Майсел Л. - Справочник - Технология тонких плёнок (1051257), страница 42
Текст из файла (страница 42)
К и а сЬе, О., алд 1, Х, Б (та пвЬз, ЕгбеЬ. Ехай. Ха1игаз., 26, 383 (!952), См, также обзор Ма уег, Н., "РЬувй доеппег БсЫсЫел", чо(. 11, р. 14, %!ььепьсЬарИ!сЬе Чег!вбя2еьеИьсЬа!1 пз. Ь. Н., Б(л(!. дат!, !955. 52. Н!г1Ь, 3, Р., алд О. М. Роппд, 3.
СЬелк РЬуз., 26, 1216 (1957). 53. Беата, О. %., 3. СЬелз. РЬув., 24, 868 (1956); 27, 1308 (1957). 54. См. ссылку 35, Н з г ! Ь, 3. Р. апд Сз, М. Р о и и д, р. !38, а также 33, %1п(ег Ьо(!опт, % 1.. апд 3. Р. Нзг!Ь, р. 347. 55. К и пд вел, М., Апи. РЬувй, 28, 75, 999 (!909). 56. Мауег, Н., 2. РЬувй, 52, 235 (1929). 57. Кии дзен, Н., Апл. РЬуь(К 52, 105 (19!7).
58. Не а1д, 3. Н., )г, апд И. Г. В точки, Ех(. АЬв(г. 14 Из АЧБ Бутпр., 1967, р. 63, НегЬ!сЬ апд Не1д Рг)п11од Со., РИ!ьЬигбЬ, Ра. 164 Список лигературм 59. 60. 61 62 64. 67. 68. 70. 71. 72. 73. 74 75. 76. 77 78. 79. 80 8!. 82 83. 85. 86. 87. Но||а пйг 1., "Чассшт Оероь!!юп о( ТЫп РИтз", ЯоЬп %5еу впй Боль, 1пс„Хечг Уогк, 196!. (Русский переводс Холланд Л., „Нанесение тонких пленок в вакуу- ме", М., Госэнергонэдат, 1963,) В еЬ го й1 К.
Н., в кн. В иль Ь а Ь й. Р. (ей,), "ТесЬи|с)цез о1 Ме1а!з йеьеагсЬ", чо!, 1, р|. 3, р. 1225, !п1егзс|епсе РнЫ!ьЬегь,' !пс., Нев Уог1с, 1968. Р | та и|, Н., апй э. У а г в о ой, "Рппсср|еь о| Часицт Епн!пеег!пб", йеспЬоЫ РнЫВЫпб СогрогаИоп, Хев Уаттс, !961, йоьеп Ь!а 11, б М., Р. К. Еее, апй М. В. Оосче|1, А СЬет. РЬуь., 45, 3454 [1956).
уз т й а кис', й,, апй й. Г. Рог1е г, А Е|ес1госЬет. Зос,, 115, 60! (1968). КоЬ|, \Ч, Н, "НапйбооЬ о! Ма!еыаб апй ТесЬлМнез |ог Увсншп Оеч|сез", йе|пЬоЫ РпЫВЫпд СогрогаИоп, )4ев Уаттс, !967, О|вел, 1.. О., С Б. Бт!|Ь, апс| Е. С. Сг|1|епйеп, 3. Арр|, РЬуь., 16, 425 (1945). Н | с 1с о|ь оп, !. Е., йеч, Зс|, !ль|г., 34, 118 (1963). 1. ц с а з, М. 3. Р., С. й, Ч а 1 1, %. С. 3 1 е в а г 1, а пй Н. А. 0 в е л, Тгапь. 8!Ь АЧЗ Бутр., 1961, р. 988, ТЬе Мвстй!ап Сатрапу, Ыев УогЕ Маьзеу,.В А Тгапз. 8!Ь АЧБ Бупср'„!961, р.
992; ТЬе МасипПвп Сатрапу, Хев УогЬ. В е Ь г п й 1, К. Н., 3. Арр!. РЬуь., ЗЗ, 193 (!962). К ! 18 о г е, В. Р., впй й %. й о Ь е г 1 з, йеч. Зсс. (ль|г., 34, 11 (1963). Н а|в, А. Р,, Чвсншп, 13, 93 (1963). Х е н и е Ь а и е г, С. А., 3. Арр|. РЬуз., 31, 1525 (1960). |.ау1оп, % Т» апй Н. Е. Сц1ч,ег, Ргос. Е|ес|гоп. Сотропеп1з Соп1., 1966, р. 225, %аьЫпд1оп, О. С. Но!|гиви, О.
М,, апй 3 й|зета п, Тгапь. 61Ь АЧЗ Зупср., !959, . 218, Регбатоп Ргезз, Хев Уотерс. о Ь е г|э, б. С., апй б. б. Ч(а, патент США 3313, 914; 1967. б!а и 9, й., э. б. К ген, апй %. э'. Р в1г | сЬ, э. Е!ес!госЬет. Зос., 11О, 408 (1963). О го и| Ь е1|ег, С. Е., Тгапз. 7!Ь АЧБ Бутр., 1960, р. 306, РегОвтоп Ргеьз, Хев Уогк. Ч е г О в г а, %. С.. Н. М. б ге е п Ь о ц ь е апй Н. С. Н!с Ь о!а з, йеч.
Зс|, !пь!г., 34, 520 (1963), инструкции по изготовлению нспари- теля 3!О см. также Ое Тоесть, Ю. З„эг,, 3. Часнпт Зс!. ТесЬпо|., 5, 88 (1968). двойные фаэозые диаграммы см. в кн. На пьет М., апй К. Ап й ег. Ьо, "СопМИцИои о( В|лагу АПоуз*', 2й ей., Мсбгвв-Н!И Воок Сот. рану, Хев Уогк, !958; ЕП)ог, й. Р., "Сопь1Ин1юп о| В|лагу АИоуь, Гсгз| Зцрр)етеп('Ь Мсбгав-НП! Воо|с, Согпрапу, Нев Тот|с, 1965 См., например, "бпЫе 1о Бе|ел|И|с !пь!гпгиеп1ь — 1967,'68", Агнес|сап АтоссаИоп |от |Ье Айчвпсетеп1 о! Бе|сисе, Хев УогК. Есо потов, б., апй %. О.
К|пдегу, А Ат. Сегвт. Бос., 36, 403 (!953). й о Ь п з а и, Р. О., 3. Ат. Сегат. Бос., ЗЗ, 168 (1960). К| и и е г у, %. О., 1. Ат. Сегат Зос., 36, 362 (1953). О а Зс|чв, Е. М., йеч. Зс!. !из|с., 31, 959 (1960). Н а н с К, 3. Е., Ма1ег Ось|Оп Епи,, по. 208, р 85, йп!у, 1963 См. ссылку 33, Н|!йепЬгзпй, О. 1... апй%, Р На|1, р, 399. А те», 1. Ы Н. Ка р|а и, элй Р. А. й о|а ой, йеч. Зс|. 1лз|г., 37, 1737 (1965), 165 Гл. 1. Вакуумное испарение 88. ТЬот рво п, Р. Е., апй Ю. Р. Ь(ЬзсЬ, ЗСР Зо((й З!а(е ТесЪпо1„ $)есетЬег, 1965, р, 50.
89. Ь1с а г д, й. О., апд 3. Е. 3 о у, Е!ес1гопссз, 24, 126 (АргИ, 1951). 90. (.еис)в, 3. С., В, й ей 1ег п, апй Г. С. Сост!а г д, Зо()й-3!а1е Е)ес1 ° гоп., 6, 251 (1963). 91. й о1Ь иге)1, Твг. З„З. Арр!. РЬув,, 39, 1840 (1968). 92, Мог(уа, У., М. ОЬив а, впй К. 5 ин(ига, Тгапз. 8!Ь АЧЗ Зутр., 1961, чоЬ 2, р. 1055, ТЬе Мает)Иап Сотрапу, Мет УогЬ. 93.
% $ !с е 1, Ч., бойд З1а1е Тесбпо1., 11, (2), 12 (1968) 94. Но)!а од, 1, Часишп, 6, 161 (1956). 95. Тоо тЬ в, Р. А. В., апд А. 3. Зев 1, 3. ЗсЬ !пв1г., 42, 722 (1965). 96 Н е в т е г, Р. 3., апй д, й. Р(е й т о и 1, йеч. Зс1. 1пв(г., 33, 1355 (1952). 97, Но)1а пд 1, з кнл "ТЫп Рйт М)сгое)ес!гоп(сз", р 143, ЗоЬп М!еу апй Зопв, !пс,, Мече ЪогЬ, 1965, Русский перевод: «Фнзнсса тонких пленок». Т. 3 М., «Мнр», $967.$ 98. апд(йив, Е. 3., М. Н.
НаЬ1аи1аи, апд Н. А. З1е)иЬегх, Тгапв. б!Ь АЧЗ Зугпр., 1959, р. 185, Регбатоп Ргевь, Меи Уог(с. 99, Но!!а пй, 1.. Патент, Англнн 754, 102, 1951. 100. Не а че из, О. 3., 3. Зс1. !пь!г„36, 95 (1959). 101. К е11у, 3, С., 3. Зс(. (пь(г., 36, 89 (1959]. 102. М $ $ 1 е гоп, М., Тгвпз. 4!Ь АЧЗ ЗУвР., !957, р 148, Рсг2апсоп Ргеы, Мест Уог(с. 103. $) п ча1а, В. Л., апс( О. й Воо1сег, РЫ! Маб., 9, б!И (1964). 104. СЬорга, К. 1, апс) М, й. йапд1е!1, йеч, Зс(.
1пв(г., 37, 1421 (1966). 105. Бег гу, й. )Ч., Ргос. Зй Зугпр. оп Е1ес1гоп Беат Тесбпо!обу, !961, р 359, АИоуй Е!ес1гоп(св Согр., СотЬгМбе, Мат. 106 Йо1тсчоод, й. А., апй Р.. О!вин, д, Е!ес!гос1сев. Зос., Н2, 827 (1965). 107. йе(с бе(1, )Ч., апй О. Г. Р. М не((ег, Тгапв. 8!Ь АЧЗ Зутр., !961, р. 956, Регбзтоп Рсезз, Мою Уогй 108 $) еи1о п, й. А., апй Л. $) О геене, Ргос. 5!Ь Е(ес1гоп Всат Зутр., 1963, р. !80, АИоуй Е1ес1гошсв Согр., СатЬгй8е, Мввв. 109 Гонг(е г, Р., 3, Арр1. РЬув., 34, 3538 (1963).
110 О е г в 1 е и Ь е г н, О., апй Р, М. Н а 1 1, Л. Е! ес1госбесп. Зос,, 11$, 936 ($964). 1$$. ТЬип, й Е., апй 3. В. йавзеу, Тгапь, б!Ь ЛЧЗ Зувр., $959, р. !92, Регнавоп Ргеьв, Мети Уог1с. 112. й а $ г й е и, й. й., апй С, А. М е и и е Ь а и е г, Ргос. 1ЕЕЕ, 52, 1234 ($964). 1$3. Вг и п пег, )Ч. Р., апд Н. О. Ра11о п, Тгаиь 8$8 АЧЗ Зувр., 1961, 895, ТЬе МасинИап Соврапу, Меис УогЕ 114.
З!йда11, О., апй В. А. РгоЬуп, Тгапв, 81Ь АЧЗ Зугпр„1961, р. 1017, Регдатоп Ргевь, Меч« УогЬ. 115. Вгссе, Ю, С., апд (). Рс с 8, Ю. Зс(. !пз1г., 41, 633 (1964). Нб. () а ч е у, д, Е., й. 3. Т1 е г п а п, Т. Р а п 1с е у, апй М. О, М о п1 8 о. тету, ЗоИй-3!аде Е)ес1гоп., 6,205 (1963). Н7.
Чо161, 3. 'сЧ., аий К. 07. Гоь1ег, йеч. Зс(. 1пь!г., 35, 1087 (1964). Н8, оготчпе!$, й. В., !Ч. $7. Мс1.еппап, й. 1.. йзтвеу, апй Е. й. $Ч Ь! $ е, йеч. Зс(. 1пь(г., 35, 1147 (1964). 119. й е а гоев, 3. Р., Тгапв, 6(Ь АЧЗ Зутр., 1959, р 2$5, Рег8ввоп Ргезв, Мест Уог)с 120. М а в Ь в 1(с К М. 3., апй С, Угс. 1. е си! ь, Тгапз, 8(Ь АЧЗ ЗутР., 1961, чо!. 2, р. 874, Рег8агпоп Ргеьв, Мечг УогЬ. Список литературы $21. В!ес1$Ьигп, Р. Н., апд %. На11ег, Йеч.
Бс!. »пв(г., 36, 901 (!965). 122. Егдвап, К, К., Р. Ахеи, 3 К. МсРопа1д, аид 1.. Р, КоЬег$- в о п, )(еч. Бс). )ив(г., 35, 122 (1964). 123 51ес1ге1васйег, %., апд !.. Но!!апд, Часишп, 2, 346 (1952); см. также ссылку 59. 124 Чоп Н1р ре1, А., Апп РЬувй, 81, 1043 (1926). 125. Но!1апд, $., аид %. 5$есКе1васйег, Часишп, 2, 346 (1952). 126. Апаз1а в|о, Т. А., апд %. 3. 51а((егу, 3. Часишп Бс!. ТесЬпо)., 4, 203 ($967).
127 11 о ! ! а п д, $... вид Х, 3. Х с гч гп а п, Кеч. Бс!. 1пв$г., 23, 642 (1952) . !28 С)а ив! п д. Р., 2. РЬув)К, 66, 471 (1930). 129. См, ссылку 33, К и $ Ь Ч., апд Л. Р. Н ! г( Ь, р. 99. 130 С и сп1Ьсг, К. С., 2. Аппо»ч. РЬуь„9, 550 (!957). $31. $.еа г п, А. 3., апг) К.
Б, Брг186в, Кеч. Бс). !пв1г., 34, 179 (1963). 132 ЕЬ)сг, Р., аид ТЬ, Кгаив, Тгаив. Зд )п1егп. Часиниг Соотг., 1965, чо!. 2, рр 131, 135, Рег8агпои Ргезв, Хегч УогК. 133 Сг)в)еу, К. Т„апд 3. $.а Кое, Ех! АЬь(г. 14й АЧБ Буигр., 1967, р. 59, НегЬ[сК апд Ней РПпИпп Со., Р!1(вбитая, Ра, !34 В ей г п д1, К. Н., апд К. А. 3 о п ев, Часиши, !1, 129 (1961). 135 5р г! ддз, $$. 5., апд А, Э. лезги, Реч. 5с!. !из(г., 37, 1539 (1966).
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
