Фролов Е.С. - Вакуумная техника (1037534), страница 100
Текст из файла (страница 100)
Общие сведения . 1.1. Понятие вакуума, 1.2. Термины и определения 1.3. Условные проходы эле- ментов вакуумных систем, 1лК Принципиальные ваку- умные схемы 1.5. Единицы физических ве. личин !.6. Соотношение единиц даи-' ления и потока газа, 1.7. Состав атмосферного воз- духа 1.8. Некоторые физические константы !.9. Приведение массы тела в атмосфере к массе тела в ва- кууме 1.!О. Газокииетические пара- метры 1.1!. Основные области при- менения вакуумной техиоло.
гии Глава 2. Основные сведения из молекулярно-кинетической теории газов 2.1. Давление газа 2.2. Законы идеалького газа 2 3 Барометрическая фор мула 2гй Скорость молекул газа. Закон распределения молекул газа по скоростям 2.6. Средняя длина свободно- го пути молекул газа, 2.6. Теплопроводиость газов 2.7. Вязкость газов, 2.8. Диффузия в газах, 2.9. Законы взаимодействия молекул газа с поверхностью твердого тела 2.10. Скольжение разрежен- ных газов 2.11, Температурный скачок Глава 3. Течение разреженнмх газов и проводимость элементов вакуумных систем 3.1.
Основные понятия 3.2. Основное уравнение ва- куумной техники 8.3. Режимы течения газов 3.4. Вязкостный режим тече- ния 3.5. Молекулярный режим те- чения 3.6. Переходный режим тече- ния 3.7. Статистический метод определения проводимости ва- куумных систем 3.8. Расчет цеитралнзовая- ных вакуумных систем , 3.9. Процесс откачки газа из вакуумной системы 3.10. Пример расчета прово- димости сложного трубопрово. да 3.!1. Определение 'проводимо- сти вакуумных систем мето- дом угловых коэффициентов Раздел 2 КОНСТРУКЦИОННЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ Глава 4. Матерналм вакуумных систем 4.1, Общие сведения 4.2. Чугун 4.3.
Углеродистые стали 4.4. Легированные стали 4.5. Жаропрочиые стали н сплавы огллвлпнвв 470 Оглл в лвн ив 437 437 444 !85 189 80 81 82 445 45! 452 197 200 205 84 87 88 69 452 453 453 453 206 89 206 206 454 454 91 215 232 455 97 98 102 249 259 457 106 !07 458 296 297 299 310 316 131 137 137 138 140 140 459 461 463 465 330 331 143 147 332 337 !50 154 159 167 341 169 348 354 173 173 371 376 173 4.6. Коррозиомно-стойкие стали 4.7. Стали и сплавы для ра- боты при низких температурах 4.8. Титан н его сплавы, 4.9. Тугоплазкие металлы 4.10. Иветные металлы и спла- 4 11.
Стекло, керамика, ситал- лы 4.12. Пластмассы 4.13. Резины 4.!4. Клен, 4.!5. Легкопт!авкие металлы и сплавы 4,16. Вакуумные свойства ма- териалов Глава 5. Вакуумные герметич- ные соединения 5.1. Оощие сведения и клас- сификация 5.2. Сварные соединения 5.3. Паяные соединения 5.4. Вакуумно.плотные соеди- нения на основе глазурей, си- таллоцемеитоа и эпоксидиых смол 5.5. Разъемные соединения, 5.6. Сверхвысоковакуумные разъемные соединения с рас- плавляемыии уплотнителями Глава 6. Вакуумные камеры . 6.1. Классификации камер, 6.2.
Обечайки 6,3. Днища 6А, Крышки 6.5. Прогрев и охлаждение ка. мер 6.6, Расчет иа прочность, Глава 7, Запормо-регулирую- щая аппаратура 7.1. Классификация и предь- являемые требования 7.2. Затворы 7.3. Клапаны 7.4. Натекатели 7.5. Противоаварийиме н на- пускные устройства и снстемм 7.6. Распределительиме уст.
ройства Глава 8. Конструкционные элементы вакуумных устано- вок 8.1. Механические вакуумные вводы 8.2. Прецизионмые манипуля- торы 8.3. Электрические вакуум- ные вводы 8.4. Вакуумные окна 8.5. Загрузочные вакуумные устройства 8.6. Гибкие герметизирующие звенья 8,7. Заглушка Раздел 3 ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ Глава 9.
Механические вакуум- ные насосы 9.1. ! 1оршневые насосы 9.2. Жидностно-котьцевые на- сосы 9.3. Двухроторные насосы 9А. Пластинчато-роторные и пластиичато-статорные насосы 9.5, Плуижерные насосы, 9.6. Турбомолекулярные на- сосы Глава 10. Струйные вакуумные насосы 10.1. Классификация.
Основ- ные характеристики !0.2. Жидкостно-струйные на- сосы 10.3. Парозжекторные насосы 10А. Бустерные насосы 10.5. Диффузионные насосы. !0.6. Вакуумные пароструй- иые агрегаты Глава 11. Вакуумные ловушки 1!.1. Назначение и классифи- кация 11.2.
Высоковакуумиые ло- вушки 11.3. Форвакуумные ловушки Глава 12. Электрофнзические средства откачки 12.1. Г1риицип действия и клас. сификация 12.2. Испарительиые геттер- ные насосы 12.3. Геттерио-ионные насосы 12.4. Магнитные злектрораз- рядные насосы 12.5. Комбинированные на- сосы 12.6. Гетгерные вакуумные на- сосы Глава 13. Низмотемнера гур- иые средства откачки (крио- насосы) !3.1. Принцип действия и клас- сификация 13.2. Способы охлаждения.
!3.3. Тепловые нагрузки 13.4. Высоховакуумные кои- деисационные насосы , 13.5. Низкоиакуумные коидеи- сационные насосы !3.6. Адсорбционные насосы !3.7. Технические характери- стики крионасосов . Раздел 4 ВАКУУМНЫЕ ИЗМЕРЕНИЯ И ИСПЫТАНИЯ Глава 14. Ваауумметрия 14.1. Классификация !4.2. Жидкостные вакуумме- тры !4.3. Деформациониые ваку. умметры 14.4. Тепловые вакуумметры !4.5. Иоиизационные ваку- умметры Глава 15. Масс-спектрометрня 15.!. Общие сведения 15.2. Статичесние масс-спек- трометры !5.3. Динамические масс-спек- трометры Глава 16.
Испытания на герметичность 378 16.1. Общие сведемия !6.2. Маиометрнческий метод 378 16.3. Масс-спектрометрический 381 метод 382 !6.4. Галогенный метод ! 6.5. Катароиетрический метод 389 16.6. Метод высокочастотного разряда 394 16.7. Пузырьковый метод . 395 16.8. Аиииачный метод !6.9. Люмивесцснтный метод 402 Глава 17. Испытания вакуумных насосов и агрегатов, 17.1. Общие сведения 17.2. Испытания механических насосов (агрегатоз) с мас- 405 линым уплотнением 405 17.3. Испьпания двухроторных насосом (агрегатов), !7 4.
Испытания турбомоле. кулярных насосов (агрегатов) ! 7.5. Испытания пароструйных насосов (агрегатоа), 17.6. Испытания адсорбцион- 415 иых насосов (агрегатов) 17.7. Испи тания гегтерных 429 насосов (агрегатов) и крноив- 429 согов Приложение. 433 Список литературы Предметный указатель 434 .