Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

Проявление фоторезиста

Аннотация

Процесс проявления для фоторезистов заключается в удалении (растворении) ненужных участков слоя, в результате на поверхности остается защитный рельеф требуемой конфигурации. В случае негативных фоторезистов процесс проявления заключается в удалении (растворении) несшитых участков слоя (иногда в том же растворителе, который использовался для приготовления резиста). В случае позитивных фоторезистов процесс проявления связан с химической реакцией превращения инденкарбоновых кислот в растворимые соли. Проявление позитивных слоев зависит от ряда факторов:

• тип проявителя (щелочное соединение, добавки и др.);

• время и температура проявления;

• дополнительное механическое удаление растворенных участков.

П роявление скрытого изображения для негативных фоторезистов заключается в обработке фотослоя органическим растворителем. При этом участки, не подвергшиеся облучению, растворяются, а облучённые участки, где при поглощении ультрафиолетового излучения происходит разрыв межатомных связей и перестройка структуры (фотополимеризация), сохраняются.

В позитивных фоторезистах на участках, подвергшихся облучению, происходит разрушение структуры (деструкция) с образованием кислоты. Для перевода её в растворимые слои применяют раствор неорганического соединения со щелочными свойствами (KOH, NaOH и др).

После отмывки от следов проявителя и сушки полученную фотомаску подвергают тепловому задубливанию (120÷180°С в зависимости от марки фоторезиста), в результате чего окончательно формируются её защитные свойства. От характера изменения температуры во время сушки зависит точность передачи размеров изображений. Резкий нагрев вызывает оплывание краев, поэтому для точной передачи малых (1 - 2 мкм) размеров следует применять плавное или ступенчатое повышение температуры. Примерный режим сушки позитивного резиста ФП-383: 10 - 15 минут при комнатной температуре, 20 - 25 минут в термостате при 120 °С, затем переключение термостата и нагревание до 150 - 160 °С.

Глоссарий

Микролитография — формирование микрорисунков на поверхности твёрдого тела.

Фоторезист — специальный материал, который изменяет свои физико-химические свойства при облучении.

Фотошаблон — пластина, прозрачная излучения, с рисунком, выполненным непрозрачным красителем.

Экспонирование печатных плат — это важный процесс в производстве самого разнообразного электронного оборудования. Экспонирование позволяет наносить шаблоны на печатные платы или создавать печатные платы, которые в конечном итоге будут являться частью электрических и электронных устройств.

Эмульсия — дисперсная система, состоящая из микроскопических капель жидкости (дисперсной фазы), распределенных в другой жидкости (дисперсионной среде).

Проявление — удаление (растворение) ненужных участков слоя, в результате на поверхности остается защитный рельеф требуемой конфигурации.

Интегральная схема (микросхема) — микроэлектронное изделие, выполняющее определенную функцию преобразования, обработки сигнала, накапливания информации и имеющее высокую плотность электрически соединенных элементов (или элементов и компонентов), которые с точки зрения требований к испытаниям, приемке, поставке и эксплуатации рассматриваются как единое целое.

Статья

Технические требования: Проявитель должен быть изготовлен в соответствии с требованиями настоящих технических условий по технологической документации, утвержденной в установленном порядке.

Требования безопасности: Проявитель – Не горюч. Контакт с влагой или водой может привести к выделению достаточного количества тепла для того, чтобы привести к возгоранию горючих веществ, 2 класс опасности по ГОСТ 12.1.005-88.

В состав Проявителя входят: гидрат окиси натрия, силикат натрия, тринатрийфосфат, поверхностно-активное вещество и добавки. Гидрат окиси натрия - пожаробезопасен, ПДК- 0,5 мг/м³, II класс - высоко опасное вещество; силикат натрия - пожаробезопасен, ПДК – 10 мг/м3, III-класс – умеренно опасное вещество

Опасные ингредиенты: Натрий гидрат окиси – пожаробезопасен, ПДК- 0,5 мг/м³, II класс - высоко опасное вещество.

Тринатрийфосфат - пожаробезопасен, ПДК – 10 мг/м3, III-класс – умеренно опасное вещество.

При попадании проявителя на кожу или в глаза необходимо промыть большим количеством воды. Если жжение не прекратиться, то обратиться к врачу

При отборе проб, испытании и применении Проявителя следует применять индивидуальные средства защиты (резиновые перчатки, защитные очки, спецодежда) в соответствии с ГОСТ 12.4.011-89 и ГОСТ 12.4.103-83, а также соблюдать правила личной гигиены.

При приготовлении продукта не образовываются отходов и сточных вод, подлежащих специальному уничтожению, отсутствуют вредные выбросы в атмосферу. Промывная вода сливается в канализацию.

Перед работой рекомендуется наносить на кожу рук защитные кремы.

Метод отбора проб и правила приёмки по ГОСТ 3885-73.

Партии Проявителя, прошедшие приемо-сдаточные испытания с положительными результатами, считаются принятыми, их упаковывают, маркируют и сдают на склад готовой продукции.

Методы испытаний:

• Контроль внешнего вида проявителя.

• 25 см³ проявителя помещают в пробирку ГОСТ 10515-75 и рассматривают визуально в проходящем свете. Продукт должен представлять собой прозрачную бесцветную жидкость, без осадка.

• Определение концентрации.

• Посуда, реактивы:

Кислота соляная по ТУ 6-09-2540-72, 0,1 н раствор

Индикатор бромкрезоловый зеленый по ТУ 6-09-1409-71, 0,1% спиртовой раствор.

Вода дистиллированная по ГОСТ 6709-72.

Цилиндр 3-100, ГОСТ 1770 – 74.

Колба 250-16, ГОСТ 10394 – 72.

Пипетка 4-2-1, ГОСТ 20292 – 74.

Бюретка 3-2-25-0,1, ГОСТ 20292-74.

Проведение испытаний:

• 1 см³ проявителя УПФ-1 помещают в коническую колбу, добавляют 100 см³ дистиллированной воды, 5-10 капель индикатора бромкрезолового зеленого и титруют 0,1 н раствором HCl до изменения окраски раствора от синего цвета до желтого цвета.

• Обработка результатов.

Концентрацию проявителя УПФ-1 вычисляют по формуле:

где С – концентрация проявителя УПФ-1Б, г-экв/дм³;

Nk - нормальность раствора соляной кислоты, г-экв/дм³;

Vk – объем кислоты, израсходованной на титрование, см³;

Vп – объем проявителя УПФ-1Б, взятого для анализа, см³.

За результат анализа принимают среднее арифметическое трех параллельных определений, допускаемое расхождение между которыми, не должно превышать 0,01 г-экв/дм³. Концентрация проявителя должна быть равна 1,42 ± 0,03 г-экв/дм³.

Транспонирование и хранение: требования к хранению и транспортировке:

Хранить отдельно от сильных кислот, металлов, пищи и кормов в небьющейся упаковке. В сухом месте. Хорошо закрытым. Хранить в местах имеющих коррозионную защиту - бетонный пол.

Минимальный срок гарантийного хранения Проявителя 6 месяцев при условии хранении его в таре предприятия-изготовителя в закрытом отапливаемом помещении, при температуре не ниже 10 ⁰С.

Транспортирование Проявителя осуществляют всеми видами транспорта в соответствии с правилами перевозки грузов, действующими на данном виде транспорта.

Упаковка и хранение: упаковочную и транспортную тару маркируют в соответствии с ГОСТ 14192-96 с дополнительными надписями:

• наименования предприятия-изготовителя;

• наименования продукта;

• количества упакованных в транспортную тару мест и массу нетто каждого места;

• массы брутто;

• номера партии;

• даты изготовления.

• В соответствии с ГОСТ 14192-96 указывают манипуляционные знаки: "Верх".

• По ГОСТ 19433-88 указывают знак опасности и классификационный шифр 3212.

Проявитель расфасовывают и упаковывают в полиэтиленовую тару, изготовленную по ТУ 2293-003-54011141-06 емкостью 1 л., 5 л. и 10 литров, с навинчивающимися крышками из полимерных материалов и полиэтиленовыми прокладками.

Каждую партию проявителя или часть партии, отгружаемую потребителю, сопровождают паспортом.

Характеристики

Тип файла документ

Документы такого типа открываются такими программами, как Microsoft Office Word на компьютерах Windows, Apple Pages на компьютерах Mac, Open Office - бесплатная альтернатива на различных платформах, в том числе Linux. Наиболее простым и современным решением будут Google документы, так как открываются онлайн без скачивания прямо в браузере на любой платформе. Существуют российские качественные аналоги, например от Яндекса.

Будьте внимательны на мобильных устройствах, так как там используются упрощённый функционал даже в официальном приложении от Microsoft, поэтому для просмотра скачивайте PDF-версию. А если нужно редактировать файл, то используйте оригинальный файл.

Файлы такого типа обычно разбиты на страницы, а текст может быть форматированным (жирный, курсив, выбор шрифта, таблицы и т.п.), а также в него можно добавлять изображения. Формат идеально подходит для рефератов, докладов и РПЗ курсовых проектов, которые необходимо распечатать. Кстати перед печатью также сохраняйте файл в PDF, так как принтер может начудить со шрифтами.

Список файлов учебной работы