Майсел Л. - Справочник - Технология тонких плёнок (1051257), страница 43
Текст из файла (страница 43)
136 $$ о Ь п, К., 2. РЬувй, 126, 20 (1949). 137. С!вил, К., $$. А. Но)вчгоод, апд 1.. 1. Ма)вве!, Тйп Бо))д РВвв, 1, 151 (1967). 138 В е а [ 1 ! 1, А. $$., $$ С, Т и г п е)1, апд Р, 5 С а пг р Ь е ! 1, ТЫп Бо. 1И ГВгпв, 1, 3 (1967). 139 ВеЛ гид 1, К. Н., а кн. С. Наев апд $$. Е, ТЬип (едв.), "РЬуз!св о! ТЬгп Г))гпв", чо1. 3, р, 1, Асадеиг!с Ргевв 1пс., Хек УогК, 1966. [Русскн6 перевод; «Физика тонких пленок», т. 3. М., «Мнр», 1967.[ 140 ОЬег 9, Р.
Е., К. М. Бапдег, апд Е. д. ТогоК Часишп, 13, 53 (1963) . 141 В и д е п 1 в, С., апд 1.. Е, Р г е и в в„Тгапв. 10й АЧБ Бувр., 1963. р. 374, ТЬе МасвВ!ап Совраиу, Хехч ЪогЕ 142 В ей гид 1, К. Н., апд К. А Лопе в, Тгапв. 5й АЧБ Бувр., 1958, р. 217, Регдавоп Ргевз, Хегч УогК. 143 В ей г п 0 1, К. Н., Тгапв.
6!Ь АЧБ Бувр., 1959, р. 242, Рег9авоп Ргезз, Хегч УогК. !44. Вейгпд1, К. Н., Тгапв. 7й АЧБ Бувр., 1960, р. 137, Рег8агиоп Ргевв, Хеиг УогК 145. ВеЬгид1, К. Н„апд К. )Ч.1 аче, Часишп, 12 (1962). !46. Вейгпд1, К. Н., Тгапв. 9й АЧБ Бувр., 1962, р. 111, ТЬе Масии!- )ап Соврапу, Хегч УогК.
147. Н а за, С., апд Е, $$1$1ег, 3 Часшои Бс!. Тесйпо)., 4, 71 (1967). 148. Р)айег, $$. А., аид 3, К, Р1а $1, Кеч. Бс). !пз(г., 8, 505 (1937), 149 Веигпд1, К. Н., Тгаиз. 10й АЧБ 5упгр., 1963, р. 379, ТЬе Масвй)ап Согирапу, Хечг УогК. 150. ВеЬгпд1, К. Н., апд Р, %. Роидй(у, 3. Часиши Бс! Те«Ьпо).. 3, 264 (1966). 151. См. ссылку ЗЗ, Ргочгаг(, 3., р. 255.
152. Ке1с Ье!1, %., апд Р, Мие!!ег, Чакиий-уесйп., $962, ио 8, 153. См ссылку 59, Н о 1! а и д, 1... р. 464. 154 См. ссылку 6, КнЬавсЬегчвКК О., аид Е. 1 Ечапь, р. 326. 155. В!а с КЬ и г и, Р. Е., М. Н о сЬ, апд Н. 1.. Ло Ьпа(оп, Л. РЬуь. СЬев., 62, 769 (1958). $67 Гл. !. Вакуумное испарение 156. Зсйае1ег, Н., апб й. Ноегп1е, 2.
Апогй. АИЗев. СЬев., 263, 26 (!952). 157. ТовЬв, Х. С., апд А. 3. Е..%е1сЬ, Л !гоп $1ее! 1пв(„172, 69 (1952). 158. На с в а п. О., %. К. НпЬег, апб С. йе111п 2 Ь а ив, Ех1. АЬв(г, 14 1Ь АЧЗ Зувр., 1967, р. 27, НегЫсй апд Не!6 Рйпйиб Со„Р!ИзЬц«ЗЬ, Ра. 159, См. ссылку 21, $1в о п з Е. 1, р. 760. 160. %оев1еи, %, 3., апб М. С. Сгеегз, 3. РЬув. СЬегп., 65, !252 (1962). 16!.
Х е и Ь а и в, А., ало %. й е1 11 п 9, 2. Е!еИгосйев., 62, 33 ()958). 162. % оев1еи, %. А, 3. РЬуз. СЬев., 65,!949 (1961). 163 Впгве(в1ег, й, А., Зг„апд О. А. $1ечепвоп, 1. Е)ес!госйев. Зос., 114, 394 (!967). 164, де ХоЬе1, О., РЫ1!рв йев., йер1., 14, 361, 430 (!959]. 165. Зспо о)аг, й. В., апд 3, Х. Зеве 1, 3. Арр!. РЬув., 35, 1849 (1964). 166. Е 1 в 1 а 1 Ь 1 о и, А. О., М.
Н о 11 в а и, а об Е. й. Е е ч! п, Ех1 АЬЫг. 13ГЬ АЧЗ Зувр., 1966, р. 143, НегЫсй вид Не)г! Рг)п!1п2 Со.. Р!ИзЬцгЗЬ, Ра. 167. Чес Ь1, А., в кн. С. Нава аид й. Е, Тйнп (едв.), "РЬуйсв о( ТЫп Р!!вв", чо). 3, р, !65„Асабеги(с Ргевв 1пс., Хеп Уог)г, 1966, (Русский перевод: «Физика тонких пленок», т. 3. М., «Мнр», 1967).
168 Н а в !11оп, Р, М., ЗСР Зо1Ы $1а1е Тесйпо!., Зоне, 1964, р. 15. !69, йе1сйе11, %., Ргос. Зд 1п1егп. Чвсццв Сопит., 1965, чо1. 2, р. 25, Регйавоп Ргезз, Лею Уогй. 170. См, ссылку 33, Со)(п, й., апб Р. Со!41)п бег, р, 165. 171.
См, ссылку 33, $о гп о г) а г, С. А,, р. 417. 172 Соева«и!, А., апб 3, $. Ко!1, в кн. й. Лйейегвауег апб Н, Маует (едв.), "Ваз(с РгоЫевв 1и ТЫи Р!)в РЬуз!св", р, 646, Чапдепйоесй апй йцргесЫ, Сое(1)паеи, 1966. 173. С а г)о ц, Р. Е., Ч. А С а ! а 1, апд М. М. С а! а г у, Ргос. 1967 Е)ес1. гоп. Согпроиеп(в Соп(., р. 60. 174. С о х, Я. Т., С. Н а в в, апб 3. В, й а в з е у, 3. РЬуз, (Раиз), 25, 250 (1964).
175, й е)с Ь е! 1, %., ЧЫе, по. 106, р, 390, 1963. 176. Р!!»1ггп, %. А., апб Р. Р. Св»1гпсс1, Е1ес(госйев, ТесЬпо1., 6, 85 (1968). ! 77. См. ссылку 171, Е! в е! е К. М., р. 672. 178 $1н11, О. й., !пб. Еп9. СЬев., 39, 540 (1947). Таблицы можно найти также в "НапбЬоо1« о( СЬепцвгу апд РЬув!св", 471Ь еб., р. О-109, ТЬе СЬев)са! йцЬЬег Со., С!ече!апб, ОЫо, 1966.
179. О а г 1«си, 1, 3., апб й. %. С ц г ту, "РЬуз!са! СЬевРйгу о( Ме1а1з", . 342, МсСгаяг-Н(1! Врой Соврапу, Нем Уогй, !953. Русский перевод; Д аркен Л. С. н Гуррн Р, В., „Физическая химия металлов", М., Металлурги»дат, 1960.1 180. 4) н(11, Ь. 1.. (ед.), "ТЬе СЬевпйгу апб Ме(а!!цгйу о1 М1зсеПапеоцв Ма!ег!а)в", МсСгахч-Нгй Воо)«Соврапу, Хею Уогй, 1960. 18!. См. ссылку ЗЗ, й(с !ге г1, Н,, р. Ю!.
182. См. ссылку 172, К и а ц 1 1, К. С„р, 207. 183. См, ссылку 33, Е у о п, Т. Р.; р. 435. 184. % е 1» е г, К., в кн. й. К %1! 1 а г 6 з о п, аид Н. 1.. С о е г1 п 6 (ейв+ "Совроцпд Зев!сопбнс1огв", чо1. 1, "Ргерагайоп о( 111-Ч Совронтм)в'« р. 471, йе!пйоЫ РнЫ!»Ыия Согрета(!оп, Хем Уогй, !962. 185. См.
ссылку 33, Еее, Р. К.. апд й. С. 5 сЬоо ив в Ьег, р. 379. 168 Список литературы 186. См ссылкУ 183, Рарагоо!1!ь, С., р. 32ь 187. 0 а 1а„Е. Ь., Сг. $ е п е с а 1, а по' Вч Н и е Ь и е г, Тгапа. 10 !Ь АЧЗ Зуптр., 1963, р 348. ТЬе Масшгйаи Сошрапу, Хем уогЫ 188. 2 ! п ь ш е ! ь 1 е г, 6„Часншп- Тась., ио. 8. р. 223, ! 964. 189. $ о ш ш е г, А. Н., !.
Арр!, РЬув., 37, 2789 (1966). 190. 1.о не, й. М., 3. Ар!', РЬуь., 39, 2476 (!968). !91 См., например, Ко г г и» ги, О., "ТгеаПье оп Е!ес!госиеш!ь!гу", 28 еЛ„ р. 54, Е!ьеч!ег РнЫ!ьЬищ Сои!тьпу„Хетт уогК 1965. 192. г( н1! 9 геп, й,, й. 1.. Ог г, Р. О. А пб егьоп, впд К. К. Ке!! еу, "Зе1ес!сд Ча(неь о1 ТЬегшооупаш!с Ргорег((ез о! Ме!а!ь апг) Айоуь', )оьи 'тУПеу апд Зопь., 1пс., Хечг Уогй 1963. !93 Зе!1агь, О.
й., $, 1.. Рауне, А Р Могг)в, апг) Р. 1, К)рр. Тгапь Ме!. $ос. А)МЕ, 215, 181 (19591. 194. См ссылку 21, К о ! ! е г, 1. й. !95 Но!!ег, Р., (Ч. Т Ьап9епг!аш, зид А А Ье!у, РЫП1рз Те«Ьи. йеч., 24, 144 1!963!. 196. Например, этот метод описан в сообшенин ВПЬ.№ 67-6, изданном Веиг!1х йеьеагсЬ (.аЬога!оПез, Зоп1Ы)еЫ, М(сЬ. 197. Р! пеЗа п, 3. 1., апг! Р. й Сои!6, Тгапз.
9(Ь АЧЗ Зушр„1962„ р. 129, ТЬе Масш!Пап Сошрапу, Хечг Уог1г. 198. Ое8епЬаг1, Н. Л., апг( 1. Н. РгаИ, Тгепз.!О!Ь АСЗ Зушр„)963, р. 480, ТЬе Масш!Пап Сошрапу, Хеиг.уогй. 199. 5 те!!1, й. А., В, А. Хоче 1, апг) К. М. Мега, Л, Часшип Зс(. ТесЬпо)., 5. 79 (1968). 200 С а ш р Ь е) 1, О, $., зпг) В. Н е п д г у, ВП1.
3. Арр!, РЬув., 16, 1719 (1965). Ю!. В1о)э, М. $,,1. Арр1. РЬуь., 26, 975 (1955). Ю2. Репи, Т, С., апг) Р. О )Чвэ1, 3. Арр!. РЬув., 88, 2060 (1967). ЮЗ. 1. в Ь ь Ь ш а й а п, К., Тгаив. 8!Ь АЧЗ Зугпр., 1961, чо1. 2, р, 868, ТЬе Маспийзп Сошрапу, Хем УогЬ. 204. См. ссылку 33, Ь е м! э С. )Ч., апд М. $ с Ь 1 с Ь, р. 699. 205 (Ч!ег(, О., алд М. Т(егшап, Ргос.'Зд Апп. Мгсгое!ес1гоп. Зушр„ $!. 1.онВ, !964, р. 1 — С вЂ” !.
206. $1егп, Е., Ргос. Е)ес(гоп. Сошроиеп1ь Соп1., 1966, р. 233, 207. й(6 г(1е, О. С.. Ех!. АЬь!г, 13!Ь АЧ$ Зугир., 1966, р, 89, НегЫс)г апд Не!4 Рг!ййпй Со., Р!!!ьбогЗЬ, Ра. 208. 5 а нег, Е., апд Е. () пает, Е. Ха!ог!огвсЬ., 13а, 72 (1958). 209. При рассмотрении влияния остаточных газов на свойства тонких пленои см. С а ь чг е!1, Н.
1, О, Н а з ь (ед.). "РЬув(сз о! ТЫп РПшв", чо!. 1, р. 1, Асадеш(с Ргевэ!пс., Хстч Уогн, !963. Русский перевод; «Физика тонких пленок», т. 1, М., «Мир», 1967.1 210. !а р Ь а ш, Р. В., Л. Зсг. 1пыг., 39, 596 (1962). 21!. Юо)1ег„А. й., Л, Арр1. РЬув., 36, 2377 (1965).
2!2. ЗсЬтчаг(х, Н. Л., Л. Арр1, РЬув., 34, 2053 (!963). ИЗ. ).и, СЬ!Ь-ЗЬип, апб А. А. М1!агаш, Л, Часоогп Зс1, ТесЬпо1., 4, 49 (1967). И4. й о Ь е г 1 ь, й. 1Ч„апд Т. А. Ч а п г( е г ь! !с е, "(П!гаЫЗЬ Уаспшп апд 1(в АррПсаПопь", р. 167, Ргепйсе-Най, 1пс.. Епй1етчоод СПНз, Х. 3„ 1963.
Иб, О 1 Ь ь о п, й., В. В е г 8 з п о ч-Н а п э е п, Х. Е п д о тч, апд й. А, Р аз(е г п а Ь, Тгапз. 1О !Ь АЧЗ Зушр., 1963, р. 88. ТЬе Маспийап Сошрвиу, Хем Уог1г. Иб. На язеп, Х., апд %, Ь111ш а и, Тгвпз. Зг) 1п(еги. Уасоош СопЗг !965, чо!. 2, р. 465, Регбашоп Ргеэь, Хем уогЫ Гл.
1. Вакуумное яспаренне 2!7. 5(пд)е(оп, Л, Н., Тгапв. 34 )п(егп. Часишп Соп87., $965, чо1, 2, р. 441, Регдапюп Ргезв, Хекс Уог1с. 218. й 111 ег, Е., Мола1вЬ, СЬев,, 95, 795 (1964). 2!9. й 1 11е г, Е,, Л. Часишп Бс1. ТесЬпо!., 3, 225 (1966). 220. А п а зс а в ! о, Т, А., Л. Арр1. РЬув, 38, 2506 (1967). 221. Г е и е г в а и д е г, А. Е., А. К, Н а и е п !о с Ь е г, аси6 А Ь Б о!о. ш оп, Л. Е)ес(госиегп. Зос., 111, 1387 (1964). 222. К г 11сог1а п, Е., Ех1.
АЬМг. !3(Ь АЧ5 Бушр., $966, р 175, Н е г и ~ си лис) Н е 1 6 Р г с и $ с л и Со., РИ!зЬс(гдЬ, Ра. 223, БсЬ!11! пд, й. В., Ргос. !ЕЕЕ, 52, 1350 (1964). 224. Х о ч 1 с е, М. А., Л. А. В е п и е 1 1, вид К, В. С г о в з, Л, Часиигп Бес. ТесЬло!., 1, 73 (!964). 225. Гг а пК й. !., апд )Ч. 1., МоЬегд, Л. Часиипс Бес. Тесипо!., 4, !3) (1967). 226.
Сн. ссылку 59, р 476, Н о! 1 а п и 1.. 227. Н е г г ! л и, С, Б., апд А. Р. Т е ч е Ь а и д Ь, Л Е)сс!госЬегп. Бис., 110, 119 (1963). 228 С г е ш е г, Е, лис) Н. Р и 1 1с е г, МолаНЬ. БЬеш., 93, 491 (1962). 229. й 111 е г, Е., Ор!. Ас1а, 9, !97 (!962]. 230 Р(гав ге!)о, Г. А., Л. Арр!. РЬуз., 35, 2730 (1964). 23! 11оЬ, А., Ргос. 41Ь !п$егп, Часишп Солюс., 1968, р1, 2, р. 536, Т)се !иИИи1е о1 РЬуз)сз влс)(Ье РЬуз)са! Боссе1у, Ьопйоп 232 М!11ег, й. Л., ап4 С. Н. В асЬшап, Л, Арр!. РЬув., 29, 1277 (1958).
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
