Максим Рубцов (1072234)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

Тест 2 Срок сдачи – 28.09.13

1. На основе описания технологического маршрута изготовления чувствительного элемента кремниевого микродатчика и с учетом используемых при этом фотошаблонов проработать сечения формирующихся при этом микроструктур.

На видах сверху прорисовать топологии формируемых на каждом этапе элементов, выделив их разными цветами в соответствии с сечениями.

1. Формирование проводников p+ типа к пьезорезисторам

Шаблон:

Сечение:

2. Формирование области n+ типа для контакта к эпитаксиальному слою

Шаблон:

Сечения:

3. Формирование пьезорезисторов

Шаблон:

Сечение:

4. Формирование контактных окон (серым цветом показана часть пьезорезистора, находящаяся на поверхности)

Шаблон:

Сечения:

5. Металлизация и формирование контактных площадок(серым цветом показана часть пьезорезистора, находящаяся на поверхности)

Шаблон:

Сечения:

1. Получить выражение (3) в тексте лекций, дифференцируя (1) самым простым и лаконичным способом, полагая, что ΔR≈dR.

Зависимость сопротивления резистора от удельного сопротивления, длины и площади поперечного сечения:

Полный дифференциал функции нескольких переменных:

Частные производные:

Получаем:

Разделив обе части на , получаем:

1. При описании выражения (4) использованы типичные для технической литературы обозначения для значений относительной продольной (Longitudinal ) и относительной поперечной (Traverse) деформации. В самом выражении (4) приведен связывающий эти деформации коэффициент Пуассона. Однако, при удлинении тела (положительное приращение длины) его сечение уменьшается (отрицательное приращение площади). Поэтому встает вопрос о знаке (плюс – минус) в выражении (4). Учтите это обстоятельство при выводе выражения (5).

положительно при осевом сжатии и отрицательно при осевом растяжении. Однако положительно при осевом растяжении и отрицательно при осевом сжатии. В данном случае получается, что положительно, а отрицательно.

1. Бонус. Контактные площадки к пьезорезисторам выполнены в виде ячеистой структуры. Почему?

Ячеистая структура значительно увеличивает прочность соединения при последующих технологических операций.

Характеристики

Тип файла документ

Документы такого типа открываются такими программами, как Microsoft Office Word на компьютерах Windows, Apple Pages на компьютерах Mac, Open Office - бесплатная альтернатива на различных платформах, в том числе Linux. Наиболее простым и современным решением будут Google документы, так как открываются онлайн без скачивания прямо в браузере на любой платформе. Существуют российские качественные аналоги, например от Яндекса.

Будьте внимательны на мобильных устройствах, так как там используются упрощённый функционал даже в официальном приложении от Microsoft, поэтому для просмотра скачивайте PDF-версию. А если нужно редактировать файл, то используйте оригинальный файл.

Файлы такого типа обычно разбиты на страницы, а текст может быть форматированным (жирный, курсив, выбор шрифта, таблицы и т.п.), а также в него можно добавлять изображения. Формат идеально подходит для рефератов, докладов и РПЗ курсовых проектов, которые необходимо распечатать. Кстати перед печатью также сохраняйте файл в PDF, так как принтер может начудить со шрифтами.

Список файлов домашнего задания