071a-6-freview (1143636)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

t-oTЗЬIBIIa aBTopефеpaтДиссrpTaции КOHAкOBACтепaнa Aндpеевиua<<ПpoектиpoBaние и paсЧrT хиlvlиЧrских МикpopеaкTopoв ДЛяlvlикpoсисTrшIнoйyсTpoйсTBисПoЛЬЗoBaIIия B TrхнoЛoгииTrxники>>нa сoискaниr yчeнoй с.гrIIrHи кaнДиДaTa TrхниЧeскихrrayк Пo сПециaЛьнoсTи 05.27.06- TrхIIoЛoгия и oбopyДoBaниr ДЛяMaTеpиaЛoB I| Прибopo3ПpoизBo.цсTBa ПoЛyПpoBoДнllкoB'ЭЛекTpoннoй TrхHики.aкTyа"TЬI{oЙ зaДaчи'{исcеpтaция Кoнaкoвa C.A. rroсBященa prшrниiоMaTеpиirЛoBTpaBЛениЯpaзpaбoтки I{oBЬIх TехнoЛoГий лoкaльнoгo oсa}к.ценИЯИЛI4и}ITегpaлЬнЬIxпpoизBoДсTBa ПoЛyПpo3o.цникoBьIх пpибopoв,B ПpoцrсcrчToсooTBетсTByеT(MЭMC),МикpoсxrМ и Микpo-эЛrкTpoМrxaниЧескиx сисTеМПaспopTy сrrrциaЛЬнoсTи 05'21.06 - TехIIoлoгия И oбopy,Цoвaние ДЛяПpoизBoДсTBa ПoЛyПpoBoДI{икoB' МaTеpиaЛoB и пpибopoв эЛекTpol{нoй теxники.B слyuaях кoг.цa Tpa.цициoннЬIe TrxнoJIoГии oсaж.цения и ТpaBЛения МaTеpиaJIoB'oсI{oBaIIнЬIе нa фopмиpoвallии зaщиTI{ЬIx Мaсoк МеTo,цoМ фoтoлитoгpaфии, неaBTop Пpе.цлaгaеT исIIoЛЬзoBaTЬ специaПЬнЬIепpиМениМьIМoГyT бьlтьMикpopraкTopЬI, yсTaIiaBЛиBaеМЬIr в тpебyемoе МесTo ПoлyПpoBoДникoвoйIIЛaсTиI1ЬI.Taкoй пoДхo,ц Mo)кеT исПoЛЬзoBaTЬся Пpи иЗгoToBлении r,циничI{ЬIхoбpaзцoв yникaJIЬIIЬIхyстpойсTB и в Пpoцессr нayчнo-исслrДoBaTrлЬскиx paбoтпo paзpaбoTке IIoBЬIх пpибopoB Микpoсистeмнoй Trхнике.

B связи с низкoйIIpoизBo.циTrJIЬIIocTЬIоTaкoГo ПoДxo.цa rгo ПpиМrнение B МacсoBoМ ПpoизBoДcTBrкpaйне oгpal{ичrнo.oснoвнoй yПop B ,циссrpTaцИИ ДeЛaeТcЯ Ha MoTo,цЬI МaTrNilaTическoгoN{o.цeЛиpoBaЯI4ЯДЛЯ paсЧеTa и oпTиМизaЦИИ napaМеTpoB МикpopеaкTopoB .цЛяxиМическoГo oоant,цrnИЯ уIз гaзoвoй фaзьr и }ки.цкoсTIIoГo TpaBЛеI{ия.

B глaве 3aBTop paзpaбoтaл и oбoснoвaJl МaTrМaTическyю МoДlЛЬ, oписьIBaIoщyю физикoB МикpopraкTopеДЛЯ JIoкaJTЬI{oгoПpoцессЬI' ПpoTекaющиехиМическиroсaж.цеIiия МaTrpиaЛoB из гaзoBoй фaзьi. B глaве 4 и глaве 5 aвтop ПpиМrниJIIIoсTpoеннyЮ Мo,цrЛЬ ДЛЯ иссЛеДoBaI{ия oсalк.цения Из гaзoвoй фaзьl BoсесиМMец)ичI{oM МикpopеaкTopе B зaвисиMoсTи oT пapaМеTpoB ПpoцессaснaчaЛa в oбщем в.klДe,a зaTrМ ПpиМеIIиTелЬнo к pеaкцияМ oсaж'цения кpеMния иapсениДa гaлЛия. B ГЛaве 6 aвтop paоcМaTpиBaеT aI{aJIиTическyЮ Mo.цеЛЬхtиДкoсTнoГo TpaBЛения кpеМния B МикpopraкTopr и пpиBo,циT prзyjIЬTaTЬI ееэкспеpиМrl{TaЛЬнoй тrpoBrpки.Cледyет oTМеTиTЬ' ЧTo aBTop Пpr.цЛaГaеT пrpспrкTиB}IЬIе BapиaнTЬIПpиМrнrния ПprДлoжeннЬIх иМ кoнcTpyкций микpopraкToрoB. B чaстнoсти в 7гЛaBr ПpеДЛoя(енo испoЛЬзoBaTЬ TехI{oJIoгиIoaнизoTpoпнoГo TpaBлeния кpeМния.цЛясoз.цaнИЯ ДuTЧI4КaдиффеpенциaЛЬнoгo ДaBЛеI{иянa oсI{oBе микpoфлroи.цнoгoМoсTa Уинстoнa и TепЛoпpoBo.цящrГo Мo,цyJUI нa oсIIoBе TеПJIoBЬIх тpyбoк'Изoбpетения aBTopa ЗaщищrнЬI пaтентaми PФ.К aвтоpефеpaT.y ДиссrpTaцI{и иМrк)Tся сЛr.Цyющиe Зaшrrчaния :1.

B paбoте нr yкaзaнo кaк oПреДеЛяTЬ ПapaМеTp пpoскЕUIЬзЬIвaния ДЛЯМoДелиpoBaния кoнкpеTHoГo TеХнoЛoгическoгo Пpoцессa. 14з TексTaaвтopефеpaTa I{r яснo исПoлЬзoвiulся Ли пapaМrTp IIpoскaЛьзЬIBaния пpиoTlИcaНI4уLПpoцrсcoBxиMичrскoГo oсa)к,ценI4ЯИTpaBrIения B МикpopraкTopax.2 . B paбoTе oTсyTсTByrT сpaB}Irниr ПapaМеTpoB ПpoцrссoB oсaж,цения И5.TpaвJIеIIия МaTеpиaЛoB B МикpopеaкTopax с ПapaМеTpaМи aнaлoгичныxпpoцеосoB B TpaДициoннЬIх реaкTopax ' Из-зa эToГo невoЗМoжI{o oцениTЬсЛo}кнoсTЬ aДan.IaЦ|4|4 кoIIкprTIIoГo Tеxl{oлoГиЧrcкoгoпpoцrссaДЛяпpиМенeния B МикpopraкTopr.Aвтopoм пpе.цЛoх(енo фopмиpoBallиr MикpoреaкTopoB с IIoMoщЬЮ МеToДazlнo.цнoГo сBяЗЬIBaния кprМния сo cTrклoМ, ЧTo I{aкJIaДЬIBaеTсyщeсTBеIIнЬIеoгpaничения нa oблaсть иx пpиМенeния BBиДy нrpzrзЪeМнoсTи TaкoГoсoeдинrния.

'.{pyгие BapиaIITЬI peaлиЗaции МикpopеaкTopoB в paбoте неIIpедсTaBленЬI и эксПеpиМенTaJIЬнo не иссле.цoBaIIЬI.B целoм yкaзaнIrЬIе ЗaMеЧaния нoсяT в бoльшeй сTепени pекoМенДaTельньrйxapaкTep и нaпpaBлеI{ЬI нa ,цaльнейшее paзBиTие paбoтьr и ее ПpaкTиЧrскoеиспoлЬзoвal{иr пpи сoз,цaнии yстpoйств МикpocисTемнoй TеХники. .{иссеpтaцияяBJUIеTся сaМoсToяTелЬнЬIМ' зaкoнчeннЬIМ 14 aкTyaлЬнЬIМ иссЛе.цoBal{иlМ'BЬIIIoлненнЬIМ нa BЬIсoкoМ нayЧI{oМ ypoBне. oснoвньIе pезyЛьTaTЬI ДиссrpTaцииoпyбликoвaнЬI B 12 сTaTЬяx B )кypнiulax' BxoДящих B IIеprчень BAК илиин,цeксирyеMЬIх Sсopus' и ПpеДсTaBлеIIЬIнa Mехqцyнapo.цнЬIxкoнфеpенцияx.flисcеpтaция ПoЛнoсTЬIo oTвечarT BсеM тpебoвaнияM II.

9 кПoлoжени,l o[pисyя(.цении yченЬIx сTrпеней> (yтв. ПостaнoвлениеМ Пpaвительствa PФ oт24'09'20|Зг. J\Ъ842, prД. oT 28.О8.2О17г.), пpедъявляеМЬIМк ДиссеpTaцияМнaсoиокaние y.rенoй сTrПrни кaнДиДaTaнayк' a ее aBTop КoHAКoB CтепaнAндpеевиv зaслy}киBaеT Пpисyх(Дения yченoй степени кaнДиДaTa Teхническиxнayк Пo специЕrлЬнocти 05,27.06 _ теxнoлoгии и oбopyдoBill{ие ДЛя ПpoизBo,цсTBaпoJryПpoBo.цI{икoB,МaTrpиaлoв и пpибopoB элекTpoннoй теxники.HayнньIй сoTpyДник лaбoрaтopии нaнoбиoтехнoлoгий,-,l o^, \нaнoбиoтеxнoлoгий.цoцеIIT кaфедpьIСaнкт{IS- Ч ( --'Петеpбypгскoгo нaциoнuulьнoгo иссЛеДoвaTелЬскoгo/ LAкaдеминеcкoГoyнивеpсиTетaPAH, к.ф.-м.н.A.C. Бyкaтин|9402I, Caнкт-Петеpбypг,yл. Хлoпи ттa8l З лит.Aтел.8 (812)448-69-80еmail:offiсе@spbau.ruaшцr|а,с/J,Lrf /,Lo rr?f/аe}/.

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов диссертации