Отзыв на автореферат НГТУ (1091189)
Текст из файла
отзыв на автореферат диссертации Дроздова Дмитрия Геннадьевича «СВЧ комплементарный биполярный технологический процесс с высокой степенью симметрии динамических параметров транзисторов», представленной на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.01— Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах. Диссертационная работа Дроздова Д.Г. посвящена исследованиям и разработке методов проектирования технологического процесса, содержащего в своем составе СВЧ кремниевые комплементарные биполярные транзисторы с предельными для отечественной промышленности техническими параметрами (~7> 1 0 П ц и 1'авэо~ 1 2 В). Возможность применения подобного технологического процесса для изготовления аналогово-цифровых устройств (в частности, аналого-цифровых преобразователей, операционных усилителей, фильтров и др.) делает данную работу актуальной и практически значимой для предприятий российской электроники.
Для решения поставленной задачи автором применялись различные методы и методики анализа конструктивно-технологического базиса с целью его интеграции в едином технологическом маршруте, большая часть которого основывается на двумерном приборно-технологическом ТСА1Э-моделировании.
Для обеспечения высокой точности и достоверности расчетов автором выполнена обширная работа по калибровке физико-технологических моделей процессов с учетом различных экспериментальных данных, электрофизических (физико-топологических) моделей приборов для высокочастотного диапазона, а также определены рациональные варианты построения расчетной сетки. На основе проведенных исследований автором были предложены новые методики для совершенствования инженерных методов проектирования конструкции и технологии изготовления на отечественном производственном оборудовании СВЧ комплементарных биполярных транзисторов, а также СВЧ диодов Шоттки, комплементарных полевых транзисторов с управляющим р-и- переходом, изготовляемых в едином технологическом процессе.
При этом автором были найдены оптимальные значения режимов технологических процессов (прежде всего — ИЛ, термического окисления и диффузии). Сопоставление с зарубежными аналогами электрофизических параметров интегральных элементов спроектированного на основе исследований автора комплементарного техноло- конченное исследование, выполненное на высоком научном и техническом уровне.
Полученные автором результаты отличаются оригинальностью и новизной, инженерно-технологической ценностью, выводы по работе сформули- рованы ясно. Судя по автореферату, можно считать, что диссертационная работа «СВЧ комплементарный биполярный технологический процесс с высокой степенью симметрии динамических параметров транзисторов», соответствует требованиям ВАК РФ, предъявляемым к кандидатским диссертациям, а ее автор Дроздов Дмитрий Геннадьевич заслуживает присуждения ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.01 — Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах. .Ф В.А. Гридчин Профессор кафедры Полупроводниковых приборов и микроэлектроники, Новосибирского государственного технического университета, доктор технических наук, заслуженный работник Высшей Школы Доцент кафедры Полупроводниковых приборов и микроэлектроники, Новосибирского государственного технического университета С.В.
Калинин Адрес: 630073, Российская Федерация, г. Новосибирск, пр. К.Маркса, 20, Новосибирский государственный технический университет, Телефон: (383) 346-08-75, е-ша11: ч.цгЫсЫпф~агпЬег.ген'.паап.ги .З~ ~,:~"" ~~~: -'г'3 гического процесса показало их высокий уровень и возможность использования при создании радиационно-стойких аналого-цифровых ИМС, а также СВЧ МИС Е- и Я-диапазонов частот. В качестве замечания по содержанию автореферата можно отметить, что практическую ценность работы желательно было указать явным образом. В целом, диссертационная работа Дроздова Д.Г.
представляет собой за- .
Характеристики
Тип файла PDF
PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.
Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.