Куликова - Дил Гроув (1072231)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

Модель роста оксида Дила-Гроува (Deal-Grove)Выводы предыдущего раздела позволяют рассмотреть в процессетермического окисления три потока молекул кислорода (рис. ).1. Поток молекул из газовой среды к внешней поверхности пластины, накоторой в начальной стадии происходит реакция (кислорода с кремнием), азатем – адсорбция кислорода на формирующемся оксиде - поток F12. Поток молекул, диффундирующих через оксид SiO2 к кремнию Si поток F23. Поток молекул O2, вступающих в реакцию с Si на границе разделаSiO2 /Si - поток F3В равновесных условиях три рассмотренных потока равны между собой,при этом скорость формирования оксида определяется самым медленным изних.Поток F1 определяется разностью междуповерхностной концентраций окислителя:F1 = h(C* - C0),максимальнойиреальнойгдеC0 - поверхностная концентрация окислителя,h - коэффициент переноса.Значение концентрации окислителя C0 зависит от температуры, скоростигазового потока и растворимости окислителя в SiO2.Для того чтобы определить скорость роста окисла, рассмотрим потокиокислителя в объеме окисла F2 и на его границе с кремнием F3.

Согласнозакону Фика, поток через объем окисла определяется градиентом концентрацииокислителя:F2 = - D(dC/dz) = D(C0 - Ci)/z0,(1)где Ci - концентрация окислителя в молекулах на кубический сантиметр при z= z0,D - коэффициент диффузии при данной температуре,z0 - толщина окисла.Величина потока F3 на границе окисла с полупроводником зависит отпостоянной K скорости поверхностной реакции и определяется как:F3= kCi(2)При стационарных условиях эти потоки равны, так что F3 = F2 = F1 = F.Следовательно, приравняв соотношения (1) и (2), можно выразить величины Ciи C0 через C*:Процесс окисления происходит на границе Si - SiO2, поэтому молекулыокислителя диффундируют через все предварительно сформированные слоиокисла и лишь затем вступают в реакцию с кремнием на его границе.

Согласнозакону Генри, равновесная концентрация твердой фазы прямопропорциональна парциальному давлению газа P:C* = HP, гдеC* - максимальная концентрация окислителя в газе для данного значениядавления P,H - постоянный коэффициент Генри.В неравновесном случае концентрация окислителя на поверхности твердоготела меньше, чем C*..

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов домашнего задания