Главная » Просмотр файлов » Автореферат

Автореферат (1173420)

Файл №1173420 Автореферат (Тонкие пленки халькогенидных полупроводниковых соединений, полученные методом спин-коатинга)Автореферат (1173420)2020-05-15СтудИзба
Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

На правах рукописиНгуен Тхи ХангТонкие пленки халькогенидных полупроводниковых соединений, полученныеметодом спин-коатингаСпециальность 04.01.07 – Физика конденсированного состоянияАвтореферат диссертации на соискание ученой степени кандидатафизико-математических наукМытищи – 2019Работавыполненавфедеральномгосударственномбюджетномобразовательномучреждениивысшегообразования«Московскийпедагогический государственный университет» на кафедре теоретическойфизики им.

Э.В. ШпольскогоНаучный руководитель:Козюхин Сергей Александрович, доктор химических наук, доцент,Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт общей инеорганической химии им. Н.С. Курнакова Российской академии наук, главныйнаучный сотрудник.Официальные оппоненты:Тамеев Алексей Раисович, доктор физико-математических наук, профессор,Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институтфизической химии и электрохимии имени А. Н.

Фрумкина Российскойакадемии наук, главный научный сотрудник.Вишняков Николай Владимирович, кандидат технических наук, доцент,Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждениевысшего образования «Рязанский государственный радиотехническийуниверситет», доцент кафедры микро- и наноэлектроники.Ведущая организация:Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждениевысшего образования «Национальный исследовательский университет«МЭИ».Защита состоится «__»_________ 2019г. в ___ ч.___ м.

на заседаниидиссертационного совета Д 212.155.07 по физико-математическим наукам набазе Государственного образовательного учреждения высшего образованияМосковской области Московского государственного областного университетапо адресу: 105005, Москва, ул. Радио д. 10АС диссертацией можно ознакомиться в библиотеке МГОУ по адресу: 105005,Москва, ул. Радио д. 10А, а также на сайте: http://mgou.ruЭлектронная версия автореферата размещена на официальном сайте МГОУwww.mgou.ru и сайте ВАК Минобрнауки РФ http://www.vak3.ed.gov.ruАвтореферат разослан «__»_________ 2019г.Ученый секретарьДиссертационного совета Д 212.155.07,кандидат физико-математических наук,доцентН.Н. Барабанова2Общая характеристика работыАктуальность работы. Последние несколько десятилетий интенсивноисследуются физические процессы в халькогенидных стеклообразныхполупроводниках (ХСП).

Подобный интерес, как с практической точки зрения,так и в теоретическом плане, обусловлен тем обстоятельством, что данныематериалы обладают уникальным комплексом физических свойств, таких как,прозрачность в ближнем и среднем ИК-диапазоне, высокий показательпреломления, радиационная стойкость, светочувствительность, реверсивноепереключение под действием слабоэнергетических воздействий и т.д. Благодаряэтому ХСП находят применение в фотонике, оптоэлектронике, микро- инаноэлектронике в качестве приборов с оптической и электрической памятью,сред для регистрации и хранения оптической и голографической информации, винтегральной оптике, в качестве световодов и т.д.

[1-3]. Необходимость вдальнейших исследованиях физических свойств ХСП обусловлена взначительнойстепенисовременнымитребованиямикполучениюнекристаллических материалов с хорошо регулируемыми и воспроизводимымифизическими характеристиками. Следует отметить, что ХСП, являются весьматехнологичными материалами, например, тонкие пленки на их основе могутбыть получены практически на подложках любого типа [4, 5], но при этомнеобходимо учитывать, что методы синтеза могут влиять на степеньнеравновесности аморфной структуры и, соответственно, это может отражатьсяна физических свойствах.Распространенным способом получения аморфных тонких пленок наоснове ХСП является осаждение в вакууме при высокой температуре, такжечасто используется магнетронное или лазерное распыление мишеней [4].

Вгораздо меньшей степени распространенным и, соответственно, менееисследованным является применение растворных методов для приготовленияаморфных пленок ХСП. Одним из развитых методов является спин-коатинг(СК; spin-coating method), основанный на растекании капли раствора за счетцентробежных сил по поверхности быстровращающейся подложки. Несмотряна явные преимущества такого метода при изготовлении пленок большойплощади, или в тех случаях, когда требуется варьирование толщины пленки иконтроль стехиометрии состава, метод не получил распространения в первуюочередь из-за слабой растворимости ХСП в большинстве растворителей [1, 2, 5].Также мало исследованными являются физические характеристики аморфныхпленок, приготовленных по данной технологии, например, в литературе кначалуисследованийотсутствовалиданныеомеханическихиэлектрофизических характеристиках.Целью работы является экспериментальное исследование оптических,электрических и механических свойств аморфных пленок на примере бинарныхХСП, установление корреляций со свойствами тонких пленок, полученныхдругими методами, и разработка структурной модели для аморфных пленок.Основные задачи работы.

Для достижения поставленной цели вдиссертационной работе необходимо было решить следующие задачи:1. Исследование оптических характеристик аморфных пленокметодами оптического пропускания и спектральной эллипсометрии,3разработка теоретической модели тонкой пленки для описания спектральныхзависимостей оптических констант.2. Изучение электрофизических свойств аморфных пленок методомпроводимости на постоянном токе и исследование температурныхзависимостей проводимости в широком интервале температур.3. Исследование механических свойств полученных тонких пленокметодом наноиндентирования.4. Диагностика полученных пленок и определение их фазового иэлементного состава.5.

Разработка структурной модели аморфных пленок для объясненияэкспериментальных результатов.6. Разработка методики получения тонких пленок методом СК сконтролируемой толщиной на подложках различной природы (стекло, кварц,монокристаллический кремний).Основными объектами исследований были аморфные тонкие пленкибинарных ХСП состава As2X3 (X = S, Se), полученные методом СК.Методы исследования в работе.Основными методами исследования являлись рентгенофазовый анализ(РФА); атомно-силовая микроскопия (АСМ); сканирующая электронная(растровая) микроскопия (СЭМ); оптическая микроскопия; ИК-спектроскопия;спектроскопия комбинационного рассеяния света (КРС); спектральнаяэллипсометрия.

Изучение механических свойств тонких пленок осуществлялосьс применением настольного нанотвердометра и атомно-силового микроскопа;измерение температурной зависимости электрофизических свойств напостоянном токе в диапазоне температур от комнатной температуры до 350 °С.Научная новизна работы заключается в следующем:1. Разработана оригинальная модель экспериментальной структуры наоснове аморфных тонких пленок As2X3 (X = S, Se), адекватно описывающаяспектральные зависимости оптических констант.2.

Впервые показано, что пленки бинарных ХСП, полученные методомCК, обладают повышенными показателями модуля упругости по сравнению смассивным стеклом аналогичного состава и с пленками, полученнымиметодом испарения в вакууме.3. Установлено, что для аморфных тонких пленок ХСП на основебинарных соединений метод синтеза пленок не оказывает значительноговлияния на оптические и электрические характеристики, но существенноменяет их механические показатели. Предложена структурная модель дляобъяснения данного эффекта.4.

Разработана методика получения аморфных тонких пленок ХСП сприменением метода спин-коатинга, позволяющая получать пленки срегулируемой толщиной на подложках различной природы: стекло, кварц,монокристаллический кремний.Теоретическая значимость результатов диссертационного исследованиясостоит в том, что впервые разработана двухслойная модель для аморфныхтонких пленок As2X3 (X=S, Se), позволяющая рассчитывать оптические4константы на основе данных спектральной эллипсометрии; предложенатеоретическая модель структуры аморфных тонких пленок, объясняющаяоптические, электрические и механические характеристики.Практическая значимость работы.

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов диссертации

Тонкие пленки халькогенидных полупроводниковых соединений, полученные методом спин-коатинга
Свежие статьи
Популярно сейчас
Почему делать на заказ в разы дороже, чем купить готовую учебную работу на СтудИзбе? Наши учебные работы продаются каждый год, тогда как большинство заказов выполняются с нуля. Найдите подходящий учебный материал на СтудИзбе!
Ответы на популярные вопросы
Да! Наши авторы собирают и выкладывают те работы, которые сдаются в Вашем учебном заведении ежегодно и уже проверены преподавателями.
Да! У нас любой человек может выложить любую учебную работу и зарабатывать на её продажах! Но каждый учебный материал публикуется только после тщательной проверки администрацией.
Вернём деньги! А если быть более точными, то автору даётся немного времени на исправление, а если не исправит или выйдет время, то вернём деньги в полном объёме!
Да! На равне с готовыми студенческими работами у нас продаются услуги. Цены на услуги видны сразу, то есть Вам нужно только указать параметры и сразу можно оплачивать.
Отзывы студентов
Ставлю 10/10
Все нравится, очень удобный сайт, помогает в учебе. Кроме этого, можно заработать самому, выставляя готовые учебные материалы на продажу здесь. Рейтинги и отзывы на преподавателей очень помогают сориентироваться в начале нового семестра. Спасибо за такую функцию. Ставлю максимальную оценку.
Лучшая платформа для успешной сдачи сессии
Познакомился со СтудИзбой благодаря своему другу, очень нравится интерфейс, количество доступных файлов, цена, в общем, все прекрасно. Даже сам продаю какие-то свои работы.
Студизба ван лав ❤
Очень офигенный сайт для студентов. Много полезных учебных материалов. Пользуюсь студизбой с октября 2021 года. Серьёзных нареканий нет. Хотелось бы, что бы ввели подписочную модель и сделали материалы дешевле 300 рублей в рамках подписки бесплатными.
Отличный сайт
Лично меня всё устраивает - и покупка, и продажа; и цены, и возможность предпросмотра куска файла, и обилие бесплатных файлов (в подборках по авторам, читай, ВУЗам и факультетам). Есть определённые баги, но всё решаемо, да и администраторы реагируют в течение суток.
Маленький отзыв о большом помощнике!
Студизба спасает в те моменты, когда сроки горят, а работ накопилось достаточно. Довольно удобный сайт с простой навигацией и огромным количеством материалов.
Студ. Изба как крупнейший сборник работ для студентов
Тут дофига бывает всего полезного. Печально, что бывают предметы по которым даже одного бесплатного решения нет, но это скорее вопрос к студентам. В остальном всё здорово.
Спасательный островок
Если уже не успеваешь разобраться или застрял на каком-то задание поможет тебе быстро и недорого решить твою проблему.
Всё и так отлично
Всё очень удобно. Особенно круто, что есть система бонусов и можно выводить остатки денег. Очень много качественных бесплатных файлов.
Отзыв о системе "Студизба"
Отличная платформа для распространения работ, востребованных студентами. Хорошо налаженная и качественная работа сайта, огромная база заданий и аудитория.
Отличный помощник
Отличный сайт с кучей полезных файлов, позволяющий найти много методичек / учебников / отзывов о вузах и преподователях.
Отлично помогает студентам в любой момент для решения трудных и незамедлительных задач
Хотелось бы больше конкретной информации о преподавателях. А так в принципе хороший сайт, всегда им пользуюсь и ни разу не было желания прекратить. Хороший сайт для помощи студентам, удобный и приятный интерфейс. Из недостатков можно выделить только отсутствия небольшого количества файлов.
Спасибо за шикарный сайт
Великолепный сайт на котором студент за не большие деньги может найти помощь с дз, проектами курсовыми, лабораторными, а также узнать отзывы на преподавателей и бесплатно скачать пособия.
Популярные преподаватели
Добавляйте материалы
и зарабатывайте!
Продажи идут автоматически
6384
Авторов
на СтудИзбе
308
Средний доход
с одного платного файла
Обучение Подробнее