Моё ДЗ про Дила Гроува (1072236)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

Модель роста оксида Дила-Гроува (Deal-Grove)

Выводы предыдущего раздела позволяют рассмотреть в процессе термического окисления три потока молекул кислорода (рис. ).

1. Поток молекул из газовой среды к внешней поверхности пластины, на которой в начальной стадии происходит реакция (кислорода с кремнием), а затем – адсорбция кислорода на формирующемся оксиде - поток F₁

2. Поток молекул, диффундирующих через оксид SiO₂ к кремнию Si - поток F₂

3. Поток молекул O₂, вступающих в реакцию с Si на границе раздела SiO₂ /Si - поток F₃

В равновесных условиях три рассмотренных потока равны между собой, при этом скорость формирования оксида определяется самым медленным из них.

Поток F1 определяется разностью между максимальной и реальной поверхностной концентраций окислителя:

F1=h(C*-C₀), где

C₀ - поверхностная концентрация окислителя,

h - коэффициент переноса.

C*- максимальная концентрация окислителя в газе для данного значения давления P

Значение концентрации окислителя C₀ зависит от температуры, скорости газового потока и растворимости окислителя в SiO₂.

Для того чтобы определить скорость роста окисла, рассмотрим потоки окислителя в объеме окисла (F₂) и на его границе с кремнием (F₃).

Согласно закону Фика, поток через объем окисла определяется градиентом концентрации окислителя:

F₂=-D(dC/dz)=D(C₀-C_i)/z₀, ( 1 )

где C_i - концентрация окислителя в молекулах на кубический сантиметр при z=z₀,

D - коэффициент диффузии при данной температуре,

z₀ - толщина окисла.

Величина потока (F₃) на границе окисла с полупроводником зависит от постоянной K скорости поверхностной реакции и определяется как:

F₃=kC_i ( 2 )

При стационарных условиях эти потоки равны, так что F₃ = F₂ = F₁ = F. Следовательно, приравняв соотношения ( 1 ) и ( 2 ), можно выразить

величины C_i и C₀ через C*:

Характеристики

Тип файла документ

Документы такого типа открываются такими программами, как Microsoft Office Word на компьютерах Windows, Apple Pages на компьютерах Mac, Open Office - бесплатная альтернатива на различных платформах, в том числе Linux. Наиболее простым и современным решением будут Google документы, так как открываются онлайн без скачивания прямо в браузере на любой платформе. Существуют российские качественные аналоги, например от Яндекса.

Будьте внимательны на мобильных устройствах, так как там используются упрощённый функционал даже в официальном приложении от Microsoft, поэтому для просмотра скачивайте PDF-версию. А если нужно редактировать файл, то используйте оригинальный файл.

Файлы такого типа обычно разбиты на страницы, а текст может быть форматированным (жирный, курсив, выбор шрифта, таблицы и т.п.), а также в него можно добавлять изображения. Формат идеально подходит для рефератов, докладов и РПЗ курсовых проектов, которые необходимо распечатать. Кстати перед печатью также сохраняйте файл в PDF, так как принтер может начудить со шрифтами.

Список файлов домашнего задания