Отзыв на автореферат Шиманов (1091031)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

теп. 8149871353193: 351 371; факс: 354420 е-гпай еййпГовйгпай соек ытгы31Ыго ыоб. 8(917У581 4874 ~у,дядей и Я~~гЮ~ -,/ / на нв ОТ Ученому секретарю диссертационного совета Д212.131.02 118484, г. Москва, проспект Вернадского, 78, МИРЗА ~1 Отзыв на автореферат диссертации Шиколенко Юрия Леонидовича на тему: «Развитие методов сканирующей зондовой микроскопии для диагностики электрофизических параметров элементов хранения энергонезависимой памяти>, представленной на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.01 — «Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах» Надежность элементов энергонезависимой памяти во многом определяется способностью ячейки памяти удерживать заряд на протяжении определенного промежутка времени и сохранять свои выходные злектрофизические характеристики после определенного числа циклов перезаписи информации.

Квантовые эффекты туннелирования, различные механизмы инжекции электронов на протяжении жизненного цикла подвергают значительной электрической нагрузке диэлектрические слои ячейки памяти. Последнее может усугубляться совокупностью внешних тепловых и электрических нагрузок. Все в целом приводит к ускорению деградационных процессов и генерации дефектов.

Проявлением дефектов, как правило, является некорректная работа или отказ интегральных микросхем памяти. Большой Ударный пер„д. 1а, г, Серпухов, Московская обп.. 142210 Адрес дпя какрытой переписки. Б.Ударный пер.. д. 1а. г Серпухов, Московская обп ОКПО 42232569, ОГРН 1035000009417, ИННГКПП 5043014134/504301001 ЖДАЮ й директор— езидент Института ских наук, доцент Д.В.

Смирнов 16 г. Парирование вышеприведенных условий возможно путем уменьшения риска генерации и развития дефектов, за счет улучшения конструкции элементов памяти и повышения качества их диагностики на этапе производства. В связи с вышеизложенным диссертационная работа Шиколенко Ю.Л., посвященная развитию методов исследования электрофизических параметров МДП-структур с субмикронным разрешением для локализации и диагностики дефектов в элементах хранения энергонезависимой памяти является несомненно актуальной. В ходе выполнения диссертационной работы автором получены следующие научные результаты, обладающие новизной и практической значимостью и представляемые для защиты: 1.

Обоснована возможность применения методов сканирующей зондовой микроскопии в диагностике дефектов элементов хранения энергонезависимой памяти. 2. Предложен способ диагностики элементов хранения энергонезависимой памяти на предмет подверженности эффектам накопления избыточных основных и неосновных носителей заряда на основе анализа высокочастотных вольт-фарадных характеристик и поверхностного потенциала. 3. Дана оценка влияния толщины полупроводника в структуре МДП, радиуса кривизны и электрических свойств зонда кантилевера на чувствительность метода КСЕМ.

4. Обоснована возможность применения типа проводимости, степени легирования на основе анализа получаемых высокочастотных вольтфарадных характеристик, а также установлена зависимость емкостных характеристик МДП-структур от захваченного в диэлектрике заряда.

б. Показана возможность диагностики эффектов накопления избыточных основных и неосновных носителей заряда в дефектных элементах хранения энергонезависимой памяти на основе анализа высокочастотных вольт-фарадных характеристик с латераль ной разрешающей способностью 200 нм, разрешением по уровню заряда— 1,6*10" Кп и анализа значений поверхностного потенциала в точке интереса с разрешением 16 мВ. 6.

На основе анализа сигнала, пропорционального дифференциальной емкости, показана подверженность элементов хранения энергонезависимой памяти деградационным процессам на протяжении их жизненного цикла, 7. Предложен способ локализации дефектов контактов стока/истока транзисторов с плавающим затвором к областям диффузии на основе анализа распределения тока зонд-образец, полученного методом отображения сопротивления растекания. Основные результаты, приведенные в автореферате и выдвигаемые на защиту, являются новыми и достаточно полно отражены в научных публикациях, в том числе в изданиях, рекомендованных ВАК. Достоинствами работы являются: большой объем экспериментальных исследований и конкретная практическая направленность.

Недостатком диссертации, судя по автореферату, является отсутствие статистических оценок достижимой достоверности выявления дефектов Отзыв составили: Ведущий научный сотрудник управления АСУ и свя доктор технических наук, профессор С.Н. Шиманов Старший научный сотрудник управления АСУ и свя кандидат технических наук К.В. Карпочкин предлагаемыми методами диагностики. Однако указанные замечания не снижают ценности диссертации, ее практической и научной значимости. В целом, автореферат позволяет сделать вывод о высоком научном и практическом уровне выполненной работы.

Диссертация Шиколенко Юрия Леонидовича на тему: «Развитие методов сканирующей зондовой микроскопии для диагностики электро физических параметров элементов хранения энергонезависимой памяти» является законченной научно-квалификационной работой, содержащей научнообоснованные технические разработки, и по актуальности тематики, глубине проводимых исследований и значимости полученных результатов полностью удовлетворяет требованию пп. 9, 10, 11, 13 «Положения о присуждении ученых степеней», а ее автор заслуживает присуждения ученой степени кандидата технических наук по специальности 06.27.01 — «Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах».

.

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов диссертации