38_avt_svid_EAD_1556430 (1033207)
Текст из файла
СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ ПРИ ГОСУДАРСТВЕННОМ КОМИТЕТЕ СССР ПО НАУКЕ И ТЕКИИКЕ ( ГОСКОМИЗОБРЕТЕНИЙ) Заявитель: Приоритет изобретения ' Зарегнотрнронано о Гооуд4Вэ4КИЮ р~ЩВ'. иеобретеннй ССОР 8 декабря 1989г, Действие авторского св страняется на всю терри Заявка № На основании полномочий, .предоставленных Правительством СССР, Госкомизобретений выдал настоящее авторское" - свидетельство на изобретение:: "Устройство: для ГГеремещении в вактуме." Автор (авторы): Анисимов Валерий Вячеславович, Волчкевич Леонид Иванович,: Деулин Бвтений Алексеевич,- Казаков Александр-ФЕДоровкч-и Прощаов Михаил-.АдГександроиич 1556430 Ф о р м у л а изобретения Составитель Ю.Вресьхо Редактор Б.Федотов Техред А.КРавчук Корректор В.Гнрняк Заказ 780/ДСП Тираж 326 Подписное ВНИНПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб;, д, 4!5 Производственно-нздательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул.
Гагарина, 10! Изобретение относится к электрон- ному машиностроению и может быть ис- пользовано при производстве полупро- водниковых приборов. Цель изобретения — повышение на- дежности, точности позиционирования и быстродействия за счет уменьшения сил сопротивления движению. На чертеже представлена структур- ная схема устройства для перемещения в вакууме, Устройство содержит вертикальные направляющие 1, в которых установлена каретка 2, выполненная с возможностью !5 перемещения в вакуумной камере 3. На камере 3 установлены зеркально сим" метрично относительно каретки верх- ний 4 и нижний 5 гидроприводы верти- кального ее перемещения.
Посредством 20 толкателей 6 гидроприводы 4, 5 и до- полнительный гидропривод 7 соединены с кареткой 2. Гидроприводы 4, 5 и 7, герметизированиые гибкой Фигурной перемычкой 8, выполнены в виде отака- 25 нов 9, к внутренней поверхности каж- дого иэ которых прикреплена перемыч- ка 8. В углублении перемычки размещен толкатепь 6. Гидроприводы 4 и 5 сое- динены друг с другом гидравлической магистралью 10 через магиитореологи-: ческий Распределитель 11, работа ко- т'орого обеспечивается гидронасосом 12, Дополнительный гидропривод 7 установ-' лен параллельно нижнему гидроприводу 5 и подключен к дополнительному маг" нитореологическому распределителю 13> магиитореологические дроссели 14, 15 которого соединены с выходом компара- тора 16, входы которого соединены с датчиком 17 перемещения каретки.
Гид- ронасос 18 обеспечивает работу магни- тореологического распределителя 13. Устройство работает следующим об- разом„ При подаче порции жиДкостй от ! 45 магнитореологического распределителя 11 в полость стакана 9 гидропривода каретка 2 по направляющим 1 перемеща- ется вниз. При этом такая же порция жидкости из полости стакана 9 гидро- привода 5 поступает в магнитореологи- ческий распределитель 1 1.
Тем самым компенсируются силы сопротивления движению каретки, а также происходит выборка люФтов. При возникновении до- полнительных нагрузок на каретку до- полнительный гидропривод 7 позволяет компенсировать их по сигналу с датчи- ка !7. Х Устройство для перемещения в вакууме, содержащее вакуумную, камеру, в которой размещена каретка, выполненная с воэможностью вертикального перемещения, соединенная с нижним и верхним гидроприводами вертикального перемещения, установленными на камере эеркальио симметрично относительно каретки, и дополнительный гидропривод, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения надежности, точности позиционирования и быстродействия, каждый из гидроприводов вы полнея в виде стакана, заполненного ' магнитореологической жидкостно, торцовый срез которого герметизирован гибкой Фигурной перемычкой,, в центральном углублении которой размещен толкатель каретки, ]Ри этом нижний и верхний зеркально симметричные гид.
роприводы соединены гидравлической магистрапью через магнитореологическнй распределитель. 2, Устройство по и, 1, о т л и— ч а ю щ е е с я тем, что дополнительный гидропрнвод установлен параллельно нижнему гидропрнводу и подипочен к дополнительному магнитореологическому Распределителю,' магнитореологические дроссели которого соединены с выходом компаратора, вкоды которого соединены с датчиком перемещения каретки. ы Я б Ф О '8 Ф Ф о 2 о и ж 3 Р б о ЗФ Ю б И ~О п й Ф 2 % О и о $ й о Р Ф Ф3 4 Ф ~Ф л Ф о о х з ы О, С о б1 о ы о й о 5 3 5 Р' 4 ы д ~о й» Я С 2 О '.С Б С о Б х Б Л л о 5 Ж Й Ф :1 й Ф Й 4 Я— Ь а а 2 о Ф О Ф О Щ Р :к З О. Г с с п Ю О о ~~ д о О й Ю й й Ю бй.
~Ф "4 ~- я э а Л д Й ..з ф Ю Я' 2 ~ сз .
Характеристики
Тип файла PDF
PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.
Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
