Фролов Е.С. - Вакуумная техника (1037534), страница 99
Текст из файла (страница 99)
Дубинский В. А., Дмитриев Р. В., Кеменов В. Н. Форвакуумиая каталнтическая ловушка//Электронная промьполенность. 1988. № 6. С. 65. 18. Дубинский В. А., Лавыгин В. А. Вакуумные адсорбциоиные ловушки повышенной проводимости для механических вакуумных насосовЦЭлектронная промышленность. 1988. № 4, С. 64- -65. 19. Жмакин Г, Г. Относительная чувствительность иоиизацнонных манометров//Всесоюз. симпоз. «Состояние и перспективы разработки н производства новых видов вакуумного оборудования». Тез. докл. М.: ЦИНТИхимнортемаш, 1981. Вып. 2.
С. 171 — 172, 20. Знгель Р., Хауэлл Дж. Тепло- обмен излучением: Пер, с англ./Под ред. Б. А. Хрусталева. М.: Мир, !975. 934 с. 2!. Знман А. Д, Адгезия жидкости и смачнвание. М.: Химия, 1974. 416 с. 22. Контор Е. И. Геггерные и ионио-геттерные насосы. Мл Машиностроенне, 1977. 64 с, 23. Кошмаров Ю.
А., Рыжов Ю. А. Прикладная динамика разреженного газа. Мл Машннсстроенне, !977. 184 с. 24. Кузьмин В. В., Левина Л. Еч Творогов И. В. Вакуумметрнческая аппаратура техники высокого ваиуума и течеискаиня. М.с Энергоачомиздат, 1984. 240 г.. 25. Кучеренко Б. Т. Справочник СПИСОК ЛИТЯРЛТРРЫ 464 ПРЕДМЕТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ по физическим основам вакуумной техники. Кием Вища школа, 1981. 264 с. 26.
Львов Б, Г., Шувалов А. С. Современные сверхвысоковакуумиые уплотнения. М.: Высшая школа, 1984. 72 с. 27. Львов Б. Г., Шувалов А. С. Техническое обслуживание новой ва- куумной коммутацнонно-регулирую- щей аппаратуры. Мл Высшая школа, 1987, ВО с. 28. Серия азотных форвахуумных ловушек на условные проходы 0т = = 16, 32, 63, 100 и 160 мм/В. Г. Мар- тыненко, В, Л. Першин, С. Ф.
Гришин и др.ПЕопросы атомной науки и тех- ники. Харьков: ХФТИ АН СССР, 1980. Вып. 4 (!4). С. 26 — 27 (Сер. Общая и ядерная физика). 29. Медников М. И. Вводы движения в вакуум. Мл Машиностроение, 1974. 182 с. 30. Мниайчев В. Е. Вакуумные хрио- насосы. М.: Энергия, 1976. 151 с. 31. Минайчев В.
Е., Мирош- нин С. И. Обзоры по злектроииой технике//Орбнтронные геттерно-ион- ные насосы Мл ЦНИИ «Электроникаь. 1970. Вып. 4 (20Ц (Сер. Микровлек- троника). 32. Найдич Ю. В. Контактные яв- ления в металлических расплавах. Киев: Наукова думка. 196 с. ЗЗ. Номенклатурный наталог на ос- военные и серийно выпускаемые изде- лия вакуумного машиностроения иа 1989 г. М.: ЦИНТИкимнефтемаш, 1989. !4 с.
34. Одинокое В. В. Шлюзовые си- стемы в вакуумном оборудовании. Мл Высшая школа, 193!. 55 с. 35. Передача двнгкения в вакуум/ Е. А. Деул ин, Э. П. Амосов, Ю. А. Хруннчев и др. Мл ЦИНТИхим- иефтемаш, 1975. 53 с. (Сер. Криоген- ное и кислородное машиностроение). 36. Петрунин И. Е. Физико.хими- ческие процессы при пайке. Мл Выс- шая школа, 1972. 560 с. 37. Пипко А. И., Плисковский В. Яч Иенчко Е.
А. Конструирование и расчет вакуумных систем. М.: Эиер- гяя, 1970. 505 с, 38. Рот А. Вакуумные уплотнения: Пер. с англ.М.: Энергия, 1971. 464 с. 39. Саксаганскнй Г. Л. Молекулярные потоки в сложных вакуумных структурах.МС Атомнздат, 1980, 216 с. 40. Сильфоиы/Л. Е.
Андреева, А. И. Беседа, Ю. А. Багдаиона и др. М.: Машиностроение, 1975. 159 с. 41. Слободенюк Г. И. Квадрупольные масс-спектрометры. М.: Атомиздат, 1974. 272 с. 42. Соколов Е. А., Зингер Н. М, Струйные аппараты. Мл Энергия, 1970. 287 с. 43. Справочник по физико-техническим основам криогеинки/М. П. Малков, И. Б. Данилов, А. Г. Зельдович н дрл Под ред. М. П. Малкова.
Мл Энергия, 1973. 392 с. 44. Таблицы физических величин Под ред. И. К. Кикоииа. Мл Атом- издат, 1976. 1008 с. 45. Усюкин И. П. Установки, машины и аппараты криогенной техники. Мл Легкая и пищевая промышленность, 1982. 296 с. 46. Физико-химические свойства окислов/Под ред. Г. В. Самсонова. Мл Металлургия, 1969.
455 с. 47. Фролов Е. С. Турбомолекулярвые вакуум-насосы. Мл Машиностроение, 1980. 119 с. 48. Фролов Е. С., Никулин Н. К. Теоретические основы процессов высокого вакуума. Мл МВТУ им. Н. Э. Баумана, 1978, 72 с. 49. Фролов Е. С., Автономова И. В., Васильев В.
И. и др. Механические вакуумные насосы. М.: Машиностроение, 1989. 284 с. 50. Цейтлин А. Б. Пароструйные вакуумные насосы. М.— Лл Энергия, 1965. 396 с. 51. Чайлдс У. Физические постоян. ные: Пер. с англ. М.: Физматлит, 1962. 76 с. 52. Ып В. Х. апд уапц 2.
3. Ап 1птезЦбаПоп о1 1Ье сбагас1еПзПсз о1 ТНЦегеп1 ЗогЬепН 1ог Тгарр/пб оЦ Мо!есп1ез. Ргос. 81Ь 1п1. Час. Сопят., Саппш, 1980. 1/. 2. 53. к)сйшап 1. СопзгбегаПоп!и О11- 1НаПоп о1 Ьагбе МесЬап)са! Насцпш Ршпр!пб 5)з1ешз, 1пб. Неа1, 1986, 53, Ы 6, рр. 18 — 20. 54. Вахеаба Т., ВнвиМ М., Тап!йн- сЫ О. ТЬе ах!а! п1о1есо1аг ршпр.
Раг1 1, — зеЬеп1. Рарегз !пз1. РЬуз. апб Сбеги. Еез., 1968, Н 2, рр. 49 — 64. А Авогадро число 23, 30 Агрегат вакуумный 7 — парострунный ЗЗΠ— типа АВР 241 — — НВЗ и АЕЗ 260 Аппаратура запойно-регулирующая 150 Баллон предохранительный 7 — уравнительный 7 Бойля †Мариот закон 31 Быстрота действия вакуумного насоса 11, 42 — откачки !1, 42 — — аффективная 11 Вакуум 4 — низкий 4 — высокий 4 — средний 4 — сверхвысокий 4 Вакуумметр 11 абсолютный 11 быстродействие 415 деформациониый 408 дифференциальный 11 жидкостный 406 — компрессионный 407 — О.образный 406 ионизациоиный 415 — магнитный электроразрядиый 422 — радиоизотопный 421 — электронный 415 классификация 405 тепловой 412 условное обозначение 15 чувствительность относительная 414 Вакуумметрия 405 Вводы вакуумные 8 механические 1?3 конструкции 185 злектрические 185 принципиальные схемы передачи дви- жения !74 †1 Вероятность перехода молекул газа чеь рез межлопаточные каналы 272 Вещество прооное 13 Воздух атмосферный парциальное давление комлонеитов 24 состав 21 Время откачки 5 Вязкость газов 37 — дииамлческаи 38 Г Газы идеальный 28 нормальное состояние б основное уравнение состояния 30 остаточный 5 разреженный 5 — режимы течения 43 — скольжение 4! Газовыделение 7 Гей-Люссака закон 31 Генри уравнение 398 Герметичность 13 — норма 13 Геттер 341 физические свойсгна 342 Гребенка 7 условное обозначение 19 Д Давление атмосферное 5 — газа 5 — — абсолютное 5 — — парпиальиое б — запуска вакуумного насоса наибольшее 11, 297 — насыщенных паров 390 — остаточное предельное 5, 296 Дальтоиа закон 32 Диффузия в газах 38 Длина свободного пути частицы 5 — средняя 5 — аффективная 5 Дубинина — Рвдушкевича уравнение 398 Е Емкость сорбциониая 397 Ж )Кидкость рабочая 215, 313, 3!8 УКАЗАТЕЛЬ пеедметныи УКАЗАТЕЛЬ пеедметныИ 3 Закон Бойля — Мариотта 31 — Гей-Люссака 31 — Дальтона 32 — Максвелла 34 Замазка вакуумная 75 Замураэыванне атомов 341 Заряд электрона 23 Затворы вакуумные 8, 154 конструкции 154 — 158 характеристики 154 — !58 Звенья герметизирующие гибкие 200 диафрагма резиновая 200 компенсатор резиновый линзовый 201 сильфоны 20! — конструкции 201 — основные параметры 202 †2 И Испарители 345 К Камеры вакуумные 137 классификация 137 конструктивные элементы 137 охлаждение 143 прогрев !43 условные обозначения 17 Клапан вакуумный 8, 159 конструкции 159 †1 напускной 169 условные обозначения !9 характеристики 159 †1 Клапейрона уравнение ЗО Клаузннга коэффициент 48, 49 — значения для трубопронодов различного сечения 50 — 52 — формула 48 Кнудсена число 44 Константы физические 23 — основные для газов 31 Концентрация газа молекулярная 5 Коэффициент аккомодацин 6, 40 — диффузии 5, 39 — эжекции объемный 299 306 Крионасосы испытания 459 классификация 378 принципы действия 378 способы охлаждения 38! тепловые нагрузки 382 текннческие характеристика 402 — условное обозначение 16 Л Лак вакуумный 76 Ловушки 8, 331 высаковакуумные 332 — адсорбциониые 336 — механические 332 — — принципиальные схемы 334 — низкотемпературные 333 защитная способность 332 классификация 33! конденсационная 8, 333 назначение 331 сорбционная В, 337 удельная проводимость 332 условное обозначение 17 форвакуумные 337 †'эдсорбцноиная 337 -т низкотемпературная 337 Лошмндта число 23 М Максвелла закан ЗЗ Масло вакуумное 267 Маслоотражатель 332 Масса молекулярная 30 Масс-спектраметрня 429 †4 Масс-спекчрометры динамические 434 — времяпролетные 435 — квадрупольные 435 — монополярные 435 — омегатрокные 434 — радиочастотные 436 классификация 429 статические 433 — магнитные 433 — панорамный 434 условное обозначение !7 Материалы вакуумных систем керамика 84 — 86 клей 89 металлы тугоплавкие 82 — цветные 83 пластмассы 87, 88 резины 88, 89 ситаллы 84 — 87 стали н сплавы для рабаты прн ниакнх температурах 80 стали жаропрочные 79 — коррознонно-стойкие 79, 80 — легированные 79 — углеродистые 76 стекло 84, 85 титан и ега сплавы 81, 82 чугуны 76 Н Насосы вакуумные адсорбционный 378, 3% — расчет 401 — технические характеристики 403 гетгерные 376 геттерно.ионные 354 — орбитронные 358 испарительные гетгерные 348 — характеристики 352, 353 — электродуговые 35! комбинированные 371 конденсационно.адсорбцнанный 378 конденсацнонный 378 — высоковакуумиый 389 — — расчет 393 — низковекуумный 394 — — расчет 394 криогеттерный 378 криозахватный 378 магнитные влектроразрядиые 363 механические 206 — водокольцевой 215 — газобалластные 265 — двухроторные 206, 232 — испытания 454 — классификация 232 — принципиальная схема 233 — расчет 235 — технические характеристики 2М вЂ” яшдкостно-кольцевые 206, 215 — классификация 215 — расчет 217 — технические характеристики 224 многопластинчатый 249 молекулярный 9 объемного действия 9 пластинчато.роторные 249 — конструктивная схема 250 — технические характеристики 255 — условное обозначение 16, 255 плвстинчато-статориые 251 — конструктивная схема 251 плунжерные 259 — сткачная характеристика 265 — размеры 260 — техническая характеристика 262 поршневые 206 — классификация 206 — конструкция 213 — принцип действия 206 — расчет 209 — технические характеристики 212 с масляным уплотнением 249 — выбор рабочей жидкости 251 — испытания 454 — сткачные характеристики 255 — расчет 252 струйные 296 — диффузионные 316 — — рабочие жидкости 318 — — технические характернстихи 321 — жидкоструйные 297 — испытания 458 — классификация 296 — основные характеристики 296 — пароструйные бустериые 310 — пароэжекторные 299 — эжекторные 296 турбомолекулярные 268 — испытания 457 — конструкция 269 — откачная характеристика 29! — размеры 272 — расчет 282, 291 — технические карактеристикн 272 центробежный 1О условные обозначения 16 Натекаиие 13 Натекатель В, 167 конструкция !67 принцип действии 168 условное обозначение 20 О Обезгаживанне 7 Окна вакуумные 189 коэффициенты защиты от запыления 191 Опрессавка 14 Откачка 5 — ионная 343 П Планка постоянная 23 Плотность газа 5 Порог чувствительности 14 Рост откачной 7 Постоянная газовая универсальная 23 Поток газа 6 Проводимость 43 — статистический метод расчета 54 — пример расчета 61 — элемента вакуумной системы 42, 43 Производительность вакуумного насоса 296 С Система вакуумная 7 — централизованная, расчет 58 Скачок температурный 4! Скорость света в вакууме 23 Смазка вакуумная 7, 75 Соединения вакуумные герметичные классификация 97, 98 паяные 102 — 105 разъемные !07 — ! 37 сварные 98 †1 468 плядмигный идлзлгйль ОГЛАВЛЕНИЕ Предисловие 3 4 4 4 4 40 41 41 42 42 43 43 15 21 21 54 28 28 80 75 75 76 76 79 36 36 31 38 с помощью глазурей, ситаллоцементов и зпоксидных смол 97, 106 Сопротивление элемента вакуумной системы 43 Сорбент 395 Сорбция 343 Сосуд Дьюара, условное обозначение 18 — откачиваемый 7 Средства откачки электрофизические 341 Степень негерметичиости 13 Стефана †больцма постоянная 23 Схемы вакуумные принципиальные 15 буквенные коды элементов !5 правила выполнения 15 пример выполнения 20 замеры основных обозначений 21 юзерлеида постоянная 36 Теплопроводность газов Зб Техника вакуумная 4 материалы 75, 76 основное уравнение 43 теомииы и определения 4 Теченскание !3 методы контроля герметичности 441 — галогенный 451 — искровой 452 — катарометрическнй 452 — люмииесцеитиый 453 — мзнометрический 444 — масс-спектрометрический 446 течеискатель 14 Течение газа 6, 43 — вязкостное 6, 44 — молекулярное 6, 47 Течь !3 внутренняя 440 калиброванная !4 перекрытие 13 Трубопровод вакуумный 7 — байпасный 7 условное обозначение 18 форвакуумный 7 У Уравнение Генри 398 — Дубинина — Радушкевича 398 — Клапейрона 30 Условный проход 7 ряд нормальных размеров 14 Установка вавуумиая 241 с насосами типа 2ДВН 241, 243 типовые схемы 243 Устройства вакуумные 169 дозаторное 266 загрузочные 197 напускные !69 протнвоавзрийные 169 распределительные 173 Утечка 13 Ф Фнльтр выхлопной 8 Форвакуум 5 Ч Чувствительность относительная аакуумметров 4!4 — магнитных электроразрядиых 426 — радноизотопиых 421 — тепловых 414 — электронных яонизационнык 419 Ш Шланг вакуумный 8 Шлиф 8 Шлюз ваауумный 7 Э Экран теплоэащитный 380, 386 пористый 399 шевронный 400 Элементы вакуумной системы 1 проводимость 6 условньш обозначении !4 Раздел 1 ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ ВАКУУМНОЙ ТЕХНИКИ Глава 1.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
