Диссертация (1173421)
Текст из файла
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшегообразования «Московский педагогический государственный университет»На правах рукописиНгуен Тхи ХангТонкие пленки халькогенидных полупроводниковых соединений, полученныеметодом спин-коатингаСпециальность 01.04.07 –Физика конденсированного состоянияДиссертация на соискание ученой степени кандидатафизико-математических наукНаучный руководитель:доктор химических наук,Козюхин Сергей АлександровичМОСКВА – 20192ОГЛАВЛЕНИЕВВЕДЕНИЕ ......................................................................................................................
5Глава 1. Литературный обзор ....................................................................................... 111.1. Структура халькогенидных стеклообразных полупроводников ................. 111.1.1. Структуры As2X3 (X=S, Se) .......................................................................... 111.1.2. Структурные единицы As2X3 (X=S, Se) по данным комбинационногорассеяния света ........................................................................................................ 141.2.
Физические свойства ХСП .............................................................................. 191.2.1. Модели энергетических зон в аморфных полупроводниках .................... 191.2.2. Оптические свойства ХСП ........................................................................... 211.2.3. Электрофизические свойства ХСП ............................................................. 251.2.4. Механические свойства ХСП ......................................................................
281.3. Получение сплавов ХСП ................................................................................. 311.4. Получение тонких пленок ХСП...................................................................... 331.4.1. Физические методы....................................................................................... 341.4.2. Химические методы осаждения...................................................................
361.4.3. Метод спин-коатинга (центрифугирования) .............................................. 391.5 Применение ХСП .............................................................................................. 44Выводы по 1 главе................................................................................................... 48Глава 2.
Экспериментальная часть. Результаты изучения кинетики растворенияХСП. Диагностика тонких пленок............................................................................... 492.1. Методы изучения кинетики растворения ХСП. Методы диагностики иизученияоптических,электрическихимеханическиххарактеристиктонких пленок ..........................................................................................................
492.1.1. Рассеяние Тиндаля ........................................................................................ 492.1.2. Оптическая плотность растворов ................................................................ 5032.1.3. Спектрофотометр Cary 5000 ........................................................................
522.1.4. Рентгенофазовый анализ .............................................................................. 532.1.5. Метод ИК – спектрометрии ......................................................................... 542.1.6. Растровая электронная спектроскопия ....................................................... 552.1.7. Атомно-силовая микроскопия ..................................................................... 562.1.8.
Оптическая микроскопия ............................................................................. 582.1.9. Профилометрия ............................................................................................. 582.1.10. Спектроскопия комбинационного рассеяния света................................. 602.1.11. Метод оптического пропускания ..............................................................
622.1.12. Спектральная эллипсометрия .................................................................... 632.1.13. Методика исследования электрофизических свойств ............................. 662.1.14. Исследование механических свойств образцов ....................................... 682.2. Растворение стекол As2X3(X=S, Se) в органических растворителях ..........
722.2.1. Растворы ХСП с использованием органических растворителей ............. 722.2.2. Результаты рассеяния Тиндаля .................................................................... 752.2.3. Оптическая плотность растворов As2X3(X=S, Se) ..................................... 782.2.4. Рентгенофазовый анализ осадка .................................................................. 792.3.
Результаты диагностики СК тонкопленочных структур As2Х3 (Х=S, Se) . 812.3.1. Получение пленок методом спин-коантинга ............................................. 812.3.2. Морфология и толщина полученных тонких пленок As2Х3 (Х=S, Se) .... 822.3.3. Фазовый анализ СК тонких пленок As2Х3 (Х=S, Se)................................. 862.3.4. Элементарный состав полученных тонких пленок As2Х3 (Х=S, Se) ....... 872.3.5.
Определение примесного состава пленок As2Х3 (Х=S, Se) ...................... 89Выводы по 2 главе................................................................................................... 924Глава 3. Оптические, электрические и механические свойства тонких пленокAS2X3 (X=S, Sе) ............................................................................................................. 933.1.
Структурные исследования тонких СК пленок As2Х3 (Х=S, Se) ................ 933.1.1. Структурные исследования тонких СК пленок As2S3 ............................... 933.1.2. Структурные исследования тонких СК пленок As2Se3 ............................. 953.2.ОптическаяшириназапрещеннойзоныСКтонкихпленок As2Х3 (Х=S, Se) ...........................................................................................
963.3. Оптические константы СК тонких пленок As2Х3 (Х=S, Se) ...................... 1013.4.РезультатыопределенияэлектропроводноститонкихпленокAs2Х3 (S, Se) ........................................................................................................... 1053.4.1. Результаты определения электропроводности тонких пленок As2S3 .... 1053.4.2.
Результаты определения электропроводности тонких пленок As2Se3 .. 1063.5. Механические характеристики тонких пленок As2Х3 (Х=S, Se) ............... 1073.6. Обсуждение результатов ............................................................................... 111Выводы по 3 главе................................................................................................. 117ЗАКЛЮЧЕНИЕ ........................................................................................................... 119СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ...........................................................................................
1205ВВЕДЕНИЕАктуальность темы исследования. Последние несколько десятилетийинтенсивно исследуются физические процессы в халькогенидных стеклообразныхполупроводниках (ХСП). Подобный интерес как с практической точки зрения, таки в теоретическом плане обусловлен тем обстоятельством, что данные материалыобладают уникальным комплексом физических свойств, таких как, прозрачность вближнемисреднемИК-диапазоне,высокийпоказательпреломления,радиационная стойкость, светочувствительность, реверсивное переключение поддействием слабоэнергетических воздействий и т.д (см., например, [1-10]).Благодаря этому ХСП находят применение в фотонике, оптоэлектронике, микрои наноэлектронике в качестве приборов с оптической и электрической памятью,сред для регистрации и хранения оптической и голографической информации, винтегральной оптике, в качестве световодов и т.д.
[5, 11-23]. Необходимость вдальнейших исследованиях физических свойств ХСП обусловлена в значительнойстепенисовременнымитребованиямикполучениюнекристаллическихматериалов с хорошо регулируемыми и воспроизводимыми физическимихарактеристиками. Следует отметить, что ХСП являются весьма технологичнымиматериалами, например, тонкие пленки на их основе могут быть полученыпрактически на подложках любого типа [24-32], но при этом необходимоучитывать, что методы синтеза могут влиять на степень неравновесностиаморфной структуры и, соответственно, это может отражаться на физическихсвойствах.Распространенным способом получения аморфных тонких пленок на основеХСП является осаждение в вакууме при высокой температуре, также частоиспользуется магнетронное или лазерное распыление мишеней [24-27].
Характеристики
Тип файла PDF
PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.
Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
