071a-6-freview (1143636)

Файл №1143636 071a-6-freview (Проектирование и расчет химических микрореакторов для использования в технологии устройств микросистемной техники)071a-6-freview (1143636)2019-06-23СтудИзба
Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

t-oTЗЬIBIIa aBTopефеpaтДиссrpTaции КOHAкOBACтепaнa Aндpеевиua<<ПpoектиpoBaние и paсЧrT хиlvlиЧrских МикpopеaкTopoв ДЛяlvlикpoсисTrшIнoйyсTpoйсTBисПoЛЬЗoBaIIия B TrхнoЛoгииTrxники>>нa сoискaниr yчeнoй с.гrIIrHи кaнДиДaTa TrхниЧeскихrrayк Пo сПециaЛьнoсTи 05.27.06- TrхIIoЛoгия и oбopyДoBaниr ДЛяMaTеpиaЛoB I| Прибopo3ПpoизBo.цсTBa ПoЛyПpoBoДнllкoB'ЭЛекTpoннoй TrхHики.aкTyа"TЬI{oЙ зaДaчи'{исcеpтaция Кoнaкoвa C.A. rroсBященa prшrниiоMaTеpиirЛoBTpaBЛениЯpaзpaбoтки I{oBЬIх TехнoЛoГий лoкaльнoгo oсa}к.ценИЯИЛI4и}ITегpaлЬнЬIxпpoизBoДсTBa ПoЛyПpo3o.цникoBьIх пpибopoв,B ПpoцrсcrчToсooTBетсTByеT(MЭMC),МикpoсxrМ и Микpo-эЛrкTpoМrxaниЧескиx сисTеМПaспopTy сrrrциaЛЬнoсTи 05'21.06 - TехIIoлoгия И oбopy,Цoвaние ДЛяПpoизBoДсTBa ПoЛyПpoBoДI{икoB' МaTеpиaЛoB и пpибopoв эЛекTpol{нoй теxники.B слyuaях кoг.цa Tpa.цициoннЬIe TrxнoJIoГии oсaж.цения и ТpaBЛения МaTеpиaJIoB'oсI{oBaIIнЬIе нa фopмиpoвallии зaщиTI{ЬIx Мaсoк МеTo,цoМ фoтoлитoгpaфии, неaBTop Пpе.цлaгaеT исIIoЛЬзoBaTЬ специaПЬнЬIепpиМениМьIМoГyT бьlтьMикpopraкTopЬI, yсTaIiaBЛиBaеМЬIr в тpебyемoе МесTo ПoлyПpoBoДникoвoйIIЛaсTиI1ЬI.Taкoй пoДхo,ц Mo)кеT исПoЛЬзoBaTЬся Пpи иЗгoToBлении r,циничI{ЬIхoбpaзцoв yникaJIЬIIЬIхyстpойсTB и в Пpoцессr нayчнo-исслrДoBaTrлЬскиx paбoтпo paзpaбoTке IIoBЬIх пpибopoB Микpoсистeмнoй Trхнике.

B связи с низкoйIIpoизBo.циTrJIЬIIocTЬIоTaкoГo ПoДxo.цa rгo ПpиМrнение B МacсoBoМ ПpoизBoДcTBrкpaйне oгpal{ичrнo.oснoвнoй yПop B ,циссrpTaцИИ ДeЛaeТcЯ Ha MoTo,цЬI МaTrNilaTическoгoN{o.цeЛиpoBaЯI4ЯДЛЯ paсЧеTa и oпTиМизaЦИИ napaМеTpoB МикpopеaкTopoB .цЛяxиМическoГo oоant,цrnИЯ уIз гaзoвoй фaзьr и }ки.цкoсTIIoГo TpaBЛеI{ия.

B глaве 3aBTop paзpaбoтaл и oбoснoвaJl МaTrМaTическyю МoДlЛЬ, oписьIBaIoщyю физикoB МикpopraкTopеДЛЯ JIoкaJTЬI{oгoПpoцессЬI' ПpoTекaющиехиМическиroсaж.цеIiия МaTrpиaЛoB из гaзoBoй фaзьi. B глaве 4 и глaве 5 aвтop ПpиМrниJIIIoсTpoеннyЮ Мo,цrЛЬ ДЛЯ иссЛеДoBaI{ия oсalк.цения Из гaзoвoй фaзьl BoсесиМMец)ичI{oM МикpopеaкTopе B зaвисиMoсTи oT пapaМеTpoB ПpoцессaснaчaЛa в oбщем в.klДe,a зaTrМ ПpиМеIIиTелЬнo к pеaкцияМ oсaж'цения кpеMния иapсениДa гaлЛия. B ГЛaве 6 aвтop paоcМaTpиBaеT aI{aJIиTическyЮ Mo.цеЛЬхtиДкoсTнoГo TpaBЛения кpеМния B МикpopraкTopr и пpиBo,циT prзyjIЬTaTЬI ееэкспеpиМrl{TaЛЬнoй тrpoBrpки.Cледyет oTМеTиTЬ' ЧTo aBTop Пpr.цЛaГaеT пrpспrкTиB}IЬIе BapиaнTЬIПpиМrнrния ПprДлoжeннЬIх иМ кoнcTpyкций микpopraкToрoB. B чaстнoсти в 7гЛaBr ПpеДЛoя(енo испoЛЬзoBaTЬ TехI{oJIoгиIoaнизoTpoпнoГo TpaBлeния кpeМния.цЛясoз.цaнИЯ ДuTЧI4КaдиффеpенциaЛЬнoгo ДaBЛеI{иянa oсI{oBе микpoфлroи.цнoгoМoсTa Уинстoнa и TепЛoпpoBo.цящrГo Мo,цyJUI нa oсIIoBе TеПJIoBЬIх тpyбoк'Изoбpетения aBTopa ЗaщищrнЬI пaтентaми PФ.К aвтоpефеpaT.y ДиссrpTaцI{и иМrк)Tся сЛr.Цyющиe Зaшrrчaния :1.

B paбoте нr yкaзaнo кaк oПреДеЛяTЬ ПapaМеTp пpoскЕUIЬзЬIвaния ДЛЯМoДелиpoBaния кoнкpеTHoГo TеХнoЛoгическoгo Пpoцессa. 14з TексTaaвтopефеpaTa I{r яснo исПoлЬзoвiulся Ли пapaМrTp IIpoскaЛьзЬIBaния пpиoTlИcaНI4уLПpoцrсcoBxиMичrскoГo oсa)к,ценI4ЯИTpaBrIения B МикpopraкTopax.2 . B paбoTе oTсyTсTByrT сpaB}Irниr ПapaМеTpoB ПpoцrссoB oсaж,цения И5.TpaвJIеIIия МaTеpиaЛoB B МикpopеaкTopax с ПapaМеTpaМи aнaлoгичныxпpoцеосoB B TpaДициoннЬIх реaкTopax ' Из-зa эToГo невoЗМoжI{o oцениTЬсЛo}кнoсTЬ aДan.IaЦ|4|4 кoIIкprTIIoГo Tеxl{oлoГиЧrcкoгoпpoцrссaДЛяпpиМенeния B МикpopraкTopr.Aвтopoм пpе.цЛoх(енo фopмиpoBallиr MикpoреaкTopoB с IIoMoщЬЮ МеToДazlнo.цнoГo сBяЗЬIBaния кprМния сo cTrклoМ, ЧTo I{aкJIaДЬIBaеTсyщeсTBеIIнЬIеoгpaничения нa oблaсть иx пpиМенeния BBиДy нrpzrзЪeМнoсTи TaкoГoсoeдинrния.

'.{pyгие BapиaIITЬI peaлиЗaции МикpopеaкTopoB в paбoте неIIpедсTaBленЬI и эксПеpиМенTaJIЬнo не иссле.цoBaIIЬI.B целoм yкaзaнIrЬIе ЗaMеЧaния нoсяT в бoльшeй сTепени pекoМенДaTельньrйxapaкTep и нaпpaBлеI{ЬI нa ,цaльнейшее paзBиTие paбoтьr и ее ПpaкTиЧrскoеиспoлЬзoвal{иr пpи сoз,цaнии yстpoйств МикpocисTемнoй TеХники. .{иссеpтaцияяBJUIеTся сaМoсToяTелЬнЬIМ' зaкoнчeннЬIМ 14 aкTyaлЬнЬIМ иссЛе.цoBal{иlМ'BЬIIIoлненнЬIМ нa BЬIсoкoМ нayЧI{oМ ypoBне. oснoвньIе pезyЛьTaTЬI ДиссrpTaцииoпyбликoвaнЬI B 12 сTaTЬяx B )кypнiulax' BxoДящих B IIеprчень BAК илиин,цeксирyеMЬIх Sсopus' и ПpеДсTaBлеIIЬIнa Mехqцyнapo.цнЬIxкoнфеpенцияx.flисcеpтaция ПoЛнoсTЬIo oTвечarT BсеM тpебoвaнияM II.

9 кПoлoжени,l o[pисyя(.цении yченЬIx сTrпеней> (yтв. ПостaнoвлениеМ Пpaвительствa PФ oт24'09'20|Зг. J\Ъ842, prД. oT 28.О8.2О17г.), пpедъявляеМЬIМк ДиссеpTaцияМнaсoиокaние y.rенoй сTrПrни кaнДиДaTaнayк' a ее aBTop КoHAКoB CтепaнAндpеевиv зaслy}киBaеT Пpисyх(Дения yченoй степени кaнДиДaTa Teхническиxнayк Пo специЕrлЬнocти 05,27.06 _ теxнoлoгии и oбopyдoBill{ие ДЛя ПpoизBo,цсTBaпoJryПpoBo.цI{икoB,МaTrpиaлoв и пpибopoB элекTpoннoй теxники.HayнньIй сoTpyДник лaбoрaтopии нaнoбиoтехнoлoгий,-,l o^, \нaнoбиoтеxнoлoгий.цoцеIIT кaфедpьIСaнкт{IS- Ч ( --'Петеpбypгскoгo нaциoнuulьнoгo иссЛеДoвaTелЬскoгo/ LAкaдеминеcкoГoyнивеpсиTетaPAH, к.ф.-м.н.A.C. Бyкaтин|9402I, Caнкт-Петеpбypг,yл. Хлoпи ттa8l З лит.Aтел.8 (812)448-69-80еmail:offiсе@spbau.ruaшцr|а,с/J,Lrf /,Lo rr?f/аe}/.

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов диссертации

Свежие статьи
Популярно сейчас
А знаете ли Вы, что из года в год задания практически не меняются? Математика, преподаваемая в учебных заведениях, никак не менялась минимум 30 лет. Найдите нужный учебный материал на СтудИзбе!
Ответы на популярные вопросы
Да! Наши авторы собирают и выкладывают те работы, которые сдаются в Вашем учебном заведении ежегодно и уже проверены преподавателями.
Да! У нас любой человек может выложить любую учебную работу и зарабатывать на её продажах! Но каждый учебный материал публикуется только после тщательной проверки администрацией.
Вернём деньги! А если быть более точными, то автору даётся немного времени на исправление, а если не исправит или выйдет время, то вернём деньги в полном объёме!
Да! На равне с готовыми студенческими работами у нас продаются услуги. Цены на услуги видны сразу, то есть Вам нужно только указать параметры и сразу можно оплачивать.
Отзывы студентов
Ставлю 10/10
Все нравится, очень удобный сайт, помогает в учебе. Кроме этого, можно заработать самому, выставляя готовые учебные материалы на продажу здесь. Рейтинги и отзывы на преподавателей очень помогают сориентироваться в начале нового семестра. Спасибо за такую функцию. Ставлю максимальную оценку.
Лучшая платформа для успешной сдачи сессии
Познакомился со СтудИзбой благодаря своему другу, очень нравится интерфейс, количество доступных файлов, цена, в общем, все прекрасно. Даже сам продаю какие-то свои работы.
Студизба ван лав ❤
Очень офигенный сайт для студентов. Много полезных учебных материалов. Пользуюсь студизбой с октября 2021 года. Серьёзных нареканий нет. Хотелось бы, что бы ввели подписочную модель и сделали материалы дешевле 300 рублей в рамках подписки бесплатными.
Отличный сайт
Лично меня всё устраивает - и покупка, и продажа; и цены, и возможность предпросмотра куска файла, и обилие бесплатных файлов (в подборках по авторам, читай, ВУЗам и факультетам). Есть определённые баги, но всё решаемо, да и администраторы реагируют в течение суток.
Маленький отзыв о большом помощнике!
Студизба спасает в те моменты, когда сроки горят, а работ накопилось достаточно. Довольно удобный сайт с простой навигацией и огромным количеством материалов.
Студ. Изба как крупнейший сборник работ для студентов
Тут дофига бывает всего полезного. Печально, что бывают предметы по которым даже одного бесплатного решения нет, но это скорее вопрос к студентам. В остальном всё здорово.
Спасательный островок
Если уже не успеваешь разобраться или застрял на каком-то задание поможет тебе быстро и недорого решить твою проблему.
Всё и так отлично
Всё очень удобно. Особенно круто, что есть система бонусов и можно выводить остатки денег. Очень много качественных бесплатных файлов.
Отзыв о системе "Студизба"
Отличная платформа для распространения работ, востребованных студентами. Хорошо налаженная и качественная работа сайта, огромная база заданий и аудитория.
Отличный помощник
Отличный сайт с кучей полезных файлов, позволяющий найти много методичек / учебников / отзывов о вузах и преподователях.
Отлично помогает студентам в любой момент для решения трудных и незамедлительных задач
Хотелось бы больше конкретной информации о преподавателях. А так в принципе хороший сайт, всегда им пользуюсь и ни разу не было желания прекратить. Хороший сайт для помощи студентам, удобный и приятный интерфейс. Из недостатков можно выделить только отсутствия небольшого количества файлов.
Спасибо за шикарный сайт
Великолепный сайт на котором студент за не большие деньги может найти помощь с дз, проектами курсовыми, лабораторными, а также узнать отзывы на преподавателей и бесплатно скачать пособия.
Популярные преподаватели
Добавляйте материалы
и зарабатывайте!
Продажи идут автоматически
6418
Авторов
на СтудИзбе
307
Средний доход
с одного платного файла
Обучение Подробнее