TIC Turbo&Instr-RUS (1032059), страница 9

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла (страница 9)

Следует заменитьблок электродов как описано в руководстве вакуумметра.42Сбой магнетронаMag Fail(Выходной сигнал вакуумметра =1,100 В)Означает, что магнетронный преобразователь закорочен. Этоможет произойти из-за загрязнений. Следует почистить WRGкак описано в его руководстве. Если ошибка повторится, тонеобходимо провести техническое обслуживание вакуумметраи заменить блок электродов (см. руководство D147-01-802)Сгорел катод(Выходной сигнал вакуумметра =1,000 В)Filament FailОзначает сбой элемента Пирани.

Вероятной причиной является сгоревший катод. Следует провести техническое обслуживание вакуумметра как описано в его руководстве.Выход за пределы (Выходной сигнал вакуумметра <0,950 В)диапазона (пониже- Означает, что вакуумметр неисправен. Следует заменитьние)/ Under Rangeэлектронный модуль.Таблица 28. Диагностика WRG4.10Отказы системыВ ситуации, последствия которой могут привести к сбою системы, последует Предупреждение: в нижней половине экрана начнет мигать надпись Alarm (см. рис. 17).Затем Вы можете выбрать Отказ, установив на нем курсор и нажав кнопку Выбор. Этидействия дадут Вам войти в экран Отказы системы. В другом случае Вы можете воспользоваться главным меню.Надпись Alarm прекратит мигать, когда будет рассмотрена оператором, и исчезнет,если вызвавшая ее причина исчезнет.

Распознавание Предупреждения осуществляется путем нажатия кнопки Выбор на мигающей надписи.Чтобы избавиться от надписи Alarm Вам необходимо обратиться к разделу Поиск Неисправностей в данном руководстве: он содержит информацию об Отказах/неисправностях и возможных решения по их устранению/.4.11Главное МенюДоступ в Главное Меню осуществляется нажатием кнопки Менюна экране (см. рис.14). Далее Вы можете получить доступ в следующие под – меню.4.12Состояние насосаЭтот экран позволяет пользователю ознакомиться с текущим состоянием турбомолекулярного или форвакуумного насосов. Основная информация может быть следующей:включен турбонасос или выключенсостояние турбонасоса, которое было выбрано пользователемвключен форвакуумный насос или выключенмощность, потребляемая турбонасосомскорость турбомолекулярного насоса в процентах от полной скороститемпература источника питаниятемпература двигателя турбонасоса (только для насосов серии DX)температура турбомолекулярного насоса (только для насосов серии DX)434.13время цикла как время выполнения текущего цикла (только для насосов серииDX)открыт клапан напуска или закрыт (включен или выключен)Связи вакуумметров и насосовЕсли выбрана эта функция из главного меню, то на экране отобразится список управляемого оборудования (вакуумметров и/или насосов) вместе с оборудованием,управление которым осуществляется.

По умолчанию каждый элемент определен как«Нет связи/Not Linking» - не имеет управления.Для установки связи следует выполнить 4 шага:1. Выберите управляемое оборудование. Прокруткой установите курсор на оборудовании, управление которым следует настроить, и нажмите кнопку Выбор (см. рис.26).Рисунок 26. Управляемое оборудование2. Выберите управляющее оборудование. Верхняя светящаяся линия используетсядля выбора управляющего оборудования.

Выберите управляющее оборудованиеиз списка возможного и нажмите кнопку Выбор для подтверждения выбора. Т.к.изменится тип оборудования, то могут измениться единицы измерения или «Давления/Pressure» для вакуумметра или «Скорости/Speed» для насоса.3. Введите требуемые блокировки. Блокировки включения и выключения можно настроить так, чтобы они соответствовали технологическому процессу.

Если управляемым оборудованием является насос, используемым параметром для блокировки будет скорость (%). Если управляемым оборудованием является вакуумметр, используемым параметром для блокировки может быть либо давление (вустановленных единицах) либо напряжение (В). Выбор параметров для использования и последующая настройка включения и выключения требуемой блокировкипоказана на рис. 27.44Рисунок 27.

Установка управленияЗамечание:для вакуумметров Блокировка Выключения (Off Setpoint)  БлокировкаВключения (On Setpoint)для насосов Блокировка Выключения (Off Setpoint)  Блокировка Включения(On Setpoint)Если последствием настройки блокировки включения или выключения является нарушение приведенных выше условий, то не настраиваемую блокировку следует изменить так, чтобы она соответствовала устанавливаемой заново.Если вводиться давление, то можно изменить только знак экспоненты,когда она не нулевая. Для установки отрицательной экспоненты, сначаласледует установить значение экспоненты для возврата к изменению знака.4. Включите блокировку. Настроенную однажды блокировку следует включать путемизменения курсора/линии Блокировки (Setpoint) с Выключено (Off) на Включено(Enabled).4.14Параметры/единицыЭтот экран позволяет пользователю изменить отображенные параметры, а так же:Блокировка Установки / Setup Lock – Когда введен 3-х значный кода блокировки,блокировка включается, и оператор не может изменить никаких установок, однако, оператор может войти в меню и запустить или остановить насос.

Отключениеблокировки осуществляется вводом 3-х значного кода снова.Блокировка Панели / Panel Lock – Эта функция полностью блокирует переднююпанель. Оператор может только наблюдать за экраном/состоянием. Пароль дляэтой функции приведен на вкладыше компакт-диска CD.Аналоговый выходной сигнал 0…10 В на логическом интерфейсе может бытьнастроен для вакуумметра 1, 2, 3, давления или скорости турбомолекулярногонасоса.Контрастность дисплея позволяет пользователю изменить контрастность.45Протокол / Protocol показывает используемый протокол: RS232 или RS485.Адрес Последовательного Порта / Comms Adress – Установка адреса последовательного порта TIC.4.15Функции экранаПользователь может использовать этот экран для выбора устройств и характеристик,отображаемых на экране.

Функции включают:4.16Показать все устройства / Show all items – эта функция экрана установлена поумолчанию.Показать все вакуумметры / Show all gauges – эта функция экрана отображаетвсе вакуумметры крупно, но не выдает никакой информации о турбомолекулярных насосах.Один вакуумметр за раз / One gauge at a time – эта функция экрана позволяетпользователю наблюдать за одним вакуумметром.Только турбонасос / Turbo Only – этот экран выдает пользователю информациютолько о турбомолекулярном насосе.Выходные сигналы реле блокировкиЭта функция позволяет соединить выходные сигналы блокировки на логическом интерфейсе с вакуумметрами или со скоростью насосов.

Установка этих функций осуществляется так же как Связи Вакуумметров и Насосов (см. раздел 4.13)Когда выходные сигналы блокировки становятся активными, то сигнализаторы R1,R2, R3 на экране изменят отображение (на негатив).4.17Информация об обслуживанииИнформация об обслуживании содержит следующие сведения:Software issue – версия программного обеспечения. Ее можно изменить нановую в будущемSerial number – серийный номер контроллера. Необходим при обращении в сервисную службу.Analogue O/P – уровень аналогового сигнала. Может быть запрошен при обращении в сервисную службу.Turbo run – количество часов работы турбомолекулярного насоса. (только длянасосов серии DX)Reset DX – установка настроек турбомолекулярного насоса серии DX в исходныезаводские. (только для насосов серии DX)Reset TIC - установка настроек контроллера в исходные заводские, которыеможно быстро использовать при всех пользовательских установках.Upload DX – загрузка настроек в насос серии DX.

Контроллер хранит 1 набор настроек насоса. (только для насосов серии DX)Download DX – загрузка настроек из насоса серии DX. Контроллер хранит 1 набор настроек насоса. (только для насосов серии DX)464.18Ошибки при подачи электропитанияЕсли произошел сбой в подаче питания контроллера в то время, когда турбомолекулярный насос вращается с высокой скоростью, то насос начнет работать как генератор и будет возвращать питание на TIC. Это питание будет использоваться дляуправления работой клапана напуска, и если достаточно питания TIC будет поддерживать работу.Мощности, возвращаемой к контроллеру TIC не достаточно для работы вакуумметров, логического интерфейса или вентилятора; все это оборудование прекратит работу на период отключения питания.Когда скорость турбомолекулярного насоса упадет ниже 50%, клапан напуска откроется, а TIC выключится.475ТЕХНИЧЕСКОЕ ОБСЛУЖИВАНИЕ5.1Требования безопасностиВНИМАНИЕСоблюдайте требования безопасности, приведенные ниже, и обратите внимание на соответствующие меры предосторожности.

Несоблюдение этих требование можетпривести к травмам людей или повреждению оборудования.В контроллере нет заменяемых или подлежащих обслуживанию компонентов. Невскрывайте прибор, в случае необходимости верните прибор в ближайший сервисныйцентр ВОС Edwards.Возврат оборудования ВОС Edwards производите по форме, приведенной в концеданного руководства.5.2Поиск неисправностейНасосОбщееВакуумметрDXДиагностическоесообщениеRamp Up TimeoutDroop TimeoutSerial ID FailDX FailSC InterlockUload TimeoutDload TimeoutOver RangeUnder RangeNew IDNFNDNot ConnectedNot StrukFilament FailMag FailStriker FailCal ErrorInitializingEmission errorOver PressureASG Cant ZeroSYSI InhibitExt InhibitОписаниеСм.

табл. 11См. табл. 11См. табл. 14См. табл. 14См. табл. 14См. табл. 14См. табл. 14См. соответствующий раздел в руководстве.См. соответствующий раздел в руководстве.См. табл. 16См. табл. 16См. табл. 16См. соответствующий раздел в руководстве.См. соответствующий раздел в руководстве.См. табл. 28См.

табл. 28См. табл. 19См. табл. 26См. табл. 26См. табл. 26См. табл. 23Блокировка системы была отсоединена. Проверьтекорректность подключения разъема логического интерфейса или состояние блокировки системы (см.раздел 3.3.8.2).Блокировка насосов/вакуумметров была отсоединена.Проверьте корректность подключения разъема логического интерфейса или состояние блокировки системы (см. раздел 3.3.8.2).48No ReadingNo MessageОбъект не получает новых значений от своего источника за указанное время и помечает это значение какстарое. Проверьте соединение с компонентами системы.Объект не получает ответа на посланное сообщениеза указанное время и помечает это значение как старое.

Характеристики

Список файлов учебной работы