071a-1-freview (1143628)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

oтзьIвнa aвтopефеpaT ДиссrpTaЦии Кoнaкoвa Степaнa AндpеевинaIIa TеМy кПpoeктиpoBaние и paсЧеT хиМическиХ МикpopеaкTopoBдЛя исПoЛьзoBal{ия BTrХнoЛoГии yстpoйстB микpoсистемнoй Tехники)' ПpеДсTaBJIеннoйнa сoискaние yuёнoйсTеПени КaшДИДaTaTехIlическиx нa}к Пo сПrциaJIЬI{oсTи 05.27 '06 -<TеxнoJIoгия иобopyдoвaнkIe ДЛЯrrpoиЗBoдстBa IloЛyПpoBoДникoB, MaТrpиzlЛoв и пpибopoB элекТpoннoйTеХники))CoвpeменнoеrrpoизBoдсTвo издeлиЙ MикpoэЛекTpoникии МикpoсистемнoйTlxI{икибaзиpyется нa xopoшo paзpaбoтaннoй технoЛoГии гpyПпoвoгo ПpoиЗBo.цcTBaс испoлЬзoBaIIиеМ MrToдoв фoтoлитoгpaфии и TpaBления. oДнaкo бypнoе paЗBИT'тe этoй oблaсTи B пoсЛе.цнеr BprМя, oсoбeннo B чaсTи paзpaбoтки МикpoМехal{ическихи микpoфлюи.цнЬIх оис-TеM, a Taкже crнcopoB, IIpиBеЛo к poсTy чисЛa paзнooбpaзHЬIх несТall.цapTнЬIx сTp}.кTyp' кo.TopЬIе зaTpy.цilиTеЛьнo иЗгoTaBЛиBaTЬ с Пpиме}IrHиeM TpaДициoHHЬIx TеХнoлoгий.

B этойсBязи aкTyirлЬнoй зaДaчeЙ яBлЯеTся IIoиск IIoBЬIх пpoиЗBoДсTBеIIньIх TехI{oЛoГий, пoзвoляющих pеaлизoBЬIBaTЬ IIеpспекTиBI{ЬIекol{сTpyктopские pешения. !иссеpтaциoннajlpaбo.Ta IIoсBящrHa oДнoМy иЗ Taкиx Texl{oЛoГичеcких }IaПpaвЛrнутЙ_ xутмиЧескиМ МикpopraкTopaМ .цЛЯoсyщrсTBЛеIIия ГеTеpoгенных Пpoцrссoв в гaзoвoй и яtидкoй фaзе, пoэтoМy aкTyaJIЬI{oсTЬвьIбpaннoй TeМЬI иссле.цoBaний сoмнений не BЬIзЬIBaеT.B кaчестве oc}IoBIIЬIхprзyЛЬTaToB .циссrpTaциoнной paбoтьt Мoжнo oTМeTиTЬ ПpеДлo)кеннЬIr МеToДЬI.цЛя[poекTиpoBa}Iия хиMиЧескиx МикpopеaкTopoв' нaйденньIе ЗaBисиМoстиПpoTекaющих в ниХ пpoцессoB oT TеxнoЛoгиЧеcких пapaМеTpoB.C пpaктинескoй Toчки зpения знaчиTеЛЬHьй pезyльTaT пpr.цсTaвляrT пpедлaгaемьrй вpaбoте спoсoб pе[IеHиЯ зaДaЧИ oIITиМизaции Пpoцессa хиМическoГo oсalкДения из гaзoвoйфaзьI c испoЛЬзoBaниеМ Микpopеaктopa.

[aнньIй пoдхoд ПoзBoJIяеTсyщесTBеIIнo yBеЛичиTЬэффективнoсTь ПpoBеДe:нkIЯэксПеpиМентaльнoй paботьr. Bнедpение этoй метo.цoЛoгии яBляrTся oЧенЬ ПеpспекTиBIIЬIМ, пocкoЛькy B пpoиЗBo.цственной пpaкTике нaхoж.цение oIITиМaJIЬI{ЬIхПapaMeTpoB oсa)к.цeния TOIIких Пленoк иЛи нaнoчaстиц яBJUIетOякpиTиЧеcки вa}кнЬIМ МoМеIIToМДЛя цеЛoГo pяДa yсTpoйств, нaпpиМеp кaTaЛиTичеcкиx гaзoBЬIx сенcopoB.I{енньrм нar{нЬIМ prзyЛЬTaToМ ДисcеpTaциoннoй paбoтьr ЯBЛЯеTcЯ.цеTaJIЬнoиссЛе.цoBaIIн.UITrxlioЛoгия )киДкoсTнoгo TpaBлrI{ия B Микpopеaктopе. BпоpBЬIе ПpеДЛoжeнньrй теx.нoЛoГический мapшpyT изгoToBЛeния сoBМeщеннЬIx MикрoкaнaЛoB B МнoгocЛoйньlхплa-сTинax I{е ToлЬкo oTЛичarTся пpoстoтoй и y.цoбсTBoМ, Ho и IIoзBoляrт фopмиpoвaTь МикpoкaнaЛЬньIе сTpyкTypЬI Ha IIлaсTиI{aх с paсПoЛo)кеннЬIми IIa ниx фyнкциoн€lJIьнЬIМи элеМенTtlМи.

Этo oткpьrBaеT I{oBЬIеBoзМoя{нoсTи пo paзpaбoткr сисTeМ микpофлloи.ЩIoгo oхлalкДснИЯ элrМеIIToB MикpoэлекTpoI{ики. oсoбеннoBar{tнo эTo c пpaкTическoй Toчки зpениЯ, BBиДy ПoсToяннo ПoBЬIrшaтощейсяпЛoTIIoсTи МoIITa)кapa.циoэЛrктpoннoй allпapaTypьI..{иссеpтaционнylopaбoтy КoнaкoвaC.A. oтличarT oсIloвaтельньrй пo.цxo.ц, BсrсTo-poннrе paсcмoTprние пpoблем.

,{oстoвеpнocTЬ гIoЛу{arN{ЬIхprзyЛЬTaтoB oбocIIoBЬIBarTcя иХсoгЛacoBal{нoсTЬIo и изBестньIМи ЛиTеpaTypнЬIМи .цaI{нЬIМи,BI{yTpеI{нrй непpoтиBoprчиBoсTь}o' a Taкжr испoлЬзoBaниеМ, TaМ г.це этo бьrлo BoзМoя{IIo' BaЛи.циpoBaIIнЬIxМеTo.цик исслr,цoBallия.

AвтopефеpaT нaПисal{ пoIIяTнЬIМ язЬIкoМ, снaбясен .цoсTaToчньIМ кoЛиЧесTBoМкaчесTBеIIныx илЛIoсTpaций.Мo>кнo oтМеTиTЬ IlедoсTaToк aвтopефеpaTa' кoTopьrй, oднaкo, не сни)кaет oбщей ценIloсTи paбoтьr, зaкЛ}oч€lЮщийся B oTсyTсTBии yПoМинaНvIЯ B IIеМ pешения пpoблемьI фopМиpoBal{ия BI{ешIниx BЬIBo.цoBк МикpopеaкTopilМ. Известнo нескoЛЬкo paзличнЬIx пo.цxо.цoBк иx pеaЛизaции и нr яснo кaкyto иMr}Iнo TехI{oлoгию пpе.цЛaтaеTисПoJIЬЗoBaTЬ aBTop, xoTяПpе.цсTaBЛrннЬIr экопеpиMеIITaЛьнЬIе ,цaнньIе o paбoте микpoфлroи.ЩlьIх оTp}TtTyp с я<и.цкoйфaзoй ПoзBoJIяIoToбocнoвaннo [pеДпoJIaГaTЬ, чTo эToT BoIIpoс бьlл pешен нa ПpaкTике.,{исоеpтaциoннЕUl paбoтa Кoнaкoвa Cтепaнa Aндpeевинa кПpoектиpoBal{ие и paсЧеTxиМическиx МикpopeaкTopoB .цл,I иcIIoЛЬзoBaIIия B TrхнoЛoГии yстpoйстB Микpoсистемнoйзaкoнченнoй нayuнo-квaлификaциoннoйTехники)) ЯвIIЯe^ГcЯaBтoрoМ, сoДеp)IиTIIOBЬIе нa)пrньIе pезyЛЬTaTьI' иМlеTpaбoтoй' BЬIIIoЛнeнЦoй личноПpиМенениепpaкTичrскoeиcooTBеТоTByеттpебoвallияМ кПoлoжения o пpисyж,цении гIеньIx стrпеней>.Coдеpжaниеaвтopефеpaтa.циссepTaции|1 oпyбликoвaнньIxpaбoтoTpaжaloToснoBI{ьIеПoЛoжeния,циссеpTaциoннoгo иссле.цoBaIIия.Aвтop,циccrpTaционнoйpaбoтьtКoнaкoвПрисРкДения y.rёнoй степени кaнДи.цaTa техничrсКиx-11fgкI6лoгияи oбоpyлoвallиеCтепaнAндpeевиuзaсЛy)киBaеTнayк Пo спeциaЛЬнoстиДЛя пpoизBo.цсTBa пoЛyПpoвoДникoв'05.27.06МaтepиaЛoB ипpибopoв эЛeкTрotlной тeхники>>.Пинaев BячеслaвBлaдимиpoви.rHaчaльник cекTopa пJIaIiapнЬжTеxIIoЛoгий, к.T.н.opгaнизaция:oткpьlтoеAкциoнеpнoеoбщество кAвaнГap.ц)'oAo <AвaнГap.ц)fl7,u,.-вfZa*сz*€*€ z сесс t,с Ф ..ст2ф И.3З"'i##.

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов диссертации