Главная » Просмотр файлов » Информационная система поддержки принятия решений при проектировании процесса ультрафиолетовой литографии

Информационная система поддержки принятия решений при проектировании процесса ультрафиолетовой литографии (1090501), страница 5

Файл №1090501 Информационная система поддержки принятия решений при проектировании процесса ультрафиолетовой литографии (Информационная система поддержки принятия решений при проектировании процесса ультрафиолетовой литографии) 5 страницаИнформационная система поддержки принятия решений при проектировании процесса ультрафиолетовой литографии (1090501) страница 52018-01-18СтудИзба
Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла (страница 5)

Такой подход к проектированию позволяет, во-первых, свести решениезадачи большой размерности к решению последовательности задач меньшейразмерности; во-вторых, усекать пространство допустимых проектных решений,34при переходе с уровня на уровень; в-третьих, за счет оптимизации каждого шагапроектирования получать оптимальные или квазиоптимальные проектныерешения [9].На самом верхнем иерархическом уровне исходными данными напроектирование является техническое задание (ТЗ) на микроэлектронное изделие.Поскольку элементами этого уровня являются блоки, которые еще неразработаны, то значениями их параметров необходимо задаться.

Как правило,стремятся выбрать такие значения параметров, которые обеспечивают оптимумкритерию функционирования. На следующем иерархическом уровне выбранныезначения параметров блоков используются в качестве ТЗ на их разработку. Цельпроектирования – создание блоков с требуемыми параметрами. В случае удачногозавершенияпроцессаразработкиблоковпроблемаоптимальноститехнологического процесса ультрафиолетовой литографии является решенной иможно переходить на следующий уровень.

И так до уровня проектированиянеделимых элементов.Поскольку значениями параметров элементов на каждом уровне задаютсяисходя из условий оптимизации систем при отсутствии полной информации обнаилучших вариантах технологический процессов, возможны ошибки в выборезначений их параметров. Например, выбраны нереализуемые по экономическим,технологическим, конструктивным или другим соображениям параметры.Ошибки выявляются при переходе на следующий уровень проектирования, а ихисправлениепроисходитвозвратомнаверхнийуровеньиповторнымвыполнением предыдущих этапов проектирования.

Отсюда вытекает важнаяособенность процесса проектирования – итерационный характер проектирования[8].1.2.2. Этапы проектирования технологического процесса ультрафиолетовойлитографииПроектирование систем каждого иерархического уровня изделия микро- инаноэлектроники проводится в несколько этапов и включает в себя разработку35схем, конструкций и технологии. Этап разработки схематической разработкиизделия микро- и наноэлектроники можно назвать концептуальным этапомпроектирования.ПоЕСКДсхемыделятсянаструктурные,функциональныеипринципиальные.Структурная схема дает наиболее общее представление о проектируемыхмикроэлектронных изделиях. Она определяет состав функциональных элементов,входящих в него и устанавливает связи между ними.

Под структурой понимаетсяфункциональный состав элементов системы и их взаимосвязь [9].Функциональная схема дает представление о физических принципах работымикроэлектронных изделий с учетом только тех функциональных элементов,которые вошли в состав структурной схемы изделий микро- и наноэлектроники.Разработка принципиальной схемы изделий микро- и наноэлектроникизавершает этап проектирования схем. Она создается на нижних уровнях иерархии,когда формируется окончательное представление о проектируемых изделиях.Принципиальная схема определяет полный набор базовых элементов и позволяетполучить полное детальное описание об изделиях микро- и наноэлектроники и ихфункционирования [8].Частьюпроцессапроектирования,непосредственносвязаннойсразработкой конструкции и получением технической документации на изделиямикро- и наноэлектроники является конструирование.Различают прямую и косвенную конструкторскую деятельность.

Действия,результатомкоторыхявляетсянепосредственноразработкаконструкциимикроэлектронных изделий, называются прямой конструкторской деятельностью.К ним относятся разработка концепции микроэлектронных изделий, определениетипа, числа материалов, размеров и взаимное расположение элементов – слоев,составление общей конфигурации изделий, проведение расчетов, вычерчиваниесборочногочертежа,деталировка,составлениеспецификаций,внесениеизменений [9].В зависимости от того, на что направлено проектирование, различают36пионерское, доводочное и вариантное конструирование, также может бытьиспользовано конструирование без изменения принципов конструкции.Основной особенностью пионерского конструирования микроэлектронныхизделий является новое расположение известных или новых элементов.Большинство конструкторских разработок, называемых новыми, создаются наоснове не использовавшегося ранее сочетания элементов, давно известных как попринципу функционирования, так и по исполнению.

Использование новыхэлементов предполагает, как правило, открытие новых физических принциповили изобретение новых рабочих принципов.Доводочным конструированием изделиймикро- и наноэлектроникиназывается такое конструирование, когда при заданном базовом сочетанииэлементов изменяются функции отдельных элементов или их конфигурация.Первоначальная основная функция изменяется и дополняется только внесущественных деталях. Это часто имеет место при конструктивном изменениистандартных решений, осуществляемом по требованию заказчика [10]. В данномслучае процесс конструирования охватывает этапы разработки концепции,конструкцииипроработкиотдельныхчастейконструкциимикро-инаноэлектронных изделий.Конструированиеизделиймикро-инаноэлектроникиназываетсявариантным, когда при заданной функционально-зависимой структуре инеизменном расположении всех элементов изменяются конфигурация или (и)размеры самих элементов.При конструировании изделий микро- и наноэлектроники без измененияпринципа конструкции остаются неизменными функциональная структура,расположение и конфигурация элементов.

В проектирование входит только этапдеталировки, так как разработка проекта не требуется.Разработка технологии ультрафиолетовой литографии на производствомикроэлектронных изделий с необходимыми параметрами включает в себяпроектирование маршрутной и операционной технологий, а так же созданиеспециальноготехнологическогооборудования,оснастки,приспособлений,37инструментов и т.д. [8]1.2.3. Проектные процедурыНакаждомиерархическомуровнетехнологическогопроцессаультрафиолетовой литографии для производства микроэлектронных изделий снеобходимыми параметрами типовым алгоритмом проектирования являетсяследующая итерационная последовательность проектных процедур, изображеннаяна рис.

1.2.2.Рис. 1.2.2. Типовой алгоритм проектирования технологического процессаультрафиолетовой литографииИсходными данными на проектирование систем любого иерархическогоуровня технологического процесса ультрафиолетовой литографии служит ТЗ, арезультатом проектирования является документация на систему данного уровня иТЗ на разработку систем следующего иерархического уровня. На каждом уровнеиспользуется своя логика проектирования. Однако типовыми проектнымипроцедурами, определяющими разработку и отбор проектных вариантовреализации технологического процесса, являются процедуры синтеза, анализа ипринятия решений [8].Подсинтезомвариантовреализациитехнологическогопроцессаультрафиолетовой литографии для производства микроэлектронных изделий снеобходимыми параметрами будем понимать совокупность действий, нацеленныхна разработку нового проектного варианта.Процедура анализа вариантов технологического процесса связана сопределением характеристик синтезированного варианта.

Результаты анализаслужат основанием для отбора наиболее подходящих проектных вариантов.Различают одновариантный и многовариантный анализы. Одновариантный38анализ предназначен для определения выходных параметров системы призаданном варианте структуры и сочетании значений внутренних параметров.Многовариантный анализ позволяет судить о поведении объекта в некоторойобласти пространства допустимых значений внутренних параметров. [9]Выделяют два вида многовариантного анализа: анализ чувствительности истатистический анализ. Анализ чувствительности используется при ответе навопрос: «Какова чувствительность выходных параметров системы к действиюдестабилизирующих факторов?».

Статистический анализ используется для оценкисерийно пригодности выработанного варианта технологического процесса, т.е.показывает, какой характер и величина разброса выходных параметровпроизводимых изделий, при известном законе разброса параметров входящихэлементов.Независимо от логики проектирования каждый иерархический уровеньзаканчивается проверкой пригодности результатов проектирования. За оценкурезультатов проектирования отвечает процедура принятия решений. [10] В общемслучае, цель отбора – выбор работоспособного, а в некотором смысле,наилучшегопроектноговариантареализациитехнологическогопроцессаультрафиолетовой литографии для производства микроэлектронных изделий снеобходимыми параметрами.Если в процессе проектирования отбирается наилучшая, в каком-то смысле,структура технологического процесса ультрафиолетовой литографии, то говорят,чтопроводитсяструктурнаяоптимизация.Выборзначенийвнутреннихпараметров, обеспечивающих экстремум некоторого критерия эффективностиF ( X ) , называется параметрической оптимизацией, а X  ( x1 , x2 , ..., xn ) – точкапространства допустимых значений внутренних параметров.При разработке САПР всю совокупность процедур синтеза системразличного иерархического уровня можно объединить в подсистему синтеза, всюсовокупность процедур анализа – в подсистему анализа, а вся совокупностьпроцедур принятия решений – в подсистему принятия решений.

[8]39Подсистема синтезаТиповойалгоритмсинтезапроектныхрешенийприразработкетехнологического процесса ультрафиолетовой литографии приведен на рис. 1.2.3.Алгоритм является автоматизированным, другими словами, человеко-машинным.В его реализации участвуют разработчик и ЭВМ.Рис.

1.2.3. Подсистема синтезаНа первом шаге алгоритма в соответствии с ТЗ разрабатывается концепцияреализации технологического процесса ультрафиолетовой литографии (ТП УФЛ),т.е. определяются их принципы построения и функционирования. Разработкаконцепции – эвристический процесс, который базируется на идеях, опыте,интуиции и изобретательности разработчика и выполняется им вручную [9].Результатом выполнения шага является структурная и функциональная схемыреализации технологического процесса ультрафиолетовой литографии.На втором шаге при выбранном варианте структуры задаются значениямивнутренних параметров, входящих в систему. Поскольку элементы системы еще40не разработаны и будут разрабатываться на следующем иерархическом уровне,значениямипараметровследуетзадатьсяисходяизаналогов,опытапредшествующих разработок или интуиции разработчика.

Этот шаг такжевыполняется разработчиком.Есливрезультатевыполненияконцептуальногошагареализациютехнологического процесса удается формализовать, т.е. описать математически(или алгоритмически) на основе физических, конструктивных, технологическихзакономерностей или логических связей между различными высказываниями, тодальнейшие шаги выполняются ЭВМ автоматически [9].Для определения свойств синтезированных вариантов технологическогопроцесса используется проектный расчет.

Характеристики

Список файлов диссертации

Свежие статьи
Популярно сейчас
Почему делать на заказ в разы дороже, чем купить готовую учебную работу на СтудИзбе? Наши учебные работы продаются каждый год, тогда как большинство заказов выполняются с нуля. Найдите подходящий учебный материал на СтудИзбе!
Ответы на популярные вопросы
Да! Наши авторы собирают и выкладывают те работы, которые сдаются в Вашем учебном заведении ежегодно и уже проверены преподавателями.
Да! У нас любой человек может выложить любую учебную работу и зарабатывать на её продажах! Но каждый учебный материал публикуется только после тщательной проверки администрацией.
Вернём деньги! А если быть более точными, то автору даётся немного времени на исправление, а если не исправит или выйдет время, то вернём деньги в полном объёме!
Да! На равне с готовыми студенческими работами у нас продаются услуги. Цены на услуги видны сразу, то есть Вам нужно только указать параметры и сразу можно оплачивать.
Отзывы студентов
Ставлю 10/10
Все нравится, очень удобный сайт, помогает в учебе. Кроме этого, можно заработать самому, выставляя готовые учебные материалы на продажу здесь. Рейтинги и отзывы на преподавателей очень помогают сориентироваться в начале нового семестра. Спасибо за такую функцию. Ставлю максимальную оценку.
Лучшая платформа для успешной сдачи сессии
Познакомился со СтудИзбой благодаря своему другу, очень нравится интерфейс, количество доступных файлов, цена, в общем, все прекрасно. Даже сам продаю какие-то свои работы.
Студизба ван лав ❤
Очень офигенный сайт для студентов. Много полезных учебных материалов. Пользуюсь студизбой с октября 2021 года. Серьёзных нареканий нет. Хотелось бы, что бы ввели подписочную модель и сделали материалы дешевле 300 рублей в рамках подписки бесплатными.
Отличный сайт
Лично меня всё устраивает - и покупка, и продажа; и цены, и возможность предпросмотра куска файла, и обилие бесплатных файлов (в подборках по авторам, читай, ВУЗам и факультетам). Есть определённые баги, но всё решаемо, да и администраторы реагируют в течение суток.
Маленький отзыв о большом помощнике!
Студизба спасает в те моменты, когда сроки горят, а работ накопилось достаточно. Довольно удобный сайт с простой навигацией и огромным количеством материалов.
Студ. Изба как крупнейший сборник работ для студентов
Тут дофига бывает всего полезного. Печально, что бывают предметы по которым даже одного бесплатного решения нет, но это скорее вопрос к студентам. В остальном всё здорово.
Спасательный островок
Если уже не успеваешь разобраться или застрял на каком-то задание поможет тебе быстро и недорого решить твою проблему.
Всё и так отлично
Всё очень удобно. Особенно круто, что есть система бонусов и можно выводить остатки денег. Очень много качественных бесплатных файлов.
Отзыв о системе "Студизба"
Отличная платформа для распространения работ, востребованных студентами. Хорошо налаженная и качественная работа сайта, огромная база заданий и аудитория.
Отличный помощник
Отличный сайт с кучей полезных файлов, позволяющий найти много методичек / учебников / отзывов о вузах и преподователях.
Отлично помогает студентам в любой момент для решения трудных и незамедлительных задач
Хотелось бы больше конкретной информации о преподавателях. А так в принципе хороший сайт, всегда им пользуюсь и ни разу не было желания прекратить. Хороший сайт для помощи студентам, удобный и приятный интерфейс. Из недостатков можно выделить только отсутствия небольшого количества файлов.
Спасибо за шикарный сайт
Великолепный сайт на котором студент за не большие деньги может найти помощь с дз, проектами курсовыми, лабораторными, а также узнать отзывы на преподавателей и бесплатно скачать пособия.
Популярные преподаватели
Добавляйте материалы
и зарабатывайте!
Продажи идут автоматически
6384
Авторов
на СтудИзбе
308
Средний доход
с одного платного файла
Обучение Подробнее