Майсел Л. - Справочник - Технология тонких плёнок (1051257), страница 41
Текст из файла (страница 41)
Непрерывное регулирование пнтания испарнтеля в соответствии с сигналом ошибки от датчика может осуществляться дросселем нвсыще. ння н управляемыми кремниевыми вентилями (гярнсторами). Дросселя насыщения широко используются в схемах с ноннзацноннымн датчиками. Схемные диаграммы такого контроля приводнлись рядом авторов [284, 286, 345].
Система сервоконтроля, в которой используются кварцевый азт. чнк я дроссель насыщения, была приведена Берндтом и Лов [145], Использование тнристоров для автоматнческого контроля скорости испарения началось недавно. Работа таких систем контроля была рассмотрена в обзоре Штекельмахера [279].
Бас с сотрудниками [343, 344] опнсалн систему контроля как скоростн осаждення, так и толщины пленки с использованием кварцевого датчика. Последняя статья представляет общий интерес, поскольку компоненты системы были сконструированы в виде модулей, которые обладают большой гнбхостыо' в осугцествленин различных фуйкцнй контроля процесса нспарення. Например, управляющий сигнал может быть получен от датчика, отличного от кварцевого датчика. Более того, хотя снсМыа первоначально н предназначалась для контроля прямопакальных испарнтелей, схема контроля является достаточно гнбкой, чтобы стабильно работать с другнмн типами нспарителей, нмеющимя иные эавнснмостн скорости нсяарення от мощности.
Напрнмер, скорость нспарення прв использовании нагрева электронным лучом заметно меняет. ся прн нзмененвн электронного тока. Испарители с индукционным нагреяом также могут управляться системой обратной связи. Однако высокая стоимость, а также необходимость большой площади и требования техники безопасности для генератора н дросселя насыщения обычно ограничивают использование таких нспарителей.
Турнер с сотрудниками ]334) опнсал нспарнтель сплава никель — железо с индукцнонным нагревом, кото ый звтоматнческн управлялся от ревясторного датчика. общем, разработка оборудования для контроля осаждения идет по пути все большей автоматизация, чтобы нсключнть влняяне оператора и, следовательно, повысить яоспронзводимость свойств пленок. Основной задачей является создание полного цикла откачки н осаждення, в котором используются датчики давлення, температуры, скорости испаренпя, а также серзомеханнзмы с снсгемамн электронной подстройки, так что когда будут достигнуты определенные условна по давлению, температуре илн скорости испарения, каждый шаг процесса будет автоматнческн включаться н вынлючаться.
Такую тенденцню можно Вйметнть в сяствме Инглиш, Патнера н Холленда [346]. СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ 1 Р а г а б а у, М., РЬ1!. Тгапз., 147, 145 (1857). 2 Х а Ь г и, о!б, й., Апп. Рйузй, 31, 467 (!887). 3 К п и д 1, А., Апй. Рйуз99 34, 473 (1888).
4. См., например, О п 66еп Ье(щ, Е. А., "Тпегшобупаш!сэ. Ап Абчап. гед Тгеэ1аеп1 [ог Спею)з(з впб Роуз!с(з(з", 4й еб., )(ог(9 Нойапб РпЫ[зщпй Сошрапу, Ашэ(егбаш, 1999. 5. ЬГ ез те у а поч, А. Н., "Чаро! Ргезьиге о1 !Ье Сйеписа( Е)етеп1ь", Е)ьеч!ег РиЫ!зМи6 Сатрапу, 5)ечг Уагй, 19Я. (Неси еи но в А. Н.,Давление пара химических элементов", М., нтд-во АН СССР, 196!). 6 Кийввсйегчьй1, О,, апд Е. 1.
Ечапз, "Ме(аИиг6!са! ТЬегтогйет!ь!гу", Регбзгпоп Ргеьз, Г(етч Уогй, !965. 7 См., например, 1. е гч ! ь, С. Х. впд. М. К в пд а)1,, "Тйепподупапнсв", 2д ед., р. 4!9, МсСгагч-НИ! Воой Сатрапу, Г(ею УогК 1961. 8. См., например, 0 а г Ь си, !.. 5., апд К. УЧ. С и г г у, "Рйуз!са1 С!гев1- з!гу о1 Ме(а1ь', р. 233, МьСгав.Н!И Воой Сатрапу, Неы УогК 1955 [Русский персвол: Л! а р к е н Л. С. и Г у р н Р. В. Физическая хи. мкя металлов. М., Метвллургиздат, 1961).
9 Кать! п1, Р, О, "5е!ес1ед Ча1иеь о1 Тйегпюдупатк РгорегИеь", ХВ$ С!гси!аг 500, Чочегптеп1 Рг!пйпд 01Псе, !ЧаьМп6!оп, 0 С., 1952. 1О УЧ а 2 в а и, О. Р., "Зе1ес1ед Ча!иеь о1 Сйет!са! ТЬегтодупавк Рго. рсгИеы', ХВ5 Тесйп!са! Г(о!е 270-! (!965), 270.2 (1966), Сочегпвеп( Ргпитб ОП!се, туаьй!п61оп, Р. С 1! Ке1)еу, К К., "Н16Ь Теврега!иге Неа! Соп1еп1, Неа! СарасИу, апд Еп!гору Ра!а Гог !Ье Е!евеп!ь апд !пагбап!с Совроипдь'; Вигеаи о! М!пе» ВиИеИп 584, Сочегптеп1 Рппйпб ОГГ!се, ЧГгаьЫпд!оп, 0 С., 1960.
12 Ке!Ге у, К. К., апд Е. С. К!об. "Еп1гор!еь о1 !Ье Е(евеп!ь апд Гпогбап!с Сотроипдз", Вигеаи оГ М!пеь ВиИейп 592, Сочегпвеп! РгпгИп6 ОГГ)се, т!гаь!ип6!оп, Р. С., !96!. 13 51и! 1, 0 К,, апд С. С, 5! пйе, "ТЬепподупанис РгорегИез а! !Ье Е!свен!ь", Адчаасеь гп Сйет!з!гу 5епеь, по. !8, Атепсап Сйетка) Зос(е1у, 1956. 14 51 и ! 1, Р. К., "ЛАЬ)АР Тйеппосйепнса! Ра!а", Тйе Роге СЬет!са! Со., 0.5, С!еаг!п6Ьоиье, Зрпп6Ие1д, Ча., 1965/66. 15 1Ч!сйз, С.
Е., апд Р, Е. В!осй, "Тйегптдупапис РторегИез о1 Я Е!евеп1ь — Тйе!г ОхЫеь, НаИдеь, СагЬ!дез, апд %1пдеь", Вигеаи а) Мтез ВиИеИп 605, Уочегптеп( Рг!пИпд ОП!се, Чг'аьМп6!оп, Р. С,, 19Я. 16 () !!сй, Н., "Кигхез 1ейгЬисй дег рйуь!ЬаИзсйеп С!ьев(е", 5!й ед, р 100, Тйеодаг 5!е1пйорП Чег1а6, (.е)рх16, !948. 17 Ке!1еу, К.
К., "Тйе Ргее Епегб!еь о! Чарог)хаИоп апд Чарог Ргеззи. геь о1 !по!бал!с ЗиЬз1апсез", Вигеаи о( М!пез ВиИеИп 383, Сочегпгпеп! Рг!пИпц ОПКе, 1935. 18 Н оЬ та пи, Е., апд Н. В ответ, 2. Апогб. АИ6ет Сйет., 248, 383 (1941) 19. Н о п ! 6, К, Е., КСА Кеч., 23, 567 (1962). 20 Ни)!6геп, К., К.
1.. Огг, Р, Р. Апдегьоп, апд К. К Ке!!еу. '*Зе)ес!ед Ча!иеь о! ТЬепподупапнс РгорегИев о! Ме(а!з апг1 и!!оуь", Лойп УЧИеу апд 5опь, Гпс., Хечг Уогй, 1963. 2!. Риз Ь|ъап 5., "Зс!епИ(гтс РоипдаПопь оГ Часишп Тесйп!9ие", ЛоЬп ЧггИеу апд Зопь, 1пс., Хечг Уог!г, 1962. [Л(зшман С., «Научные основы вакуумной техники», М., иьл-во «Мир», 1964)'. 22. См, например, К си па г д, Е. Н., "КгпеИс Тйеогу о1 Сазез", МсСгамНГИ Воой Сатрапу, Нечг Уагй, 1938 или ссылку 23.
23. Ра гйег, Р, "Е!ес1гоп!сь", р. 935, Едчгагд Агпо!д (РиЫ!ьйегь) 1.Ы., Еопдоп, 195о 24. С Ь ар в а и, 5., апд Т. С С отч !! п6, "Тйе Ма!ЬеваИса! Тйеогу о( Гь)оп-ипПопп базеь", Сатйг!дбе Рпгчегы(у Ргеьь, Нечг УогК 1939. 6' 163 Гл. 1. Вакуумное аспаремае 25. К п н д ь е п, М„Апп.
РЬувй, 28, 75, 999 (1909); 35, 389 (1911). 26, Б 1 е с |с е !из а с Ь е г, %., Часпилз, 16, 561 (1966). 27. Ь е ч е п в о п, 1.. Ы, Х. М з! 1 е г о л, вид (З, Н. 0 а ч 1 з, Тгапа, 7й АЧБ Бузлр., 1960, р. 372, Регбапзоп Ргезя, Ох1огд, Елд!айд, 28. Н е г( в, Н., Апп. РЬув!Ь, 17, 177 (1882). 2н9. К подвел, Н., Апп РЬувй, 47, 697 (19!5). 30. 1 а п 2 лз и 1 г, 1., РЬуьй. 2., 14, ! 273 ( ! 913) .
31. К подвел, М., Апп. РЬуяй, 26, 179 (1909). 32. Кпвс1ге, О., апд 1. Х. 51гапзЬ1, Ртов. Ме!а1 РЬуь., 6, !61 (1956). 33. Ис1пег, Е., в кн. Е. ((и1иег, Р. Оа(д!1лдег, апд 3, Р. Н!т!Ь (едь.), "СопдепьаИоп апд Ечарогабоп о1 БоИдь", р. 149, Оогдоп апд Вгеасл, Бе!енсе РиЫ(вЬегв, 1пс., Хезч УотК, 1964. 34. См. ссылку 33, Р ге его а и, И. (У., апд Л, О. Ед зев г4 в, р. 127. 35. Н1г!Ь, Л. Р, апд О. М, Рок пд, "Сопдепьабоп апд Ечврога1!оп, Хис!еа!(оп апд Сгозч!Ь КзлеИсь", ТЬе Масти!Иап Солзрапу, Хеаз УогЬ, 1963 36 См. ссылку 33, %1 п в( очи, О. Н., р 29. 37. Ве!1ог ге, д. Р., Т.
Сз. Кпогг, апд Е. Н. На(1, в ки. С. Р. Ро. зч е ! 1, 3 Н. О х! е у, апд,1. М. В!о с Ь е г. Зг. (едв ), "Чарог Веров( ° Иоп", р, 62, доЬп УЧИеу апд Боль, (пс., Хевз УотЬ, 1966 38. Ро!а п у 1, М., апд Е. %!бнет, 2. РЬувй. СЬепз., 139Аз 439 (1928), 39. Нега(е1д, К. Р., "КзлеИзсЬе ТЬеог1е дег %аеппе", р.
229, чо! 3, !. 2 о! МиеИег-РошИе!(а, "1.еЬгЬисЬ дег РЬуь!1с", Р. Ч!езчеб апд Бопв, твипьсЬзчвб. !925. 40. Ре1зег, Н., в кн. М. Чозглег (ед), "Кзпе1й дег РЬаьелЫ!допб", ТЬеодог Б!е!пЬор!! Чег(аб, Вгевдеп (1939). 41. Хеппзаил, К., 2. РЬуьй, СЬепз., !97А,!6 (1950). 42. Реп пег, Б. Б., т.
РЬуз. СЬегп., 52, 367, 949, 1262 (1948); 56, 475 (1952); 65 702 (!96!). 43. О! авз(о не, Б., К. Л Ьа !д )ег, апд 11. Е угзпд, "ТЬе ТЬеогу о! Ка!е Ргосеьвев", МсОгазч-НИ! ВооК Солзрапу, Хезч Уогй 1941. ЯЯ. Нега!е!д, К. Р.. 3. СЬетп РЬуз., 3, 319 (!935). 45. 51еагп, А. Е., апд Н Е уг(об, Л. СЬегп, РЬуз., 5, !13 (1937). 46.
5Ьп11т., И. В., апд А О. Ое1зЬег, Л. СЬегл РЬув., 23, 2133 (1955). 47. Мог(епьеп, Е. М., алд Н. Еуг!пд, У РЬув СЬеиз., 64, 847 (1960). 43. См. ссылку 33. Е у г! л 6, Н., Р. М. % а п(а в ь, апд Е. М Е у г ! п 6, р. 3. 49. Коьее!, %., ХасЬг, Сеь. %1м, Ооезз!ибеп, 1927, р. !35; Апп РЬувй, 33, 651 (1938). 50. 51гапв1зз, 1 Х., 2, РЬувй. СЬепз., 136, 259 (!928); !ЗВ, 421 (1931). 51.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
