071a-concl (1143637)
Текст из файла
ЗАКЛЮЧЕНИЕДИССЕРТАЦИОННОГО СОВЕТА Д 212.229.02, СОЗДАННОГОНА БАЗЕ ФЕДЕРАЛЬНОГО ГОСУДАРСТВЕННОГО АВТОНОМНОГООБРАЗОВАТЕЛЬНОГО УЧРЕЖДЕНИЯ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ«САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТПЕТРА ВЕЛИКОГО» МИНИСТЕРСТВА ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИРОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИПО ДИССЕРТАЦИИНА СОИСКАНИЕ УЧЕНОЙ СТЕПЕНИ КАНДИДАТА НАУКаттестационное дело № ________________________решение диссертационного совета от 27.09.2018 протокол №14О присуждении Конакову Степану Андреевичу, гражданину РФ, ученойстепени кандидата технических наук.Диссертация «Проектирование и расчет химических микрореакторовдля использования в технологии устройств микросистемной техники» поспециальности 05.27.06 – «Технология и оборудование для производстваполупроводников, материалов и приборов электронной техники» принята кзащите 26 июня 2018 года, протокол №13, диссертационным советомД 212.229.02 на базе Федерального государственного автономногообразовательного учреждения высшего образования «Санкт-Петербургскийполитехнический университет Петра Великого» Министерства образованияи науки Российской Федерации (ул.
Политехническая, д. 29, г. СанктПетербург, 195251), приказ о создании диссертационного совета 816 н/к от18.11.2013 года.Соискатель, Конаков Степан Андреевич, 1991 г. рождения, в периодподготовки диссертации (2013-2017 гг.) обучался в очной аспирантуре накафедре «Физико-химия и технологии микросистемной техники» институтаметаллургии машиностроения и транспорта Федерального государственного1автономного образовательного учреждении высшего образования «СанктПетербургскийполитехническийуниверситетПетраВеликого»Удостоверение о сдаче кандидатских экзаменов выдано в 2018 г.федеральным государственным автономным образовательным учреждениемвысшего образования «Санкт-Петербургский политехнический университетПетра Великого» Министерства образования и науки Российской Федерации.В 2013 году С.А.
Конаков с отличием окончил Федеральноегосударственноебюджетноеобразовательноеучреждениевысшегопрофессионального образования «Санкт-Петербургский государственныйполитехнический университет» с присуждением квалификации инженер поспециальности «Наноматериалы».Диссертация выполнена в Федеральном государственном автономномобразовательном учреждении высшего образования «Санкт-Петербургскийполитехнический университет Петра Великого» Министерства образованияи науки Российской ФедерацииНаучная специальность и отрасль науки, которой соответствуетдиссертация.Материалы диссертации соответствуют следующим пунктам паспортаспециальности 05.27.06 «Технология и оборудование для производстваполупроводников, материалов и приборов электронной техники»:п.1.
Разработка и исследование физико-технологических и физикохимических принципов создания новых и совершенствования традиционныхматериалов и приборов электронной техники, включая полупроводники,диэлектрики, металлы, технологические среды и приборы микроэлектроникии функциональной электроники.п.6.Исследованиеимоделированиефункциональныхиэксплуатационных характеристик оборудования, материалов и изделий по п.1, включая вопросы качества, долговечности, надежности и стойкости квнешним воздействующим факторам, а также вопросы эффективногоприменения.2Отрасль наук: технические науки.Научныйруководитель–кандидаттехническихнаук,Кржижановская Валерия Владимировна, гражданка РФ, доцент кафедрывысокопроизводительныхвычисленийфакультетаинформационныхтехнологий и программирования Санкт-Петербургского национальногоисследовательского университета информационных технологий, механики иоптики.Официальные оппоненты:1.
ГорбачевЮрийматематическихЕвгеньевич,наук,гражданинпрофессор,старшийРФ,докторнаучныйфизикосотрудник,руководитель отдела исследований ООО «Коддан Текнолоджис», г. СанктПетербург;2. Корляков Андрей Владимирович, гражданин РФ, доктор техническихнаук, директор НОЦ «Нанотехнологии», профессор кафедры микро- инаноэлектроникифедеральногогосударственногоавтономногообразовательного учреждения высшего образования Санкт-Петербургскийгосударственныйэлектротехническийуниверситет«ЛЭТИ»им.В.И.Ульянова, г.
Санкт-Петербургдали положительные отзывы о диссертации.Замечания официальных оппонентов:Горбачев Юрий Евгеньевич отмечает, что:1.Приведенные во второй главе оценки числа Кнудсена Kn~0,06соответствуютпереходномурежимутечения,когдаэффектыпроскальзывания и скачка температуры могут быть существенными,однако при численном анализе эти эффекты не анализировались.2.При исследовании влияния диффузии на работу микрореактора3утверждается, что вариация числа Шмидта определяет конкуренциюпроцессов массопереноса за счет диффузии и химических реакций. Темне менее, такой анализ удобнее проводить, используя второе числоДамкелера.
Анализ зависимости от этого параметра представляетбольшой интерес и дает важную информацию о вкладе различныхкомпонентов смеси в рост пленок.3.В пятой главе при записи химической модели ряд реакций записан какобратимые, однако приведены данные только для констант скоростейпрямых реакций.Корляков Андрей Владимирович в качестве основных замечаний отмечаетследующие:1.В тексте диссертации не указан программный пакет, использованныйдля моделирования процессов в микрореакторе, что важно дляобоснования достоверности полученных результатов моделирования.2.Текст диссертации, включающий 240 страниц, избыточно подробен,особенно в части описания выбора сетки для моделированияраспределенных гетерогенных процессов (глава 3).3.РазработкаконструкциимикрореакторовдляХОГФноситпредварительный, эскизный характер и требует конструкторской итехнологической доработки.4.Допущения при решении тепловой задачи в главе 6 носят ограниченныйхарактеринеучитываютособенноститеплопередачивмикромасштабах.Навсезамечанияофициальныхоппонентовсоискателемданыисчерпывающие ответы.Ведущая организация, Федеральное государственное бюджетноеобразовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский4государственный технологический институт (технический университет)", г.Санкт-Петербург, в своем положительном заключении, подписанномпрофессоромкафедрыхимическойнанотехнологиииматериаловэлектронной техники, доктором химических наук, профессором ЕжовскимЮрием Константиновичем и утвержденном проректором по научной работеСанкт-Петербургскогогосударственноготехнологическогоинститута(технического университета), доктором химических наук, профессоромАлександром Васильевичем Гарабаджиу, указала, что диссертационнаяработа Конакова С.А.
посвящена актуальной научной проблеме, являетсязаконченной научно-квалификационной работой, выполненной авторомсамостоятельно на высоком уровне, содержит новые научные результаты,имеет практическое применение.В отзыве подчеркнуто, что диссертационная работа Конакова С.А. поактуальности, научной новизне, практической значимости и уровнюпроведения исследования полностью соответствует всем требованиям ВАКРФ (в т.ч. пп. 9-10 «Положения о порядке присуждения ученых степеней»,утвержденного Постановлением правительства Российской Федерации от 24сентября 2013 г.
№842 (с изменениями Постановления от 28 августа 2017 г.N 1024), предъявляемым к кандидатским диссертациям, а её автор, КонаковСтепан Андреевич, заслуживает присуждения учёной степени кандидататехнических наук по специальности 05.27.06 — «Технология и оборудованиедля производства полупроводников, материалов и приборов электроннойтехники».В качестве основных замечаний в отзыве отмечено:1.В работе представлено несколько графиков, на которых при большихрадиусах показана скорость осаждения менее 1 нм/мин.
К сожалению,для них подробно не расписано, как эти данные соответствуютфизическому процессу осаждения тонкой пленки. Можно ли говорить о5вероятности нарушения сплошности пленки, ожидать смену механизмаеё роста в этих областях?2.В главе 5 при описании возможных конструкций микрореактора длялокального химического осаждения из газовой фазы не сказано онеобходимости и способе контроля давления в зазоре междумикрореактором и подложкой.
Этот момент достаточно важен, т.к.процесс ХОГФ является чувствительным к давлению.3.В главе 6 при описании технологии жидкостного анизотропноготравления кремния в микрореакторе в пластине кремний-на-стекле нерассматривается вопрос о влиянии напряженного слоя на границе.Исходя из описанной технологии анодного соединения пластин, можноожидать, что на границе кремния и стекла образуется промежуточныйслой оксида кремния. Из-за разницы в свойствах этих материалов впластине имеются остаточные напряжения, которые могут влиять как наскорость травления, так и, возможно, на анизотропию.
К сожалению,автор работы не уделил внимание этому вопросу.4.Для предложенной технологии жидкостного анизотропного травления вмикроканале приведены результаты расчетов и экспериментальныеданные о геометрии сечения канала, но практически ничего не сказано отом, существует ли изменение этого сечения вдоль оси канала.На все замечания и вопросы ведущей организации соискателем даныисчерпывающие ответы.Соискатель имеет 14 печатных работ по теме диссертации,опубликованных в реферируемых отечественных и зарубежных изданиях, втом числе в 12-х статьях в ведущих рецензируемых отечественных изарубежных журналах, входящих в список ВАК и базы данных Scopus,получено 3 патента РФ на полезную модель.
Характеристики
Тип файла PDF
PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.
Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
