Диссертация (1097499), страница 25
Текст из файла (страница 25)
Ðàññìîòðèì ëîêàëüíîå ïîëå â òî÷êå r:E(r) = [1 + δ(r)]Ea ,(4.35)ãäå Ea ñðåäíåå ïîëå â ñðåäå, à δ(r) åãî îòíîñèòåëüíàÿ âàðèàöèÿ; î÷åâèäíî, hδ(r)i = 0. Íàõîäÿ ñðåäíèé êâàäðàò ïîëÿ, ïîëó÷èì:hE2 i = [1 + 2hδ(r)2 i]E2a .(4.36)Òàêèì îáðàçîì, ÷åì âûøå îòêëîíåíèå ïîëÿ â êàæäîé òî÷êå îò ñðåäíåéâåëè÷èíû ïîëÿ, òåì áîëüøåãî ñèãíàëà ãàðìîíèêè ìîæíî îæèäàòü.Îòìåòèì, ÷òî ðàññåÿíèå âî Âà ñôåðè÷åñêîé ÷àñòèöåé ïîäðîáíî ðàññìîòðåíî â ðàáîòå [188]. Ó÷¼ò êîëëåêòèâíûõ ýôôåêòîâ ðàññåÿíèÿ âûïîëíåí âðàáîòå [189] â ïðèáëèæåíèè íåçàâèñèìûõ ðàññåèâàòåëåé è äèôôóçíîì ïðèáëèæåíèè; îáà ýòè ïðèáëèæåíèÿ íå ñîîòâåòñòâóþò ñëó÷àþ ÏÊ. Íàñêîëüêîíàì èçâåñòíî, àíàëèç íåëèíåéíîãî ðàññåÿíèÿ ÷àñòèöàìè àíèçîòðîïíîé ôîðìû íå ïðîâîäèëñÿ.Íåîáõîäèìîñòü ïðèíèìàòü âî âíèìàíèå âñå óêàçàííûå âûøå ôàêòîðû âñèëüíîé ñòåïåíè óñëîæíÿåò àíàëèç ãåíåðàöèè Âà â êðåìíèåâûõ íàíîñòðóêòóðàõ.
Ýòèõ çàòðóäíåíèé îò÷àñòè ëèøåí äèïîëüíî ðàçðåø¼ííûé ïðîöåññãåíåðàöèè ÒÃ.4.3.2. Ãåíåðàöèÿ òðåòüåé ãàðìîíèêè â ìèêðî- è ìåçîïîðèñòîìêðåìíèèÌåòîä ãåíåðàöèè Òà øèðîêî ïðèìåíÿåòñÿ äëÿ àíàëèçà ñòðóêòóðíûõ èçìåíåíèé â ïðèïîâåðõíîñòíîé îáëàñòè êðåìíèÿ, âûçâàííûõ, â ÷àñòíîñòè,èîííîé èìïëàíòàöèåé è îáëó÷åíèåì ëàçåðíûìè èìïóëüñàìè [190192]. Îòìåòèì òàêæå, ÷òî ïðè öèðêóëÿðíîé ïîëÿðèçàöèè íàêà÷êè Òà îêàçûâàåòñÿ170÷óâñòâèòåëüíîé ê íåëèíåéíî-îïòè÷åñêîé àíèçîòðîïèè [192].  ÷àñòíîñòè,â èçîòðîïíîé ñðåäå ïðè íàêà÷êå öèðêóëÿðíî-ïîëÿðèçîâàííîé âîëíîé ÒÃîòñóòñòâóåò. òîì ñëó÷àå, êîãäà èçëó÷åíèå îñíîâíîé ÷àñòîòû ïîëÿðèçîâàíî âäîëüêðèñòàëëîãðàôè÷åñêîé îñè [001], ñèãíàëû Òà áóäóò ïðîïîðöèîíàëüíû³(3)χ1111´2³´2(3)äëÿ c-Si c îðèåíòàöèåé ïîâåðõíîñòè (110) è χ3333 äëÿ ÏÊ, ïîëó-÷åííîãî åãî òðàâëåíèåì.
Ïðè íàêà÷êå öèðêóëÿðíî-ïîëÿðèçîâàííîé âîëíîéñèãíàë Òà áóäåò èìåòü âèä äëÿ c-Si è ÏÊ ñîîòâåòñòâåííî:5 2ζ ,16"µ#¶2 ³´211 (3)3 (3)(3)(3)(3)∝χ1111 + χ1122 − 3χ1133 + 3χ3311 − χ3333.422ITc−SiH, circ ∝SITPH,circ(4.37)(4.38)Ñêàíèðîâàíèå ïî ïîâåðõíîñòè ìåçîïîðèñòîãî êðåìíèÿ (ïîðèñòîñòü îêîëî 75%), èçãîòîâëåííîãî íà c-Si ñ îðèåíòàöèåé ïîâåðõíîñòè (110) è ρ =1,5...3 ìÎì · cì ïðè ïëîòíîñòè òîêà j = 50 ìÀ/ñì2 (ðèñ. 4.7), àíàëîãè÷íîåïðåäñòàâëåííîìó íà ðèñ. 4.5, ñâèäåòåëüñòâóåò î çàìåòíîì (â 40 ðàç) ðîñòåýôôåêòèâíîñòè ãåíåðàöèè Òà â ìåçîïîðèñòîì êðåìíèè ïî ñðàâíåíèþ ñ ñ-Si.Åù¼ áîëåå çíà÷èòåëüíûé ðîñò (â 250 ðàç) íàáëþäàåòñÿ ïðè èñïîëüçîâàíèèäëÿ íàêà÷êè öèðêóëÿðíî ïîëÿðèçîâàííîãî èçëó÷åíèÿ.Ñîîòíîøåíèå âåëè÷èí ñèãíàëîâ Òà â c-Si äëÿ ëèíåéíîé.¯ è ¯öèðêóëÿð¯ (3) ¯íîé ïîëÿðèçàöèé ïîçâîëÿåò íàì îöåíèòü îòíîøåíèå |ζ| ¯χ1111 ¯ , êîòîðîåîêàçûâàåòñÿ ðàâíûì 0,4 ± 0,05 (èçìåðåíèÿ ðàáîòû [143] äàëè âåëè÷èíó(3), P S0,52 ± 0,05). Äëÿ àíàëèçà ñîîòíîøåíèÿ âåëè÷èí χ3333(3), c−Siè χ1111íåîá-õîäèìî òàêæå ó÷åñòü èçìåíåíèÿ êîýôôèöèåíòà îòðàæåíèÿ R ïðè ïåðåõîäåñ c-Si íà ÏÊ (n = 3,42 è n = 1,54 ñîîòâåòñòâåííî) è ôàêòîðà (1 − R)3 R,êîòîðîìó ïðîïîðöèîíàëåí ñèãíàë Òà [162].
Òîãäà ïîëó÷èì:¯¯ .¯¯¯ (3), P S ¯ ¯ (3), c−Si ¯¯χ3333 ¯ ¯χ1111 ¯ ≈ 9,5 .(4.39)Îòìåòèì äâå îñîáåííîñòè. Âî-ïåðâûõ, ñîîòíîøåíèå (4.39) íåâîçìîæíî ïîëó÷èòü â ðàìêàõ ìîäåëè ýôôåêòèâíîé ñðåäû, ïîñêîëüêó â ñîîòâåòñòâèè171.)10(.10,1 (E || [001]) 0,010369x(121518)Ðèñ. 4.7. Èçìåíåíèå ñèãíàëà Òà ïðè ñêàíèðîâàíèè ëàçåðíîãî ïÿòíà ïî ïîâåðõíîñòèîáðàçöà ñ îðèåíòàöèåé ïîâåðõíîñòè (110): ñëåâà îáëàñòü êðèñòàëëè÷åñêîãî êðåìíèÿ,ñïðàâà ìåçîïîðèñòîãî êðåìíèÿ ïðè íàêà÷êå Òà èçëó÷åíèåì Nd:YAG ëàçåðà, ïîëÿðèçîâàííûì ëèíåéíî âäîëü îñè [001] (¥) è öèðêóëÿðíî (•). Äèàìåòð ïÿòíà ñîñòàâëÿëîêîëî 1 ìì.ñ íåé ýôôåêòèâíàÿ íåëèíåéíàÿ âîñïðèèì÷èâîñòü ïîðèñòîé ñðåäû âñåãäà áóäåò ìåíüøå íåëèíåéíîé âîñïðèèì÷èâîñòè îáúåìíîãî ìàòåðèàëà. Âîâòîðûõ, òîò ôàêò, ÷òî äëÿ öèðêóëÿðíî ïîëÿðèçîâàííîé íàêà÷êè íàáëþäàåòñÿ áîëüøèé ðîñò ñèãíàëà â ÏÊ, ÷åì äëÿ ëèíåéíî ïîëÿðèçîâàííîé, óêàçûâàåò íà òî, ÷òî óâåëè÷åíèå ïîëÿ âäîëü îñè [11̄0] áîëüøå, ÷åì âäîëü îñè[001].
Ýòîò ðåçóëüòàò ïî êðàéíåé ìåðå êà÷åñòâåííî ñîîòâåòñòâóåò ðàñïðåäåëåíèþ ïîëåé â ñïëþñíóòîì ñôåðîèäå, îñü âðàùåíèÿ êîòîðîãî ñîâïàäàåòñ íàïðàâëåíèåì [001].Äîáàâèì òàêæå, ÷òî ðîñò ñèãíàëà Òà â ìåçîïîðèñòîì êðåìíèè ïî ñðàâíåíèþ ñ c-Si íàáëþäàåòñÿ íå òîëüêî â äâóëó÷åïðåëîìëÿþùèõ ñëîÿõ ÏÊ, íîè â ÏÊ, ïîëó÷åííîãî ñ èñïîëüçîâàíèåì íà ïîäëîæåê ñ èíîé (â òîì ÷èñëå âûñîêîñèììåòðè÷íîé) êðèñòàëëîãðàôè÷åñêîé îðèåíòàöèåé ïîâåðõíîñòè. Òàê,íà ðèñ. 4.8 ïðèâåäåíû âåëè÷èíû ñèãíàëîâ Òà äëÿ îáðàçîâ ÏÊ, èçãîòîâ172 10++p+.)p(111)1.c-Si(c-Si0,10,01Ðèñ.
4.8. Âåëè÷èíû ñèãíàëà Òà äëÿ ñ-Si è ÏÊ (ëåâàÿ ïàíåëü ñîîòâåòñòâóåò p++ −òèïó,ïðàâàÿ p+ −òèïó èñõîäíîé êðåìíèåâîé ïëàñòèíû) ïðè íàêà÷êå èçëó÷åíèåì Nd:YAGëàçåðà, ïîëÿðèçîâàííûì ëèíåéíî âäîëü îñè [001] è öèðêóëÿðíî.ëåííîãî íà c-Si p++ − è p+ − òèïîâ (óäåëüíîå ñîïðîòèâëåíèå 5 è 30 ìÎì·ñìñîîòâåòñòâåííî) ñ îðèåíòàöèåé ïîâåðõíîñòè (111), òîê òðàâëåíèÿ ñîñòàâëÿë50 ìÀ/ñì2 , âðåìÿ òðàâëåíèÿ ñîñòàâëÿëî 600 ñ. Êàê âèäíî, ÏÊ îòëè÷àåòñÿáîëüøèì ñèãíàëîì ÒÃ, ÷åì c-Si, ïðè ýòîì äëÿ öèðêóëÿðíî ïîëÿðèçîâàííîãîèçëó÷åíèÿ íàêà÷êè ñèãíàë Òà ðàñòåò ñèëüíåå, ÷åì äëÿ ëèíåéíî ïîëÿðèçîâàííîãî. Èíòåðåñíî îòìåòèòü, ÷òî â ñëó÷àå èñõîäíîé ïëàñòèíû p++ −òèïàýòîò ðîñò îêàçûâàåòñÿ ñèëüíåå, ÷åì äëÿ èñõîäíîé ïëàñòèíû p+ −òèïà.
Ýòîòôàêò, ïî-âèäèìîìó, ñâÿçàí ñ ðàçëè÷èåì â ïîðèñòîñòÿõ ñëî¼â ÏÊ è, ãëàâíîå, â ðàçìåðàõ ïîð è íàíîêðèñòàëëîâ â ÏÊ, ïîëó÷åííûõ íà ïîäëîæêàõ ñðàçëè÷íûì óðîâíåì ëåãèðîâàíèÿ: â ïåðâîì ñëó÷àå èõ ðàçìåð áîëüøå, ÷åìâî âòîðîì [15].Ïîëÿðèçàöèîííûå çàâèñèìîñòè ñèãíàëà Òà äëÿ ìåçîïîðèñòîãî êðåìíèÿðàçëè÷íûõ ñòåïåíåé ïîðèñòîñòè (ñì. òàáë. 4.1), èçãîòîâëåííîãî íà êðåìíèèp++ òèïà (óäåëüíîå ñîïðîòèâëåíèå ρ = 3ìÎì · cì) ñ îðèåíòàöèåé ïîâåðõíîñòè (110), ïðèâåäåíû íà ðèñ. 4.9, äëÿ ñðàâíåíèÿ òàêæå ïîêàçàíû ïîëÿðèçàöèîííûå çàâèñèìîñòè Òà äëÿ c-Si. Ïîëÿðèçàöèîííûå çàâèñèìîñòè ñèãíàëàÒà äëÿ ìèêðîïîðèñòîãî êðåìíèÿ ïðèâåäåíû íà ðèñ. 4.10.173Òàáëèöà 4.1. Ðåæèìû èçãîòîâëåíèÿ è ïàðàìåòðû îáðàçöîâ ìåçî- è ìèêðîïîðèñòîãîêðåìíèÿ, èñïîëüçîâàííûõ â ýêñïåðèìåíòàõ ïî ãåíåðàöèè Òà â ãåîìåòðèè íà îòðàæå”íèå“ [187].ÓäåëüíîåÏëîòíîñòüÝëåêòðîëèòÏîðèñòîñòüñîïðîòèâëåíèåòîêà(ñîîòíîøåíèå(±5%)(±0, 01)= no − neïîäëîæêèòðàâëåíèÿHF:C2 H5 OH)3 ìÎì·ñì25 ìÀ/ñì21:165 %1,740,08 ± 0,0223 ìÎì·ñì50 ìÀ/ñì21:175 %1,540,13 ± 0,0233 ìÎì·ñì100 ìÀ/ñì21:182 %1,500,15 ± 0,02410 Îì·ñì50 ìÀ/ñì2:170 %1,610,005 ± 0,00212(no + ne )/2 ∆n =Èíòåíñèâíîñòü s -ïîëÿðèçîâàííîé Òà ñóùåñòâåííî âîçðàñòàåò äëÿ ìåçîïîðèñòîãî êðåìíèÿ ïî ñðàâíåíèþ ñ c-Si, ïðè÷¼ì ýôôåêòèâíîñòü ãåíåðàöèè Òà óâåëè÷èâàåòñÿ ñ ðîñòîì ïîðèñòîñòè.
Äëÿ ñëîåâ âûñîêîé ïîðèñòîñòè ñèãíàë Òà ïðèáëèçèòåëüíî â 20 ðàç âûøå, ÷åì äëÿ c-Si. Áîëåå òîãî,îòíîñèòåëüíûé ðîñò ýôôåêòèâíîñòè Òà åù¼ âûøå (â 50 ðàç), åñëè îáðàçåöðàñïîëîæåí òàêèì îáðàçîì, ÷òî îñü [11̄0] ñîâïàäàåò ñ s -ïîëÿðèçàöèåé, ÷òîóêàçûâàåò íà ñèëüíóþ àíèçîòðîïèþ íåëèíåéíîãî îòêëèêà. Ñ äðóãîé ñòîðîíû, äëÿ p -ïîëÿðèçîâàííîé Òà ìàêñèìàëüíûé ôàêòîð ðîñòà å¼ ñèãíàëà âìåçîïîðèñòîì êðåìíèè ïî ñðàâíåíèþ ñ c-Si ñîñòàâëÿåò 4. Íàïðîòèâ, ìèêðîïîðèñòûé êðåìíèé, èçãîòîâëåííûé íà ïîäëîæêå p−òèïà ñ íèçêèì óðîâíåìëåãèðîâàíèÿ (ρ = 10 ìÎì · cì) äåìîíñòðèðóåò çàìåòíîå ïàäåíèå ñèãíàëàÒà ïðè òîì, ÷òî âèä ïîëÿðèçàöèîííîé çàâèñèìîñòè îñòà¼òñÿ òåì æå, ÷òîè â ñëó÷àå c-Si.
Ê ñîæàëåíèþ, âèä ïîëÿðèçàöèîííûõ çàâèñèìîñòåé ñèãíàëàÒà íå ïîçâîëÿåò íàä¼æíî îïðåäåëèòü ñîîòíîøåíèå ìåæäó êîìïîíåíòàìè(3)òåíçîðà χef f .Óâåëè÷åíèå ýôôåêòèâíîñòè ãåíåðàöèè Òà è èçìåíåíèå ñîîòíîøåíèÿ èíòåíñèâíîñòåé p - è s -ïîëÿðèçîâàííîé Òà íå ìîæåò áûòü ñâåäåíî èñêëþ÷èòåëüíî ê òðèâèàëüíîìó èçìåíåíèþ ôàêòîðîâ Ôðåíåëÿ. Äåéñòâèòåëüíî,îáðàçîâàíèå ïîð â êðåìíèè ïîíèæàåò ïîêàçàòåëü ïðåëîìëåíèÿ ôîðìèðóåìîé ñðåäû, îäíàêî, ðàçëè÷èÿ â êîýôôèöèåíòàõ ïðîïóñêàíèÿ è îòðàæåíèÿíå ñòîëü âåëèêè (ôàêòîð (1 − R)3 R, âõîäÿùèé â âûðàæåíèå äëÿ ñèãíàëà1741.8 s- 225 A/c250 A/c2100 A/c.)1.2ac-Si(.0.60.01.8[001][110]φEp-1.2s0.6p0.00306090 120 150 180 210()Ðèñ.
4.9. Ïîëÿðèçàöèîííûå çàâèñèìîñòè Òà äëÿ îáðàçöîâ ÏÊ ðàçíûõ ïîðèñòîñòåé èc-Si: a) s -ïîëÿðèçîâàííàÿ Òà è á) p -ïîëÿðèçîâàííàÿ ÒÃ. Íà âðåçêå ïðèâåäåíà ñõåìàýêñïåðèìåíòà. Óãîë ïîëÿðèçàöèè 0◦ ñîîòâåòñòâóåò s -ïîëÿðèçàöèè, ñîâïàäàÿ ñ êðèñòàëëîãðàôè÷åñêèì íàïðàâëåíèåì [001] [187].175.)3,0.2,5spc-Si(2,01,51,00,50,00306090120(150180)Ðèñ. 4.10. Ïîëÿðèçàöèîííûå çàâèñèìîñòè Òà äëÿ îáðàçöà ìèêðîïîðèñòîãî êðåìíèÿ[187].Òà [162], ðàçëè÷àåòñÿ äëÿ îáðàçöîâ ñ p = 65% è p = 82% â 1,65 ðàçà), ÷òîáû îáúÿñíèòü ñóùåñòâåííîå óâåëè÷åíèå ñèãíàëà Òà ñ ðîñòîì ïîðèñòîñòè.Âàæíî îòìåòèòü, ÷òî äëÿ ìèêðî- è ìåçîïîðèñòîãî îáðàçöîâ, îáëàäàþùèõïðèáëèçèòåëüíî îäèíàêîâîé ïîðèñòîñòüþ è, ñëåäîâàòåëüíî, ïîêàçàòåëÿìèïðåëîìëåíèÿ è ôàêòîðàìè ëîêàëüíîãî ïîëÿ, ýôôåêòèâíîñòü ãåíåðàöèè ÒÃðàçëè÷àåòñÿ ñòîëü ñóùåñòâåííî.Èíôîðìàöèþ î ñîîòíîøåíèÿõ êîìïîíåíò òåíçîðà χb(3) (3ω; ω, ω, ω) ìîæíî èçâëå÷ü èç îðèåíòàöèîííûõ çàâèñèìîñòåé ñèãíàëà Òà â ãåîìåòðèè íà”ïðîõîæäåíèå“ , íàêà÷èâàåìîé èçëó÷åíèåì ÏÃÑ (ñì.
ãë. 3). Èìååò ñìûñëðàññìàòðèâàòü äèàïàçîí äëèí âîëí âäàëè îò ñèíõðîíèçìà, â íàøåì ñëó÷àå1,1 ...1,5 ìêì. Äàííûé àíàëèç òðåáóåò ó÷¼òà ðàññòðîåê âîëíîâûõ âåêòîðîâ,êîòîðûå, îäíàêî, õîðîøî èçâåñòíû, ïîñêîëüêó èçâåñòíû âåëè÷èíû ïîêàçàòåëåé ïðåëîìëåíèÿ.Ðèñ. 4.11 ïðåäñòàâëÿåò òèïè÷íóþ îðèåíòàöèîííóþ çàâèñèìîñòü äëÿ ìîíîêðèñòàëëè÷åñêîé êðåìíèåâîé ïîäëîæêè ñ óäåëüíûì ñîïðîòèâëåíèåì ρ =3 ìÎì · ñì è îðèåíòàöèåé ïîâåðõíîñòè (110). Äàííàÿ çàâèñèìîñòü àïïðîêñèìèðîâàíà êðèâîé ïî ôîðìóëå (3.18), ÷òî ïîçâîëèëî îïðåäåëèòü ñîîòíîøå1761,0..)1,2(0,80,60,40,20,00306090(120150180)Ðèñ. 4.11. Îðèåíòàöèîííàÿ çàâèñèìîñòü èíòåíñèâíîñòè òðåòüåé ãàðìîíèêè (äëèíà âîëíû èçëó÷åíèÿ íàêà÷êè 1,215 ìêì) äëÿ c-Si c ρ = 3 ìÎì · ñì è îðèåíòàöèåé ïîâåðõíîñòè (110). Ýêñïåðèìåíòàëüíàÿ çàâèñèìîñòü àïïðîêñèìèðîâàíà òåîðåòè÷åñêîé êðèâîé ïîôîðìóëå (3.15).(3)(3)íèå χ1122 /χ1111 = 0,45±0,05 (äëèíà âîëíû èçëó÷åíèÿ íàêà÷êè 1,1...1,5 ìêì).Äàííûé ðåçóëüòàò õîðîøî ñîãëàñóåòñÿ ñ èçìåðåíèÿìè, ñäåëàííûìè â ðàáîòå [143].
Áûëè òàêæå èçìåðåíû îðèåíòàöèîííûå çàâèñèìîñòè äëÿ îáðàçöîâA, B è D (ñì. ï. 3.2.2.) âäàëè îò ñèíõðîíèçìà. Ðåçóëüòàòû äëÿ îáðàçöà Dïðåäñòàâëåíû íà ðèñóíêå 4.12. Äëÿ îñòàëüíûõ îáðàçöîâ íàáëþäàëèñü àíàëîãè÷íûå îðèåíòàöèîííûå çàâèñèìîñòè.Êàê âèäíî èç ðèñ. 4.12, ôîðìà îðèåíòàöèîííûõ çàâèñèìîñòåé äëÿ òðåòüåé ãàðìîíèêè ñóùåñòâåííî çàâèñèò îò äëèíû âîëíû íàêà÷êè, ÷òî îáóñëîâëåíî êîíêóðåíöèé ÷åòûðåõ ñëàãàåìûõ â (3.15), îòâå÷àþùèõ çà ðàçëè÷íûåãåîìåòðèè âçàèìîäåéñòâèÿ îáûêíîâåííîé è íåîáûêíîâåííîé âîëí â ïðîöåññå ãåíåðàöèè ÒÃ.
Ñ èçìåíåíèåì äëèíû âîëíû èçëó÷åíèÿ íàêà÷êè ìåíÿåòñÿôàçîâàÿ ðàññòðîéêà ∆k , ÷òî îáóñëîâëèâàåò èçìåíåíèå âåëè÷èí ñîîòâåòñòâóþùèõ ñëàãàåìûõ â (3.15). Îäíàêî ïðè ýòîì ñîîòíîøåíèå ìåæäó ñèãíàëàìè Òà ïðè 90◦ è 0◦ (ñì. (3.18)), îïðåäåëÿþùåå ñîîòíîøåíèå êîìïîíåíò177.)0 30 60 90 1201501800 30 60 90 1201501801,01,00,80,80,60,60,40,40,20,0λ = 1215 0,20,0(.λ = 1155 1,01,00,80,80,60,60,40,40,20,00,2λ = 1320 λ = 1275 0,01,01,00,80,80,60,60,40,40,20,0λ = 1380 λ = 1470 0 30 60 90 1201501800 30 60 90 1201501800,20,0 ()Ðèñ.
4.12. Îðèåíòàöèîííûå çàâèñèìîñòè èíòåíñèâíîñòè òðåòüåé ãàðìîíèêè äëÿ ðàçëè÷íûõ äëèí âîëíû èçëó÷åíèÿ íàêà÷êè äëÿ îáðàçöà D (ρ = 3 ìÎì · ñì, j = 100 ìÀ/ñì2 ).òåíçîðà êóáè÷íîé âîñïðèèì÷èâîñòè(3)(3)(3)r = (χ1111 + 3χ1122 )/χ3333 ,(4.40)îñòàåòñÿ ïî÷òè ïîñòîÿííûì äëÿ îäíîãî è òîãî æå îáðàçöà, íî ðàçíûõ äëèíâîëí íàêà÷êè. Ýòî ñâèäåòåëüñòâóåò î ñëàáîé äèñïåðñèè êóáè÷íîé âîñïðè178Òàáëèöà 4.2.
Ïëîòíîñòè òîêîâ òðàâëåíèÿ, ïîðèñòîñòü è çíà÷åíèÿ r, èçìåðåííûå ýêñïåðèìåíòàëüíî â ýêñïåðèìåíòàõ ïî ãåíåðàöèè Òà â ãåîìåòðèè íà ïðîõîæäåíèå“ è ðàñ”ñ÷èòàííûå ïî ìîäåëè Áðóããåìàíà [193].ÎáðàçåöÏëîòíîñòü òîêàÏîðèñòîñòüòðàâëåíèÿñ-SiÑîîòíîøåíèå r,Ñîîòíîøåíèå r,îïðåäåë¼ííîå âðàññ÷èòàííîå ïîýêñïåðèìåíòåìîäåëè Áðóããåìàíà2,35 ± 0, 15A25 ìÀ/ñì243 %2,55 ± 0,153,19B50 ìÀ/ñì253 %3,0 ± 0,24,03D100 ìÀ/ñì64 %3,3 ± 0,27,572èì÷èâîñòè â èññëåäóåìîì äèàïàçîíå äëèí âîëí.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
