Фролов Е.С. - Вакуумная техника (1037534), страница 94
Текст из файла (страница 94)
ля оп с чь, меныпе илн равен максимальна и ове е и о денна испытаний течеискатель тель, д пускаемому потону через течеиска- соединяют с и. ют с чспытуемой системой по ичи отключен. П и а механический насос этой ли. одной из схем. х . показанных на рис. 16А. ен. ри испытании боль- Испытания по пе вом ва иа ших объемов следует сводить к мини- ис.
16.4. 1 м м объем р с... а. проводят в следующем торой п исае инеи теч н у у ем форвакуумной линии. к ко. порядке. Откачивз к ч взют систему 1 и все также п и р д н н течеискатель, а соединительные коммуниха гни р. менять пароструйные на. гательным насосом 4; п и вспомо. сосы с большой быст ото н ом; при достижер действия. нии в системе давлении менее (О Па спытання на герметичность ва. плавно откоывают д оссельный к куумных систем можно проводить с по- пан 2, с ельный кла- на ю пан , устанавливая в течеискателе щью масс-спектрометрических ана- рабочее давление ( лизаторов парциальиого давле а ения.
чают течеискатель 3 и п и Да ЕНИЕ Рреб ~ ~Рдип' ВКЛЮ- устанавливаемых наряду с маномет .- р ступают ческимн преобразовател м. ри- к поиску течей; по м ере обнаружения соковакуумных системах. С их ноя и на иы- и стаанення течей ~ анн ч лаана открывают их по- дроссельный нлапан 2. После полного мощью можно о енить м ц . общую степень его открытия перекрывают клапан 5, иегерметичности по содержанию кисло.
отделяющи м я щий механнчесхнй насос, если еста д в остаточных газах системы. давление в геченскателе не начнет течей устанавливают по изме- паевышать п е ел нению пиков масс. спек а, предельно допускаемого, и сс.спектра, соответ- при котором обеспечивается обна Йаи ствуюших выбранному пробному газу, жение течи м меньшие размеры абнаруживаемой Иногда полное отк ытне, течи с минимальными азме ами. течи прч таких нспытаии иой ыс ьно велики вследствие значит н читель. предельного остаточного давления ме. ио быстроты действия пароструйных ханического насоса; тогда пе ек ывают механический насос. Если дав- лий. целесообразно применять аргон н ге- ление л н.
е при этом не уменьшается, аиаСпособы абдуна и гелиевых чехлов выше чит насос не является п нчннай пор каме ы ения давления и его следует падр] применяют при испытаниях ключить вновь. непрерывно откачиааемых вакуумных Испытания п систем, первый для обнаружения мест на .. 16.4, б, ~т ния по схемам, покззанным течей, второй — для определения сте- щем по ядке рис..., в, и оводят в еле пенн негерметнчнос н об с - щем порядке.
Откачивают механиче. ч ости алочки про- скнм насосом 4 систем 1, вк иеряемай системы ичи ее элемента пат бок с е н , петру ок, соединяющий ее с теченскаыявления негерметич- гелем 3. Если в системе дается по иых участков н течей сложной ко и- и урации, повышения чувствительности выпускного давления па ост учае откачку с стем ро дят зют я исы у камеру ычио исполь. только механическим наса о 4; с м плавно систем; и и кон оле у дл и таний малогабаритных открывая дроссельнь й ьны клапан течег иых систем каме мо н р трале крупногабарит.
искателя, устанавливают в системе ру жно заменить течеискателя 3 рабочее давление; зклю- полнэтнленовым чехлом. Способ ге чают лиевых чехлов или камер дает более те й. Е ге- чают катод и приступают к поиск объективные и точные результаты (по- течей давление че . слн после ст анения ток натекания че ез те и, о- течей давление а системе снизится Мове-ел««тром«три«в«кий твтод 449 ГЕР МЕТИЧНОСТЬ ИСПЫТАНИЯ ИА г г 4 а) Рвс. 1б.б.
Схема в«бытовой вв гврмвтвч вость с помощью вввуумвмх орноосоаг 'о — схема установки (l — тв«ввоввтввгк à — Лроссвлюо*й влвовв тв«в«оввтввв; 3— мввоввтрвчеоввй ореобравобвтевл: 4, б, Р— влвовввн б — вакуумная орвсосвв: 7, — мвхввв«вской вакуумный васо«; Л— течь Гвввтв); б — првсоскв продолжают испытания после достижения в системе высокого вакуума. По мере обнаружения н устранения течей плавно открывают дроссельный клапан 2 течеискателя.
Если прн полностью открытом дроссельном клаПане давление в течеаскателе 3 ниже рабочего, то для увеличения чувствительности течеискателя прн работе по схеме, показанной иа рис, 16.4, а, перекрывают трубопровод к механическому насосу 4 системы (давление прн этом не должно превышать рабочего), закрыв клапан о, н стремятсн работать иа более чувствительных шкалах течеискателя компенсацией фоновых сигналов. Для уточнения места течи следует использовать способы, препятствующие попаданию гелия в течи, располов женные на участках поверхности, смежных с обдуваемыми. Эффективно создание у обдувателя воздушной струн, смещающей поток гелия в одном направлении.
При этом ступенчатое перемещение обдувателя позволяет точнее установить место течи. Если градунровку выполняют с помощью течи «Гелитв, поток гелия через обнаруженную течь ()=,(.—,);.. ( .26) ГДЕ а — Ситнап тЕЧЕНСКатЕЛЯ; бив— концентрация гелия и смеси газов, подаваемой на течь, Споссб вакуумных присосок при- меняют прв контроле герметичных лч- стовых заготовок для вакуумных сн. стем и их незамкнутых, а также газо- наполненных элементов. Прн нспытзинях вакуумные прч.
соски устанавливают на проверяемые участки поверхности, с протнвополож. ной стороны которых подают гелий (рнс. 16.5). Прн проэерке незамкну- тых элементов (например, сварных швов обечаек) гелий можно подавать с помощью полиэтиленового чехла, наклеенвого на поверхность липкой лентой. Присоску предварительно откачивают л~ехзническнм иасосоы и соедингпот с течеискателем специальным шт пером. рн использовании прнсосок испытания рекомендуется проводить в та- кой последовательности. По течи «Ге- ли«в, установленной на входе течеискателя, опрелелать цену деления з, установить присоску на заведомо герметичном участке проверяемой поверхности: открыть клапан 6 (при этом дроссельный клапан 2 течеискателя открыт, клапан 4 закрыт), зафиксировать момент начала откачки и откачать присоску до давления, не превы- шающего 7 Па; перекрыть клапан 6 н открыть клапан 4.
Через заданное время после начала откачки при- соска несколько раэ определить фоно- вый сигнал цф, переуплотняя при. соску, н подсчитать разброс фоновых ' сигналов даф и значение От1о по формуле (16.22]. Установить присоску на проверяемом участке ч, выполнчв те же оцерацин, что н при определе- нии аф, зафиксировать сигнал течеискателя ц.
Если ц — блф «(2 ... З)У( у(бцф, проверяемый участок следует считать герметичным в пределах чув- ствительности, определяемой зиаче. нием ()тш. При малом разбросе фонового сиг- нала бцф можно повысить чувстви- тельность испытаний хомпенсацнеч фо- нового сигнала аф и переводом измерений на более чувствительную (пкалу. Ра бр йцф не должен превышать 10 ...
20% по выбранной шкале. Измерения проводят следующим об. разом. Включают компенсационную схему течеискателя н прн одновремен. иом переключении шкалы плавным из. менением компенсчрующего напряженчя уменьшают покаэачия выходного прибора так, чтобы стрелка установилась на расстоянии одной трети от начала отсчета выбоанной для намерения шналы. Измеряют скомпечснрованные показанчя выходного прибора течеискателя ан. Затем переключатель шкал переводят в исходное положе.
ние и тумблером исключают компен. сацию (положение потенцномегра схемы компенсации при этом не должно меняться), После уплотнения присоски иа контролируемом участке (через заданное после начала откачки время) изме. ряют сигнал выходного прибора течеискателя. Если а вв цф, следует тумблером перевести намерение на более чувствительную шкалу. Если отклонение полученного сигнала от ц„ не превышает (2 ...3) бцф, течь отсутствует.
Способ барокамеры применяют для проверки герметичности элементов вакуумных систем, работающих прн избыточном давлении. Для проведения исцытаннй элемент помещают в откачиваемую барокамеру. Внутреннюю полость элемента эапол. няют гелием или смесью, содержащей гелий. Течеискатель подсоединяют к барокамере (см. ряс. 16.4, б, в) ч, отградуировав систему, определяют значения з и (),„ по формулам (!6.21) н (16.22).
Порядок проведения испытаний аналогичен описанному для способа обдува гелневых чехлов (см. рнс. И.4, 6, в). Испытания с накоплением пробного газа проводят в следующем порядке. С помощью течи «Гелнт», установленной на барокамере, определяют цену деления выходного прибора течеисха. геля по объему гелия в системе испытания.
Для этого при подсоединенных течи н сорбцнонном насосе отключают пароструйкый насос и определяют цену деления шкалы выходного прибора течеискателя, Па мв/мВ: 'ц = б)н. М('"и. — ф), (16.24) Затем перекрывают течь «Гелит», откачивают барокамеру пароструй- 15 и/р и. С. Фролова Рве. 1В.В. Схема в«оттавой вв герметич- ность ооо«лбом щувв. 1 — щуо: 1 — гибкий трубопровод; мввомвтрвчвсивй во«образов«тель; 4— лроссввьвий кввовв тв«воск«геля: б— ввчввсквтввь; б — мв«авв вовой вакуум- ный насос; 7 — в«о«в ным насосом до установившегося давления, отключают пароструйный насос, определяют фоновый сигнал течеискателя цф через определенное время б( после отключения пароструйного насоса, подсоединяют пароструйный насос, заполняют внутреннюю полость изделия гелием илн смесью с концентрацией гелия си, отключают пароструйный насос, определяют сигнал течеискателя через то же время б(.
Суммарный поток гелия "ф 1 (( - зй б( †, . (!6 26) Нв Способ шуца применяют для обнару. жения мест течей в элементах вакуумных систем, работающих под нзбыточчым давлением а также для опреде лепна степени негерметнчностн этих элементов прн испытаниях способом накопления гелия а чехле прн атмосферном давлении. Испытания способом щупа проволят при заполнении испытуемого элемента гелием (илн смесью гелия с балластным газом) до макси. мально допускаемого давления. Щуп 1 (рнс. 16.6) представляет собой устройство, проводимость которого обеспечивает прохождение через него потока 2.10-« ...