Информационная система поддержки принятия решений при проектировании процесса ультрафиолетовой литографии (1090501), страница 9
Текст из файла (страница 9)
Послеполучения утвердительного ответа можно приступать непосредственно кмоделированию технологического процесса ультрафиолетовой литографии.Для описания процессов предприятия используется функциональная модельдеятельности предприятия, построенная на основе жизненного цикла.1.4.3. Порядок выполнения работ по созданию функциональной моделитехнологического процесса ультрафиолетовой литографии (ТП УФЛ)«КАК ДОЛЖНО БЫТЬ»Работы по описанию процессов состоят из следующих операций:—разработка функциональной модели процессов «КАК ЕСТЬ» наоснове типовой модели деятельности предприятия, нормативной, справочной58документации, знаний и опыта специалистов;—проведение анализа процессов, в том числе с точки зрения требованийГОСТ и ИСО 9001;—на основе анализа строят функциональную модель процессов «КАКДОЛЖНО БЫТЬ».Порядок выполнения работ по созданию функциональной модели процессов«КАК ДОЛЖНО БЫТЬ» представлен в виде IDEF0-диаграммы на рис.
1.4.3.4.Описание процессов предприятия в форме функциональной моделиIDEF0.В качестве средства разработки функциональной модели используетсятиповая модель деятельности предприятия. Рабочая группа адаптирует модельпод конкретные виды деятельности предприятия, удаляя, добавляя или развиваяэлементы типовой модели. Далее создаются функциональные модели процессов, ав дальнейшем – функциональные модели операций и действий в соответствии сразработанным стандартом предприятия по функциональному моделированию.Исходными данными для этой работы должна быть информация, получаемая изнормативных документов, описывающих процессы и операции предприятия, атакже информация, получаемая от специалистов предметной области.Глубина описания процессов определяется только целью моделирования.Разработанная функциональная модель должна включать:—описание процессов, необходимых для обеспечения уверенности всоответствиитехнологическихпроцессовультрафиолетовойлитографииустановленным требованиям, а также их взаимодействие;—описание операций в процессах производственной деятельности и ихвзаимодействие.Приособенностиразработкефункциональныхприменяемыхмоделейпрограммныхсредствнеобходимоучитыватьмоделированиядлядальнейшего использования в интересах разработки документации по процессам:либо в глоссариях блоков (для программных продуктов типа WorkFlow Modelerver.
4.0 и выше, ВРWin 2000 и им подобным) необходимо создавать59дополнительные пользовательские поля описания: «Подразделение», «Ктоконтролирует», «Нормативный документ», «Данные о качестве». [12]1.5.Особенностиавтоматизированногопроектированиятехнологического процесса ультрафиолетовой литографииПроцесс проектирования литографических технологических процессовимеет ряд характерных особенностей:1.Процесс имеет итерационный характер.2.Решения принимаются на отдельных этапах в условиях неполной илинедостаточной информации, которая в этих случаях поступает или из внешнейсреды,иливырабатываетсяпроектировщикомвпроцессетворческойдеятельности.3.В процессе проектирования сочетаются процедуры алгоритмическогои эвристического характера.4.В проектной деятельности используются различные ресурсы, средикоторых одним из наиболее важных являются знания проектировщика.5.Цель проектирования устанавливается вне процесса проектирования иостается неизменной в течение этого процесса.6.Процесс проектирования производит информацию, которая можетбыть использована в микроэлектронном производстве производстве.Система поддержки принятия рациональных решений при проектированиипроцессаультрафиолетовойлитографиииграетрольмощногосредства,эффективное применение которого невозможно без разработки комплексаметодических указаний и инструкций, регламентирующих последовательностьэтапов и используемых на каждом этапе.
Поскольку на каждом этапеавтоматизированногоультрафиолетовойпроектированиялитографиитехнологическогоосуществляютсяразличныепроцессаоперациисматериальными и нематериальными (информационными) объектами, а такжевозникает проблема наиболее эффективного распределения этих операций вовремени и оптимального соотнесения в пространстве с целью экономии трудовыхи материальных ресурсов, то представляется целесообразной необходимость60разработки и отработки технологии автоматизированного проектированияультрафиолетовыхлитографическихпроцессоввмикроэлектронномпроизводстве.Процесс проектирования в ультрафиолетовой литографической технологииначинается со сбора информации о применяемых методиках улучшенияхарактеристического размера элементов, результатов выполненных научноисследовательских работ, сбора данных об испытаниях конкурирующихпроизводственных методов, условиях снабжения материалами и т.д.
На основаниианализа требований к техническим характеристикам, условий эксплуатации,создаваемых изделий микро- и наноэлектроники составляется и корректируетсяисходное ТЗ на проектирование литографического процесса.Реализация методик автоматизированного проектирования технологическихпроцессов ультрафиолетовой литографии предъявляет к разрабатываемой системекомплекс следующих требований:—наличие автоматизированного рабочего места проектировщика;—наличие математической модели;—возможность формулировать ТЗ на проектирования в понятной формедля проектировщика;—обеспечение необходимой проектировщикам ясности и однозначностиформулировокцелипроектирования (лучшевсегоописатьвтерминаххарактеристик системы);—наличие средств, для эффективной корректировки задания напроектирование;—отсутствие жестких ограничений на структуру и объем входныхданных и формы носителей информации, на которых они хранятся;—возможностьоперативногоподключениякпрограммномуобеспечению системы новых модулей и исключение устаревших;—представлениевозможностейпроектировщикунаосновепромежуточных результатов принимать решение о выборе методов дляпродолжения проектной задачи, а также изменений значений отдельных61параметров в используемом методе решения;—значениявозможность в ходе выполнения проектных операций прослеживатьосновныхпоказателейпроцессов,свидетельствующихоегоэффективности, и в зависимости от их значений корректировать вычислительныйпроцесс;—наличие актуальной базы знаний и базы материалов;—допустимость включения обучающих программ для повышенияквалификации проектировщика.62Постановка задачи исследованияНа основе вышеизложенного можно сформировать основные задачи,составляющие предмет исследования в работе:1.Выполнить комплекс обзорно-аналитических исследований в областиразработки систем поддержки принятия решений при проектировании процессаультрафиолетовой литографии.2.Произвести разработку теоретического подхода к решению задачи созданияэлементов автоматизированной системы поддержки принятиярешений припроектировании процесса ультрафиолетовой литографии.3.Выполнить математическое моделированиеизображения в ультрафиолетовой литографии.процессаформирования4.Разработать концептуальную модель ультрафиолетовой литографическойсистемы и выполнить её формализацию.5.Произвести морфологический анализ-синтез при поиске литографическихтехнологических решений с последующим созданием технических устройствформирования изображений на фотошаблоне.6.Выполнить разработку имитационных моделей, проблемно-ориентированныхалгоритмов и комплексно-интегрированных программных модулей, которые войдутв основу автоматизированной системы поддержки принятия решений припроектировании процесса ультрафиолетовой литографии.7.Произвести оценку достоверности и адекватности математических моделейоптимального управления процессом ультрафиолетовой литографии иэффективности использования разработанной системы поддержки принятиярешений посредством верификации теоретических положений и алгоритмов,изложенных в работе.63ГЛАВА 2.
ТЕОРЕТИЧЕСКИЙ ПОХОД К РЕШЕНИЮ ЗАДАЧИ СОЗДАНИЯСИСТЕМПОДДЕРЖКИПРОЕКТИРОВАНИИПРИНЯТИЯПРОЦЕССАРЕШЕНИЙПРИУЛЬТРАФИОЛЕТОВОЙЛИТОГРАФИИ.2.1 Структураавтоматизированногопроектированиятехнологического процесса ультрафиолетовой литографииПервая задача, составляющая предмет данного исследования состоит вразработке структуры САПР при проектировании процесса ультрафиолетовойлитографии.
Информационная система поддержки принятия решений припроектировании процессов в ультрафиолетовой литографии включает системыконструкторской (АСКПП), технологической (АСТПП) подготовки производства,САПР САПР и САПР гибких автоматизированных производств. Функции САПРСАПР и САПР ГАП состоят в исследовании и разработке новых илимодернизации существующих технических, программных, информационных,лингвистических и математических средств (рис. 2.1.1.), технологическихпроцессов, приспособлений, оснастки и оборудования, новых методов, методик имоделей проектирования, управления и производства, новых структур, принциповфункционирования и организации с целью повышения эффективности подсистемСАПР и ГАП в микро- и наноэлектронном производстве в процессахультрафиолетовой литографии.Рис. 2.1.1. Структура САПР для ультрафиолетовой литографии64Основой унификации гибких производственных комплексов в микро- инаноэлелектронике должны служить типовые инструментальные средстваинтегрированной САПР [13].Функциональная схема литографической СППР (рис.
2.1.2.) состоит изподсистем управления; оперативного взаимодействия проектировщика с СППР,информационно-поисковой,обработкипроектнойинформацииидокументирования.Система управления предназначена для организации, планирования, учёта икоррекции всех работ в рамках технологического процесса ультрафиолетовойлитографии. В её функции входят приём и интерпретация заданий, обращённых ксистеме, в том числе поступающих с вышерасположенных уровней СППР;загрузка и активация пакетов прикладных программ, организация маршрутов ихвыполнения;обработкапрерываний;распределениепамяти,организациявзаимодействия различных подсистем литографической СППР; выполнениесервисных функций; регистрация пользователей, учёт заданий и контроль за ихвыполнением, сбор статистики, подготовка и выдача документов и информациипо запросам, ведение службы времени и т.д.Рис. 2.1.2.
Функциональная схема литографической СППРСистема оперативной связи предназначена для обеспечения диалоговоговзаимодействия с СППР, наглядного отображения и редактирования исходнойинформации, ввода исходящей и промежуточной проектной информации и65запросов на конкретизацию ранее вводимых значений. Представляет собойсовокупность технических, программных и лингвистических средств [14].Информационно поисковая система (ИПС) обеспечивает хранение, поиск,замену, перегруппировку и первичную обработку всей постоянной информации,необходимой для работы всех остальных подсистем. Информация, хранящаяся вИПС должна удовлетворять требованию полноты при отсутствии избыточности.Техническими средствами, на которых реализуется ИПС, являютсяфайловые серверы, кластерные хранилища и облачные базы данных. СодержаниеИПС должно соответствовать современному научно-техническому уровню,отображатьобобщённыйколлективныйопытразработчиков,уровеньстандартизации и типизации объектов и форм представления исходящейинформации.Всеизменениявнаучно-техническомуровне,методикахстандартизации и типизации должны оперативно отражаться в составеинформационной ИПС.Системы обработки проектной информации реализуют всю полнотупроектных задач по синтезу, анализу, моделированию и оптимизации проектныхрешений.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
