Фролов Е.С. - Вакуумная техника (1037534), страница 98
Текст из файла (страница 98)
17.6. Испытания адсорбцчаяных насосов (агрегатов) Параметры адсорбцнонных вакуумных насосов проверяют на установке, схема которой дэна на рнс. 17.3, Объем пзмернтельной камеры (см. рнс. 17.1, а) должен быть равен мак- сямальнаму откачнвэемому объему )гиех в Днапазане Рабочих Давлений. Между испытуемым насосом н нзмернтельной камерой допускается устанавлчвать переходник (см. рнс. 17.1, б). Предельное остаточное давление нзмеряют согласно методике, разработанной для мехнннческнх насосов с масляным уплат»вянем.
Макснмальный откнчннаемый объем в днапазоне рнбочнх давлений проверяют в следующем порядке. Включают испытуемый насос ! (агрегат) согласно янструкцнн по эксплуатацнн. Откачивают нзмернтельную камеру 2 до давления 1,ЗЗ Па; прн этом через каждые ! б мнн нзмеряют давленна. Строят заянснмасть давления. на входе в насос от времени откачки в палулогаряфмнческях координатах !й рнх 17.7. Испытания геттерных насосов (агрегатов) н крнонасасав Параметры геттерных насосов н крнонасасов проверяют на установке, схема которой дана на рнс.
17.7. Форвакуумную систему, которая должна обеспечивать откачку устаповкн до давления, необходнмого для пуска испытуемого насоса (агрегата), следует выбнрать в соатветствнн с ннструкцней по эксплуатвцнн насоса (агрегата). Проннкновенне в установку пароя рабочего вещества (масла, геттера н др,) н продуктов его разложения не допускается. Предельное остаточное давление замеряют в следующем порядке. Включают форвакуумную систему н откачивают испытательную установку до давления, необходимого для запуска нспытуемаго насоса (агрегата) 1. Прн этом натекатель 4 должен быть открыт, ега входное отверстие заглушено, хлапэн 9 открыт. Включают нагреватель 1! н, не прекращан отхачкн, прогревают установку в соответствнч с ннструкцней по эхсплуатацян насоса (агрегата), Температура прогреяа не выше о73 К. Выключают нагреватель н после охлаждения устаноэкн до температуры ЗЗЗ ...
ЗАЗ К закрывают клапан 9. Измернтельную камеру 2 отначивают до предельного Рне. (7.7. Схеме устенаяч» хл» ненмтенна геттеэнмх насосов н кр»чнаеосов (агрегатов): 7 — нсэмтусмна »асос (агрегат); 7 — немернтельнч» «»нера: 8. 7, (Π— манаме. чрнческне врачев»зов»гели; 8 — натекетель; 8 — яанус»я»» труача; б — неяускнэн камера; 8 — Хнаарвгнч( 3 — клапан: (( — нагреаагель остаточного давления в соотяетствнн с методикой, наложенная для механн.
ческнх насосов с масляным уплотнв. няем. Выстрату дейстяня измеряют в следующем порядке. Откачнва(аг нзмернтельную камеру 2 до предельного остаточного давлення. Измеряют быстроту действия в соотаетствнн с методикой, изложенной для турбомолекулярных насосов.
Прн измерении быстроты действия чсларнтельных геттерно-ионных наса. сов (агрегатов) дапусхается нспользо. яать закрытую бюретку н систему напуска газа по схеме, показанной на ряс. 17.4. Наибольшее рабочее давление нзмеряют в следующем порядке. Включают нспытуемый насос (агрегат) 1 (см. рнс. 17.7) согласно ннстр) кцнн по эксплуатации. В нспытательнач установке с помощью натекателя 4 устанавливают давленне, равное предполагаемому нанбольшему рабочему. Если прн работе насоса (агрегата) в теченне 1 ч давление в нэмернтельпой камере 2 меняется не более чем на 400 ИСЛЫГАННЯ ВАКВВЯВЫХ ВАСОСОВ И АГРВГАТОВ С Л Ос О1 ЬО Ьз О1 СО ОЪ Оь ч 9 оь.о ~'~ С ЬЬ Ос О| О\ 1 Ф Ф сэ о о о 1 1 1 1 СО Ф Ч Ф О! |Ь "(:жив" о о о оооо \ 1 1 1 В ОФВЦр 01 01 1 СО ьь Ф "О| "- "-1 .'" ОЬ |О И О О "Оь ч О ь О я О ОС ЬО СО Оь Ф ОООООЖЬФОО оооо о о |О ОФ ьоь Ф аС сь Ч и о Б О| СО О| Ь О| ч СО Ф Ь СО СО О ф 1 01 Я СО О оооо |О О| О ьь ОФСЛОООО 1 1 1 'О и ч о се о Ц ф Оь \ 1 1 1 1 ! 1 1 10%, давление на входе насоса принимают эа наибольшее рабочее давление.
Если давление меняется более чем на 10%, следует уменьшить давление в испытательной установке и повторить измерение. Наибольшее давление запуска измеряют в следующем порядке. Включают испытуемый насос (агрегат) 1 согласно инструкции по эксплуатации. Откачивают испытательную установку до давления 10 ' Па. Выключают насос (агрегаг). Наполняют испытательную установку воздухом до атмосферного давлении, о|крыв натекатель 4.
Закрывают на|скате|!ь, открывают клапан 9 н откачивают копыта | ельную установку с помощью форвакуумной системы до данс!е!|ин, равного ожидаемому давлению запуска. Иамеряют давление маноме|рическнми преобразователями, установленными иа измерительной камере 2. Закрывают клапан 9. Включают испытуемый насос и регистрируют время отхачкн испытательно установки до давления 1О с Па. Если время откачки составляет 7 ... !О мин, давление в начале откачки принимают эа наибольшее давление аапуска.
Если время откачки больше 10 мия, опыт повторяют, уменьшив начальное давление в испытательной установке; если время откачки меньше 5 мнн, опыт повторяют, увеличив давление. Для новых или прошедших хапнтальный ремонт магнитных влектроразрядных насосов перед испытаниями необходимо измерить предельное остаточное давление по изложенной методике. Затем следует включить испытуемый насос (агрегат) н провести тренировку, поддерживая в испытательной установке натекателем давление в пределах 10 з ... 1О з Па, откачать систему в течение 2 ... 3 ч, после чего повторить прогрев установки в течение 1О ч при температуре ие выше 673 К.
Испарительные геттерные и нонденсационные насосы, ие откачиваюшие инертные газы, следует испытывать при отнрытом клапане 9. Эффективная быстрота действия форвакуумиой системы должна составлять ие более 15% номинальной быстроты действия испытуемого насоса.
Вакуумные крионасосы проверяют иа установке, схема которой дана иа рис. 17.7. Предельное остаточное дав. ление и быстроту действия измеряют согласно методике, изложенной для геттерных насосов. О О О о О о Ь О о О О О о О О о о о 8 оо о оо о о о Ъ В К 8 Я й И В й Е 3 о о о о о о о о о о о о о о 1 1 1 1 1 1 1 1 ! 1 1 Оь Ф "ю " Ж Фь ч "сч ь- -Ы -1 Ос йя1 $ о ф О О СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ О л СО ЧЪ О СЧ СЪ СО Е Л В с Ф 4 «О сос со ч«О сч «О Ф ч о съ щ" сч ~ сч эо " чъ сч о юД о чъ Д Ооъ э СЧ СЧ СО СО Ч' Ч' эоъ ч оъ г Ю о> ~ я с «О сч о ч со сч о Сс СЧ СЧ СЪ СЪ Ч СО Сс ЧЪ О 4 СО СЪ СЧ С4 СЧ С» С'Ъ 'Ф 3 4'3 4 ч оо в ч 44 со «О 4 сс см о ч сч СО О Г" СО ссс»а О" ООЪ Ою СО О Е- Чю С" Г. ф -" Нн) С4 СЧ СЪ СЪ Г,ЪО СЧ ОЧ' СО 3 Сч ОО СО СО Сс СО О СО СЧ СО Е СЪ Сс СО СЧ 4' С'4 Сч СЧ '» «О С» О СЬ СЧ 4' » С'4 СЧ СЧ 4 ООСЧОЧСОО«О СО СО СО СЧ О СО С 3 С' «О СЧ «О С' СО С'4 СО СО НЪ Ь.
СС вЂ” СЧ Г О СО ф юю СО онс О СО Л ою ою СО 4 со ОЪ" 4 иъ о со О» " сч со Ц " »ОО О» счл) оо о чг мэс, я й ь о о«О В Ф сюъ осс сч ч «О въ сч 4 чъ см СЧ СО Ч' НЪ О 4 СО ОЪ СО ~ Я СО и) Д СО О) С4 СО СО 4, СЧ СО О СЧ СО »«О Сс СС С'4 СЧ СЪ СО 4' С" О» СО СС О) 4 С'4 Я $ о Д чо 8 оо !В оо пч» о о о о юо о о о о 8 О О О О О О О О О СЪ О О О О О О О О 1. Аверина А. П„Левина Л. Е.
Масс-спектром«трэн разреженных газов. Методы и аппарнтурн течеискнния. М.: Мацсиноссросние, 1977. 47 с. 2, Александрова А. Т. Е!оные способы передачи н формирования движения в вакууме. Мл Высшее школа, 1979 69 с. 3. Александрова А. Т., Полотай Г. А. Заготовив детнлей влектровакуумного производства. М.: Высшая школа, 1980. 223 с. 4. Алексанзоова А. Т., Назаров Л. Н., Дрнвннг Н. Я.
Исследование параметров процесса герметизациии свсрхвысоковнкуунной армэту. с использованием жадкофазных металлических уплотнен йЛЭлексрои. ная техника (сер. 4). 1980. Вып. 4 (81). С. 42- -44. 5. Александрова А, Т.. Горюнов А. А., Ермаков Е. С. н др. Вакуул«ныс манипуляторы//Электронная промышленность. 1981. Вып.
106, № 10. С. 45 — 52. 6. Амосова Л. М., Цейтлин А. Б., Ширнев А. Т. 1Ъабочие жидкости для вакуумных насосов. Мл ЦР!НТИхимнефтемаш (ХМ-6), 1989. 28 с. 7, Арсентьев П, П., Коледов Л. А. Металлические расплавы н нх свой. ства. Мл Металлургия, 1976. 376 с. 8, Балицкий А. В. Технология изготовления зэк»умной аппаратуры. М. Энергия. 1974. 312 с. 9. Беляков И. Т., Борисов Ю. Д.
Технология в космосе. М.: Машиностроение, 1974. 375 с. 10. Вакуумное оборудование. Каталог М.: ЦИНТИхимнефтемаш, И85. -60с. 11. Гейнце В. Введение в вакуумную технину. М.— Л.. Госэнергоиздат, 1960. Т. 1. 5!2 с. 12. Гладков А. С. Металлы и сплавы дл» электровануумиых приборов. Мл Энергия, 19?О. 505 с. 13. Глазков А. Ач Малышев И. Фч Сансаганский Г. Л.
Вакуумные си- стемы влектрофизическнх установок. М.: Атомиздат, 1975. 288 с. 14, Ротвцнонные компрессоры/ А. Г. Гозовннцов, В. А. Румянцев, В. И. Арда«цов н др.; Под ред. А. Г. Головинценв и В. А. Румянцева, М.: Машгиз, 1964. 3!4 с. 15. Гуревич Л. С. Расчет испарительных геттерных квсосов. Л.: 1975. 23 с. (ПреприниНИИЭА; А — — 0243). 16. Данилин Б. С., Мииайчев В. Б. Основы нонструнровання вакуумных систем, М.: Энергня, 1971. 392 с. 17.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
