Диссертация (1090210)
Текст из файла
ООО «ПРОИЗВОДСТВЕННО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ЦЕНТР«УРАЛАЛМАЗИНВЕСТ»На правах рукописиФЕЩЕНКО Валерий СергеевичФизико-технологические принципы разработки и производства алмазных ультрафиолетовых детекторов и приборов на их основе.Специальность 05.27.01«Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах»Диссертацияна соискание ученой степенидоктора технических наукНаучный консультант:доктор физ.-мат. наук,профессор А.Н. МаловМосква 20162ОГЛАВЛЕНИЕВВЕДЕНИЕ ...................................................................................................................
101 СВОЙСТВААЛМАЗНЫХМАТЕРИАЛОВВЛИЯЮЩИЕНАПАРАМЕТРЫ ФОТОДЕТЕКТОРОВ ........................................................................... 191.1 КРИСТАЛЛИЧЕСКАЯ СТРУКТУРА ........................................................................
191.2 ЗОННАЯ СТРУКТУРА АЛМАЗА ............................................................................. 201.3 ФИЗИЧЕСКАЯ КЛАССИФИКАЦИЯ АЛМАЗОВ ........................................................ 221.4 ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТЬ ПРИРОДНОГО АЛМАЗА .................................................
241.5 ФОТОПРОВОДИМОСТЬ АЛМАЗА.......................................................................... 271.6 НЕКОТОРЫЕОСОБЕННОСТИ ФОТОПРОВОДИМОСТИ АЛМАЗАIIAТИПА СВЯЗАННЫЕ СО СТРУКТУРОЙ ЗАПРЕЩЕННОЙ ЗОНЫ................................. 311.7 СПЕКТРАЛЬНЫЕХАРАКТЕРИСТИКИАЛМАЗАЛЕГИРОВАННОГОБОРОМ. ............................................................................................................... 39ВЫВОДЫ К ГЛАВЕ 1.................................................................................................. 462 ОДНОЭЛЕМЕНТНЫЕАЛМАЗНЫЕУЛЬТРАФИОЛЕТОВЫЕФОТОДЕТЕКТОРЫ ...................................................................................................
482.1 РАЗРАБОТКАКОНСТРУКЦИИОДНОЭЛЕМЕНТНОГОАЛМАЗНОГОФОТОДЕТЕКТОРА ............................................................................................... 482.1.1 Конструкция алмазных фоторезисторов .............................................. 492.1.2 Конструкция алмазных фотодиодов ...................................................... 502.2 ТЕХНОЛОГИЯИЗГОТОВЛЕНИЯАЛМАЗНЫХОДНОЭЛЕМЕНТНЫХФОТОДЕТЕКТОРОВ .............................................................................................
512.2.1 Химическаяобработкаалмазныхчувствительныхэлементов ................................................................................................... 532.2.2 Нанесение металлических слоев на алмазную пластину ...................... 542.2.3 Технологическийпроцессизготовлениядатчиковультрафиолетового излучения ................................................................. 572.3 ТЕХНОЛОГИЯСБОРКИАЛМАЗНЫХОДНОЭЛЕМЕНТНЫХФОТОПРИЕМНИКОВ УФ ДИАПАЗОНА ................................................................
6032.4 ИССЛЕДОВАНИЕ ХАРАКТЕРИСТИК АЛМАЗНЫХ ОДНОЭЛЕМЕНТНЫХФОТОДЕТЕКТОРОВ ............................................................................................. 642.4.1 Измерение темнового тока АОФД ......................................................... 642.4.2 Определениеотносительнойспектральнойчувствительности АОФД ........................................................................ 652.4.3 Измерение напряжения фотосигнала, напряжения шумаи порога чувствительности АОФД .........................................................
682.4.4 Измерение динамического диапазона АОФД ......................................... 682.4.5 Измерение постоянной времени АОФД .................................................. 682.4.6 ЗависимостьформыспектральнойхарактеристикиАОФД от напряжения смещения. ...........................................................
692.5 ПРИМЕНЕНИЕАЛМАЗНЫХ ОДНОЭЛЕМЕНТНЫХ ФОТОДЕТЕКТОРОВДЛЯ УФ СПЕКТРОСКОПИИ ................................................................................. 71ВЫВОДЫ К ГЛАВЕ 2.................................................................................................. 773 МНОГОЭЛЕМЕНТНЫЕАЛМАЗНЫЕУЛЬТРАФИОЛЕТОВЫЕФОТОДЕТЕКТОРЫ ...................................................................................................
803.1 РАЗРАБОТКАКОНСТРУКЦИИМАТРИЧНЫХФОТОПРИЕМНЫХСИСТЕМ.............................................................................................................. 803.1.1 Архитектура матрицы ............................................................................
803.1.1.1 Решетчатаяструктура(матрицасадреснымопросом)................................................................................................. 803.1.1.2 Конвейерная структура. ..................................................................... 813.1.2 Типы пикселов ............................................................................................ 833.1.3 Гибридная матрица с пикселом на основе алмазногофотоприемника и МДП-транзисторов .................................................. 853.1.4 Оценка параметров гибридной матрицы на основеалмазного фотоприемника и МДП-транзистора .................................
913.1.5 ПЗИ – матричная система на основе алмаза ........................................ 933.1.6 Решение задачи высоких смещений. ........................................................ 973.1.7 Снижение ёмкости столбцовой шины. .................................................. 9843.1.8 Физико-технологические проблемы. ....................................................... 983.2 ВАРИАНТЫКОМПОНОВКИМАТРИЧНЫХФОТОПРИЕМНЫХУСТРОЙСТВ ........................................................................................................ 993.3 ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕОСНОВЫИЗГОТОВЛЕНИЯАЛМАЗНЫХМНОГОЭЛЕМЕНТНЫХ ФОТОПРИЕМНИКОВ УФ ДИАПАЗОНА............................ 1023.3.1 Технология изготовления алмазных многоэлементныхфотоприемников УФ диапазона формата 64х2 ..................................
1023.3.1.1 Технологический маршрут изготовления встречноштыревого варианта линейки 64х2 ................................................... 1023.3.1.2 Фрагментфотошаблона«жука»–переходнойкерамической платы для соединения контактовлинейки с контактами мультиплексора............................................ 1033.3.2 Технология изготовления алмазных многоэлементныхфотоприемников УФ диапазона формата 64х2 сосквозной проводимостью через объем .................................................. 1043.3.2.1 Проектирование и изготовление фотошаблонов. ..........................
1053.3.2.2 Технологическиепроцессы,включающиепроведение первой фотолитографии ................................................ 1063.3.2.3 Проектированиеиконструированиевторогофотошаблона линейки 64х2............................................................... 1073.3.2.4 Технологически процессы, включающие проведениевторой фотолитографии. .................................................................... 1083.3.2.5 Проектирование и конструирование третьего (№3)фотошаблона линейки 64х2 ............................................................... 1093.3.2.6 Технологическиепроцессы,включающиепроведение третьей фотолитографии.
.............................................. 1093.3.3 Технологиясборкиалмазныхмногоэлементныхфотоприемников УФ диапазона формата 64х2 .................................. 1103.3.3.1 Сборка алмазных линеек с мультиплексором ............................... 11053.3.3.2 Сборкаалмазныхлинеексобъемнойпроводимостью с мультиплексором ................................................. 1113.3.4 Технология изготовления алмазных многоэлементныхфотоприемников УФ диапазона формата 64х64 ................................ 1133.3.4.1 Проектирование и конструирование фотошаблонов№1 и №2 матрицы форматом 64×64 элемента с шагом50×50 мкм ............................................................................................
1133.3.4.2 Технологический маршрут изготовления матрицы. ..................... 1142.3.4.3 Сборкачувствительногоэлементаматрицыформатом 64х64 .................................................................................. 1163.3.4.4 Проектирование и конструирование фотошаблона№1 матрицы форматом 64×64 элемента с шагом30×30 мкм ............................................................................................ 1183.3.4.5 Технология изготовления матрицы 64х64 .....................................
Характеристики
Тип файла PDF
PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.
Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
