подразумевает неограниченный выбор как растворителей, так и температурных областей кристаллизации. К основным недостаткам рассматриваемой группы методов следует отнести: изменение условий роста в ходе проведения единичного процесса выращивания, загрязнение получаемого кристалла компонентами растворителя и материалом тигля, сравнительно небольшие скорости роста.