Майсел Л. - Справочник - Технология тонких плёнок (1051257), страница 44
Текст из файла (страница 44)
233 В !в, й Г., А. Б. й о 6 о 1 а Ы $ в, вид Л. Х, 2 е ш е 1, йеч, Бес, 1лз! г., 36, !626 (1965). 234 Л о Ь п в о и, Л. Е., Л, Арр!, РЬуз, 36, 3193 (1965). 235. Ро11ег, й. Г., Ел1. АЬв(г. !3 1Ь АЧБ Бушр., 1966, р. 81, НегЫс!с алс) Не!д Рг(п((пп Со!., РИ(зЬигйЬ, Ра. 236 Ггап21, Р.
й., А, Набеп1осЬег, Е. Р На$$пег, Р. Н. Несй А. Ба ис) ог, Е. Во1Ь, апд Н. Л. РедеиЬа г$, Ргос. Е1ес(гоп Сош. ропеп!в Соп(., 1962, р. 44. 237 Ес(беси шЬе, Л., Ь. Р. йов пег, алд Р. Е. Апдегвоп, Л, Арр1. РЬув., 35, 2198 (1964). 238. ВеЬгпс$1, К Н., Л. Ме(а)в, 14, 208 (!962).
239. Р! а и д, р., й А. Н о ! ш ег о о 6, апс) 5, й. Н е г д, Л, Часишп Зс!. ТесЬпо!., 4, 163 (1967). 240. М а с) е г, Б„Л. Часишп Зс$. ТесЬпо(., 2, 35 (1965), 241. 5 а с Ь1)е г, Чг'. М. Н., О. Л. Н. Р о г де!о, апс) й. Л о п де р)е г. См. ссылку [17Ц, р. 2!8. 242. В е1в е г, й. В., Л. Арр1. РЬув., 31, 562 ($960).
243. Хеи9еЬаиег, С. А., Л. Арр!. РЬув., 35, 3599 (1964). 244. С а ш р Ь е 1 $, Р. 5., апд Н. В 1 а с Ь Ь и г п, Тгаив 7(Ь АЧБ Бушр., 1960, р. 3!3, Рег9ашол Ргевв, Хесч Уотс. 245. Вес1сегтап, М., апс) й. Е. ТЬип, Тгапв. 8(Ь АЧБ Бушр., 1961, р, 905, Регдашол Ргевз, Хесч УогЬ. 246. Ов1га побег, )Ч. Л., апс) С. сЧ, Ьеес!в, Тгалз. 8!Ь АЧ5 Бушр.,!961, р. 881, Регпашоп Ргевв, Хеис Уог1с. 247. Риси(Ьег, К С., 2. Ха1иг(огвсЬ., 13а,!081 (1958). 248. Сс и с п 1 Ь е г, К.
б., з кк. Л. С А л с) е г в о п (ед.), "ТЬе (Лве о$ ТЫп Г$)шз 1и РЬув)са! 1пчез!)да!!опв", р. 213, Асабсгп!с Ргевв 1пс., Хем Уогй 1966. 249. Наел!с(и, Е., апс) К. Сс, биеп1Ьег, Ха1игсч(вз„46, 319 (1959). Список литературы 256. ВсЗго1|гп!!1ег, ). С., 4( й у а и, апд Т. Т ау~!ог, Ех|„АЬь|г. |4|г АЧБ 5угпр., 1967, р. хй, НегЬкй впд Не|8 Рг!пйпц Со., РИ!вЬигд|к Ра. 251 $ ! е1 п Ь е г 2, й, Р., а па О. М 5 с г о 2 д ь, ). Арр|.
РЬуь. 37, 458'| (1966), см. также 5 ! е! п Ье г 2, й. Р„Ех1. АЬьгг, 13|5 АЧ5 5ушр., 1966, р, 171, НегЬ|сц апд Не|А РПпИпд Со., Р!ИьЬигЗЬ, Ра, 252. Р а че у, Л Е., ап~! Т Ра и хе у, Л. Арр|, РЬуз., 39, |941 (!968); См также ссылку 253. 253 Ноиде, А. 1, в кн. К. Н Вецгпд1 (ед.), "Часцшп М|сгоЬа|впсе Теспп!г)иеь", чо|. 3, р. 109, Р1епшп Ргезз, Хесч Уогй 1963. 254 уоипй, А В, апд й ) Нег!1вде, Ргос. 4|Ь |п|егп, Часиши СопЗг.
1968, Р|. 2, Р. 496, ТЬе |из|Пи|в о| РЬуысь апд |Ье РЬУз!св! Кос!е1у, 1.опдоп. 255 Нагг|з, )... апд В. М. Я|е2е|, ) Арр| РЬуз., |9, 739 (|948). 256. В е а ш. %. й., ьпд Т. Т а Ь а Ь а в Л г, йеч. Яс!. !йь|г., 35, |62! (1964). 257 Т а и д е ь |г |, () А., М. М Н а и в о и, апд Р. Е, О Ь е г 2, Часииш, |4, 3 (|964). 258 МагвЬа|1, й., 1.. А11аз, апд Т.
Ри1пег, 3, Вс|, |пь1г., 43, !4! (1966) 259 А п д г о е ь, 6. М., й Н. Н в ш и о п д, апд |Ч. () К п ! 2 Ы, йеч. 3с|. (пь!г., 32, 25! (|96!). 260 Р с|д12 е||ег, Е., 2. РЬуь!К |57,65 (1959). 26! Вес)гег ш а и, М., впд й ).. Ви! !агд, Ргос. Е|ес|гоп. СогпропепН Соп1., |962, р.
53. 262 В г а и п, |, апд Тг. Е. 1 оод, Ргос. !ЕЕЕ, 54, 1521 (!966). 263 Ьв уег, Е. Н., Тгапь. 61Ь АЧ8 8ушр., 1959, р. 2!О, Регйашоп Ргезь, Кем Уогц. 264 чЧ 1)топ, й, тЧ., апг| |., Е. Тег ту, .Ргос. Е!ее|гоп. Согпропеп!ь Соп|, 1967, р. 397. 265 й ! с Ь а г д в, 3.
1... Р, В. Н а г 1, апд 1.. М, 6 в! |о п е, д, Арр!, Рцув„ 34, 3418 (1963). 266 См, ссылку 248, й ! сЬ а г д в 3. (... р. 7!. 267. М ц е !1е г, Е. К., 3, Арр!. РЬуз., 35, 580 (1964). 268, 7 уе1г, М. С., апд А М, Вез р г еь, Ех1 АЬь)г, 13|5 АХг5 5утр„ !966. р. |69, НегЫсЬ апд Не!д РппИпа Со., РИ(вЬигЗЬ, Ра. 269.
Ь| 2Ы, Т. В., Е. М. Нц!1, апд й. беге1Ь, 7. Е1ес1госцеш. 5ос„ |15, 857 (|968). 270 Н о|1о м а у, Н., Л. 1.. й ! с Ь в г д в, 1, С. В о Ь Ь. впд 1. Р е г г у, Лг Л. Арр!. РЬуз., 37, 4694 (1966). 27!. Е|||в, 5. 6„3. Арр|, РЬуз., ЗК 2906 (1967). 272. Мие||ег, Е. К., В. ), Н!сЬо!воп, апд М. Н. РгапсошЬе, Е(ес(госЬев, ТесЬпо!., |, 158 (1963).
273, В гоп п, У й,, Ех|. АЬв1г. 13|5 АУБ Еупгр., !966, р, !39, НегЫсц апг! Не!д Рг!пйпй Со., РИ!ьЬигаЬ, Ра. 274. М и е ! ! е г, Е. К,, В. Х Ы! с Ь о 1з о п, впд Ст. !., Е, Т и г п е с, ) Е|ес|. госцса. Кос., 1|0, 969 (!963). 275. Н| шее, |Ч., В. Р. 51оц1, апд й. Е. ТЬип, Тгапв, 9|Ь АЧ8 5ушр., 1962, р. 144, ТЬе Мает|Пап Согпрапу, Хеиг УогН. 276. С а г |ег, Е. Е., йеч. ЯсЬ!пз1г., 34, ЙЗ (!963).
277, Е с Ь а г д 1, д, й., впд й, Н. Р е а с о с К |. Часциа 5с|, ТесЬпо!., 3, 356 (1966). 278. Мце||ег, Е, Кь апи 4, 1.. й|сЬ ах да, 3, АРР|. РЬУз., 35, 1233 (1964), 171 Гл. 1. Вакуумное испарение 279, Б!есКе!гоасЬег %.. в ки. (..
Но!1апб (еб), "ТЫп Рйе М)сгое!ее!гоп!сэ", р. 193, ЛоЬп %йеу апд Бонэ, !пс„Нею УогК, !965. Русский перевод: «Пленочная микроэлектройнка», под обш„ ред, . Холл»ада, М., «Мнр», 1968.) 280. Б«Ь» ага, Н., йеч. ЗсЬ 1пз1г., 32, !94 (!961). 281. Б с Ь гч а г ь, Н., АгсЬ. ТесЬ. Мезэеп, 5, 134! (1960) . 282. ()н!онг, С., апг( В, ЗеЗа, ЧЫе, по,!04, р.!80, !963. 283.
Н а а ь е, О., 2. На!нг!огзсЬ., 12а, 94! (1957). 284. О)ед д, О. й., апд М. Н. РегК)пв, йеч, Бс!. 1пз(г., 31, 773 (1960). 285 РегК1из, М, Н., Тгапв. Зй АЧБ Бугор., 1961, р. !025, РегЗашоп Ргеьэ, Ыеъ УогК. 286. Вгогчпе!1, й. В., %. О, МсЬеппап, й, 1., йашеу, апб Е. 1, % Ь ! ! е, йеч.
Бс!. !пз1г., 36, 1147 (!964). 287. Н а ш ги о п 6, й. Н„О. М. К е11 у, С. Н. М е у е г, йг., апд 3. Н. Р е. гене, уг., "Часннш ()еров!!!оп о1 йе!гас1огу ТЫп Р1!шв апб ТЫп Р!!т Сотронпдз", гйз!г!Ьн1ед Ьу Оепега! ()упав(сь, Бап ()!еЗо, Са. й!. 288. 2 е 9 а, В., Ргос.
4й 1п(егп. Часннги СопЗг., 1968, р1. 2, р. 523, ТЬе 1пзй!н!е о! РЬуз!сз апд йе РЬуь!са! Бос!е1у, 1.оииоп. 289. В е в ч ! ! 1, А. й., 3. Бс!. 1пэ!г., 43, 182 (1966). 290. Р о н 11 з, Л. А., Р, Л, М С е н з е и, %. () е К К е г, вид 1. Р. д е М е у, в кн "Чагина М!сгоЬа)апсе ТесЬп!Онез", чо1. 6, р. 27, Р!еппш Ргеээ, Ые» УогК, 1967. 29!. В е Ь г п 4 1, К. Н., 3. АпЗе». РЬуз., 8, 453 (1956). 292.
Науез, й. Е., апи А. й. Ч. йоЬег1з, д. Бег. !пь!г„39, 428 (1962). 293. О н ! Ь г а и з е п, Е. А., йеч. Бс!. 1иь!г., 15, 20! (!944). 294. % о!з К у, 3. Р., РЬуз. йеч., 108, 1131 (1957). 295. %о! ь К у, Б. Р., аии Е. Я. 3 д а и н К, в кн. "Часннги МйгоЬа)апсе ТесЬп!г!нев", чо). 1, р. 35, Р1епшп Ргеьз, Нем УогК, 1961 296. Мауег, Н., %.
БсЬгоеп, апд ()' 61неиКе1, Тгапз 7й АЧЗ Бушр., !960, р, 279, РегЗа~поп Ргезз, Ыегч УогК. 297. Мауег, Н., й. Ы!ейеггпауег, %, БсЬгоеп, (У Б!пвпКе1, апд Н. О осЬ ге, в кн. "Часшип М!сгоЬа!апсе ТесЬп!цнез", чо1. 3, р. 75, Р!виши Ргезв, Ыечч УогК, 1963. 298. С а Ь и, Ь., апд Н. й. Б с Ь и 1 ! э, в кн, "Чеснок М!сгоЬа1апсе ТесЬи) ° онеь", чо!. 3, р, 29, Р!епшп Ргезь, Ые» Уог!г,!963.
299, Оаз(, ТЬ., Часннш-Т«сЬ., 14, 41 (1965). 300. Сай, ТЬ., в кн "Часниш М!сгоЬа!апсе ТесЬп!сгнса", чо1. б, р. 59, Р!епшп Ргсзз, йе» УогК, !967. 301. Реагзоп, Б., впд Ы. 1. %адзмог!!Ь 3. ЗсЬ 1из!г., 42, 150 (!965). 302. % о 1 ь 1г у, 3 Р., В, 3 2 6 а и д К, С. Н. 31 а з з е п, апб 3 Л, Р о ц! !в, в кн. "Часннш М1сгоЬа!васе ТесЬи!спев", чо1. 6. р, 37, Р)спшп Ргавв, Ыегч УогК, 1967. 303.
3 а и е г Ь г е у, О., РЬуь. ЧегЬниб!., 8, 113 (!957). 304. Ба нег Ь геу, О., 2. Р!гуь!К, !65, 206 (!959). 305. 1.оз1! ь, М. Р., 3. РЬуь. йас!нпг, 20, 25 (!969). 306. РЬе1рз, Р. Р., Ргос. 11й Лпп. Буигр. Ргеднвису Соп!го1, !957, р. 256, Рог! Мопшон!Ь, Ы .1. 307. Б!осКЬ г! д Зе, С. О., н кв. "Часннги МгсгоЬ|1апсе ТесЬп!янез', чо). 5, р. 193, Р!виши Ргеэз, Иегч УогК, !966.
308 ЕасЬЬасЬ, Н. 1., аид Е. ЪЧ. Кгн!6Ьо(, в кн. "Чвсишп МкгдЬа)апсе ТесЬи!г!неь", чо1. 5, р. 207; Р!епнш Ргезэ, Ыеч УогК, 1966. 172 Список лятературм 309. Х!едегшауег, й., М. б! ад 2(сЬ, апд О, Н!1! есЬе, в кн. "Часпшп М)стоЬв!апсе Тесин!спев", чо1. 5, р. 217, Р1епшп Ргевэ, Хечг УогЬ, 1966. 310. Рп!Ьег, Н.
К., 2. Апбеш, РЬуз,, 20, 537 (1966). 311. Р н(Ь е г, Н. К., апб %, Я с Ь а е д1е г, Ех1. АЬз1г. !4(Ь АЧБ Бушр., 1967, р. 79, Нег%си апб Не(6 Рг!п!1пб Со., Р!ВзЬпгпЬ, Ра. 312. Ьапбег, А., апд Л. Т. Рв(1оп, з кн. "Часпнгп М1сгоЬа!апсе ТесЬ- п(бпез", чо1. 5, р, 231, Р1епшп Ргевз, Хечг УогЬ, 1966. 313. $1осЬЬг1дбе, С. О., н кн. "Часппш МгсгоЬа!апсе ТесЬп!Поев", чо1. 5, р. 147, Р!епнш Ргевз, Хечг УогЬ, 1966.
314. ВаЬоз. Л., О. Набу, айб Л. Бх!Ве!1, Л. Арр) РЬуз., 37, 4433 (1966). 3!5. Н!1!есЬе, О., апд й, Х!едегшауег, ЧаЬпшп-ТесЬ„З, 69 (!965). 316. %а г пег, А, %., апд С. О. $ !ос 2Ьг)6 бе, а кн, "Часнпш М1сгоЬа1апсе ТесЬп!бнез", чо!, 3, р, 55, Р!епшп Ргеэз, Хечг УогЬ, !963. 3!7. й1ебег(, й. Р., Ргос, 41Ь 1п1егп. Часпшп Сойбг., 1968, р(. 2, р. 527, ТЬе )из!!(н(е о1 РЬуа)сэ апд 1Ье РЬув)са! Босге1у, Ьопбоп, 318. Б ! е с Ь е ! ш а с Ь е г, %., Л.
М. Р а г( э о 1, ! Н о 1!а п д, апб Т. Р и 1. пег, Часпшп, 9, 171 (1959). 319. $(е с Ь е1ш а с Ь е г, %., апб Л, Е п 81! э Ь, Тгапв. 81Ь АУБ Бушр., 1961, р. 852, Регбашоп Ргевз, Мечг Уог)с 320. й о в з, А., Чабппш-ТесЬ., 8, 1 (1959). 321 $сЬа)Ые, Р, М., апд С. (.. $!вид!еу, 1ВМ ТесЬ. О)вс!овпге ВнП. 6, по. 1, р. 112, 1963. 322. Описание н графические данные представлены с разрешения Л. Я. 1.одап апг) Е. 5. %агб, 1ВМ Согр., Еаз1 Р(зЬМП Расбйу, Нервней ЛппсПоп, Х.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
