0730-concl (1144202), страница 3

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла (страница 3)

Оценка достоверности результатов исследования выявила, что: достоверность полученных результатов определяется использованием современных экспериментальных методик, воспроизводимостью результатов, а также согласием полученных результатов с существующими литературными данными. Все экспериментальные результаты получены на сертифицированном оборудовании: установка 1СР-В.1Е Сог1а1210В; установка ОхГогд 1пз~гпшеп1з Р1азта1.аЬ 80; установка для измерения спектров оптической эмиссии газового разряда Осеап Огсз; установка для проведения ХРЯ исследований поверхностного химического состава ТЬегпю Бйег Яс1епбйс Езса1аЬ 250Х1.

Представленные в диссертации параметры НЕМТ транзистора измерялись на характериографе Ке1Й1еу 1пз1гапеп1з, Полученные экспериментальные результаты воспроизводимы. Личный вклад соискателя состоит в непосредственном участии автора в постановке экспериментов и их проведении, а также в обработке и интерпретации полученных данных. Основные результаты, представленные в диссертационной работе, получены непосредственно автором. Автором разрабатывались технологические маршруты и режимы плазменных обработок, а также проводились электрофизичес кис измерения характеристик НЕМТ транзисторов на основе 1?1-нитридов.

Автором проводился анализ тестовых образцов методом ХРБ для определения изменений поверхностного химического состава в результате плазменных обработок. Автором спроектирован, разработан и создан планарный энергоанализатор. Выбор общего направления исследований, постановка рассматриваемых задач, обсуждение и обработка полученных результатов осуществлялась автором совместно с научным руководителем. Результаты исследований по теме диссертационной работы представлялись на международных конференциях лично соискателем, Подготовка публикаций в рецензируемых изданиях по теме диссертации, включающих основные защищаемые положения, проходила при непосредственном участии автора работы.

На заседании 13 декабря 2018 года диссертационный совет принял решение присудить Андрианову Николаю Александровичу ученую степень кандидата физико-математических наук по специальности 01.04.04 «Физическая электроника». При проведении тайного голосования диссертационный совет в количестве 18 человек, из них 7 докторов наук по специальности 01.04,04 «Физическая электроника», участвовавших в заседании, из 22 человек, входящих в тав:с6вета„":проголосовали: за 18, против О, недействительных г„:, „' .~.,":,",; бюллетене ."Йет,".';,~., '.'" ров Сергей Борисович Председател диссертацио Д 212.229.01 отков Александр Станиславович Ю(Я,йч~ Ученый секретарь диссертационного совета Д 212.229.01 .

Характеристики

Список файлов диссертации