Главная » Просмотр файлов » Диссертация

Диссертация (1091051), страница 9

Файл №1091051 Диссертация (Развитие методов сканирующей зондовой микроскопии для диагностики электрофизических параметров элементов хранения энергонезависимой памяти) 9 страницаДиссертация (1091051) страница 92018-01-18СтудИзба
Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла (страница 9)

Коррекция отказаэкспоненциальносказываетсянакачестветехнологическогопроцессаикоэффициенте выхода годных изделий. Локализация и определение причинодного отказа позволяет внести поправки в производстве, исключающиевпоследствии появления однородных отказов, как на всей площади данной ИС,так и в других изделиях. Таким образом, актуальность проведения процедур повыявлению отказов растет вслед за продолжающейся миниатюризацией ИС.Согласно данным ряда аналитических агентств ежегодный рост затрат на анализотказов в мире до 2014 года составил в среднем 8,7%, а прогнозируемый рост до2019 года составит 14,5 % (Рисунок 2.2) [86-93,96-100,134].8,4 млрд.

$5,8 млрд. $3,48 млрд.$2013 год4,1 млрд. $2014 год2015 год2016 годРисунок 2.2 – Рост мировых затрат на анализ отказов ИМС59Процесс анализа отказов начинается, когда в устройстве в ходе тестов нанадежность наблюдаются потери основных свойств согласно критериям отказа.Анализотказовфункциональностивключаетивсебявыявлениевыяснениеразличногопричинродаполнойдеградаций.потериПомереусложнения ИС, возникающие отказы связаны, как правило, уже не с отдельнымидискретными элементами, а со всей системой в целом. Анализ отказов без учетаэтих факторов может привести к ошибочной корректировке.

Для выявленияпричин и механизмов отказов используются оптические, электрические и физикохимические методы анализа. Перед началом анализа целесообразно получитьподробную информацию о деталях отказа – обстоятельствах и признаках. Деталиотказавключаютвсебяразличногородаисследованияэлектрическиххарактеристик, а так же другие обстоятельства, приведшие к сбою устройства(такие как условия эксплуатации, стрессогенные условия, некорректный монтаж иналичие человеческого фактора).

Все эти обстоятельства могут указать напотенциальную причину и механизм отказа, и позволят подобрать необходимыеметодики анализа. Недостаток информации об обстоятельствах и признакахотказа может привести к выбору несоответствующих методик анализа и какследствие к излишним расходам ресурсов и времени.2.1.2 Виды и причины отказов ИСУсловно, дефекты в зависимости от размеров и возможности обнаруженияих в производственных условиях, можно подразделить на грубые, илимакроскопические, и мелкие или микроскопические, которые часто еще называютслучайными.Конструктивныеэлементы,полупроводниковыеиготовыеструктуры, содержащие грубые дефекты, в результате межоперационного ивыходногоконтроляудаляютсяизпартииготовыхприборовкактехнологический брак. При этом степень выхода годных ИМС определяетсяотлаженностью и стабильностью технологическогочувствительностьюконтрольногооборудования.процесса, а так жеПодчувствительностьюконтрольного оборудования понимается его способность либо непосредственно60наблюдать грубые дефекты, либо давать возможность объективно судить об ихналичии или отсутствии по косвенным признакам, связанным с электрофизическимипараметрами конструктивных элементов, полупроводниковых структур иготовых ИМС.В связи с растущими темпами миниатюризации и плотности компоновкиэлементной базы на кристалле для повышения выхода годных ИС в анализеотказов все активнее применяются статистические методы и методы анализа намикроэлектронном уровне.

К статистическим методам относят:1.Функцияраспределениявероятностибезотказнойработы.Представляет собой долю компонентов ИС (устройств, блоков, элементов)выполняющих свою функцию в нормальных условиях после функционирования втечение определенного периода .(где,(2.2)– функция распределения вероятности безотказной работы,протестированных компонентов,2.)– число– число отказов в промежуток времени .Функция распределения вероятности отказа в работе. Данная функциятак же известна как совокупная функция распределения отказов (CumulativeFailure Distribution Function),где(2.3)– функция распределения вероятности отказа,протестированных компонентов,– число– число отказов в промежуток времени .является монотонно убывающей функцией, в то время какявляется монотонно возрастающей функцией (Рисунок 2.3).R(t)1.0F(t)0.50t1t2t3tnРисунок 2.3 – Зависимость R(t) и F(t) [86,89,90,94]613.Функция плотности вероятности.

Вероятность отказа какой-либочасти устройства или компонента после определенного периода времени.(1.4)Схематичное распределение,имеет вид (Рисунок 2.4):,f(t)f(t)F(t)R(t)tnРисунок 2.4 – Схематичное распределение4.,t,[86,89,90,94]Функция интенсивности отказов (hazard function):(2.5)Видынеисправностейподразделяютсянаэлектрофизическихразрывполупроводниковыхцепи,характеристиккороткоеИС.изделий,замыканиеПричиныкакиправило,деградациювозникновенияотказовподобного рода разнообразны (Таблица 2.2) [95,98].К основным причинам отказов ИС предложено отнести:1.Разрушение металлизации из-за электромиграции (Рисунок 2.5);2.Скрытые дефекты структур;3.Коррозия и окисление металлизации (Рисунок 2.6);4.Дефекты межслойных соединений;5.Зарядовые явления в оксиде кремния;6.Пробои тонкого оксида (Рисунок 2.6);7.Диффузия загрязняющих примесей в диэлектрике.62а)б)Рисунок 2.5 – Примеры дефектов:а) – обрыв цепи связанный с образование полости в Al металлизации;б) – образование микро пробоя в затворе [98]а)б)Рисунок 2.6 – Примеры дефектов:а) – пробой; б) – коррозия [98]Анализ отказов ИМС на микроэлектронном уровне служит для определенияфизическойсущностиотказа.Данныйвиданализанеобходимдляфундаментального понимания отказа на атомном и молекулярном уровнях.В связи с уменьшением топологических норм и внедрением новыхтехнологий в производство, размеры дефектов также стремительно уменьшаются, ав связи с высокой плотностью компоновки элементной базы существеннозатрудняется поиск точки отказа.63Таблица 2.2 – Виды и причины отказов ИСОбласть возникновения отказаПричины отказадефект кристаллическойрешетки;примеси;расцентровкафоторезисторной маски;Подложкадиффузионный переход;изоляция;подложка;Оксидныепленкиподзатворный оксид;защитная оксиднаяпленка;микро пробой;деградация подзатворногооксида;межслойныесоединения;механические повреждения;низкая адгезионнаяпрочность;некорректная толщина;коррозия;электромиграция;МеталлизацияПассивациязащитная поверхностнаяпленка;межслойная изоляция;Креплениякристаллакорпусное соединение;Проволочныевыводыпроволочный вывод;область контакта;Корпус ИСматериал;газ-наполнитель;микро пробой;трещина;перепад толщин;загрязнение;трещины;разрыв соединения;девиация;смещение контакта;повреждение;замыкание;разрыв;пустоты;конденсат;отслоение;загрязнение;плохая герметичность;примесный газ-наполнитель;перепады напряжения;статическое электричество;сверхток; перенапряжение;Ножкиввода/выводаВид отказаснижение напряженияпробоя;короткое замыкание;увеличение токовутечки;снижение напряженияпробоя;короткое замыкание,увеличение токовутечки;смещение пороговогонапряжения;разрыв цепи;короткое замыкание;повышениесопротивления;снижение напряженияпробоя;короткое замыкание;увеличение токовутечки;смещение пороговогонапряжения;снижениепомехоустойчивости;неустойчивый режимработы;неустойчивый режимработы;короткое замыкание;рост сопротивления;разрыв цепи;короткое замыкание;увеличение токовутечки;разрыв цепи;короткое замыкание;увеличение токовутечки;разрыв цепи;2.1.3 Методики анализа отказов ИСВнастоящеевремякомпании,лидерывобластипроизводствамикрочипов, разрабатывают все новые и новые методики анализа отказов.

Для64ихреализациилабораториианализаотказовоснащаютсясамымисовременными образцами аналитического оборудования, позволяющего закороткое время выявить механизм отказа, что позволит внести коррективы впараметры технологических процессов на этапе производства.Повопросам,связаннымсвыявлениемотказовсовременныхмикрочипов, ежегодно проводятся различные тематические конференции, накоторыхспециалистыпредставляютразработанныеимисовременныеметодики выявления механизмов отказов. В свою очередь компании,занимающиеся производством уникального аналитического оборудования,представляютнаподобныхконференцияхоборудование,способноереализовать предложенные методики. Необходимо отметить, что существенноевлияние на важнейшие параметры изделий микроэлектроники оказываютпроцессы, происходящие на атомном и молекулярном уровнях, в микрослоях,микрообъектах и особенно на поверхности твердых тел.Внедрение новых технологий и уменьшение топологических норм привелок росту числа отказов связанных, в первую очередь, с глубинными физическимипроцессами на атомарных уровнях.

Характеристики

Список файлов диссертации

Развитие методов сканирующей зондовой микроскопии для диагностики электрофизических параметров элементов хранения энергонезависимой памяти
Документы
Свежие статьи
Популярно сейчас
Как Вы думаете, сколько людей до Вас делали точно такое же задание? 99% студентов выполняют точно такие же задания, как и их предшественники год назад. Найдите нужный учебный материал на СтудИзбе!
Ответы на популярные вопросы
Да! Наши авторы собирают и выкладывают те работы, которые сдаются в Вашем учебном заведении ежегодно и уже проверены преподавателями.
Да! У нас любой человек может выложить любую учебную работу и зарабатывать на её продажах! Но каждый учебный материал публикуется только после тщательной проверки администрацией.
Вернём деньги! А если быть более точными, то автору даётся немного времени на исправление, а если не исправит или выйдет время, то вернём деньги в полном объёме!
Да! На равне с готовыми студенческими работами у нас продаются услуги. Цены на услуги видны сразу, то есть Вам нужно только указать параметры и сразу можно оплачивать.
Отзывы студентов
Ставлю 10/10
Все нравится, очень удобный сайт, помогает в учебе. Кроме этого, можно заработать самому, выставляя готовые учебные материалы на продажу здесь. Рейтинги и отзывы на преподавателей очень помогают сориентироваться в начале нового семестра. Спасибо за такую функцию. Ставлю максимальную оценку.
Лучшая платформа для успешной сдачи сессии
Познакомился со СтудИзбой благодаря своему другу, очень нравится интерфейс, количество доступных файлов, цена, в общем, все прекрасно. Даже сам продаю какие-то свои работы.
Студизба ван лав ❤
Очень офигенный сайт для студентов. Много полезных учебных материалов. Пользуюсь студизбой с октября 2021 года. Серьёзных нареканий нет. Хотелось бы, что бы ввели подписочную модель и сделали материалы дешевле 300 рублей в рамках подписки бесплатными.
Отличный сайт
Лично меня всё устраивает - и покупка, и продажа; и цены, и возможность предпросмотра куска файла, и обилие бесплатных файлов (в подборках по авторам, читай, ВУЗам и факультетам). Есть определённые баги, но всё решаемо, да и администраторы реагируют в течение суток.
Маленький отзыв о большом помощнике!
Студизба спасает в те моменты, когда сроки горят, а работ накопилось достаточно. Довольно удобный сайт с простой навигацией и огромным количеством материалов.
Студ. Изба как крупнейший сборник работ для студентов
Тут дофига бывает всего полезного. Печально, что бывают предметы по которым даже одного бесплатного решения нет, но это скорее вопрос к студентам. В остальном всё здорово.
Спасательный островок
Если уже не успеваешь разобраться или застрял на каком-то задание поможет тебе быстро и недорого решить твою проблему.
Всё и так отлично
Всё очень удобно. Особенно круто, что есть система бонусов и можно выводить остатки денег. Очень много качественных бесплатных файлов.
Отзыв о системе "Студизба"
Отличная платформа для распространения работ, востребованных студентами. Хорошо налаженная и качественная работа сайта, огромная база заданий и аудитория.
Отличный помощник
Отличный сайт с кучей полезных файлов, позволяющий найти много методичек / учебников / отзывов о вузах и преподователях.
Отлично помогает студентам в любой момент для решения трудных и незамедлительных задач
Хотелось бы больше конкретной информации о преподавателях. А так в принципе хороший сайт, всегда им пользуюсь и ни разу не было желания прекратить. Хороший сайт для помощи студентам, удобный и приятный интерфейс. Из недостатков можно выделить только отсутствия небольшого количества файлов.
Спасибо за шикарный сайт
Великолепный сайт на котором студент за не большие деньги может найти помощь с дз, проектами курсовыми, лабораторными, а также узнать отзывы на преподавателей и бесплатно скачать пособия.
Популярные преподаватели
Добавляйте материалы
и зарабатывайте!
Продажи идут автоматически
6384
Авторов
на СтудИзбе
308
Средний доход
с одного платного файла
Обучение Подробнее