Отзыв ВЗПП-Микрон (1091184)
Текст из файла
oTЗЬIBнa aвтopeфеpaTДиссepтaцииДpoздoвa,,{митpияГeннaдьевиua<CBЧ кoмплементapньIй бипoляpньтй TехIIoлoгический пpoцeсс с вьlсoкoйсTетIеньIoсиММеTpии диI{aМическиx пapaМетpoB тpal]зистopoB>' пpедстaвленнoйнa сoискaниe y'reнoй сTепeни кaнДидaTa TеxIlических нayк пo специ€ l JIЬнoсTи05.27.01 - Tвepдoтельнaя эЛектpoникa' paдиoэлекTpoнEьIе кoMпoIlеtlTЬI' Микpoи нaнoэлекTpoникa, пpибopЬI нa кBaI{ToвьIхэффeктax.{иссеpтaциoннaя paбoтa,{poздoвaисслеДoBaниIoтеxнoлoгическoгoМикpocxеМ' сo.цep)кaщиxпoсвяЩенa кoМплeкcтloMУД.Г.пpoцессaизгoтoBлеIlияинTегpaЛЬнЬIхв сBoеМ coстaBе B и}lтегpaлЬнoМ Bapиaнте TaкиеэлeмeIITьI кaк сиММеTpичньIе веpTикaльньlе CBЧTpaнзистopЬI' бьtстpoдейстByloщиеn-p-n иp-n-p бипoляpньIeдиoдьI LLIoттки' пoлеBьIе тpaнзистopЬI сyпpaвJIяIoщиМ p-n пepехoДoМ.'{aнньIйтехнoлoгическийпpoцессиI{TегpaльнЬIx МикpoохеМ paзличнoгoчисле;аналoгoBo-цифpoвьIхиПpе,цн€ r знaченфyнкциoнaльнoгoдЛясoздaниянaЗнaчения, B ToМцифpo-aнaJ'loгoBЬIe пpеобpaзoвaтелей'oпepaциoнньIx yсилитeлeй,ДиQQеpенциaЛьнЬж кoМпaрaTopoB' yстpoйстввьrбopки и хpaнения' - CBчМИС(уcилlтTели Мoщнoсти, пpеoбpaзoBaTeЛиuaстoтьI), - сxеМ yпpaBления пиTaниеМ (истoнники стaбильнoгo тoкa, линейньlестaбилизaтopьr нaпpяжения),paсшиpeнньIМиa Taкже и дpyгихфyнкциoнaльньIМипеpспективньixвoзМo}кнoсTяМи' -ИMСсчTo .целает paбoтyaктyaльнoй и пpaктически знaчимoй.Baжнo oтМeтитЬ To, чTo paбoтa пoсвященa и пpеДЛaгaеткoнкpеTIIьIепvтиpeшениjl aктyaлЬIlьIх пpoблeм (нaдёжнoефyнкциoниpoвaние' пpoцeнт BЬIxoДaгoдI{ьIх' paдиaциoннall , стoйкoсть схeм) сoвpeМенIloгo МикpoэЛектpoнttoгoпpoизBoДотBa, oснaщённoгooбopy.ЦoвaниeМ oTечественнoгo ПpoизBoДсTвa снекoтopыМи oгpallиченияМи пpи пpoвe.цеEии теxнoЛoгиЧескиx oпеpaций, нaкoTopoМ' B oclloвI{oM'pеaЛизy}oтся изделия электpoннoй Tех}tикипpoекTllыМи нopMaМи бoлее lмкм.(ИЭT) сl.щя pешения Зa.цачпo иccЛeдoBal{ию Texнoлoгическoгo пpoцессa aBTopoМприМеtlяIoTся paзЛичньIеМеToдЬI' B ToMМoдеЛиpoBaние.
AвтopoMпpoцеcсoвyчеToМсПpибopнo-технoЛoГичeскoевьlпoлненa нaсTpoйкa Мoделей TеxнoлoГиЧескиxэкспepиМентaлЬньIxпpoцессoB'физическиxчисле.цaнньIх; oпpеделеньIиспoльзvеМьIepaсЧеTепDиМoДеЛипapaМетpoBкoМплеМентapньIх биполЯpньIx TpaнзистopaХ с гpaниЧнЬIМи ЧaсToтaМI4fТ - 10 _l5 ГГц; вьrбpaньr oптиМaJIьнЬIe кpитеpии пoсTpoения сеTки Для инжeнерFloгoпpoeктиpoвalrия CBЧМетo.цикибипoляpньrх TpaнзисTopoв.
Ha oснoве пpедлoжeннoйBЬIпoлнeнoпpoектиpoBaнияпoследoBaTеЛьнoсти и peжиМовиссле.цoBaEиетехнoлoгическихкoнстpyкций,oпеpaцийфopмиpoвaнияиIlTецpaJlьньж элrMeIIтoB, oбъединeнньIx в едиl{oМ пpоцессе.Слeдyет oTМеTиTЬ кoмплексньrй'к изyЧениюивоесTopoнний пo.цхoдoптиМизaции пpoцессoB иoннoй иMIIлaI{тaции и oтжигoв'иxBЛИЯH|4ЯHaэлeктpoфизиvескиe пapaМеTрьI paзЛичIrьIх иoннo-легиpoBaltньIх cтpyкTyр, и, BoсoбеннoсTи,нaиIlTегpaльньIxэлектрическиeИЭT ', Bxo.цяlциxпapaMеTpЬIвИМC'ивxapaкTepисTикидpyгиечaсTIIoсTи, пpиoтpaбoтке(TopМoзяЩегo)) ЛегировaI{ия фoсфopoм дЛя yМеrrЬшения aвToлегиpoBaнияИПpoцессoB иМПЛaнTaциииoнoв Sb*, As*, BF2*, P* пpи фopмирoвaнии бaзoвьrxиэМитTеpнЬlх oблaстей СBЧBьIпOл}IенияпpoбивньlмIIapaMетpoBn-p-nBзaиМoисклIoчaloIIIиxнaпpЯженияMиp.n-p oипoЛяpнЬIхTpaнзисТopoвдЛЯИтpебoвaний пoвьrсoкoйсTепeнигpaниvнoйсиММеTpиичaстoTе'диI{aMичеокихБкT.B кaчeстве зaMеЧaния к aвтopeфеpaтy MoжIio oTнести oтсyTствие BoЛЬтампepныxХapaктepисTиккoлЛектopньжпеpеxoдoвкoМплеMeнтaрньIхбипoляpньIx TpaI{зисTopoB' с испoлЬзoBaниеМ кoтopьIx МoгyT бьrть пoстpoеньlинтeгpaльньIe .циoдЬI нa oснoвеp-n пеpеXoдa и пoЛеBЬIе TpaI{зисTopЬ] сylrpaвЛяющиМ p-n пеpеxoдoМ.Peфеpaт сo.цеp)rшTбoльrпoй oбъём кaчественнoй инфоpмaции, МaTеpиaлизЛoх{е1{ гpaМoTIlьIМ'четкиМипoнятньIМязьIкoМ'пpoизBo.цитпpиятнoеBпечaTлrI{иe'кpoМе oднoй небpежнoй нетoЧнoоти B TеpМинoлoгии нa сTp.13'г.це нaдo писaтЬ или (TopMoзящее) легиpoвal{ие фoсфopoМ или (тopМoзяЩaя)иMплaнTaци,l фoсфopa.Hесмoщянa зaМечaниЯ, cчИTaЮ, Чтo диссеpTaциoннaя paбoтa <СBЧкoМплеМeнтapньrй бипoляpньrй теxнoлoгический пpoцeсс c вьrcoкoй сTепенЬIoсиММетpии.цинaМическиxщебoвaниямBAкпapaМеTpoBTpaнЗистopoB)сooTBетстByеTPФ, пpедъяBJIяеМьIМ к кaн.ци.цaтскиМ .циссеpтaЦияM' a ееaBтop безyслoвнo зacJry)киBaeт пpисy)кдения rrенoи сTепeни Кaн,ДИДa^raтеxЕиЧeских нayк пo спeциaльнocтeт05.27'01 _ Tвеpдoтeльнaя элекTpoникa'paдиoэлeкTpoIlEьIекoМпoнеIlTьI,Mикpo-инaнoЭЛекTpoникa'пpибopьrHaкBaнToBьIх эФФекTaх.Pyковoдитель пpoeктoвAo (BЗIIП-Микpoн)'дoцетrт, кaн.ци.цaTTехничrскиx нayкПoдпиоь Me.цве.цeвaH.M' зaвеpяlo:HaчaльникoTдеjla пo paбoте с пеpсoнaJIoМAдpeс:з940зз'Poосия,г.
Bopoнeж,Ленинскийпp-т 119aТел.: 8 (4.7з)227-94-з1e-mail: k1o@vsp-miо.vrn.ruffibЬi#ffi*.
Характеристики
Тип файла PDF
PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.
Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.