Отзыв на автореферат Яковлев (1091033)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

отзыв на автореферат диссертации Шнколенко НЭрня Леонидовича «Развитие методов сканирующей зоидовой микроскопии для диагностики злектрофизических параметров элементов кранения энергонезависимой памяти», представленной на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.01 — Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника„приборы на квантовых эффектах Важнейшими тенденциями современной микро- и наноэлектроники являются снижение массогабаритных характеристик используемых структур, а также энергопотребления устройств. Данные факторы обуславливают необходимость развития методов их диагностики, обладающих высоким пространственным разрешением для измерения электрофизических параметров.

Методы сканирующей зондовой микроскопии в настоящее время позволяют исследовать электрофизические характеристики (токи утечки, электрические емкости) в локальных областях до единиц нанометров без разрушающего воздействия. В связи с этим применение указанных методов для создания комплексной методики диагностики элементов хранения энергонезависимой памяти обуславливает высокую актуальность и практическую значимость диссертационной работы Ю.Л. Шиколенко. Соискателем выполнена важная экспериментальная работа по определению количественных структурных и электрофизических ограничений методик сканирующей зондовой микроскопии для диагностики состояния ячеек энергонезависимой памяти на основе полевых транзисторов.

Научные положения, выносимые на защиту, систематизированы, описаны и аргументированы, а также надежно апробированы, о чем свидетельствует приведенный список журнальных публикаций и докладов конференций. Вполне вероятно, что некоторые неясные моменты, имеющие место в автореферате, обусловлены ограниченностью его объема, а именно: — При описании исследований методом контактной сканирующей емкостной микроскопии сообщается, что изменение проводящего покрьггия кантилевера с платинового на вольфрамовое чувствительность метода возрастает на 12;4 (стр. 17 автореферат). К сожалению, при этом не указывается марка и параметры используемых кантилеверов, а также толщина наносимого вольфрамового покрытия.

— При изучении влияния толщины кремниевой подложки на чувствительность измерений указанным выше методом сообщается, что максимальное значение емкости достигается при толщине 200 нм (там же), однако не сообщается, какими причинами может быть обусловлен наблюдаемый факт. — Не сообщается измерительная частота при проведении исследований высокочастотных вольт-фарадных характеристик (стр. 20). — Для измеренных вольт-фарадных характеристик емкость представлена в условных единицах (у.е.), однако не сообщается, какому значению емкости соответствует 1 у.е.(стр. 21, Рисунок 12).

— На некоторых рисунках (5, 4.11?, 15, 16„19) масштабные отрезки н значения по осям графиков являются трудночитаемыми. Следует отметить, что приведенные замечания ни в коей мере не уменьшают научной ценности выполненных исследований, а высокий научный уровень и практическая новизна придают особую значимость работе Шиколенко Ю.Л. Считаю, что диссертационная работа Ю.Л. Шиколенко полностью соответствует требованиям ВАК РФ, предъявляемым к кандидатским диссертациям, а ее автор заслуживает присуждения ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.01 — Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты„микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах. Профессор кафедры физики и нанотехнологий Федерального государственного бюджетного образовательного учреждения высшего профессионального образования Курский государственный университет, кандидат технических наук по специальности и: е р гЬ ~уе~Ь тел.

(4712) 51-41-16 305000, г, Курск, ул. Ради ева, 33 ~~э~."Яковлев Олег Владимирович 9.03.2016 г .

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов диссертации