Фролов Е.С. - Вакуумная техника (1037534), страница 97
Текст из файла (страница 97)
д. Допускаемые погрешности измерения потока (,) газа; ~3441 при (~ ) 1 Па м'/с, ~5% при Ц = 1 ... 1О 4 Па.м'/с, ~20% при () ( 10 4 Па мз/с. Перед сборкой все поверхности испытательной установки, которые будут находиться в вакууме, следует очистить и обезжирить в соответствии с инструкцией по эксплуатации на. соса (агрегата). После сборки испытательную установку необходимо проверить на герметйчность. Здесь следует учитывать, что по быстроте действчя насосы зарубежных фирм несколько превосходят аналогичные о(ечественные насосы.
Это объясняется различием в методиках измерения. Обычно в зарубежной практике при измерениях вводят поправку на проводимость участка между штуцером 2 (см. рис. 17.!) на чзмерительном колпаке и входным сечением насоса. При У ) 5Уэ„=- 3005/л, где Рве — объем всасывания за один оборот йасоса; 5 — требуемая быстрота действия испытуемого насоса, дмЧс; и — частота вращения, мнн 1.
Между испытуемым насосом и измерительной камерой допускается устанавливать переходник (гм, рнс. !7. 1, б). Предекьноэ остаточное давление измеряют в следюошеч порядке. Включают испытуемый пассе 1 (риг. !7.3) согласно инстоукцик по эксплуатации. Отхачивают измерительную камеру 2 при закрытом иатекателе б до установления я ней равновесного давления. Равновесным считают давление, которое в течение 3 ч изменяется не более чем на 104%4, Это значение принимают за предельное остаточное давление насоса. Дааэенне следует измерять 455 испытлииЯ Вллуумиь(х иАсасОВ и АГРВГА тОВ Трруюпезекузпрпем влезем (перевезем! а 5 4 5 4 7 Рве.
(7.4. Схема спетемы пепуека гззал 1 — ззкрмтеп бюретке: 7 — кран бюрюкк; 3 — флзпец дпп прпеоекпкепкп к пзмерительной камере; 4 — фпзнец дл» прпсоединения к напускной камере прп пемз. реппп метадон дпефретм; 5 — мзппметркческий препбрззоеетель; 6 — промежуточпее кемере; 7 — «левее; 3 — гззаема бзллеп е редуктором прн закрытом натекателе с периодичностью не менее 1 ч. Быстроту действия измеряют методом постоянного давления следующим образом. Включают испытуемый насос и откачивают измерительную камеру до предельного остаточного давления. Допускается откачивать камеру до давления, равного 0,1 рзх. где рех давление во входном сечении насоса, прн котором требуется чзмерить быстроту его действия. Не прехращая откачки, в нзмеаительной камере устанавливают давление газа рзх так, чтобы результаты трех последних измерений давления не отличались более чем на 1Оеф. Одновременно измеряют по.
ток О газа, поступающего в измерительную камеру через иатекатель. Вычисляют быстроту действия насоса при заданном давлении рвх по формуле 5 = арах. Для получения зависимости между быстротой действия испытуемого насоса н давлением рзх следует определить быстроту действия насоса при различных давлениях не менее 3 раз и каждом десятичном диапазоне (для аначений в интервалах от 2 до 3; от 5 до 5; от 5 до 10).
Измерения начинают с самого низкого давления. Эту зависимость изображают графически в полу- логарифмических координатах (я р — 5. Быстроту действия по определенному газу измеряют с памошью закрытой бюреткн в следующем порядке. К натекателю испытательной установки подсоединяют систему иапуска гааа (рнс. 17.4).
Откачивают собранную систему до предельного остаточного давления; прв етом ватекатель нв ис- пытательной установке и кран 2 бю. етки 1 открыты, а клапан 7 закрыт. осле достижения указанного давления закрывают натекатель на испытательной установке н открывают клапан.
Промежуточную камеру б наполняют газом до атмосферного давления. Измеряют быстроту действия в указанном порядке. Для газобалластных насосов одну серию измерений предельного остаточного давления н быстроты действия следует выполнять с закрытым, а вторую — с полностью открытым гааобалластным устройством. 17.3. Испытания двухраториых иаспгов (агрегатпв) Параметры двухрогорных вакуум.
ных насосов (агрегатаа) проверяют иа установке, схема которой приведена на рис. 17.5. Длина трубопроводов от выходного фланца испытуемого насоса 1 да манометрнческаго преобразователя 7 на выхад1тм трубопроводе должна быть ие бочее !50 мм, а отманометрическаго преабразанателя до натекателя — не менее 200 мм. Предельное остаточное давление и быстроту действия измеряют согласно Рпе.
17.5. схеме уетанпез» ллз пепмтзппй даухрпторпмх и пзрпетруапмх песочек и ащегетез: 1 — еепмтуеммй насос (егрегет); т — ззмерптезьеез кемерз; 7, б, 7 — мепометрпчеезке препбрззпеетепп; 4, 3 — зетеке. теле; 5 — езпуекнез трубке; Р— клапан: 1Р— форззпуупвмй насос методике, изложенной двя механиче. свих насосов. Если в качестве фарвакуумного насоса 10 использован газобалластный насос, то одну серию измерений пре.
дельного остаточного давления ч быстроты действия следует проводить с закрытым, а вторую — с полностью открытым газабалластным устройством . Наибольшее отношение давлений тюзх определяют в следующем порядке. Измерительную камеру 2 откачияают до предельного остаточного давле. иия н измеряют давление на выходе испытуемого насоса рвых. Постепенно увеличивают с помошью натекателя В на выходном трубопроводе давле. вае рзых до значения, допускаемого инс(рукцией по зксплуатацин насоса. ПРн атом нзмеРЯ(ат Давленил Рвых и Ре для заданного ряда давлений в измерительной камере. Для каждого нзмере. ния вычисляют отношение давлений чюзх = рных)ре.
Строят зависимость в палулогарнфмичесхнх координатах 1й рных 'гюех. 17.4. Испытания турбамолекуляриых насосоа (агрегатов) Параметры турбомолекуляриых насосов проверяют на установке, схема которой дана на рнс. 17.6. Испытуемый насос (агрегат) прогревают в соответствии с инструкцией по зксплуатации. Одноврелленно для обезгаживаиия измерительной 2 и напускной б камер с установленными на них натекателем 4 и маиаметрическимн преобразователямн 3, 7 их прагревают при температуре не выше 573 К. Предельное остаточное давление измеряют в следу(ощем порндке. Включают испытуемый насос (агрегат) 1 согласно инструкции по зксплуатацни и проверяют частоту вращения ротора на соответствие паспортным данным. Включают нагреватели 10 и 9 насоса и камеры и, не прекращая откачки„ прогревают испытательную установку н насос (иатекатель 4 камеры должен быть открыт, а его входное отверстие заглушено).
Выключают нагреватели и измеряют предельное остаточное давление в соответствии с ранее описанной методикой. Рпс. 17.Е. Схема уетанпекн дза и пытзппй турбь(лпзекулпрпых и еперхзысезьеезуумвмх дпффузненнмх насосов и агрегзтеал 1 — еепитуепмй насос (зтретет); 7 — «змерптепьпее камера: 3, 7, 1! — мееппетрвческпе преобрезеезтелп; 4, 1т — езтеке. телп( 5 — пьпуеккеп трубка; б — пзпуекпее камера; 8 — дпзфрегмз: т, 1Р— пегреззтепк; 17 — кпзпеп; 14 — фарезкуумвмй песее При давлении ниже 0,1 Па быстроту действия измеряют методам посгоян- ного давления в следуюшем порядке.
Откачивают измерительную хамеру 2 до предельного остаточного давления (допускается откачивать камеру до давления, равного 0,1 рвх, где р„ давление, при котором требуется измерять быстроту действия). Закрывают натекатель 4 камеры и снимают заглушку с его входного отверстия.
С помощью натекателя камеры в ней устанавливают давление р„х. Число ' измерений должно быть не менее трех; результаты трех последних намерений ие должны отличаться более чем иа 10еф. Одновременно измеряют давление рн в напускной камере б. При заданном давлении рзх вычисляют быстроту действия пасоса (агрегата) 3= и,(р,(р„— И. Определение зависимости между быстротой действия насоса н давлением иа его входе язмерение быстроты дей- 455 ИСПЫТАНИЯ ВА((УУМНЫХ НАСОСОВ И АГРЕГАТОВ Геэняяэнаи яяеееи (черен»ни! я яряенеьчем, 1(7 стеня насоса по какому-лнба газу, а также прн рва)0,! Па следует проводить по методнхе для механнческнх вакуумных насосов с мвсляныи уплотнен»ем. Прн испытаниях турбомолекуляр.
ных насосов (агрегатов) одновременно с нзмереннем давлення ьеооходнмо провер»~ь частоту врашеннн ротора на соответствие паспортным данным. 17.5. Испытан»я пнрасхруннык насосон (агрш ахов) Параметры пароструйных насосов проверяют нн уст»нонке, аналогнчной показанная на рнс. 17.5, Предельное остаточное давление н быстроту действия определ»ют сог- ласно метаднке, изложенной для меха- ннческнх вакуумных ннсосан с масля- ныи уплотнен»ем. Прп нзнереннн пре- дельного остаточного давлен»я паро- ртутных вакуумных насосов (агры а. тов) перед манаметряческнмн преобра- зователямн следует устанавливать азотные ловушки.
Нанбальшее выпускное давление црн предельном остаточнои давлении нэ. меряют в следующем порядке. Нзмерн- тельную намеру 2 откачншцог до предельного остаточного давления ра. С помощью натекэтеля Е на выходном трубопроводе давление в нзмернтель- ной камере увелнчннают до 1,б ро. Давление, измеренное в этот момент манометрнческям преаорнэователем 7, принимают за наибольшее выпускное давленне насоса (э~регата].
Нанбольшее выпускное давление прн давлении, соответствующем макси- мальной пранзводнтельнастн нспытуе- мого насоса (агрегата), измеряют в сле- дующем порядке. Включают нспытуе- мый насос 1 (агрегат) согласна нн- струкцнн по эксплуатацнн н откачи- вают нзмернтельную каихрт до давле- ння в 1О раз меньше давления, со. отнетствующего накснмальной цронзаоднтельнастн н»соса (агрегата). С по- мощью натек»тъля 4 н измерительной камере 2 устаннвлнвают давление р, соотнетствующее иакгнмальной производнтельносгн насоса (агрегата). С помощью нэ гекэтеля З на выходном тРУбопроводе в нзмернтельяой камере Уналнчявают давленне до 1,5 р, Дав- ление, намеренное в этот момент маяометряческнм преобразователем 7, прнннмают за наибольшее выпускное давление. Для нспытаннй сверхвысоковакуумных диффузионных насосов (агрегатов) используют установку, собранную по схеме, которая показана на рнс.
!7.6, без нагревателя насоса. Предельное остаточное данленне н быстроту действия сверхвысокаяахуумных днффузнонных насосов изме. ряют согласно методике, приведенной для турбомолекулярных насосов. Наибольшее выпускное давление прп предельном остаточном давлення нзмеряют в следующем порядке. Откачнвают измерительную камеру 2 до предельного остаточного давлення р„.
С помощью натекэтеля 12 на выходном трубопроводе увеличивают давление в нзмернтельной камере до 1,б ро. Давление, намеренное э этот момент манометрнческнм преобраэаяателем 11, пряннмают за нанбольшее выпускное давленяе насоса (агрегата). Нанбальшее выпускное давление прн входном давлении, соответствующем максимальной производительности нс.
пытуемога насоса 1 (агрегата), измеряют в следующем порядке. Включают нспытуемый насос (агрегат) согласно ннструкцнч по эксплуатацнн н откэчина(от измерительную камеру 2 до давлення в !О раз меньше давления, соответствующего наксниэльной пронзводнтельностн насоса (агрегата). С помощью нэтекателя 4 в измерительной камере устннавлнва(ат давление р, соответствующее максимальной производнтещьногтн насоса (агрегата). С помощью натекателя 12 на выходном трубопроводе давление в нзмернтельной камере увелнчнвают до 1,5 р. Давление, намеренное в этот момент манометрнческнм преобразователем !1, принимают за наибольшее выпускное давление насоса (агрегата).
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
