37_avt_svid_EAD_1556429 (1033206)
Текст из файла
СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ НО ИЗОБРЕТЕНИЯМ Н ОТКРЫТИЯМ прн гос~ддрствкннов комитктн ссср но нлунн н тнниинн (госкомиеовввтвиий> На основании полномочий, нредостащейных Правительством СССР, Госкомизобреьтеньиб:. евыдаа .настоящее =авторское свидетельство пус~роиОввео для перемещбния 3 велуумеп Автор (автор":)' Аниоийов Валерий Вячеславович, Деулин Евгений Анекоеевич, Каеаков:4лексавдр: 4едорович, Коллеров Эдуард-Павнович и: Пронькев Йихаил Анекоандрович Заявитель: Приоритет изобретения Заретястрнрошно я Росударсжннои реестре е язобротений СССР 6 декабря 1989г.
Действие авторского св страняется на всю терри Лредеедаеаеаь еео.п ип епеа Начальник ееп4ела СОЮЗ СОБЕТСНИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ РЕСПУБЛИН 1191ЗО1111 155 (51)5 Н 01 Ь 21/00 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Н А ВТОРСКОМУ СВИДЕ'ТЕЛЬСТВУ 13-90 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ ПРИ ГННТ СССР (21) 4490974/24"21 (22) 29.07.88 (72) В.В.Анисимов, К.А.Деулин, А.Ф.Казаков, Э,П.Коллеров и М.А,Проиьков (53) 624.521(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР Р 1281150, кл. Н 05 К 13/02, 1984, Авторское свидетельство СССР Р 1134044, кл, Н 01 Ь 2 1/00, 1983„ (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПКРКИКЩКНИЯ В ВАКУУМК (57) Изобретение относится к электронному машиностроению и может быть использовано при производстве полупроводниковых приборов.
Целью изоб- ЛЛЯ СЛУЖЕБНОГО ПОЛЬЗОВАНИЯ ЭКЭ, Н' ретения является повышение надежности, точности позиционирования и бы стродействия за счет уменьшения сил сопротивления движению, Устройство содержит каретку 1, камеру 2, приводы 3, 4, выполненные в виде стаканов 5.и 6, герметиэированных Фигурной перемычкой 7 и 8. Толкатели 9 и 1О соединены с кареткой 1. Привод 11 герметизирован перемычкой !3, иа срезе суакана 12 в углублении которой размешав толкатель 14, Винты 15, 23 винтовык пар 16„ 22 соединены через шестерни 27, 2 1 с гайками 20, 26, Привод 4 соединен с гидроаккумулятором 25 , через гидромагистраль 24. 1 ип. 1556429 Формула изобретения Редактор Т.!Врчикова Составитель !В.Яресько Техред А.Кравчук Корректор С.Черни Эаказ 780(ДСП Тираж 326 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Иосква, Ж-35, Раушская наб., д.
4!5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,101 Изобретение относится к электронному машиностроению и может быть использовано при производстве полупроводниковых приборов, Белью изобретения является повышение надежности, точности позиционирования и быстродействия за счет умень' шения сил сопротивления движению. На чертеже изображена схема уст- !0 ройства для перемещения в вакууме.
Устройство содержит каретку 1, установленную в вакуумной камере 2 с возможностью вертикального перемещения, На камере 2 зеркально симметрич- 15 на относительно каретки 1 установлены верхний привод 3 и нижний привод 4, каждый из которых выполнен в виде стакана 5, 6. Каждый срез стаканов 6 и 5 герметизирован гибкой и фигур" 20 ной перемычкой 7 и 8. В углублениях перемычек 7 и 8 размещены толкатели 9 и 10, которые соединены с кареткой 1. Аналогично устроен дополнительный привод 11, где срез стакана 12 герме- 25 тизирован фигурной перемычкой 13, в углублении которой размещен толка- тель 14.
Толкатель 9 верхнего привода 3 соединен с винтом 15 первой винтовой пары 16. Летчик 17 положении ,30 винта 15 пары 16 соединен с входами компаратора 18, выход которого соединен с входом второго управляемого электропривода 19, соединенного через шестерню 20 с гайкой 21 второй винтовой пары 22, винт 23 которой соединен с толкателем 14 дополнительного привода 11, заполненного жидкостъю н соединенного посредством гидромагистралн 24 с гидроаккумулятором 40 25 и гидроприводом 4.
Привод 16 через шестерню 26 соединен с гайкой 27. Устройство работает следующим образом~ При перемещении винта 15, вниз толкатель 9 перемещает каретку 1. При этом сигнал с датчика 17 перемещения винта 15 поступает иа вход компарато- ра 18 и вызывает сигнал разбаланса, который приводит в действик привод 19.
Винт 23 перемещает толкатель 14 вниз, в результате чего жидкость удаляется из объема привода 4, тем самым ком- пенсируя силы сопротинления движению каретки 1 и выборку люфта, Устройство для перемещения в вакууме, содержащее вакуумную камеру, в которой размещена каретка, выполненная с возможностью вертикального перемещения и соединенная с нижним и верхним приводами вертикального перемещения, установленными на камере зеркально симметрично относительно каретки, и дополнительный привод, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения надежности, точности позиционирования и быстродействия, каждый из приводов выполнен в виде стакана, торцовый срез которого герметизирован гибкой фигурной перемычкой, в центральном углублении которой размещен толкатель, при этом толка- тель верхнего привода соединен с кареткой и винтом первой винтовой пары, гайка которой через первую шестерню соединена с первым управляемым электроприводом, а датчик положения пинта первой винтовой пары соединен с входом компаратора, выход которого соединен с входом второго управляемого электропривода, соединенного через вторую шестерню с гайкой второй винтовой'пары, винт которой соединен с толкателем дополнительного привода, стакан которого заполнен жидкостью и через гндромагистрапь соединен с гидроаккумулятором и полостью нижнего привода, толкатепь которого соединен с кареткой.
а э п Д Ф 2 Б й Ф и д О 8 о 8 Е а 5 Е '.0 Б а й~ Я С Л О < Х С с О й О ж Р О ,( И' Ж 4. % б Г а а Я «4 Ы ю ю 3 М Р Я ц Я С Ы О и в н о я к о О сО ю :1 М к 4 Ф Ф. =" Д % и й Е "и Д х 8 Р, и М Р Й о .
Характеристики
Тип файла PDF
PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.
Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
