Отзыв консультанта (1090196)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

ОТЗЫВнаучного консультанта доктора физико-математических наук, профессора МаловаАлександра Николаевича о работе над докторской диссертацией на тему «Физикотехнологические принципы разработки и производства алмазных ультрафиолетовыхдетекторов и приборов на их основе» Фещенко Валерия СергеевичаДиссертация посвящена актуальному направлению современной твердотельнойэлектроники – исследованию, разработке и созданию технологии изготовленияоптоэлектронной техники, работающей в УФ диапазоне электромагнитного спектра.Перспективность алмазной оптоэлектроники определяется уникальными свойствамиалмаза: его высокой прочностью, высокая химическая стойкость, большой ширинойзапрещеннойзоны (чтоипозволяетрегистрироватьУФизлучение),высокойподвижностью и малым временем жизни носителей заряда, высоким темновымсопротивлением и высокой электрической прочностью, повышенной температурной ирадиационной стойкостью, минимальным уровнем собственных шумов.

Но эти жеуникальные свойства, особенно высокая механическая прочность, создают большиесложности для технологий обработки алмазов и изготовления приборов на их основе.В настоящее время известно о разработке на основе алмаза таких приборов, кактранзисторы и диоды, детекторы рентгеновского и ядерного излучений, варисторов,лазеров,оптоэлектронныхкоммутаторов,фотоэмиттеровифотодетекторов.Использование новых разработанных детекторов УФ излучения сделает возможнымосуществлять метрологию УФ-излучения на качественно новом уровне и создаватьпринципиально новые приборы контроля источников УФ излучения, (таких как, пико- инаносекундные импульсные лазеры и лампы высокого давления), которые используются влазерной технике, полиграфии, производстве интегральных схем, биотехнологии и другихобластях, включая экологию и технику безопасности.

Поэтому является актуальнойразработка конструкций и серийных технологий изготовления микро- и наноэлектронныхприборов основе полупроводниковых алмазных материалов.Диссертационнаяработапосвященатеоретическомуиэкспериментальномуисследованию алмазных материалов, технологических процессов изготовления алмазныхдетекторов УФ излучения, разработка их конструкции, изготовление и экспериментальноеисследование приборов в целом.

Ключевыми задачами, которые решались в диссертацииявляются следующие:теоретическое и экспериментальное исследование алмазных материалов дляопределения границ их применимости для изготовления твердотельных датчиков УФизлучения;разработка конструкции и основ технологии производства одноэлементныхдатчиков на основе природного алмаза IIа типа;экспериментальноеисследованиеэлектрофизическихпараметровалмазныхдатчиков УФ излучения;разработка конструкции и технологии производства многоэлементных датчиков наоснове природного алмаза IIа типа;экспериментальноеисследованиеэлектрофизическихпараметровалмазныхмногоэлементных датчиков УФ излучения;разработка и изготовление приборов на основе алмазных фотодетекторов и ихисследование.Основные результаты по указанным проблемам были получены Фещенко В.С.

втечение последнего десятилетия и являются пионерскими по части разработки технологииизготовления детекторов и приборов на основе алмазов. Им установлены закономерностивлияния электрофизических и фотоэлектрических свойств алмазных материалов наразличные параметры изготовленных из них приборов, что позволяет целенаправленноподбирать природное алмазное сырьё или формулировать обоснованные техническиетребования к синтезируемым искусственным алмазам, которые будут использованы дляизготовления фоточувствительных приборов.

Разработана технология производстваалмазных детекторов, отличающаяся от классической полупроводниковой технологиитем, что на операциях травления, химической обработки, фотолитографии использоваласьспециальная технологическая оснастка-держатель, а кремниевая полупроводниковаятехнология химической обработки была дополнена операцией обработки в кипящемхромпике,чтопозволилоудалятьграфитизациювозникающую,послевысокотемпературных обработок алмазных пластин. При разработке конструкцииодноэлементных датчиков на основе природного алмаза IIа типа было установлено, чтолучшей конструкцией чувствительного элемента с точки зрения чувствительности истабильности свойств является «сэндвичевая», когда алмаз находится между верхнимполупрозрачным и нижним электродами, а оптимальным материалом для электродов, посовокупности свойств, является платина с адгезионным подслоем из тантала или титана,для контактных площадок оптимальным же является золото, с титаном или нитридомтитана в качестве адгезионного подслоя.Научная новизна работы состоит в том, что впервые были проведены комплексныеисследования физико-технологических принципов изготовления приборов на основеалмазных материалов, и на этой базе разработана технология производства алмазныходноэлементных,многоэлементныхдетекторовматричногоизготовлены рабочие образцы и исследованы их характеристики.илинейноготипа,В ходе работы В.С.

Фещенко продемонстрировал научный профессионализм ивысокий творческий потенциал. Он показал отличное владение теоретическим аппаратом,современной экспериментальной техникой, хорошее знание метрологических методиканализа электрофизических и оптических свойств материалов и приборов. Умеет хорошоориентироваться в огромном потоке новых результатов исследований по своей теме. Этикачества позволили ему выполнить собственные исследования на самом переднем краенауки и техники. В частности, впервые в мире на основе алмазной четырёхэлементнойматрицы был разработан и изготовлен высокоскоростной четырёхканальный детекторультрафиолетового излучения, который имеет постоянную времени не хуже 1,8 нс. Такжена основе алмазной матрицы было разработано и изготовлено устройство наблюдения спороговой чувствительностью 3,6·10-15 Вт/см2.

Разработанные детекторы и приборы уженашли применение в военной технике для обнаружения трассеров ракет, в качестведатчикасолнечнойориентациивусловияхреальногокосмическогополетатехнологического наноспутника ТНС-0 №1, системе автоматического оперативногоконтроля качества воды и др.Полученныевработеэкспериментальныеданныепофотоэлектрическимхарактеристикам алмазных одноэлементных и многоэлементных фотоприёмниковпозволят начать серийное производство микроэлектронных приборов на основе какприродного,такисинтетическогоалмаза,расширятобластьприменениясодновременным их удешевлением. Это, в свою очередь, обеспечит их широкое внедрениев таких актуальных областях науки, техники и технологии, как детектирование УФизлучения с целью обнаружения источников утечки электроэнергии, очагов возгорания,пусков боевых ракет и выстрелов из стволовой артиллерии.

Большой интереспредставляет дозиметрия УФ излучения в медицине, в промышленных озонаторах икосмических аппаратах.Все результаты, выносимые на защиту, получены В.С. Фещенко самостоятельно иподтверждены большим объемом экспериментальных и технологических исследований.Основные результаты опубликованы в изданиях, индексируемых в международных базахцитирования,ивведущихрецензируемыхнаучныхжурналах,втомчислерекомендованных ВАК для основных результатов докторских диссертаций.

Натехнические решения автором получено 5 патентов. Основные положения и результатыдиссертационной работы докладывались на международных и федеральных конференцияхи семинарах: XIX Международная научно-техническая конференция по фотоэлектроникеи приборам ночного видения (Москва, 2006, 2014), Mezinarodni vedecko-praktickaconference "Aktualni vymozenosti vedy" (Praha, 2011), The 21th annual InternationalConference on Advanced Laser Technologies ALT'13 (Budva, Montenegro, 2013), Российскойконференциипоактуальнымпроблемамполупроводниковойфотоэлектроники"Фотоника" (г.

Новосибирск, 2015г.), научных семинарах Физического Института им.П.Н. Лебедева РАН, Новосибирского, Кишиневского, Одесского и Приднестровскогоуниверситетов и др.Работа по теме диссертации выполнялась в рамках следующих государственныхпрограмм:«Федеральная космическая программа» 2006 - 2015 гг.;ФЦП «Развитие электронной компонентной базы и радиоэлектроники» на 2008 -2015 гг.;ФЦП «Национальная технологическая база» на 2007 - 2011 гг.;МКЦП «Датчики ВВТ», согласно гособоронзаказа на 2005 - 2010 гг.;ФЦП «Исследования и разработки по приоритетным направлениям развитиянаучно-технологического комплекса России» на 2007-2013 гг.;ФЦП «Исследования и разработки по приоритетным направлениям развитиянаучно-технологического комплекса России» на 2014-2020 гг.Диссертация, подготовленная В.С. Фещенко, соответствует требованиям ВАК РФ, вней разработаны технологические и конструктивные решения, представляющие крупноенаучно-техническое достижение, с использованием которых решены прикладные задачи вобласти твердотельной электроники, имеющие большое практическое значение.

Считаю,что Фещенко Валерий Сергеевич заслуживает присуждения ученой степени докторатехническихнаукпоспециальности05.27.01«Твердотельнаяэлектроника,радиоэлектронные компоненты, микро- и нано- электроника, приборы на квантовыхэффектах».Научный консультант,профессор,доктор физико-математических наукМалов Александр Николаевич.

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов диссертации