071a-5-freview (1143635)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

oTЗЬIBнa aBTopефеpaтДиcсеpTaции КoнaкoBa Cтепaнa AндpеевиvaI{a TеМy <<ПpoектиpoBallие и paсЧеT XиMиЧескиX MикpopеaкTopoB ДIIЯисПoЛЬЗoBaъIИЯB TrХHoЛoГии ycTpoисTB МикpocисTеМI{oиTеxI{ики))'Пpr.цсTaBленнoйнa сoискaние yuёнoй степен И КaНДИДaTaTеxHиЧескиx нayкПo сПеци€ ш ЬнoсTи 05.27.06 <<TеxнoлoГИЯИ oбopyдoвa*Иe ДЛя ПpoИЗBoДcTBaГIoЛytlpoBoДникoB'МaTеpиaЛoви пpибopoB ЭЛекTpoннoй теxн ИКИ>>{иссеpтaциoннaЯ paбoтa Кoнaкoвa С.A. oсвещarT Ba}кнЬIеBoПpoсЬI,cBяЗaH.нЬIе c нoBЬIMи МеToДaI\4иB TеxнoЛoГkIИI]poизBoДсТBaиЗДелий микpoсистемнoйTеХники. Aвтop ПpеДЛaГarTПo.цxoД'ocHoBaнньIй нa ПpиМенеHИИXИуIИЧескиxМикpopеaкTopoB .цЛЯoсyщесTBIIэHИЯбезмaсoчнЬIx ГеTеpoГенньIХПpoцеccoB oсax(ДrътИЯИTpaBЛrния. Эти ПpoцессЬI ПoЗBoЛЯIoTpеI]]иTЬpяД TrxнoЛoГическиx пpoблемПo сoзДaнию фyнкциoн€ L ЛьнЬIx сЛoеB IIa МеМ6paнax ГaЗoBЬIXсенсopoB' ПoДBижHЬIxчaсTяХ МикpoМеxaниЧеских сTpyктyp.

ПpедЛaгaеMЬIеTеxrloЛoГичеcкиr pешrHИЯ, pLЗpaбoтaнньrе B xo.це paбoтьl HaД Диссеpтaцией' paсшиpяIoT BoЗМox{нocTиКoнсTpyкTopoB Пo сoЗДaниIo нoBЬIХ изДеЛий микpoсисTеМнoй теxники' ПoэToMyвьIбpaннaя TrМa .циссrpTaЦИИЯBЛЯетсябезyсЛoBнo aкTyaЛЬнoй и вaжной.{иссеpтaциoIIHaЯ p aбoтa иМееT l{ескoЛЬкo кЛIoчеBЬIx Пoк€ t зaтелей ПpaкTиЧескoй З}IaчиМoсTи.B o.пеpвьIx' aBTopoМ ПpeДЛaГaloTся кoнкprTII ЬIe BapИaнTЬI pешения TrкyщиxTеxнoЛoГическиx зaДaч. ПpименяЯ МикpopraкTopЬI, Mo)lшo ПpoBo.циTьocax{ДениrгaЗoчyBсTBиTеЛЬнЬIxсЛorB B сенсopaХ' oсyщесTBЛяTЬМrTaJIЛизaЦиЮЭЛекTpoДoBBМикpoМrxaническиx BЧ кЛIoЧaХи oПTиЧrcкиХ сисTеI\4aХ.Cтoит oTМеTиTЬpешениеЗaДaЧИфopмиpoBanИЯ MикpoкaнaЛoB с ToЧнo Зa.цaннЬIМгиДpaBЛичrскиМ сoПpo.TиBЛениеMB МикpoфлroидньIx сTpyкTypaх.Bo-втopьIx' B ДиccеpТaции .цaеTсядеTaЛЬнoе oПисaние Мo.цrЛейxимическиxMикpopеaкTopoB, oПисьIBaеTсЯMrToДИКa иx paсЧетoв, oбсy}кДaloTсяBoПpoсЬI и3ГoToBЛеI{иЯи ЭксПЛУaTaЦИИ.lрннaя ПpaкTиЧrски Baжнaя инфopМaЦИЯ ПoЗBoЛяеTIIpoBoДиTьpaзpaбoTкy yсTpoйств, кoTopЬIХ Мoxtнo oTнесTи к IIoBoМy кЛaссy иЗДелий микpoсисTеМнoй теxники - MикpopеaкTopoB ДЛя хиMиЧескoГo oсa)кДeНИЯklЗгaзoвoй фaзьI.

Пpиведенt{ЬIеB paбoте prЗyЛьTaTЬIЯBЛЯIoTcяTеoprTиЧескиМ бaзeуcoМ' нa кoTopoМ MoryT в дaльнейшIеMoснoBЬIBaTьсяpaбoтьr Пo сoзДaниЮ МикpopraкTopoB p€ l зЛичнЬIх кol{сTpyкЦии' opиrHTиpoBaIIHЬIX Ha pешениr сПециaJlиЗиpoBaнIIЬIx TrxнoЛoгиЧескиxЗa.Цaч.BьIшепеpечиcЛrHIIЬIе Пoкulзa.ГeIIkIПpaкTическoйЗнaчиМoсти paбoтЬI ПoЗBo-ляIoT сДеЛaTЬ BЬIBO.цo ToМ' ЧTo ПoЛyченнЬIе B хoДе BЬIПoлненИЯ ДИacepTaциoннoГoисcлr.цoBaътИЯpеЗyJIЬTaTЬIMoГyT бьrть исПoлЬЗoBaI{ьI B ПpoиЗBoДсTBенI{ЬIx лaбopa-Topияx ПpеДПpиятиЙ, зaниМaЮщиxся paзpaбoткoй и кoHсTpyиpoBaI{иеM'a TaЮкеПpoизBoДсTBoMycTpoйсTB MикpoсисTеMI{oйTrxIIики.

oсoбеннo инTеpесHo ПpиМе.B Микpopr.нение ПpеДЛoxtеннЬIxTrxнoЛoГий лoкaлЬнoгo oсa}к.цrнияи TpaBЛеНI4ЯaкTopax ПpиMеIIиTrJIЬнoк ПpoцессaM жиДкoсTнoГo TpaBЛrния кpеМния.Hayннaя знaчиМoсть paбoтЬI o[pе.цеЛяеTсяI{oBЬIМиpеЗyЛЬTaTaМи'BПеpBЬIеIIoJIyЧrнHЬIМиaBТopoM B xoДr BЬIПOЛне]fl{уIЯДИcaеpTaциoннoГoисcЛе.цoBaния.Bескaя Мo.цеЛЬМикpop r aкTopoB, кoTop aЯ yЧиTЬIBarTч aсTIIoсTи, Пo сTpo eкa aъIaЛkITичГpaничнЬIе ycЛoBия ПpoскaЛЬзЬIBaHияскopoсTи нa Гpaницax IIoToкa.Bпеpвьtе ис.сЛе.цoBaнЬIзaкoнoМеp}IoсTиМo.цеJIи'oПисЬIBaIoщейпpoцесс xиМическoГo oсa)к.це.HИЯ vтЗгaзoвoй фaзьr B МикpopеaкTopе.

CyЩественнoй ЗHaчиMocтьrо oблaДaетМеToДpешrния ЗaДaЧИoПTиМизaцииПpoЦессaxиМичrскoГo oсaПpе.цЛoxtенньtйж.цrниЯиз гaЗoBoйфaзьtПpи Пoмoщи МикpopеaкTopa.3 (тpи) ПoJIyченнЬIХ ПaTrIITa Пo pеЗyJIьTaTaМ BЬIПoЛнrния Дaннoй paбoтьl пoд.TBеp}к.цaЮTее ПpaкTическyЮ ценнoсTЬ, a oПИcaЕ}laЯ aHaJIИTИЧескaяМo.цеЛЬ,pе.зyЛЬTaTЬIиcсЛе.цoBalИЯ ЗaкoнoМеpнoстей её пoве.цeьИЯи ПpеДЛoженньtй MеToДoIITиМизaЦииПpoцессa xиМичrскoгo oсa}к.ценияB сoBoкyПнoсTи MoГyT сTaTЬ oснoвoй .цJIя.ц€LЛЬнейшrиxнayчнЬIx иссЛrДoB aниЙ.HесмотpЯ Нa вьtсoкий ypoBеHЬ Пpе.цсTaBЛеннoгoиссЛrДoBauИЯ И цrннoсTЬПoЛyЧrннЬIx pеЗyЛЬTaToB'сЛеДyеTOTMеTиTЬpяД неДoсTaTкoBaвтopефеpaTa:1.

B paбoTе paссМaTpиBaloTся гaзoфaзньIе ХиМические MикpopеaкTopьI' кoTopЬIеpеaкTopЬI' Bнaxo.цЯTсЯI{aнекoTopoМ paссToЯнии oТ Пo.цЛoжкИИ >КИДКoфaзньIекoTopЬIx сTекЛo BПЛoTIIyIo ПpиJIегaеT к кpeМHиIо. К сoжaлениIo'Hе paсcМoT-pенЬI oбpaтньIе cгуЧak1 B ЧaсTHoсTи' не яснo, Mo}I(}IorIИ peaЛИзoBaTЬГaзoфaз.нЬIи pеaкTop с ПЛOTI{ЬIМПpиJIrГaниеM к Пo.цJIo)кке' с цеJIьIO ПoЛyчения ooЛеrчеTKиx |рaниЦ oблaстей oca}КДeНИЯ,TеxIIoЛoгии хtиДкocTнoГo TpaBЛrния кpеМния B Mикpopеaк.2.ГIplа paссМoTpelнИI4Topе oTсyTсTByет инфopМaЦия o ЗaBисиМoсTи Пpoцессa oT.цaBЛrI{ия.Пo иМеК)щиМcЯ oцrнкaМ, ДЛя oсyщrcTBJIения TечениЯ }ки.цкoсTиB МикpoкaнaЛе неoбxo-BoЗMoxtнo'ПoBЛияеTбoльtшoйпеpепaДДaBJIенИЯ)ЧTo,ДиМo сoЗдaTЬ.цoсTaToЧнoнa МrxaниЗM TpaBЛeНИЯ,ПpиведеннЬIе BoПpoсЬIи ЗaMrчaния нoсяT yToчнЯЮщий'xapaкTrp и не BЛияIoTнa oбщyro BЬIсoкyЮ oценКy ypoBIIЯ paбoтьr.Зaклroчeние!иссеpтaЦиoннaЯ paбoтa Кoнaкoвa Cтепaнa Aндpееви.la <ПpoекTиpoBaIIиеи paсчеT ХиMическиХ МикpopеaкTopoB.цЛяиcПoЛЬзo&aНИЯB TеXIIoЛoГииycTpoйствМикpoсистемнoй TеxHики) яBЛяеTсЯ зaкoнченнoй нayЧнo-квaлификaциoннoйpaбoтoй,aBTopoМ' сoДеpжиT нoBЬIе нayчнЬIе pеЗyЛьTaTЬI,ПpиMеIIение и сooTBеTcTByеT тpебoвaниям <<ПoЛoхtения oBЬIПoЛненнoй личнoиMеrT ПpaкTичrскoеvIПpисyЖДeтklИ yченЬIx степеней>>.Сoдеpхсaние aвтopефеpaTa ДИacep^ГaЦИИoПyбЛикoBaннЬIx paбoтoTpaх{aеT ocнoBIIЬIе ПoЛoхtения ДиссеpTaциoннoГoиссЛе.цoBaHИЯ.Aвтop ДиссеpTaЦиoннойpaбoтьIКoнaкoв Cтепaн Aндpеевич ЗaсЛy)киBarTПpисРкДения yuёной сTеПени кaнДиДaTa Tехничeских нayкПoсПeциaЛЬHoсTи05.27.06- <<TехнoЛoгияи обopyлoвaние ДЛя ПpoизBoДсTBaПoЛyПpoBoДникoB'IиaTеpиaЛoBи пpибopoB эЛекTрoннoйTеxники>>.Кoссoв Bлaдимиp ГpигopЬеBиЧГлaвньtй TеxHoЛoгHaчaльник yчaсTкaBaкyyМнЬIx цpoцессoBHeстepoв Игopь AнaтoльевичПpoиЗBoДсTBеI{нoГooT.цеЛa,к.T.I{.oргaниз aЦия: Ao <Hayrнo.пpoиЗBo.цсTBе}IнoеПprДпpияTие( ЭЛAP)Aдpес opгaнизaции:ПpoсПекTTopезa, Д.

68, лит. A, ПoM. 9H, Caнкт*Петеpбypг,I 94223, Pоссийскaя ФедеpaЦklЯTелефoн:+7(8I2) 552-4|-з5Е-mail : mail@npp'еlar.ruПoДписи Кoссoвa B.Г. и HeстеpoвaИ.А,.зaBrpя}oFIaчaльник oTДеJIaкa.цpoB<Й7Игнoвa oльгa Aлексaн.цpoBнa2 0 1 8г .ЭdЧЬt,aТuNъЪ)o \?э./|aFч169,,o,oФ|а.

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов диссертации