0730-4-freview (1144200)

Файл №1144200 0730-4-freview (Плазменные процессы в технологии HEMT транзисторов на основе III-нитридов)0730-4-freview (1144200)2019-06-23СтудИзба
Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

~ Я ~ ЕСН 999999.1п1ес)г-дуайр.ги Дата: 26.11.2018 Страница 1 из 2 Куда: 195251, Санкт-Петербург, ул, Политехническая, д, 29 Диссертационный совет Д 212.229.01 при Санкт-Петербургском политехническом университете им. Петра Великого Отзыв на автореферат диссертации Андрианова Николая Александровича «Плазменные процессы в технологии НЕМТ транзисторов на основе 1И-нитридов», представленной на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук (специальность 01.04.04 — физическая электроника) Диссертация Андрианова Н. А.

посвящена исследованию влияния параметров плазмы газового разряда на свойства поверхности Оай в условиях технологии создания НЕМТ транзисторов на основе И!-нитридов. Электронная элементная база на основе И1-нитридов по целому ряду своих характеристик превосходит традиционные аналоги на основе кремния, арсенида галлия и карбида кремния, что обусловлено набором уникальных физических свойств 1И-нитридов. В технологии создания приборов на И1-нитридах важное значение имеют плазмохимические методы обработки поверхности, которые могут модифицировать поверхностный химический состав полупроводниковых структур и улучшить (или ухудшить) эксплуатационные характеристики получаемых приборов. Поэтому исследования направленные на изучение особенностей процессов протекающих в ходе воздействия плазмы газового разряда на 1И-нитридные структуры, а также оптимизация этих процессов являются, безусловно, актуальными для развития технологии современной элементной базы микроэлектроники.

Актуальность и привлекательность работы, представленной Андриановым Н. А., определяется следующими аспектами: В работе установлена взаимосвязь режима плазмохимической обработки поверхности НЕМТ структур на основе 1И-нитридов и эксплуатационными характеристиками транзисторов на А1Оа1517Оа1ч. Показано, что величина энергии ионов является существенным параметром обработки и непосредственно влияет на процессы, проходящие на поверхности структуры. Показано что оптимизация величины средней энергии ионов позволяет подобрать режим плазменной обработки не приводящий к образованию полимерных пленок на поверхности и эффективному удалению оксидной пленки, что приводит к существенному снижению сопротивления омических контактов к А1Оай/Оа(51 структурам.

Установлен режим плазмохимической обработки в емкостном газовом разряде в среде ЯЕ5 поверхности верхнего «сар-слоя» Оа(51 НЕМТ-структур на основе А1Оай!Оа(к), который приводит к существенному увеличению напряжения поверхностного пробоя А(Оай!Оа(к) НЕМТ структур. Показано, что увеличение напряжения поверхностного пробоя НЕМТ г. Санкт-Петербург ~ г.

москва 197374 ул О иков, д 4 кОРп г, л т Л оф гО9 ' 107045, Лщеупов пер, д 9 оф 1 Тел +7 1812) 493-24-80. ~ тел лвакс +7 и85) 725-24-во Фащ +7 18121 493-24-82 г. Новосибирск 830007,ул Коммунистинескав,д 35, кори а,оф 138 ЛО ииитЕК ЛиапнтИКаи, ИНН 7802400158, КПП 781401001, ОГРН 1077847530430. р С 40702810110000008098 В Ф ОПЕРУ БаНКа ВтБ ГПЯОГ В СаНКт ПвтЕРОУРтв т СаНК~- и и пмк пкипчптпк чп1птятпопппппппптпк п.лпп опп ок вгт ~ Я ~ ЯСН УУУУЗАГ,ГОГесГУ-8ГООР.ГО Дата: 26.11.2018 Страница 2 из 2 структур связано с уменьшением плотности поверхностных состояний за счет замещения поверхностной оксидной пленки 6а„О, на пленку типа 6аР„.

Продемонстрирована связь между параметрами ионной бомбардировки и их вариации за счет изменения частоты злектрического смещения подложки и токами насыщения получаемых НЕМТ-структур. Значительное внимание уделено разработке и созданию компактного планарного знергоанализатора для Г'п-БГ1ц диагностики газового разряда в условиях технологических установок плазмохимического травления. Разработанные диссертантом технологические плазменные процессы обработки поверхности успешно апробированы и внедрены в технологические маршруты создания НЕМТ транзисторов на основе Ш-нитридов в АО «Светлана-Рост», г. Санкт-Петербург. 5.

В качестве замечаний по автореферату можно отметить; 1. Из текста не очевидно какое экспериментальное или технологическое оборудование использовано диссертантом в работе и каковы его конструктивные особенности, что в определенной степени затрудняет обобщение приводимых результатов. 2. Из текста реферата не следует необходимость и целесообразность рассмотрения установок плазмохимического осаждения в контексте представленных исследований и их результатов. /Орлов Константин Евгеньевич/ Кандидат физико-математических наук Руководитель направления плазмохимического оборудования АО «Интек Аналитика» г.

Санкт-Петербург г. Москва ( г. Зеленоград 197374. Уп Оптикге, д4, кори 2, пиг А оф 209 107ОГ5, Ащеупоа пер„д 9, офт ! 124498, проеад 4922,д 4, стр 5 т 7;в гу 493-24180 теп геакс -7 Г495У 725-24-80 , Теп ГФакс +7 Г495У 725-24-80 Факс г-7 18121 493.24-82 АО кннгек Аналитика», ИНН 7802400158 КПП 781401001 ОГРН!077547530430 ргс 40702810110000008095 а Ф ОПЕРУ г. Новосибирск 830007 уп Коннунис и еоеи, д 35, кори З.огр 13а те гс акс +7 звз згв.уз.ву Банка ВТБ ГПАОГ а Санкт-Петербурге г Санкт- и и пик йккйтй7йь ." тйтг тятйоййййййййтйк Й.иййлййлк.пй " г иг, На основании вышесказанного считаю, что диссертация Андрианова Н. А.

удовлетворяет всем требованиям, предъявляемым ВАК к кандидатским диссертациям, а автор по своей квалификации, безусловно заслуживает присуждения ему ученой степени кандидата физикоматематических наук по специальности 01.04.04 — физическая электроника. .

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов диссертации

Свежие статьи
Популярно сейчас
Зачем заказывать выполнение своего задания, если оно уже было выполнено много много раз? Его можно просто купить или даже скачать бесплатно на СтудИзбе. Найдите нужный учебный материал у нас!
Ответы на популярные вопросы
Да! Наши авторы собирают и выкладывают те работы, которые сдаются в Вашем учебном заведении ежегодно и уже проверены преподавателями.
Да! У нас любой человек может выложить любую учебную работу и зарабатывать на её продажах! Но каждый учебный материал публикуется только после тщательной проверки администрацией.
Вернём деньги! А если быть более точными, то автору даётся немного времени на исправление, а если не исправит или выйдет время, то вернём деньги в полном объёме!
Да! На равне с готовыми студенческими работами у нас продаются услуги. Цены на услуги видны сразу, то есть Вам нужно только указать параметры и сразу можно оплачивать.
Отзывы студентов
Ставлю 10/10
Все нравится, очень удобный сайт, помогает в учебе. Кроме этого, можно заработать самому, выставляя готовые учебные материалы на продажу здесь. Рейтинги и отзывы на преподавателей очень помогают сориентироваться в начале нового семестра. Спасибо за такую функцию. Ставлю максимальную оценку.
Лучшая платформа для успешной сдачи сессии
Познакомился со СтудИзбой благодаря своему другу, очень нравится интерфейс, количество доступных файлов, цена, в общем, все прекрасно. Даже сам продаю какие-то свои работы.
Студизба ван лав ❤
Очень офигенный сайт для студентов. Много полезных учебных материалов. Пользуюсь студизбой с октября 2021 года. Серьёзных нареканий нет. Хотелось бы, что бы ввели подписочную модель и сделали материалы дешевле 300 рублей в рамках подписки бесплатными.
Отличный сайт
Лично меня всё устраивает - и покупка, и продажа; и цены, и возможность предпросмотра куска файла, и обилие бесплатных файлов (в подборках по авторам, читай, ВУЗам и факультетам). Есть определённые баги, но всё решаемо, да и администраторы реагируют в течение суток.
Маленький отзыв о большом помощнике!
Студизба спасает в те моменты, когда сроки горят, а работ накопилось достаточно. Довольно удобный сайт с простой навигацией и огромным количеством материалов.
Студ. Изба как крупнейший сборник работ для студентов
Тут дофига бывает всего полезного. Печально, что бывают предметы по которым даже одного бесплатного решения нет, но это скорее вопрос к студентам. В остальном всё здорово.
Спасательный островок
Если уже не успеваешь разобраться или застрял на каком-то задание поможет тебе быстро и недорого решить твою проблему.
Всё и так отлично
Всё очень удобно. Особенно круто, что есть система бонусов и можно выводить остатки денег. Очень много качественных бесплатных файлов.
Отзыв о системе "Студизба"
Отличная платформа для распространения работ, востребованных студентами. Хорошо налаженная и качественная работа сайта, огромная база заданий и аудитория.
Отличный помощник
Отличный сайт с кучей полезных файлов, позволяющий найти много методичек / учебников / отзывов о вузах и преподователях.
Отлично помогает студентам в любой момент для решения трудных и незамедлительных задач
Хотелось бы больше конкретной информации о преподавателях. А так в принципе хороший сайт, всегда им пользуюсь и ни разу не было желания прекратить. Хороший сайт для помощи студентам, удобный и приятный интерфейс. Из недостатков можно выделить только отсутствия небольшого количества файлов.
Спасибо за шикарный сайт
Великолепный сайт на котором студент за не большие деньги может найти помощь с дз, проектами курсовыми, лабораторными, а также узнать отзывы на преподавателей и бесплатно скачать пособия.
Популярные преподаватели
Добавляйте материалы
и зарабатывайте!
Продажи идут автоматически
6384
Авторов
на СтудИзбе
308
Средний доход
с одного платного файла
Обучение Подробнее