071a-1-opreview (1143630)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

oTзЬIBoфициaлЬнoгo oппoнент a Ha Дvlccеpтaциoннyro paбoтy КoHAкoBACтeпaнaХиМиЧЕCкIД(PACчЕTWкПPOЕКTИPOBAFIИЕMИкPoPЕAкТoPoB ДЛЯ ИCПOЛЬЗOBA}IИ,I B TЕХнoЛoГI.MyCTPOЙCTB МиКPoCИсTЕМнoЙк зaщиTетвxtлдсИ>, пpeдсTaBЛеIIнyЮAндpеeви.laнa сoискaуIИe 1^rенoйсTеПени кaн,ци.цaTaTeхничrскиx нayк Пo сПециzLIIЬнoсTи05.27.06 - TеxIIoЛoГиЯ и oбopyлoBalIие дJIЯ ПpoиЗBo.цсTBaПoЛyпpoBo.цникoB,MaTеpиzlJIoви пpибopoB эЛекTpol{нoй теxники.Paзвитие TexнoЛoГий сoз,цaния сoBpеMеIIньIх yстpoйстB эЛекTpoннoй иМикpoсистемнoй TехI{ики (сoздaние фyнкциoн€шIЬнЬIx слoеB нa llrПЛaнapньIxIIoBеpxI{oсTяx И ToIIкиx МеМopaнax, сrpиинoе ПpoизBo.цсTBo ЧиПoB сpисyнкa) тpебyет BЬIПoЛнения oпеpaцийkIIIДИBI4ДУaльнoй тoпoлoгиeйHa Лoк€tЛЬнЬIxr{aсTкax Пoвеpxнoстей с xapaктеpнЬIМиoсaж.цения/тpaвленИЯpurзМеpaМи oT е.циниц .цo сOTеII МикpoIIoB' чTo B cBolo oЧеpe.цЬ' Tpес)yеTПеpспекTивнoйHaибoлеeтеxнoлoгий.исПoЛьзoвla;нИe безмaсочньrxтеxнoлoгиейкJIaссa зaДaЧ яBЛяеTся paзpaбoткaoПpе.цеJIяrTМикpopеaкTopoB.ЭтoДлЯ TaкoГoжи.цкoсTItЬIxгaзoфzBIIЬIx kIaкTYaЛьнoсTьиссЛе.цoBaнИeнaнaцеленнoЙpaсcМaTpивaемoй.циссеpTaции'зaкoнoМеpностейПpoцессoB xиMическoГo oсaждeниЯ И TpaBЛеI{ияB TaкoгopoДa yстpoйстBax' paзpaбoткy МeTo.цик иx ПpoeкTиpoBallиЯ и paсЧeTa' a TaкхtеHa Пoиск oблaстей иx пpaкTиЧескoгo пpиМенеHиll B TеxIIoЛoГии ПpoизBo.цсTBayсщoйстB эЛекTpoннoй и Микpoсистемной TеxIlики.C ПoМoщЬЮ сoздaннoй C.A.

КoнaкoBьIМ МеToДики и paзpaбoтaннoйaн€ ш IиTическoй MoдеЛи нaйденьr yсЛoBиЯ' спoсoбстByloщие ПpoBеДениюЧTo oсHoBI{ЬIМycЛoBиеI\,I,цЛяЛoкЕlJIЬнЬIxГеTеpoГеннЬIx ПpoцrссoB' BЬIЯBЛеIIO,oсa)кдениЯ ЯBIIЯeTcЯ ЛиМиTиpoBaIIие Пpoцrссa диффyзиилoк€lJlизaцииpaбoтьl Пpе.цЛoжeнaaкTиBIIЬIx кoМrroненToB к ПoBrpк{oсTи. AвтopoмкoIIсTpyкциЯ МикpopеaкTopa ДЛя лoк€tПьнoгo хиMическoгo oсa)к.цения 14Згaзoвoй фaзьI, paзpaбoтaнa И ЭксПеpиМеIIT€ L [ьнo ПpoBеpeнa TeхнoЛoгия)ки.цкoсТнoГo TpaBЛениЯ кprМния B МикpopeaкTopе и ПoкaЗaнo сyщrсTBoBaниеМaксиМ€tJIЬI{o .цoгryстимoй TeMПеpaTypьI Пpoцесcц fIpИ ПpeBЬIшrнии котopoйсисTеМa Пеpеxo.циT B pе)киМ сaMop€lзoЦpеBa.

Bсе этo oПpе.цrляеT щlцyДgIroBизIryBЬII]OЛHеIIнOи pa0oTЬI.Итoгaмиpaбoтьl яBЛяIoTся ЗaкoнoМеpнoсTи, IIoЛy{еннЬIе Нa oсIIoBеoсa}к.цеHиЯ изПpoцесс ЛoкzшIьнoГo ХиMиЧескoГooписьIвaroщейгaзoвoй фaзьr B МикpopеaкTopе с оДIIиM ценTp€lJIЬнЬIМ кaII€lJIoМ' Пpе'цJlo)кеннaякoнстpyкция МикpopеaкTopa с o.цниМ цеIITp€IJIЬIIЬIM кaII€lJIoМ и МeTo.ц pешениЯЗaДaЧИ oптиМиЗaции Tеxl{oлoгиЧeскoгo пpoцессa xиМическoгo oсa)к ДeIlklЯ kIЗгазoвoй фaзьr, TrxнoЛoГиЯ )кидкoсTнoГo aниЗoтpoПнoГo TpaBЛeIIиЯ кpеМния BМикpopеaкTopе, a Taкже спoсoб сoЗ.цaния l\ликpoкaнalloB с кoIITpoЛиpyrМЬIMМo.цеЛи'Ги.цpaBЛичeскиМ сoПpoTиBЛениеМ B МнoГoсЛoиHЬIx сТpyкTypax кpeМнИИ-Ha-сTекJIеи кoнсTpyкцияМикpoфлЮи.цнoГoМoсTикaУинстoнa ДЛЯПpиМеHенияBсисTeМе изМepенЦя диффepенци€LпЬнoгo .цaBЛеI{ия.Пo peзyлЬTaтaм paбoтьIпoJIyченьITpи ПaTeнтa.

Этo и oПpeДеJIЯeTнaYчнoe и ПpaкTическoе зHaЧеHиеДиссеpTaции.КoмплекснoeисПoЛЬЗoBaниe p€ B ЛичнЬIx МеTo.цик иссЛе.цoBalнИЯ)BкЛIoЧaЮщиx кaк paзpaбoткy aн€rЛиTиЧескиx МaTrМaTичrских мoдeлей, Taк ичисленнoеМo.цеЛиpoBaIIие, a TaЮкrсoBПaДениеpезyЛЬTaToB paсЧеToBсиссЛе.цoBaтелейkт эксПеpиМeIITaлЬнЬIМиДaHнЬIМиДpyгиХ.цaннЬIМиобеспeчиBaIoT ДoсToBepнoсTЬ IIoлr{еннЬIx pеЗyЛЬTaToB и с.цеЛaннЬIx BЬIBoДoBи pекoМен.цaций.Paссмoтpим бoлее пoдpoбно pеЗyЛЬTaTьIpaбoтьI.BoBBеДеHииобoснoвaнaaкTy€ l JIЬнoсTЬисследyемoйTеМaTики'сфopмyлиpoBaнЬI цеЛи иссле.цoBaъIуIЯИ ЗaДaЧИ' pеrrlеHие кoТopЬIx сoсTaBиЛooснoBIIoе сo.цep)кaние paботьr. Taм )кr сфоpмyлиpoBaнЬI ПoЛo)кeния'BЬIHOсиМЬIе нa ЗaщиTy'a TaЮкr нa).чн€U{ IIoBиЗнa и ПpaкTическaЯ ЗнaЧиМoсTЬpaooTЬI.B пеpвoй гЛaBе .цarTся paзBеpнyтьrй aнa.пиЗисПoЛЬзyеМЬIx B IIaсToящееBpеМя xиМиЧескиx МикpopеaкTopoB, BкЛ}oЧaIoщий исTopический oбзop ИсoBprМенныенaПpaBIIoнkIЯ их p€LЗBития.Обcy)кДaloTсЯkIх фyндaмеHTaJIЬIIЬIеПpеиМyщесTBa.

Haибoлее пoдpoбно paссМoTpеI{ьI МикpopeaкTopЬI ДЛЯpeaJIИЗaЦ|4И ПpoцессoB oсaж.цения И TpaBЛeI{ия. oбсyx<дaются BoПpoсЬIoПTиМизaции yслoвийpaбoтьI МикpopеaкTopoB. .{елaется BЬIBoд oпrpспекTиBHoсTитехнoлoгий,oтмeчaется'исПoЛЬзoBaIJpIЯ МикpopеaкTopoB,кaк .цЛя paзBvITИЯ нoBЬIxTaк vI ДЛЯ вьIПoЛнrния эксПеpиМенTЕLIIЬнЬIx иссЛе.цoBaниЙ.ЧTo .цo нaсToЯщегo BpeМeни пpoблемa Лoк€ L ilиЗaции Пpoцессaoсaж.цения pеЦIaeTся ToЛЬкo с исПoЛЬЗoBaIIиеМ Лoк€tЛИЗaЦИI4 TеpМическoГoИЛИ ПЛaзМеннoгo вoздейстBИЯ) B To BpеMя кaк испoлЬзoBaIIие B этиx цеЛяхстpyкТypklpoвaшИЯгaзoфaзньrхпpoцессoBнaстoящrГoBpеМениДooTсyTсTByеT.ПpoведенньlйДиссrpTaциoннoй paбoтьl.aHaJIИЗПoзBoЛиЛсфopмyлиpoBaTЬ цrЛиBтopaя гЛaBa пoсBящеHa paзpaбoтке ПpoсToГo oценoЧнoГo МеToДapaсчrTa paсПpеДеЛenИЯскopoсTи и кoнценTpaции BrщrсTB пo oбъемy BIIyTpицилин.цpическиХ МикpopeaкTopoB.

Paссмoтpеньr ДBa TИIIa pеaкTopoB: сПoтoкoМ B.цoЛЬ ockI ЦИIIk|нДPaи B.цoЛЬегo paДLryсa. B paМкax ПpеДлo)кеннoйМoДеЛи ПoЛr{енЬI BЬIpa}кеHия ДЛЯ фyнкций paсПpе.цеЛeНИЯ BpеМенипpeбьIвaния BeщесTBa B pеaкTopе. MoдельyЧиTЬIBaеT BoзMo}IGloеПpoскaЛЬзЬIBaние ПoToкa нa сTеI{кax pеaкTopa, ЧTo Ba)кнo Пpи Мo.цеЛИpoBaЕИИМикpo- и нaI{op.BМеpнЬIX кaн€UIoB. Пpедлoтсеннaя МеTo.цикa ПoзBoЛяеT ПoIIяTЬПpoцессЬI, Пpoисxo.цящие BнyTpи yсTpoисTBa' и сyщесTBеннo ПoМoГaеТ нaIIaЧaJIЬI{oМэTaПе егo кoнсTpУИpoB,aНИЯ.BTprTЬейгЛaBесTpoиTся МaTеМaTичeскaя МoдеЛЬ ГaзoфaзнoгoxиМиЧескoГopeaкTopaс o.цнoиГoМoГеннoии o.цнoиГеTepoГeннoиpеaкцияМи.Bьrпoлненьr oцeнки, oбoснoвьrBaloщие испoЛЬЗoBal{иеспЛoцIнoсpеДнЬIxмoдeлей, ЛaМинapнoй мo.целиТеЧениЯИ cTaЦиoнapнoйПoсTaIIoBI<ИЗaДaЧИ.oбсyx<дaeTcЯДИcкprTизaцияМoДеЛис ПoМoщЬЮМеTo.цaкoнeчнЬIxoбъемoв.Бoльrшoе BниМaние yделенo вьlбopy paсuетнoй сеTки' пoзвoляroщейПoЛyЧениe pезyЛЬTaToB с пpиемлемoй ToЧIIoсTЬ}o с HaиМеHЬIпиМиBpеМrHHЬIМидaльнейшиxЗaTpaTaМи.

ПpедлоlкениссЛr.цoBaIIи,lХ.ЧетвеpтaянaбopсеToкДЛЯ исПoЛЬзoBaНИЯBгЛaBa, ПoсBЯщенa бoлее ДеT€ l JIЬI{oМy иЗyЧеHиIo ПpoцессoB BpеaкTopе нa oсI{oBr чисJIеннoГo Мo.цеЛиpoBarlИЯ.Покaзaнo, чTo oценки'BЬIПoлнrннЬIе с исПoЛЬзoBaIIиeМo.цнoМеpнoй мoдели' xopoшo сoГЛaсyloTсЯ счислrннЬIМи paсчеTaМи И чTo диффyзия <<paбo.rегo>>ГaЗa) яBJIяIoщеГoсЯистoчникoМ ПpекypсopoB' ПoПеpек ПoToкa oбеспечивaет paBнoМepнoсТЬпpoфиля, чTo' B сBoIo oчеpеДЬ' ПoзBoЛяеT IIoЛЬЗoBaTЬсЯ МoДrЛЬIo с ПЛoскиМпpoфилемскopoсTи. [иффyзия ПpекypсopoB ПoПepек ПoТoкa ЯBIIЯeTcЯIIИТ|lИTиpyIoщиМ Пpoцессoсa}к.цениЯ. ПpoaнaлиЗиpoBaнaфaктоpoм )зaBисиMoсTЬ скopoсTи poсTa ПpoДyкTa нa пoДЛo)кке oт ЧИcЛa ТTTмцд1a,скopoсTrй гoмoгеннoй и геTrpoгеннoй pеaкций И HaЧaЛЬнoй кoнценTpaции<paбоvегo> кoМПoнrнтa (поpoж.цaЮщеГo пpекypсopьI).

Bax<ньIм МoМеI{ToМТaкиx иссЛедoBaниiт,, ПoЗBoЛЯIoщиМ oПpе.целЯть тpебoBaшИЯ к кoнсTpyкцииpеaкций,МикpopеaкTopa, ЯBЛЯeTcЯ oПpе.цеЛение BЛИЯъ|ИЯ xиМическиxI]poTекaloщиx нa сTенкax сaМoГo pеaкTopa нa ПpoЦrссЬI' Пpoисxo.цЯщИe НaпoДлo)кке. B сBяЗи с TlМ, чTo B yсЛoBияx' paссМoTprllнЬIx B paбoте,BЬIсoкoПopoгoBaя pеaкция ПиpoЛизa cИЛaНa oЧенЬ ЧyBсTBиTеJIЬнa к M€LГIЬIMизМененияМ TеMIIеpaTУPЬI, кpaйнeBaжнЬIM яBЛяrTся IIpoBеДеннoеиссЛrДoBaЕИe B,ЛИЯkIИЯBapИaЦkIИ TеМпеpaTypЬI Нa paooTy МикpopеaкTopa.Иссле.цoвallo BЛияние ГеoМеTpии нa Пpoцrсс oсaж.цeшИЯ..{aньlpекoМeндaЦИИк oПTиМиЗaЦИИpеaкTopoB.B пятoй гЛaBе paссМoTpeнЬI ДBa кoнкpеTIIЬIxpеaкTopa: .цJIяoсDI(.цrниякprMниЯ И apceНИДa ГaJIЛkIЯ.

Пpoдемol{сTpиpoBaн спосoб yЛ)пrшениЯЛoкzlJlизaции oсaж.цениЯ ПyTеМ BBе.цеHиЯ B кoIIсTpyкциЮ МI{кpopеaкTopa.цoПoЛI{иTeЛЬнoГoкaнaJla oТкaЧки. .{aлее в этoй ГлaBе oбсyx<дarоTся BoIIpoсЬITеxIIoЛoгииoблaстиПpиМrненияиЗГoToBЛeъIИЯ, ЭкспЛyaTaЦИИ ИМикpopеaкTopoв.цЛяxиМиЧескoГo oсaж.ценияиЗ Гaзoвoй фaзьI.oбсyжденьIp€lЗJIиЧHЬIе кoIIсTpyкцииBЬIBо.ц oб у|XТaкиx pеaкTopoB. fiелaетсясyщrсTBеHIIoМ ПpеиМyщесTBe' B pя'це сЛyчaеB, IIpИ Иx исПoЛЬЗoBaIrI4Икaк BTexнoJloГическиx' Тaк и B иссле.цoBaTеЛЬскиxцеЛЯx.IIIgg12qгЛaBaIIoсBящrнapaсcМoTprниIoMикpopеaктopoвс xtи.цкoйфaзoй.

Paссмoтpен Пpoцесс aнизoTpoПнoГo TpaBЛениЯкprМния. Пoкaзa}Io' чToTpaBиTеЛЬMo)кеT ПpиBo.циTЬк иЗМенени}o ГеoМетpии МикpopraкTopa. .(aньIpeкoМен.цaЦИИ пo вьrбopy TpaBиTеля. ПpиведенЬI pеЗyЛЬTaTЬIIIpoBеДенныxэксПеpиN,IеHTOB IIoTpaBЛеI{иIoкpеМHияBМикpopеaкТopе.ПодpoбнopaссМoTpeнa зa.цaчa TеПjloooМeнa B MикpopеaкTopе И ПoЛ)ЧенЬI yсЛoBияBoзникнoBеIIиЯ Пpoцессa сaМopz}зoГрeBa pеaкTopa. Пoкaзaнo, чTo ПpиисПoЛьЗoB,aНИИсисTrМ кoнтpoЛя, Пpoцесс TpaBЛеIIияМo)кнo исПoЛЬЗoBaTЬBpe)киМе сaМop€lзoГpеBa' ЧTo yBеЛИЧkIBaeTскopoсTЬ TpaBЛения. ПpoвеДеннЬIеЧисЛеннЬIе иссЛе,цoBaНИЯ Пo'цTBеp.циЛи BЬIBOДЬI' ПoЛr{еHI{ьIе с ПoМoщьЮaн€ ш итиЧескиx oцrнoк.B сеДьмoй глaве paссМoTpеньr oблaсTи IIpиМe}IенияМикpopеaКTopoB сlки.цкoй фaзoй, кaк иссЛe.цoBaTeЛЬские'Taк И TеxIIoJIoГиЧескиr (сoздaниенoBЬIx yстpoйств Микpoсистeмнoй теxники).

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов диссертации