0730-orgreview (1144204)
Текст из файла
АВА11ЫРМ УТВЕРЖДАЮ Генеральный директор Кондратьевский пр., д. 72 Санкт-Петербург, 195271 Тепк (812) 540-15-50 Факс: (812) 545-37-85 е-гпа)1: ачапвагг)©ачапвагг(.ого П1(р:Пигчпч.ачапвагг).ого ИНН 7804001110 КПП 780401001 ОГРН 1027802483070 ЩЧзвцгард» "„г~~"., - ес'кч, На Нк от ОТЗЫВ ведущей организации на диссертационную работу Андрианова Николая Александровича «Плазменные процессы в технологии НЕМТ транзисторов на основе Ш-нитридов», представленную на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук по специальности 01.04.04 Физическая электроника Диссертационная работа Андрианова Н.
А. посвящена исследованию влияния плазмы газового разряда на свойства поверхности ОаХ в реальных условиях постростовой технологии создания НЕМТ транзисторов на основе И1-нитридов. Актуальность исследовании Актуальность темы диссертационной работы обусловлена тем, что на сегодняшний день электронная элементная база на основе Ш-нитридов по целому ряду своих характеристик превосходит традиционные аналоги на основе кремния, арсенида галлия и карбида кремния, что обусловлено набором уникальных физических свойств И1-нитридов. В технологии создания приборов на И1-нитридах важное значение имеют плазменные методы обработки поверхности, которые, в отличие от традиционных, призваны модифицировать поверхностный химический состав полупроводниковых структур для улучшения эксплуатационных качеств получаемых приборов.
Поэтому исследования, направленные на изучение особенностей процессов, протекаюитих в ходе плазменного воздействия на Н1-нитридные структуры, а также их оптимизация этих процессов являются совершенно актуальными для изготовления современной элементной базы микроэлектроники. Научная новизна н основные результаты Все экспериментальные результаты, или непосредственная обработка и анализ экспериментальных данных, изложенные в диссертации, получены и проведены автором лично или в соавторстве при его непосредственном участии. Наиболее важные и новые результаты диссертационной работы: 1. В работе установлен ряд оптимальных режимов плазменной обработки поверхности НЕМТ структур на основе П1-нитридов для достижения высоких эксплуатационных характеристик транзисторов на А1баХ/ба1ч.
Показано, что при плазменной обработке ключевую роль играет энергия ионов, бомбардирующих поверхность транзисторной структуры. Оптимальная энергия ионов, в свою очередь, приводит к предотвращению образования полимерных пленок в ходе плазменной обработки и снижению сопротивления омических контактов к А1баХ/баХ структурам за счет удаления поверхностной оксидной пленки и уменьшения поверхностного барьера для транспорта электронов. 2. Установлен режим плазмохимической обработки в емкостном газовом разряде в среде ЯГ6 поверхности верхнего «сар-слоя» баМ НЕМТ-структур на основе А1баМ/баХ, который приводит к существенному увеличению напряжения поверхностного пробоя А1баХ!баХ НЕМТ структур.
Показано, что увеличение напряжения поверхностного пробоя НЕМТ структур связано с уменьшением плотности поверхностных состояний за счет замещения поверхностной оксидной пленки ба,ОУ на пленку типа бар„. 3. Продемонстрировано влияние частоты электрического смещения подложки на токи насьпцения получаемых НЕМТ-структур, связанное с величиной энергии падающих на поверхность ионов.
4. Кроме того, в диссертации значительное внимание уделено разработке и созданию компактного планарного энергоанализатора для 1п-зйи диагностики газового разряда и плазменных технологических процессов. Особенно стоит выделить, что разработанные диссертантом технологические плазменные процессы обработки поверхности успешно апробированы и внедрены в реальные технологические маршруты создания НЕМТ транзисторов на основе П1-нитридов в АО «Светлана-рост», г. Санкт-Петербург. Степень обоснованности научных положений, результатов и выводов Достоверность полученных результатов, выводов и научных положений определяется использованием современных экспериментальных методик, воспроизводимостью результатов, а также согласием полученных результатов с существующими литературными данными.
Научная и практическая значимость полученных автором результатов Представленные результаты исследований воздействия плазмы газового разряда на поверхностные свойства верхнего сар-слоя ОаХ НЕМТ структуры позволяют расширить представления о процессах, происходящих на поверхности ОаМ в результате плазменного воздействия и оптимизировать плазменные процессы, применяемые в технологических маршрутах изготовления НЕМТ на основе Ш-нитридов.
Оформление диссертации, публикации и апробация работы Диссертация состоит из семи глав, заключения и списка цитируемой литературы. Полный объем диссертации составляет 188 страницы, включая 94 рисунка, 6 таблиц и списка литературы из 216 наименовании и 10 публикаций автора, Нумерация литературы и рисунков сквозная. Нумерация формул многоуровневая (привязана к номеру главы). Основные результаты диссертационной работы докладывались на российских и международных конференциях и семинарах: 8-ая Всероссийская конференция: Нитриды галлия, индия и алюминия — структуры и приборы ГРоссия, Санкт-11етербург, 2011), 1ЕЕЕ 10й |п1егпайопа1 Часшнп Е1ес1гоп Боигсез СопКегепсе, 1ЧЕВС. (Россия, Санкт-Г1етербург„ 2014), 1О-ая Всероссийская конференция; Нитриды галлия, индия и алюминия структуры и приборы ГРоссия, Санкт-Петербург, 2015), 11-ая Всероссийская конференция: Нитриды галлия, индия и алюминия — структуры и приборы (Россия, Москва, 2017), Семинар в АО «Светлана-Рост», 2016, Семинар на кафедре физики плазмы СПбПУ Г!стра Великого, 2016, Семинар в Сопа1 ЯАЯ, ОгепоЫе, Ргапсе, 2017.
По материалам диссертации представлены в 11 публикациях. Основные результаты диссертационной работы опубликованы в 5 статьях в рецензируемых журналах, в одной статье в энциклопедии, изданной издательством Тау1ог й Ргапс1з, в патенте на полезную модель, а также в материалах 4 Всероссийских конференций. Замечания ио диссертации 1. В главе 4 не объяснено, почему величины плавшощего потенциала плазмы 10-15 эВ в типовом!СР режиме недостаточно для удаления полимерной пленки ВС!„.
и поверхностного окисла ОазОз, энергия связи которых составляет примерно 3 эВ. 2. В серии экспериментов по увеличению энергии ионов ВС1з' в !СР-ИЕ режиме установлено, что оптимальное значение энергии составляет 40 эВ. Однако не показано влияние больших значений энергии бомбардирующих ионов на сопротивление омических контактов. 3. На стр. 128 автор указывает, что обработка поверхности ОаХ в Я!'ь плазме для замещения пленки Ста.Оз на пленку ОаГ„в течение 10-20 мин не приводит к травлени|о рабочей структуры, но при этом отсутствует информация о необходимом и достаточном времени обработки.
4. Не указано использовалась ли предложенная в главе 7 конструкция планарного энергоанализатора для определения энергии ионов в экспериментальных исследованиях. 5. Требуется пояснить, в чем заключается практическая значимость обнаруженного влияния частоты плазменного генератора в процессе плазменной обработки в разряде азота на спектр энергий ионов.
б, Не приведены результаты оптимизации плазменных процессов в части того, какие именно характеристики полевых НЕМТ транзисторов были улучшены, а также не представлено их сравнение с зарубежными аналогами. Однако, замечания носят уточняющий характер и не меняют общего положительного мнения о диссертационной работе. Заключение Диссертационная работа на тему: «Плазменные процессы в технологии НЕМТ транзисторов на основе !1-нитридов» является завершенной научно-квалификационной работой, представляющей научную и практическую ценность в области микроэлектроники, а именно, создания мощных высокочастотных полевых НЕМ'1 транзисторов на основе 111-нитридов. Результаты и выводы.
представленные в работе, являются достоверными и обоснованными. Тематика диссертационного исследования Андрианова Н.А. соответствует паспорту специальности 01.04.04 Физическая электроника: изучение физических основ плазменных и лучевых !пучковых) технологий, в том числе, модификации свойств поверхности, нанесение тонких пленок и пленочных структур. 4 техническом совете ОАО «Авангард». Присутствовало на совете .~т.з чел. Результаты голосования: чел; «воздержалось» — с~ чел., «з໠— я у чел.; «против» протокол № Л7 от 01 ноября 2018 г.
Зам. председателя научно-технического. совета ОАО «Авангард» Ю~ Начальник сектора планариых технолог й ОАО к.т.н. В.В. Ефимов д.т.н., профессор « вангард» 4.,"' ~~" В.В. Пииаев .l В.Д. Лукьянов Заведующий учебным центром ОАО «Авангард» д.ф.-м.и., профессор 195271, г. Санкт-Петербург, пр. Кондратьевский д. 72 Открытое акционерное общество «Авангард» 1812) 540-15-50, факс: +7 1812) 545-37-85, е-пта11: атап8ап1®а~апйагс1.огд 6~,«~~~$,'-Ц.: ., «~:,~,~«йа д,д А Я ф~ь,.см«'я" ст~ тел: +7 Диссертационная работа Андрианова Н.А.
по форме и содержанию соответствует всем требованиям, предъявляемым к диссертациям на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук, установленным Положением о присуждении ученых степеней, утвержденным постановлением № 842 Правительства РФ от 24 сентября 2013 года. Автор диссертации, Андрианов Николай Александрович, заслуживает присуждения ему искомой ученой степени кандидата физико-математических наук по специальности 01. 04. 04 Физическая электроника.
Отзыв составлен на основании ознакомления с тестом диссертации, автореферата„ печатных работ, а также доклада Андрианова Николая Александровича на научно- .
Характеристики
Тип файла PDF
PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.
Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
