TIC Turbo&Instr-RUS (1032059), страница 6
Текст из файла (страница 6)
Используйте кнопку Переключитьдля включения оборудования.27Рисунок 18. Выходной сигнал вакуумметраВакуумметры низкого давления (AIGX, AIM) выключается «Off», если давление в системе становится больше, чем верхний предел их диапазона измерений. Вакуумметрами низкого давления можно управлять вручную, путем прокрутки линии и нажатиякнопки Переключить, или их можно связать и защитить с помощью подходящеговакуумметра высокого давления (см. раздел 4.13).Замечание: датчики низкого давления должны быть разрешены на логическом интерфейсе, прежде чем TIC сможет их включить или выключить.
Этоможно сделать путем замыкания соответствующих контактов на разъеме логического интерфейса, или используя внешние переключатели.Разъем логического интерфейса, поставляемый с TIC, содержит перемычки для этих целей.Если системная блокировка (SYSI) включена, нажатие кнопки Переключить не приведет к включению датчиков низкого давления. И обратно,если SYSI отключится (разомкнется) во время вакуумного цикла, всеподключенные управляемые компоненты будут выключены.4.6Перемещение по списку устройствДля перемещения по списку устройств кнопками прокрутки установите линию на требуемом элементе и нажмите кнопку Выбор (). По списку можно перемещаться,используя стрелки вниз и вверх.Нажатие кнопки Выбор дает возможность доступа к настройке и возврата к спискаустройств, что позволит выбрать и настроить другое оборудование.Нажатие кнопки Менюотменяет изменения настроек и дает возможность возврата к списку устройств, что позволит выбрать и настроить другое оборудование.284.7Изменение числовых значенийДля изменения числовых значений кнопками прокрутки установите линию на требуемом элементе и нажмите кнопку Выбор ( ).
Первая цифра высветится и может бытьизменена с помощью стрелок вниз и вверх.Кнопка Выбор будет перемещать подсветку на следующий элемент с каждым последующим нажатием, позволяя закончить ввод номера. Нажатие кнопки Выбор на последнем элементе завершает настройку и осуществляет возврат к списку устройств,что позволит выбрать и настроить другое оборудование.В любой момент ошибки можно скорректировать нажатием кнопки Меню, что переместит подсветку на предыдущие элементы с каждым последующим нажатием, позволяя корректировать совершенные действия.Нажатие кнопки Меню на первом выбранном элементе прерывает режим настройки идает возможность возврата к высвечиванию ряда устройств, что позволит выбрать инастроить другое оборудование.Рисунок 19. Изменение числовых значений4.84.8.1Установка насосовВведениеTIC можно использовать для настройки насосов серий EXT и DX.
Экранное менюотображает различные функции в зависимости от присоединенного насоса. TIC распознает присоединенный насос, который будет показан в установке насоса и экранесостояния насоса (см. рис. 20).Рисунок 20. Экран установки насоса294.8.2Настройки функций, принятые по умолчаниюФункция менюТаймер разгонаRamp Up TimerТаймер остановкиDroop TimerВремя прогреваHeater TimerЗадержка запуска /Start delayВключение системыSystem ONВыключение системы/ System OFFВентиляторAir CoolerTIC функции напуска/ TIC vent optionsОписаниеПользователь может устанавливать время таймера разгонаот1 до 8 минут. Этот таймер сгенерирует предупреждениесистемы, если скорость насоса не подымится выше 50% доустановленное время.Пользователь может устанавливать время таймера остановки от1 до 8 минут.
Этот таймер сгенерирует предупреждениесистемы, если скорость насоса упадет ниже 50% на время,большее, чем установленное в таймере.Пользователь может установить время прогрева турбомолекулярного насоса от 0 до 35 часов. Нагреватель включитсяна это время один раз во время разгона насоса до рабочейскорости. Если скорость насос упадет ниже рабочей, то нагреватель выключится, а его таймер перезагрузится.Задержка запуска позволяет пользователю отсрочить запусктурбомолекулярного насоса на 0…99 минут.Позволяет пользователю определить, какие компонентысистемы будут включены, когда система будет включена.Позволяет пользователю определить, какие компонентысистемы будут выключены, когда система будет выключена.Пользователь может установить, когда вентилятор ВОСEdwards сможет работать.
Вентилятор может быть установлен в режиме ON (постоянно) или Turbo (включен, когда насос работает).Клапан напуска, присоединенный к TIC может работать вследующих режимах: On Stop – открыть клапан немедленнопо команде Стоп, или 50% открыть клапан, когда скоростьнасоса упадет до 50% от полной скорости.Таблица 10. Настройки функций, принятые по умолчаниюМЕРЫ ПРЕДОСТОРОЖНОСТИЕсли присоединены форвакуумные насосы Edwards 24 В, рекомендуется чтобы полная используемая мощность не превышала значений, указанных в разделе 2.Информация об ошибках в работе и диагностики насосов приведена в табл.
11.ДиагностикаТаймер разгонаRamp Up TimerТаймер остановкиDroop TimerОписаниеПроверьте, что насос не перегрелся или что входное давление не слишком высоко.Проверьте работоспособность форвакуумного насоса.Проверьте вакуумную систему на наличие течей.Проверьте, что насос не перегрелся или что входное давление не слишком высоко.Проверьте работоспособность форвакуумного насоса.Проверьте вакуумную систему на наличие течей.Таблица 11. Диагностика насоса304.8.3Дополнительные функции установки при использовании насосов DXTIC позволяет пользователю установить дополнительные возможности при использовании насоса DX.МЕРЫ ПРЕДОСТОРОЖНОСТИПрочтите руководство по эксплуатации насоса DX перед использованием TICдля установки DX.Функции напуска DX – Если присоединен насос DX, то пользователь может установить одну из функций напуска DX.
Пользователь может установить напуск DX, а также напуск TIC для управления двумя клапанами напуска, присоединенными к вакуумной системе (см. табл. 12).Отображениена экране50%50%СvVSTP 50%STPCnVFLT50%FLTCnVSPTFLTFLTSTPFANОписание функции напуска DXКлапан напуска откроется полностью, когда скорость насоса будет ниже 50% по команде Stop или Fail.Замечание: это заводская установка по умолчаниюУправление напуском при скорости вращения от 100% до 50%.Клапан напуска откроется полностью, когда скорость насоса будет ниже 50% по команде Stop или Fail.Клапан напуска немедленно откроется полностью по командеStop.
Клапан напуска откроется полностью, когда скорость насоса будет ниже 50% в случае ошибки Fail.Клапан напуска немедленно откроется полностью по командеStop. Управление напуском при скорости вращения от 100% до50%, а затем Клапан напуска откроется полностью, когда скорость насоса будет ниже 50% в случае ошибки Fail.Клапан напуска немедленно откроется полностью в случаеошибки Fail. Клапан напуска откроется полностью, когда скорость насоса будет ниже 50% по команде Stop.Клапан напуска немедленно откроется полностью в случаеошибки Fail. Управление напуском при скорости вращения от100% до 50%, а затем Клапан напуска откроется полностью, когда скорость насоса будет ниже 50% по команде Stop.Клапан напуска откроется полностью по команде Stop или в случае Fail.Клапан напуска откроется полностью по команде Stop или в случае Fail.Напуск постоянно включен и может быть использоваться дляподачи питания вентилятору ВОС Edwards.Таблица 12.
Функции напуска насоса DXФункция менюРабочий / NormalХолостойОписаниеTIC позволяет устанавливать рабочую скорость как процент от полной скоростиход/ Пользователь может установить скорость холостого хода31Standby speedМаксимальная мощность / Max PowerТорможение/ Brakingкак процент от полной скоростиПользователь может установить максимальную мощность,которую может использовать насос DX.Включение/выключение.
Пользователь может использовать эту функцию для замедления турбонасоса при быстром режиме.Таблица 13. Функции установки насоса DXИнформация по диагностике насоса DX приведена в табл. 14.ДиагностическоесообщениеID Ошибка портаSerial ID FailtОшибка насоса DXDX FaultБлокировка CSCS InterlockТайм – аут загрузкиUload Time-OutСбой загрузкиDload FailedОписаниеПрисоединен насос с портом RS232 или серии DX, но еготип не распознан.
Проверьте подключенные соединения.Посмотрите вспыхивающие коды ошибок на модуле насоса, и см руководство насоса DX.RS232 соединение с насосом DX потеряно во время егоработы. Это может вызываться временным отключениемпитания или разрывом провода. Рекомендуется остановитьнасос и затем перезапустить его. Если функция Предупреждения системы не очистилась, повторите действия.Проверьте, что насос подключен корректно, а затем попытайтесь загрузить снова.Проверьте, что насос подключен корректно, а затем попытайтесь загрузить снова.Таблица 14.
Диагностика насоса DX4.9Установка вакуумметраПри идентификации нового вакуумметра кнопкой прокрутки выберите вакуумметр инажмите кнопку Выбор для получения доступа к экрану «Установка Вакуумметра».Функция менюВакуумметр/ GaugeРод газа/ Gas TypeФильтр / FilterОписаниеОпределяет тип присоединенного вакуумметра.Позволяет пользователю выбрать род газа.Варианты: N2, He, Ar, CO2, Ne, Kr или Вольты.Замечание: для вакуумметров, показания которых зависят от рода газа, очень важно правильно выбрать родгаза, чтобы быть уверенным в корректной индикациидавления.Позволяет пользователю выбрать состояние фильтра.Выключенный фильтр (Off) дает выходной сигнал давления как передаваемый вакуумметром ( частота обновленияпримерно 3 в секунду).Фильтр «1 sec» применяет среднее значение за 1 секунду,снижая влияние помех на стабильность показаний.Таблица 15. Функции установки вакуумметров, принятые по умолчанию324.9.1Функции установки по умолчанию (для всех вакуумметров)Все вакуумметры имеют следующие установки по умолчанию, отображаемые на соответствующих экранах установки.
Пример ниже показывает присоединенный APGMвакуумметр.Рисунок 21. Экран установки вакуумметраЗамечание: показания деформационного вакуумметра ASG не зависят от родагаза. Выбор любого типа газа будет давать одинаковые выходные сигналы давления.4.9.2Сообщения состояния вакуумметраСтандартные сообщения о состоянии приведены в табл. 16.Диагностическое ОписаниесообщениеНет соединения / Означает, что вакуумметр не подключен к TIC, или что не подNot Connectedключен кабель, вакуумметр может быть присоединен к другому выводу.NFNDОзначает, что подключенный вакуумметр не был распознанTIC’ом.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
