Информационная система поддержки принятия решений при проектировании процесса ультрафиолетовой литографии (1090501), страница 7

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла (страница 7)

Процедурная модель проектирования технологическогоультрафиолетовой литографиипроцессаЛогическая схема проектирования представлена процедурной моделью. Онареализует системный подход к этому процессу и является результатом обобщенияцелого ряда работ [10-16]. Модель дает наглядное представление об основныхпроцедурах и операциях проектирования, задачах и методах их решения,указывает на источники информации. Модель (рис. 1.3.1) согласуется со стадиямиразработки согласно ЕСКД, а выпуск тех или иных видов техническойдокументация представлен как результат соответствующих проектных процедур.Проектирование технологического процесса ультрафиолетовой литографиидля производства микроэлектронных изделий начинается с определенияпотребности в создании нового изделия.

Потребность в нем диктуется состояниемобщественного производства и стремлением к повышению производительности.В таком сложном техническом объекте как изделие микро- и наноэлектроникисложнонайтирешение,лучшимобразомудовлетворяющеевозникшимпотребностям. В этом случае прибегают к развернутому во времени сложномуинформационному процессу, т.е. проектированию.Поиск может быть тогда удачным, когда имеется ясное представление о егоцели. Определение целей проектирования – весьма ответственная процедура.

Вомногихслучаяхрезультатразработкиновыхвариантовреализациитехнологического процесса для производства таких изделий оказываетсянеудовлетворительным из-за неправильной или неточной формулировки целей.Основная задача процедуры выбора целей – распознать в общих чертахособенности существующих производственных процессов в микроэлектроннойотрасли. Какой-либо четкой методики решения ее нет.

Определенным образоморганизует решение задачи составление сценария и построение графа целей.Источником информации для выполнения процедуры являются прогнозыразвития самих изделий микро- и наноэлектроники. Весьма удобный аппарат для46анализа и синтеза информации представляет инженерное прогнозирование. Оноспособно ответить на следующие вопросы: какие инженерные направлениязаймут лидирующее положение в технике, каковы возможные пропорциивнедрения в практику конкурирующих направлений, какова вероятностьиспользования в будущем тех или иных направлений, какова предполагаемаяэффективность реализации технических направлений и, кроме того, когда можноожидать внедрения в производство отдельных технических и технологическихрешений и целых направлений.Прогнозирование сейчас, в эпоху бурного развития науки и техники,становитсяособенноважным.Конструктордолженпомнить,чтонапроектирование и внедрение в производство его разработки уйдет не менее 3 – 5лет (речь идет о серийном изготовлении).

За этот срок могут произойтисущественные изменения в науке и технике, может оказаться, что выбранноенаправление перестанет отвечать научно-техническому прогрессу и созданныйновый технологический процесс ультрафиолетовой литографии с первых днейсвоей жизни может оказаться морально устаревшим и экономически нецелесообразным. Чтобы этого избежать, нужно предвидеть развитие тех или иныхтехнических направлений. На стадии определения целей уже может возникнуть тоили иное решение, однако чаще всего это решение далеко не единственное.После выбора целей проектирования можно приступать к процедуреопределения основных признаков разрабатываемого литографического процесса.Согласно основной концепции методологии, она состоит в построении срезабинарных отношений между элементами множества целей и множества признаковпо выбранному подмножеству целей.

Подмножество целей и подмножествопризнаков включаются в ТЗ.Процедура поиска возможных вариантов технологического процессанапоминает формирование оперативных моделей в сознании человека. Она внаибольшей степени опирается на творческие начала и выполняется чащенеформальными методами, однако сейчас имеются попытки разрабатывать47Рис. 1.3.1. Процедурная модель проектирования технологического процессапроизводства изделий микро- и наноэлектроники с необходимыми параметрамиварианты технического решения с помощью ЭВМ. Основные источники48информации – это техническая литература, журналы, патенты и т.д. Наследующем этапе проектирования технологического процесса ультрафиолетовойлитографии выполняется процедура принятия решения.

Из множества вариантовнеобходимовыбратьоптимальныйпопоказателюилипоказателям,устанавливающим соответствие технического решения ранее определеннымцелям. Принятие решения уже сейчас формализовано в значительно большейстепени, чем предыдущие процедуры, хотя и содержит ряд задач, решаемыхэвристическимметодом.параметрическуюДляинформацию,сравненияможновариантов,применятьнематрицусодержащихрешенийигенеральную определительную таблицу [11]. На окончательном этапе принятиярешения используется экономический расчет.Основным источником информации для сравнения вариантов служит опытиспользования существующих вариантов литографического технологическогопроцесса. Весьма полезную информацию для выполнения процедуры несетразвивающаяся теория принятия решений.Отобрав из всех возможных вариантов реализации технологическогопроцессаодин,разработчикдолжентщательнопроверитьегонаработоспособность и возможность технического воплощения.

Эта процедураможет быть названа анализом принятого решения. Методами решения задач наданном этапе проектирования выступают: моделирование, кинематический идинамический анализ. Может оказаться, что выбранный вариант не удовлетворяетусловиям работоспособности или не сможет найти в современных условияхтехнического воплощения. В таком случае нужно вновь вернуться к этапупринятия решения, отобрать другой вариант и произвести его анализ.

На схемепроцедурноймоделиОкончательным(рис.оформлением1.3.1)этопринятогоотраженоштриховойрешенияявляетсястрелкой.техническоепредложение.Любое, даже самое передовое техническое решение, окажется бесплодным,если не получит удачного технического воплощения. Прогресс в областимикроэлектронного производства направлен на повышение плотности топологии,49поэтомукаждыйновыйвидреализациитехнологическогопроцессаультрафиолетовой литографии отличается, как правило, меньшим размеромхарактеристического элемента, но не всякий новый ТП УФЛ на их основеоказывается более надежным или экономичным (вызывается это неудачнымконструированием, неправильным выбором параметров).

Стремление к полномуустранению всех негативных особенностей ультрафиолетовой литографии можетпривести к существенному удорожанию производимых изделий микро- инаноэлектроники.Удачнаятехнологияпредставляетсобойоптимальноесочетание параметров всех входящих процессов. Выбор параметров можноотнести к классу задач, которые носят название экстремальных.

Тот или инойкритерий качества, улучшение которого составляет цель проектирования,представляется в виде функции, подлежащей максимизации или минимизации.Аргументами ее служат параметры машины, допустимые значения которыхограничены некоторой областью. Решить поставленную задачу, значит найтитакие значения аргументов из заданной области, при которых целевая функцияполучает экстремальное значение.

По результатам процедуры выбора параметровможет быть составлен эскизный проект. Он представляет собой совокупностьтехнических документов, дающих представление в общих чертах о принципереализации технологического процесса ультрафиолетовой литографии.Получив данные о принципе осуществления литографического процесса иосновных параметрах, приступают к его тестированию.

Успешное выполнениеэтого этапа зависит как от опыта технолога, так и от его умения использоватьзнания, достигнутые целым рядом наук:—«Материаловедение»,наосновекоторойпроизводитсямногокритериальный выбор материалов фоторезистов в наносимых на подложки;—«Взаимозаменяемость, стандартизация и технические измерения»,определяющая требования к характеру и точности типовых соединений на основеэксплуатационногоназначения,методырасчетно-опытногообоснованияпрочности, физико-технические и экономические предпосылки систем допусков ипосадок, построение и применение этих систем в комплексе с техническими50измерениями, метрологические обоснования качества продукции;—«Теориянадёжности»,дающаявозможностьоценитьотказоустойчивость разрабатываемых процессов ультрафиолетовой литографии—«Квалиметрия»,определяющаятеоретическиеосновыколичественной оценки качества продукции;—учетом«Эргономика», характеризующая систему «человек-машина-среда» сантропометрических,гигиенических,физиологическихипсихофизических свойств человека;—«Техническаяэстетика»,формирующаяметодыдостижениявыразительности, оригинальности, гармоничности и целостности производимыхмикроэлектронных изделий;—«Охранатруда»,определяющаясистемумероприятийпообеспечению безопасных для жизни и здоровья условий труда обслуживающегоперсонала.Завершеннаяпроектнаяразработкатехнологическогопроцессаультрафиолетовой литографии оформляется в виде технического проекта и рабочейдокументации, состав и содержание которых предусмотрены ЕСКД.

Привыполнении всех этих работ необходимо контролировать результативностьисполнения принятого решения. В отличие от физической работы, когда человекимеет непосредственный контакт с предметом труда, при проектированиитехнологического процесса технолог соприкасается лишь с описанием. В процессесвоей работы он может допускать ошибки, смысл которых нередко оказываетсяскрытым до окончания технического воплощения проектируемых литографическихпроцессов при его тестировании, а иногда и значительно позже анализа моделей ичертежей. Чем более широк этот анализ, т.е. чем больше ситуаций может«пережить» разработчик и устранить обнаруженные ошибки, тем в большейстепени можно рассчитывать на успех при эксплуатации проектируемых процессовпроизводствамикроэлектронныхизделий.Сегоднявцеляхконтролярезультативности исполнения принятого решения активно используют сложныемодели, соответствующие текущему прогрессу развития ЭВМ.511.4.

Моделирование в автоматизированных системах разработкилитографических технологических процессовУправление проектом должно обеспечить координацию работы авторовконструкторов, технологов, экспертов и должностных лиц, принимающихокончательную версию проекта на технологический процесс ультрафиолетовойлитографии.СозданиефункциональнойIDEF0-моделилитографическогопроцесса является процессом скоординированной коллективной работы, прикоторой авторы на основе собранной информации о моделируемой системесоздают первоначальные диаграммы и передают их экспертам для рассмотрения иформулирования замечаний.Рис. 1.4.1.

Характеристики

Список файлов диссертации