Майсел Л. - Справочник - Технология тонких плёнок (1051257), страница 45
Текст из файла (страница 45)
У. 323 О а ч)6 в е, Р. О., апд 1.. 1. М а(в в е 1, Тгапв. 36 1и!егп. Часппш Соппт., 1965, чо!. 2, и. 651, Регбашоп Ргевв, Мечт Тог1г; Оач!ба е, Р. О., айг! 1., !. М а(в в е 1, Л. Арр(. РЬув. 37, 575 (1966). 324, Воьз, О. %., %. А. Р1)вЬ1й, апд М. йеч!(х, 1ВМ ТесЬ, О!вс1о. зше ВпП. 9, по. 10, р. 1389, 1967, 325. Р1!зи!п, %. А., апд й. А. %еввоп, 1ВМ Л.
йев. Овче!ор., 12, 192 (1968). 326. %ев во п, й. А., Н. %, Успп б, апд %. А. Р11в Ь! и, Арр1. РЬув. Ье(!егз, 11, 105 (!967). 327. %езьои, й. А., й. Р. РЫ111рв, апб %. А. Р1(зЬ(и, Е Арр). РЬуз., 38, 2455 (1967). 328. Р1! зЬ(й, % А, Бо00-5(а1е Е!ес(гоп., 11, 957 (1968). 329. 2е г Ь ! в, Н„ЧаЬпшп-Тес!г., 12, 173 (1963). 330. Т и г у, А.
М., апд С. !., Бт11Ь. Патент США, 3, 059, 611,!962. 331. О и гп(и, О. Л., йеч. 5с!. 1пв1г., 38, 1107 (!967). 332. Вен п е !1, Л. А., апд Т. Р. Р!а п а ба и, Л. Ясс (пь(г., 37, 143 (1960). 333. Б1ес1ге!шасЬег, %., Л. Епб)1зЬ, Н. Н. А. Ва1Ь, О. Наупев, Л. Т Но)реп, апд (.. Но!!айд, Тгапз. 1065 АЧЯ Бутр„ 1963, р. 415, ТЬе Маспнйап Сошраиу, Хеп' ТогЬ. 334. Тпгоег, Л. А., Л. К, В(г(чг(в11е, апд й. О.
Но(!шап, Л. ЗсЬ 1пз1г., 40, 557 (1963). 335. Ч а п д е г Р а и и, !.. Л. РЬП(рв йев. йер!., 13, 1 (1958). 336 Сг!1(епбеп, Е. С., аиб й. %. Но1(п1ап, йеч. Мой. РЬув., 25, 310 (1953). 337. В !в Ь о р, Р. %., йеч. Яс(. 1пзЬ'., 20, 527 ( 1949). ЗЗВ Ма1зве1, 1.. 1,, й. Л, Нес Ь1, апб М. %. $!1сох, Ргос, Е!ес1гоп. Сошропеи1в Соп1., 1963, р. 190.
Гл. 1. Веаууьвпее пспареиае 339. Ке!ь1ег, Е. Я,, апд й у, Зев ррЬе, Тгапв, Я!Ь АЧВ Вупгр., 1962, р, 116, ТЬе МасппВап Сопграпу, Хеь» УогЕ 340. й! д д1е, б. С., Ргос. 4уп Вупгр. Е!ес!гоп Веагп ТесЬпо!., 1962, р, 340, АВоуд Е!ес1гап!св Согр., СагпЬг!62е, Мавв. 34!. Вопд, %. 1, д. Ор(, Вос. Апз., 44, 429 (!954). 342. Ва1Ь, Н. Н.
А., апд %. 51ес1ге!гоасЬег, 7. Вс!. !пв1г, 42, 144 (!965). 343, В а 1 Ь, Н. Н. А., д Вс!. 1пь(г., 43, 374 (1966). 344, Ва1Ь, Н. Н. А., 7, Еи6!1вЬ, апд %. 5!есЬе! ига с иег, Е!ес(гоп. Согпропеп1в, 7, 239 (!966). 345. У в 1 1 е, Т, Н „%. С. Ч е г д а г а, а пд Н. М. 0 г е е п Ь о и ь е.
Патент США, 3, 3!6, 386, 1967. 346. Е и и!! ь Ь, д., Т, Р и 1 п е г, апд !., Н о1 ! а п д, Ргос, 4(Ь !п(егп Часппгп Соп2г„!968, р1. 2, р. 491, ТЬе !пьШгде о1 РЬуясь апд Гпе РЬу. ь!са! Бес!егу, Еопдоп. Глава '2 Техника высокого вакуума РЕР)НХАРД ГЛЭНГ, РИЧАРД Э, ХОЛМВУД И ДЖОН Э. КУР!4 СОДВРЖАНИВ В Г 221 Адсорбция газов Список обозначений .
!. Введение . 2. Вакуумные насосы Механические насосы 1) Врашательные насосы с масляным уплотнением 2) Двухроторные насосы (насосы Рутса) 3) Турбомолекулярные насосы Диффузионные насосы 1) Принцип действия 2) Обратный поток паров рабочей жидкости 3) Ловушки и отражатели. 4) Области применения . Криогенные насосы Криосорбционные насосы !) Свойства сорбнруюших материалов 2) Вакуумные применения .
Геттерные насосы 1) Химическая откачна и сублимационные насосы 2) Электронная откачка и иониззционные насосы . 3) Ионно-испарнтельные насосы 4) Ионно-распылнтельные насосы Материалы, применяемые в вакуумных системах Обезгаживанне материалов . 1) Изотермическая десорбцня 2) Десорбция врн увеличении температуры 3) Выделение газа за счет диффузии Скорости обезгаживания вануумных материалов Ц Металлы, 2) Стекла .
3) Эластомеры 177 178 179 180 !80 183 184 ,185 185 179 , 189 . 193 195 199 200 203 . 2гб . 207 . 210 . 212 . 215 226 226 228 229 . 233 235 236 237 Гл. 2. Техинка высокого вакуума . 277 . 277 . 281 285 "86 287 290 1) Обшне сведения . 306 2) Системы непрерывного действия н установки для многослойных покрытий . 307 3) Спецвальнме проблемы . . 309 3!1 . 3!1 . 311 , 313 , ЗГ5 Г. Проникновение газов . Д. Проницаемость вакуумных материалов Ц Металлы 2) Стекла 3) Эластомеры 4) Проникновение атмосферных газов .
4. Техника монтана вакуумных систем А. Неразборные вакуумные соединения 1) Процессы сварки. 2) Материалы н конструкции сварных соединений З~ Пайка мягкими и твердыми припоями 4 Метзллостеклянные сваи 5) Металлокерамическзе спан В. Разборные вакуумные соединения 1) Воски, смолы и замазки 2) Соединения с прокладками из зластомеров 3) Соединении с металлическими прокладками В. Вводы в вакуумных конструкциях 1) Электрические вводы . 2) Вводы для передачи движения Г. Вентили вакуумных конструкций 1) Форвакуумные вентили 2) ВысоковдкуУмные вентили 3) Вспомогательные вентили 5.
Конструкции и рабочяе характеристики вакуумных систем А. Газовый баланс в вакуумных системах Б. Разбориые высоковакуумные системы В. Сверхвысоковзкуумиые системы 1) с!астичио прогреваемые системы 2) Полностью прогреваемые системы Г. Выделение н поглопгение газа нспарнтелямн Д.
Автоматизированные системы для осаждения пленок 6. Вакуумные измерения А. Выявление течей !) Идентификация вакуумных течей 2) Гелиевый течеискатель . 3) Устранение течей 239 . 241 . 2!2 . 243 243 . 244 245 . 246 . 246 . 251 . 261 . 258 . 268 . 268 ".59 . 275 292 . 292 . 295 . 298 . 298 , 299 Свясок вбоэначенвй Анализ спектра ос~згочных газон,...,,... 331 1) Рабочиг параметры анализаторов остаточных газов...
332 2) Нанболес распространенные гнпы анализаторов остаточных газов................... 334 3) Интерпретация спектров остэто ~ных газов....... 331 Спнсоа антерагуры 33Ь СПИСОК ОБОЗНАЧЕНИЙ постоянная в . эконе Генрк; скорост~ нагревания грач. г-' площадь, сма линейный коэффициент теплового расшнрениь коэффнцнент прнлнпання частиц газа, падающих на поверхность постоянная в нзотерме Ленгмюра, мм рт, ст.-' экспонента в уравненин откачки растворимость газов в твердых телах, об. е4 концентрацня газа в твердом теле; проводимость секции вакуумной камеры, л ~ в ' толщина (стенок, деталей к т. д.) глубина скнн-слоя прн высокочастотном прогреве коэффициент аиффузни газов в твердых телах, смз, с-' энсргня адсорбцин энергия аесорбцин (включая активацию) энергия активации диффузни е твердом теле энергия актнвацин аля проникновения газа в твераое тело электрнческнй ток, А молярная масса длина.
расстояние, см магнктная проницаемость число частиц газа: чнсло частиц газа, адсорбнрованных на поверхности число частиц газа, адсорбированных на поверхвостн в начальный момент число частиц в обьеме газа число частиц газа, падающих на поверхность число частнц газа, адсорбнрованних в монослое число частиц газа, выделяющнхсн нз твердого тела за счет днф. фузик н десорбцнн частота переменного тока, Гц давление газа, мм рт.
ст. газопроннцаемость твердых тел о А стао~ Ы сга Ь С С 0— Ее— Еа— Ео— Ер !— М— У— Ага )уе— ч— Р— Р— йу) Измеренне давлення .. . 315 !) Манометры для низкого н среднего вакуума . . . . . . . 313 2) Манометр Маклеода . . . . .
. . . ' 3!9 3) Тепловые манометры . .. . . . . . .. . 329 4) Манометры для высокого н сверхвысокого вакуума . . . 323 5) Ионнзацнонные манометры с термокзтодами . . . 324 6) Ионнзацнонные манометры с ненакалнваемыми катодами 328 7) Специфика намерений высокоаакуумнммн маночетрамн 339 Гл. Е Техника высокого вакуума Ц вЂ” поток газа, мм рт. ст. л .
с-' () — производительность насоса без ловушкн 9~ — производительность насоса с учетом пропускной способности системы ()р — диффузионный поток газа к поверхностн (~~ — скорость газовыделения (за счет днффуэня и десорбцни) (~р — скорость проникновенна газа через твердое тело (( — унивеРсальная газовая постоянная 3 — удельное сопротивление, Ом см — быстрота откачки вакуумного насоса, л с 5, — эффективная быстрота откачкн Вэ — быстрота откачки с помощью адсорбцнн на поверхности о — вероятность ионизация газовой частицы, см-«, мм рт.
ст -' à — время Т вЂ” температура, К Тм — температура, соответствующая максимуму скорости десорбцнн для данной Ез т„ — пернод тепловых колебаннй адатома т — среднее время жизни вдетом» на паверхпости Π— степень поверхностного покрытия (А«««')Ум) У вЂ” объем газа к — координата; х = Ек(ИТ !. ВВЕДЕНИЕ Для вакуумного осаждения тонких пленок с контролируемыми параметрамп необходнмо такое рабочее оборудование, которое возможно бы меньше влияло на процесс формирования пленки.
С целью получению глу. бокого вакуума для минимизация взаимодействия остаточных газов н наращиваемых пленон было предпринято множество исследований н разра. поток. В результате к настоящему времени имеется обширный набор вакуумных установок и деталей, а также материалов н методов монтажа. 3 йэой главе будут рассмотрены наиболее широко нспользуемое вакуумное оборудование н установившиеся методы его эксплуатацян. Основное впимайие прн этом уделяется физическим принципам, определяющим свойства деталей н материалов, а также пределы нх практического применения.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
