Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

Крысанова (Салахетдинова) Наталья Вадимовна, МТ11-51

Микро- и нанотехнологии

1 модуль 2 раздел

Вопрос №1

1. На основе описания технологического маршрута изготовления чувствительного элемента кремниевого микродатчика и с учетом используемых при этом фотошаблонов проработать сечения формирующихся при этом микроструктур.

На видах сверху прорисовать топологии формируемых на каждом этапе элементов, выделив их разными цветами в соответствии с сечениями.

Формирование проводников p+ типа к пьезорезисторам.

Пластина тщательно очищается, затем термическим оксидированием формируется плен-ка из SiO2.

Проводится фотолитография.

Схема показана в сечении А-А ( см. 1 файл CorelDraw ).

1. Наносится слой фоторезиста

1. Проводится экспонирование фоторезиста через фотошаблон №1 и проявление

1. Через защитную фоторези-стивную маску проводится травление оксида, а затем через оксидную маску – диффузионное легирование бором для формирования p+ дорожек к будущим пьезорезисторам.

Формирование области n+ типа для контакта к эпитаксиальному слою

Проводится термическое оксидирование

Далее проводится фотолитография

Схема показана в сечении А-А ( см. 2 файл CorelDraw ).

1. Нанесение фоторезиста

1. Вскрытие окон по форме шаблона №2 сначала в фоторезисте, а затем в оксиде.

1. Затем вся поверхность кристалла подвергается диффузии фосфора для формирования n+ проводящих областей.

Формирование пьезорезисторов.

Проводится термическое оксидирование подложек.

Далее проводится фотолитография

Схема показана в сечении А-А ( см. 3 файл CorelDraw ).

1. Нанесение фоторезиста

1. Вскрытие окон по форме шаблона №3, травление оксида.

1. Диффузия бора для формирования пьезорезисторов р-типа проводимости

Формирование контактных окон

Производится термическое оксидирование подложек.

Далее проводится фотолитография

Схема показана в сечении А-А ( см. 4 файл CorelDraw ).

1. Нанесение фоторезиста

1. Вскрытие окон в фоторезисте по форме шаблона №4 и травление оксида

Металлизация и формирование контактных площадок

На рабочую поверхность подложки наносится тонкий слой алюминия, который является материалом межсоединений пьезорезисторов.

Далее проводится фотолитография

Схема показана в сечении А-А ( см. 5 файл CorelDraw ).

1. Нанесение фоторезиста

1. Вскрытие в фоторезисте окон по форме шаблона №5 и травление Al.

Вопрос №2

1. Получить выражение (3) в тексте лекций, дифференцируя (1) самым простым и лаконичным способом, полагая, что ΔR≈dR.

Вопрос №3

1. При описании выражения (4) использованы типичные для технической литературы обозначения для значений относительной продольной (Longitudinal ) и относительной поперечной (Traverse) деформации. В самом выражении (4) приведен связывающий эти деформации коэффициент Пуассона. Однако, при удлинении тела (положительное приращение длины) его сечение уменьшается (отрицательное приращение площади). Поэтому встает вопрос о знаке (плюс – минус) в выражении (4). Учтите это обстоятельство при выводе выражения (5).

Вопрос №4

1. Бонус. Контактные площадки к пьезорезисторам выполнены в виде ячеистой структуры. Почему?

Характеристики

Тип файла документ

Документы такого типа открываются такими программами, как Microsoft Office Word на компьютерах Windows, Apple Pages на компьютерах Mac, Open Office - бесплатная альтернатива на различных платформах, в том числе Linux. Наиболее простым и современным решением будут Google документы, так как открываются онлайн без скачивания прямо в браузере на любой платформе. Существуют российские качественные аналоги, например от Яндекса.

Будьте внимательны на мобильных устройствах, так как там используются упрощённый функционал даже в официальном приложении от Microsoft, поэтому для просмотра скачивайте PDF-версию. А если нужно редактировать файл, то используйте оригинальный файл.

Файлы такого типа обычно разбиты на страницы, а текст может быть форматированным (жирный, курсив, выбор шрифта, таблицы и т.п.), а также в него можно добавлять изображения. Формат идеально подходит для рефератов, докладов и РПЗ курсовых проектов, которые необходимо распечатать. Кстати перед печатью также сохраняйте файл в PDF, так как принтер может начудить со шрифтами.

Список файлов домашнего задания