Выписка из протокола заседания НТС (1090192)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

«УТВЕРЖДА10» Директор мазИнвест» И. Смирнов 2016 г. ВЫПИСКА ИЗ ПРОТОКОЛА заседания НТС 000 "Производственно- технологический центр "УралАлмазИнвест" № 9 Об.04.201бг. Состав Научно -технического совета: 11 чел. Присутствовало: 10 чел. Слушали: о проведении предварительной экспертизы диссертационной работы Фещенко Валерия Сергеевича «Физико- технологические принципы разработки и производства алмазных ультрафиолетовых детекторов и приборов на их основе», представленной на соискание ученой степени доктора технических наук по специальности 05.27.01 — Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано- электроника, приборы на квантовых эффектах. Фещенко В.С.

выступил с докладом о диссертации, в котором обосновал постановку задачи, объяснил полученные результаты, доложил о завершении исследований, выполненных в 000 "ПТЦ «УралАлмазИнвест», а также изложил научные положения и выводы. В ходе обсуждения Фещенко В.С. были заданы вопросы, касающиеся полученных в диссертации теоретических и практических результатов, публикаций по теме диссертации, внедрения результатов работы, на которые он дал исчерпывающие ответы. Вопросы: К.т.н., Гладченков Е.В.: Есть ли акты внедрения результатов ваших исследований, защищены ли эти результаты патентами? Ответ: - Акты внедрения получены, и они вошли в диссертацию в качестве приложения. Результаты работы защищены патентами, которые также представлены в приложении.

- Сколько у вас публикаций по теме диссертации? Ответ: - Результаты диссертационной работы изложены в 30 публикациях (из них 20 в ведущих рецензируемых научных журналах, в которых должны быть опубликованы основные научные результаты диссертаций на соискание ученой степени доктора наук, во включенных в международные базы цитирования непериодических изданиях и патентах. К.ф.-м.н. Зяблюк К.Н.: Почему с повышением напряжения смещения форма спектра фоточувствительности алмазного фотодиода меняется по разному у относительно чистых алмазов (концентрация азота < 10 ) и более !8 «грязных» (концентрация азота — 10 ).

!9 Ответ: Излучение с длиной волны 240-280 нм глубоко проникает в алмаз и генерирует носители заряда с примесных центров В1 и В2. У более «грязных» (концентрация азота-10 ) алмазов, с ростом тянущего поля, !9 заряды не успевают рекомбинировать и вытягиваются с большей. глубины кристалла. У чистого (концентрация азота < 10 ) алмаза этих дефектов на 18 порядок меньше, поэтому на его чувствительность в этом диапазоне изменение величины смещения не влияет.

Излучение 180-220 нм поглощается в узком приповерхностном слое. У «грязного» алмаза поверхность сильно дефектная, с большим количеством глубоких уровней на которых сразу рекомбинируют неравновесные носители заряда и повышение напряжения смещения никак не может повлиять на сбор заряда. У чистого алмаза поверхность менее дефектная, часть электронно-дырочных пар разделяется и доходит до электродов, что видно по спектральной характеристике алмаза 11а типа. Поэтому с усилением тянущего поля, еще некоторая часть носителей имеет возможность достичь противоположного электрода, что и ведет к повышению фототока. К.ф,-м.н., с.н.с. Колюбин В.А.

- Каким образом можно адаптировать технологическое оборудование используемое для изготовления кремниевой микроэлектроники для изготовления элементов алмазной электроники? Ответ: - Технологическое оборудование используемое для изготовления кремниевой микроэлектроники можно использовать для производства приборов алмазной электроники. Но, для этого нужно решить несколько задач.

Первое - отсутствие алмазных подложек большой площади приемлемого качества. Второе это отсутствие у алмаза естественного изолирующего оксида. И третье это отсутствие мелкой легирующей примеси п-типа. Первая задача решается с помощью приспособлений для индивидуальной обработки малоразмерных алмазных пластин на некоторых этапах производства. Вторая задача решается путем создания на поверхности алмаза изолирующих слоев других материалов или созданием в алмазе захороненных легированных слоев, где уже чистый алмаз выступает в качестве диэлектрика. Третья задача в диссертации решается чисто конструкционным способом, путем 2 использования структур основанных только на чистом или легированным бором алмазе, К.ф.-м.н.

Ольшанский Д.И.: - В чем заключается технико-экономический эффект от внедрения результатов диссертационного исследования в производство? Ответ: - Внедренные в производство алмазные материалы для изготовления фотоприемных приборов нового поколения и их элементов обеспечивают создание приборов на новых физических принципах, что позволяет занять монопольное положение на внешнем и на внутреннем рынке и создать порядка 300-500 рабочих мест в высокотехнологичной области производства. Выступили: Научный консультант соискателя Малов А.Н.

- д.ф.-м.н., профессор В данной работе Фещенко В.С. были впервые проведены комплексные исследования физико-технологических основ изготовления приборов на основе алмазных материалов и на этой базе была разработана технология производства алмазных многоэлементных детекторов матричного и линейного типа, изготовлены рабочие образцы и исследованы их характеристики. Что позволило существенно продвинуть алмазное приборостроение от лабораторных экспериментов к внедрению в промышленное производство. Предложенные в работе технологические и конструктивные решения являются универсальными, соответствуют современным достижениям науки и техники в области твердотельной электроники, производства радиоэлектронных компонентов и микро- и нано- электроники, и могут быть адаптированы к технологическим и производственным возможностям предприятий промышленности.

Работа имеет как теоретическое, так и практическое значение. Представленная диссертационная работа Фещенко В.С. является законченным исследованием, и я считаю возможным рекомендовать ее к защите на диссертационном совете по специальности 05.27.01 «Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано- электроника, приборы на квантовых эффектах».

Гладченков Е.В., к.т.н.: - В представленной работе дан глубокий анализ основньгх направлений разработки технических и конструкционнотехнологических решений в области алмазного приборостроения. На основе анализа автор предлагает технологию, которая позволяет изготовлять алмазные матрицы форматом 128х128, спектральным диапазоном от 180 до 270 нм, с геометрическим шумом 8,5',4, состыкованные с мультиплексором с помощью индиевых столбцов. Диссертационная работа отвечает требованиям ВАК, предъявляемым к докторским диссертациям и выбранной специальности, В связи с этим предлагаю рекомендовать диссертационную работу к защите по 3 специальности 05.27.01 «Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано- электроника, приборы на квантовых эффектах».

Захарченко К.В - к.ф.-м.н.: - Работа Фещенко В.С, заслуживает положительной оценки и может быть рекомендована к защите. Во-первых, в ходе выполнения работы были получены результаты по фотоэлектрическим характеристикам алмазных одноэлементных и многоэлементных фотоприемников, что позволит широко внедрять их в таких актуальных областях науки, техники и технологии, как детектирование УФ излучения с целью обнаружения источников утечки электроэнергии, очагов возгорания, пусков боевых ракет и выстрелов из стволовой артиллерии. Большой интерес представляет дозиметрия УФ излучения в медицине, в промышленных озонаторах и космических аппаратах.

Во-вторых, научно-методическая составляющая работы связана с развитием перспективных областей и подходов к разработке перспективных направлений развития микро- и нано- электроники. В- третьих, полученные Фещенко В.С. результаты исследований имеют практическую ценность для предприятий российской промышленности и могут быть применены для производства радиоэлектронных компонентов, изделий микро- и нано- электроники и приборов на квантовых эффектах. Работа отвечает требованиям ВАК, предъявляемым к докторским диссертациям и выбранной специальности.

Поддерживаю рекомендацию работы к защите по специальности 05.27.01 «Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано- электроника, приборы на квантовых эффектах». Смирнов А.И, к.т.н., директор, ознакомил присутствующих с проектом заключением по работе и рекомендовал его принять. Постановили: принять следующее заключение по диссертации. ЗАКЛЮЧЕНИЕ НТС ООО «Производственно-технологический центр «УралАлмазИнвест» по диссертационной работе Фещенко В.С. «Физико- технологические принципы разработки и производства алмазных ультрафиолетовых детекторов и приборов на их основе», представленной на соискание ученой степени доктора технических наук по специальности 05.27.01- Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано- электроника, приборы на квантовых эффектах» А альность аботы В наше время идет усиленный поиск альтернативных материалов для электронных и твердотельных приборов.

Особое внимание ученые уделяют природному алмазу, который обладает уникальными свойствами и позиционируется как «материал ХХ1 века». В научной литературе опубликована информация о разработке на основе алмаза таких приборов, 4 как транзисторы и диоды, детекторы рентгеновского и ядерного излучений, варисторов, лазеров, оптоэлектронных коммутаторов, фотоэмиттеров и фотодетекторов. В тоже время, во многих областях науки и техники наблюдается стремление к освоению УФ-диапазона спектра для решения различных задач: в науке, технике, экологии и медицине, а также для разработки современной противопожарной и военной техники.

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов диссертации